JP3088148B2 - 走査式描画装置 - Google Patents
走査式描画装置Info
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- JP3088148B2 JP3088148B2 JP26473991A JP26473991A JP3088148B2 JP 3088148 B2 JP3088148 B2 JP 3088148B2 JP 26473991 A JP26473991 A JP 26473991A JP 26473991 A JP26473991 A JP 26473991A JP 3088148 B2 JP3088148 B2 JP 3088148B2
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は、テーブル上の描画対
象物に像を描くための走査式描画装置に関する。
象物に像を描くための走査式描画装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】走査式描画装置には、描画対象物に精密
な像を描画するために、テレセントリックなレンズを用
いるものがある。このような走査式描画装置の一例が図
６に示されている。この走査式描画装置では、走査レン
ズ４１がテレセントリックなレンズとなっている。走査
レンズ４１に入射する光束１は、ポリゴンミラー等によ
り矢印Ａの主走査方向に走査される。走査レンズ４１に
入射した光束１は、テーブル４２上の描画対象物に垂直
に射出されて、この描画対象物を走査する。これによ
り、テーブル４２上の描画対象物に像が描かれる。
な像を描画するために、テレセントリックなレンズを用
いるものがある。このような走査式描画装置の一例が図
６に示されている。この走査式描画装置では、走査レン
ズ４１がテレセントリックなレンズとなっている。走査
レンズ４１に入射する光束１は、ポリゴンミラー等によ
り矢印Ａの主走査方向に走査される。走査レンズ４１に
入射した光束１は、テーブル４２上の描画対象物に垂直
に射出されて、この描画対象物を走査する。これによ
り、テーブル４２上の描画対象物に像が描かれる。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】ところで、走査式描画
装置では、描画対象物が例えばフィルムのように薄い物
からガラスのように厚い物にまで及ぶことがある。描画
対象物の厚みが変化すると、走査レンズと描画対象物と
の間隔が変化するため、光束の焦点調節が必要である。
装置では、描画対象物が例えばフィルムのように薄い物
からガラスのように厚い物にまで及ぶことがある。描画
対象物の厚みが変化すると、走査レンズと描画対象物と
の間隔が変化するため、光束の焦点調節が必要である。
【０００４】このような場合、図６に示されるように、
走査レンズ４１を光軸方向、すなわち矢印Ｂの方向又は
逆の方向に移動させれば、光束を収束させて焦点を合わ
せることが可能である。ところが、走査レンズ４１を光
軸方向に移動させて焦点を調整すると、走査レンズ４１
に向かう光束１に対して、走査レンズ４１の入射瞳の位
置が変化し、走査レンズ４１によるテレセントリックな
状態が保持できない。
走査レンズ４１を光軸方向、すなわち矢印Ｂの方向又は
逆の方向に移動させれば、光束を収束させて焦点を合わ
せることが可能である。ところが、走査レンズ４１を光
軸方向に移動させて焦点を調整すると、走査レンズ４１
に向かう光束１に対して、走査レンズ４１の入射瞳の位
置が変化し、走査レンズ４１によるテレセントリックな
状態が保持できない。
【０００５】そこで、このようなことを防ぐために、従
来の走査式描画装置は、テーブルを光軸方向に移動し
て、焦点を調整している。しかし、描画対象物が大きく
なる等により、テーブルが大型化して、テーブルの重量
が重くなると、テーブルを駆動するための装置が大きく
なるという欠点が生じる。
来の走査式描画装置は、テーブルを光軸方向に移動し
て、焦点を調整している。しかし、描画対象物が大きく
なる等により、テーブルが大型化して、テーブルの重量
が重くなると、テーブルを駆動するための装置が大きく
なるという欠点が生じる。
【０００６】この発明の目的は、このような欠点を除
き、描画対象物の厚みが変わったときに、テレセントリ
ックな状態を保ち、かつ、テーブルを固定した状態で焦
点調整ができる走査式描画装置を提供することにある。
き、描画対象物の厚みが変わったときに、テレセントリ
ックな状態を保ち、かつ、テーブルを固定した状態で焦
点調整ができる走査式描画装置を提供することにある。
【０００７】
【課題を解決するための手段】この発明は、その目的を
達成するため、描画用の光束を発する光源と、光源から
の光束を偏向、走査させる偏向手段と、偏向手段からの
光束を描画対象物に収束させるテレセントリックな走査
レンズと、走査レンズを光軸方向に移動して焦点調節を
する走査レンズ駆動手段と、偏向手段と走査レンズとの
間に設けられ、走査レンズの移動により焦点調節が行わ
れるとき、走査レンズのテレセントリック状態を保持し
ながら偏向手段からの光束の光路を変更する光路変更手
段と、偏向手段から所定の距離に設けられ、描画対象物
を支える対象物支持手段とを備えている。
達成するため、描画用の光束を発する光源と、光源から
の光束を偏向、走査させる偏向手段と、偏向手段からの
光束を描画対象物に収束させるテレセントリックな走査
レンズと、走査レンズを光軸方向に移動して焦点調節を
する走査レンズ駆動手段と、偏向手段と走査レンズとの
間に設けられ、走査レンズの移動により焦点調節が行わ
れるとき、走査レンズのテレセントリック状態を保持し
ながら偏向手段からの光束の光路を変更する光路変更手
段と、偏向手段から所定の距離に設けられ、描画対象物
を支える対象物支持手段とを備えている。
【０００８】
【実施例】以下、この発明を図面に基づいて説明する。
【０００９】
【実施例１】図１は、この発明の係る走査式描画装置の
実施例１を示したものである。この走査式描画装置は、
光源１１と、偏向手段１２と、光路変更手段１３と、走
査レンズ１４と、走査レンズ駆動手段１５と、テーブル
（対象物支持手段）１６とを備えている。
実施例１を示したものである。この走査式描画装置は、
光源１１と、偏向手段１２と、光路変更手段１３と、走
査レンズ１４と、走査レンズ駆動手段１５と、テーブル
（対象物支持手段）１６とを備えている。
【００１０】光源１１は、描画用の光束を発光する走査
用レーザ１１Ａと、走査用レーザ１１Ａからのレーザ光
の光束を収束する収束レンズ１１Ｂと、収束レンズ１１
Ｂにより収束された光束を変調するＡ／Ｏ変調器１１Ｃ
と、Ａ／Ｏ変調器１１Ｃからの光束を平行光束にするコ
リメートレンズ１１Ｄとを備えている。
用レーザ１１Ａと、走査用レーザ１１Ａからのレーザ光
の光束を収束する収束レンズ１１Ｂと、収束レンズ１１
Ｂにより収束された光束を変調するＡ／Ｏ変調器１１Ｃ
と、Ａ／Ｏ変調器１１Ｃからの光束を平行光束にするコ
リメートレンズ１１Ｄとを備えている。
【００１１】偏向手段１２は、一定方向に回転するモー
タ１２Ａと、モータ１２Ａにより回転され、光源１１か
らの平行光束を走査、偏向させるポリゴンミラー１２Ｂ
とを備えている。
タ１２Ａと、モータ１２Ａにより回転され、光源１１か
らの平行光束を走査、偏向させるポリゴンミラー１２Ｂ
とを備えている。
【００１２】光路変更手段１３は、平行平面板１３Ａ
と、平面板駆動部１３Ｂとを備えている。
と、平面板駆動部１３Ｂとを備えている。
【００１３】平行平面板１３Ａは、所定の厚みの透明な
板状のガラス、プラスチック等からなり、入射した光束
を入射角に応じて屈折により平行移動させて光束の光路
を変更する。
板状のガラス、プラスチック等からなり、入射した光束
を入射角に応じて屈折により平行移動させて光束の光路
を変更する。
【００１４】平面板駆動部１３Ｂは、走査レンズ駆動手
段１５からの駆動信号により、平行平面板１３Ａを矢印
Ａの主走査方向に移動させて、偏向手段１２からの光束
の光路に平行平面板１３Ａを挿入する。これにより、偏
向手段１２からの光束は、平行平面板１３Ａにより、入
射角に応じて屈折によって平行移動されて、光束の光路
が変更される。また、逆の方向に平行平面板１３Ａを移
動させて、光路から平行平面板１３Ａを外す。
段１５からの駆動信号により、平行平面板１３Ａを矢印
Ａの主走査方向に移動させて、偏向手段１２からの光束
の光路に平行平面板１３Ａを挿入する。これにより、偏
向手段１２からの光束は、平行平面板１３Ａにより、入
射角に応じて屈折によって平行移動されて、光束の光路
が変更される。また、逆の方向に平行平面板１３Ａを移
動させて、光路から平行平面板１３Ａを外す。
【００１５】走査レンズ１４は、テーブル１６側に対し
てテレセントリックなレンズであって、光路変更手段１
３からの光束をテーブル１６上の描画対象物に収束させ
る。
てテレセントリックなレンズであって、光路変更手段１
３からの光束をテーブル１６上の描画対象物に収束させ
る。
【００１６】走査レンズ駆動手段１５は、走査レンズ駆
動部１５Ａと、検出部１５Ｂとを備えている。
動部１５Ａと、検出部１５Ｂとを備えている。
【００１７】走査レンズ駆動部１５Ａは、検出部１５Ｂ
からの検出信号により、走査レンズ１４を光軸方向、す
なわち矢印Ｂ又はその逆の方向に移動させる。また、走
査レンズ駆動部１５Ａは、この移動を示す駆動信号を光
路変更手段１３の平面板駆動部１３Ｂに送る。
からの検出信号により、走査レンズ１４を光軸方向、す
なわち矢印Ｂ又はその逆の方向に移動させる。また、走
査レンズ駆動部１５Ａは、この移動を示す駆動信号を光
路変更手段１３の平面板駆動部１３Ｂに送る。
【００１８】検出部１５Ｂは、テーブル１６上の描画対
象物に当てられた光束が合焦状態にあるか否かを検出し
て、検出結果を示す検出信号を生成する。そして、この
検出信号を走査レンズ駆動部１５Ａに送る。
象物に当てられた光束が合焦状態にあるか否かを検出し
て、検出結果を示す検出信号を生成する。そして、この
検出信号を走査レンズ駆動部１５Ａに送る。
【００１９】テーブル１６は、厚みの異なる描画対象物
を保持するものであり、ポリゴンミラー１２Ｂから所定
の距離に配置されている。
を保持するものであり、ポリゴンミラー１２Ｂから所定
の距離に配置されている。
【００２０】次に、実施例１の動作について説明する。
【００２１】まず、厚みの厚い描画対象物に像を描く場
合について説明する。図２に示されるように、厚みの厚
い描画対象物１０１がテーブル１６上に置かれている場
合、平行平面板１３Ａは、平面板駆動部１３Ｂにより矢
印Ａの主走査方向に移動して、実線で示されるように、
光路から外されている。したがって、偏向手段１２によ
り偏向、走査された、光源１１からの光束１は、直接、
走査レンズ１４に入射する。
合について説明する。図２に示されるように、厚みの厚
い描画対象物１０１がテーブル１６上に置かれている場
合、平行平面板１３Ａは、平面板駆動部１３Ｂにより矢
印Ａの主走査方向に移動して、実線で示されるように、
光路から外されている。したがって、偏向手段１２によ
り偏向、走査された、光源１１からの光束１は、直接、
走査レンズ１４に入射する。
【００２２】このとき、走査レンズ１４は、テーブル１
６上の描画対象物に対してテレセントリックな状態とな
っており、光束１は、走査レンズ１４により収束されて
描画対象物１０１に垂直に入射する。
６上の描画対象物に対してテレセントリックな状態とな
っており、光束１は、走査レンズ１４により収束されて
描画対象物１０１に垂直に入射する。
【００２３】次に、図２のテーブル１６上の描画対象物
が厚みの薄い物に置き換えられると、検出部１５Ｂは、
描画対象物に当てられている光束が合焦状態にないこと
を検出して、この検出結果を示す検出信号を走査レンズ
駆動部１５Ａに送る。走査レンズ駆動部１５Ａは、この
検出信号を受け取ると、テーブル１６に垂直な方向に走
査レンズ１４を移動させると同時に、この移動を示す駆
動信号を平面板駆動部１３Ｂに送る。
が厚みの薄い物に置き換えられると、検出部１５Ｂは、
描画対象物に当てられている光束が合焦状態にないこと
を検出して、この検出結果を示す検出信号を走査レンズ
駆動部１５Ａに送る。走査レンズ駆動部１５Ａは、この
検出信号を受け取ると、テーブル１６に垂直な方向に走
査レンズ１４を移動させると同時に、この移動を示す駆
動信号を平面板駆動部１３Ｂに送る。
【００２４】平面板駆動部１３Ｂは、この駆動信号を受
け取ると、平行平面板１３Ａを矢印Ａの主走査方向と逆
の方向に移動させる。この移動により、平行平面板１３
Ａは、図２の鎖線で示されるように、光路内に挿入され
る。したがって、光束１は、図２の鎖線で示されるよう
に、平行平面板１３Ａで屈折されて光路を変更され、走
査レンズ１４に入射する。
け取ると、平行平面板１３Ａを矢印Ａの主走査方向と逆
の方向に移動させる。この移動により、平行平面板１３
Ａは、図２の鎖線で示されるように、光路内に挿入され
る。したがって、光束１は、図２の鎖線で示されるよう
に、平行平面板１３Ａで屈折されて光路を変更され、走
査レンズ１４に入射する。
【００２５】このとき、走査レンズ１４は矢印Ｂの光軸
方向に移動しており、描画対象物に当てられる光束が合
焦状態となると、検出部１５Ｂはこの状態を検出して、
合焦状態を示す検出信号を走査レンズ駆動部１５Ａに送
る。走査レンズ駆動部１５Ａは、この検出信号により走
査レンズ１４の移動をやめる。これにより、厚みの薄い
描画対象物に対する合焦状態が保たれる。
方向に移動しており、描画対象物に当てられる光束が合
焦状態となると、検出部１５Ｂはこの状態を検出して、
合焦状態を示す検出信号を走査レンズ駆動部１５Ａに送
る。走査レンズ駆動部１５Ａは、この検出信号により走
査レンズ１４の移動をやめる。これにより、厚みの薄い
描画対象物に対する合焦状態が保たれる。
【００２６】このとき、図２の鎖線で示される平行平面
板１３Ａからの光束１は、厚い描画対象物を走査したと
きと同じ状態で走査レンズ１４に入射する。したがっ
て、走査レンズ１４によるテレセントリックな状態は保
持され、厚みの薄い描画対象物での描画が可能となる。
板１３Ａからの光束１は、厚い描画対象物を走査したと
きと同じ状態で走査レンズ１４に入射する。したがっ
て、走査レンズ１４によるテレセントリックな状態は保
持され、厚みの薄い描画対象物での描画が可能となる。
【００２７】このように、描画対象物が置き換えられる
と、実施例１は、光束の光路を平行平面板１３Ａを用い
て変更する。これにより、テレセントリックな状態が保
たれ、かつ、テーブル１６が固定された状態で、焦点調
整が可能となる。なお、実施例１では、描画対象物の厚
みは２通りであったが、３通り以上の厚みの物が描画対
象になる場合には、それぞれの描画対象物に応じて、厚
みの異なる平行平面板、又は屈折率の異なる平行平面板
を用いることにより、テレセントリックな状態を保つこ
とが可能になる。
と、実施例１は、光束の光路を平行平面板１３Ａを用い
て変更する。これにより、テレセントリックな状態が保
たれ、かつ、テーブル１６が固定された状態で、焦点調
整が可能となる。なお、実施例１では、描画対象物の厚
みは２通りであったが、３通り以上の厚みの物が描画対
象になる場合には、それぞれの描画対象物に応じて、厚
みの異なる平行平面板、又は屈折率の異なる平行平面板
を用いることにより、テレセントリックな状態を保つこ
とが可能になる。
【００２８】
【実施例２】図３は、この発明に係る走査式描画装置の
実施例２を示したものである。
実施例２を示したものである。
【００２９】実施例２は、図１の光路変更手段として、
くさび形のプリズム２１Ａ，２１Ｂと、プリズム駆動部
２１Ｃとを用いている。
くさび形のプリズム２１Ａ，２１Ｂと、プリズム駆動部
２１Ｃとを用いている。
【００３０】プリズム２１Ａ及び２１Ｂは、図４に示さ
れるように、くさび形をしたガラスで形成されており、
偏向手段１２からの光束の光路に挿入されている。さら
に、プリズム２１Ａの斜面である射出端面２０２が、プ
リズム２１Ｂの斜面である入射端面２０３と向かい合っ
て配置されている。そして、プリズム２１Ａと２１Ｂと
は、プリズム駆動部２１Ｃにより、相対的に移動する。
すなわち、プリズム２１Ａが矢印Ｃで示される傾斜方向
に移動すると、プリズム２１Ｂは、プリズム２１Ａの射
出端面２０２を、矢印Ｃと逆の方向に移動する。また、
プリズム２１Ａと２１Ｂとは、それぞれ逆の動きをす
る。
れるように、くさび形をしたガラスで形成されており、
偏向手段１２からの光束の光路に挿入されている。さら
に、プリズム２１Ａの斜面である射出端面２０２が、プ
リズム２１Ｂの斜面である入射端面２０３と向かい合っ
て配置されている。そして、プリズム２１Ａと２１Ｂと
は、プリズム駆動部２１Ｃにより、相対的に移動する。
すなわち、プリズム２１Ａが矢印Ｃで示される傾斜方向
に移動すると、プリズム２１Ｂは、プリズム２１Ａの射
出端面２０２を、矢印Ｃと逆の方向に移動する。また、
プリズム２１Ａと２１Ｂとは、それぞれ逆の動きをす
る。
【００３１】プリズム駆動部２１Ｃは、走査レンズ駆動
部１５Ａからの駆動信号により、プリズム２１Ａ及び２
１Ｂを矢印Ｃの傾斜方向又は逆の方向に移動させる。
部１５Ａからの駆動信号により、プリズム２１Ａ及び２
１Ｂを矢印Ｃの傾斜方向又は逆の方向に移動させる。
【００３２】このような実施例２は、描画対象物の厚み
が薄くなると、プリズム２１Ａの入射端面２０１からプ
リズム２１Ｂの射出端面２０４までの面間距離ａを大き
くする。逆に、厚みが厚くなると、面間距離ａを小さく
して、光束の光路を変更する。また、面間距離ａを連続
的に変えることができ、描画対象物の厚さに応じて、光
束１の光路を連続的に変更できる。
が薄くなると、プリズム２１Ａの入射端面２０１からプ
リズム２１Ｂの射出端面２０４までの面間距離ａを大き
くする。逆に、厚みが厚くなると、面間距離ａを小さく
して、光束の光路を変更する。また、面間距離ａを連続
的に変えることができ、描画対象物の厚さに応じて、光
束１の光路を連続的に変更できる。
【００３３】このように、実施例２は、描画対象物の厚
みが変わると、２つのくさび形プリズム２１Ａ及び２１
Ｂにより光束の光路を変更する。これにより、テレセン
トリックな状態が保たれ、かつ、テーブル１６が固定さ
れた状態で、焦点調整が可能となる。また、実施例２
は、実施例１に比べ、２つのプリズム２１Ａ及び２１Ｂ
のスライドにより連続的に光束の光路を変更できるの
で、厚みの異なる複数の描画対象物に対しても、プリズ
ムを交換しないで対応できる。
みが変わると、２つのくさび形プリズム２１Ａ及び２１
Ｂにより光束の光路を変更する。これにより、テレセン
トリックな状態が保たれ、かつ、テーブル１６が固定さ
れた状態で、焦点調整が可能となる。また、実施例２
は、実施例１に比べ、２つのプリズム２１Ａ及び２１Ｂ
のスライドにより連続的に光束の光路を変更できるの
で、厚みの異なる複数の描画対象物に対しても、プリズ
ムを交換しないで対応できる。
【００３４】
【実施例３】図５は、この発明に係る走査式描画装置の
実施例３を示したものである。
実施例３を示したものである。
【００３５】実施例３は、図１の光路変更手段として、
ミラー３２〜３５を備えるミラー部３１と、ミラー駆動
部３６とを備えている。
ミラー３２〜３５を備えるミラー部３１と、ミラー駆動
部３６とを備えている。
【００３６】ミラー３２及び３５は、光束を反射させる
ミラー面３２Ａ及び３５Ａを外側にして、ハの字状に配
置されている。ミラー３３及び３４は、ミラー面３３Ａ
及び３４Ａを内側にして、ハの字状に配置されている。
さらに、ミラー面３２Ａがミラー面３３Ａと向い合うよ
うに、ミラー面３４Ａがミラー面３５Ａと向かい合うよ
うに、各ミラー３２〜３５が配置されている。
ミラー面３２Ａ及び３５Ａを外側にして、ハの字状に配
置されている。ミラー３３及び３４は、ミラー面３３Ａ
及び３４Ａを内側にして、ハの字状に配置されている。
さらに、ミラー面３２Ａがミラー面３３Ａと向い合うよ
うに、ミラー面３４Ａがミラー面３５Ａと向かい合うよ
うに、各ミラー３２〜３５が配置されている。
【００３７】ミラー駆動部３６は、走査レンズ１４の走
査レンズ駆動部１５Ａからの駆動信号により、ミラー３
３，３４を矢印Ａの主走査方向又は逆の方向に移動させ
る。
査レンズ駆動部１５Ａからの駆動信号により、ミラー３
３，３４を矢印Ａの主走査方向又は逆の方向に移動させ
る。
【００３８】このような実施例３により、描画対象物の
厚みが薄いときには、ミラー駆動部３６によりミラー３
３，３４が矢印Ａの主走査方向に移動する。また、描画
対象物の厚みが厚いときには、ミラー３３，３４が逆の
方向に移動する。これにより、描画対象物の厚みに応じ
て、光束１の光路が連続的に変更される。
厚みが薄いときには、ミラー駆動部３６によりミラー３
３，３４が矢印Ａの主走査方向に移動する。また、描画
対象物の厚みが厚いときには、ミラー３３，３４が逆の
方向に移動する。これにより、描画対象物の厚みに応じ
て、光束１の光路が連続的に変更される。
【００３９】このように、描画対象物が置き換えられる
と、実施例３は、ミラー３３，３４を移動させて、光束
の光路を変更する。これにより、テレセントリックな状
態が保たれ、かつ、テーブル１６を固定した状態で、焦
点調整が可能となる。また、実施例３は、ミラー３３，
３４を矢印Ａの方向又は逆の方向に移動させるので、光
束の光路を大きく変更でき、実施例２に比べて、厚みが
大きく異なる描画対象物にも対応できる。
と、実施例３は、ミラー３３，３４を移動させて、光束
の光路を変更する。これにより、テレセントリックな状
態が保たれ、かつ、テーブル１６を固定した状態で、焦
点調整が可能となる。また、実施例３は、ミラー３３，
３４を矢印Ａの方向又は逆の方向に移動させるので、光
束の光路を大きく変更でき、実施例２に比べて、厚みが
大きく異なる描画対象物にも対応できる。
【００４０】
【発明の効果】以上説明したように、この発明は、置換
された描画対象物の厚みが変わったときに、テレセント
リックな状態を保ち、かつ、テーブルを固定した状態
で、焦点調整を可能にする効果がある。
された描画対象物の厚みが変わったときに、テレセント
リックな状態を保ち、かつ、テーブルを固定した状態
で、焦点調整を可能にする効果がある。
【図１】この発明の実施例１を説明するための図であ
る。
る。
【図２】図１の実施例の平行平面板を説明するための図
である。
である。
【図３】この発明の実施例２を説明するための図であ
る。
る。
【図４】図２の実施例のくさび形のプリズムを説明する
ための図である。
ための図である。
【図５】この発明の実施例３を説明するための図であ
る。
る。
【図６】従来の走査式描画装置を説明するための図であ
る。
る。
１１ 光源 １２ 偏向手段 １３ 光路変更手段 １４ 走査レンズ １５ 走査レンズ駆動手段 １６ テーブル（対象物支持手段）
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) G02B 26/10 G02B 13/22
Claims (5)
- 【請求項１】描画用の光束を発する光源と、 前記光源からの光束を偏向、走査させる偏向手段と、 前記偏向手段からの光束を描画対象物に収束させるテレ
セントリックな走査レンズと、 前記走査レンズを光軸方向に移動して焦点調節をする走
査レンズ駆動手段と、 前記偏向手段と前記走査レンズとの間に設けられ、前記
走査レンズの移動により焦点調節が行われるとき、前記
走査レンズのテレセントリック状態を保持しながら前記
偏向手段からの光束の光路を変更する光路変更手段と、 前記偏向手段から所定の距離に設けられ、描画対象物を
支える対象物支持手段とを備える走査式描画装置。 - 【請求項２】前記光路変更手段は、 前記偏向手段と前記走査レンズとの間の光路中に挿脱自
在に設けられた平行平面板と、 焦点調整のために前記走査レンズが前記対象物支持手段
に近づく方向に移動するとき、前記偏向手段からの光束
の光路に前記平行平面板を挿入し、前記走査レンズが前
記対象物支持手段から離れる方向に移動するとき、前記
平行平面板を前記光路から外す平面板駆動部とを備える
請求項１記載の走査式描画装置。 - 【請求項３】前記光路変更手段は、 一方の入射端面が他方の入射端面と平行な状態を保ちつ
つ、前記入射端面と射出端面との面間距離を可変とする
ように互いの斜面を密着させてスライド自在に保持され
る二つのくさび形のプリズムと、 焦点調整のために前記走査レンズが前記対象物支持手段
に近づく方向に移動するときに、前記面間距離を小さく
し、前記走査レンズが前記対象物支持手段から離れる方
向に移動するとき、前記面間距離を大きくするように前
記二つのくさび形プリズムを移動させるプリズム駆動部
とを備える請求項１記載の走査式描画装置。 - 【請求項４】前記光路変更手段は、 前記偏向手段からの光束を順次に反射させてこの光束の
光路を変更させる第一、第二、第三及び第四のミラーを
具備し、前記第一及び第四のミラーはミラー面を外側に
向けて固定されると共にハ字状に配置され、前記第二及
び第三のミラーはミラー面を内側に向けられると共に前
記第一及び第四のミラーに対して離反、接近可能に、ハ
字状に配置され、前記第一及び第四のミラーのミラー面
が向かい合うと共に前記第三及び第四のミラーのミラー
面が向かい合うように配置されたミラー部と、 焦点調整のために前記走査レンズが前記対象物支持手段
に近づく方向に移動するとき、前記第一及び第四のミラ
ーから離反し、前記走査レンズが前記対象物支持手段か
ら離れる方向に移動するとき、前記第一及び第四のミラ
ーに接近するように前記第二及び第三のミラーを移動さ
せるミラー駆動部とを備える請求項１記載の走査式描画
装置。 - 【請求項５】前記光路変更手段を通過する光束は、平行
光束である請求項１，２，３又は４記載の走査式描画装
置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP26473991A JP3088148B2 (ja) | 1991-10-14 | 1991-10-14 | 走査式描画装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP26473991A JP3088148B2 (ja) | 1991-10-14 | 1991-10-14 | 走査式描画装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05150175A JPH05150175A (ja) | 1993-06-18 |
| JP3088148B2 true JP3088148B2 (ja) | 2000-09-18 |
Family
ID=17407506
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP26473991A Expired - Fee Related JP3088148B2 (ja) | 1991-10-14 | 1991-10-14 | 走査式描画装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3088148B2 (ja) |
Families Citing this family (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
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| KR20090104877A (ko) | 2007-01-23 | 2009-10-06 | 후지필름 가부시키가이샤 | 옥심 화합물, 감광성 조성물, 컬러 필터, 그 제조방법 및 액정표시소자 |
| JP5877005B2 (ja) | 2011-07-29 | 2016-03-02 | 株式会社Ｓｃｒｅｅｎホールディングス | 基板処理装置、基板保持装置、および、基板保持方法 |
| JP6920538B2 (ja) * | 2018-03-15 | 2021-08-18 | パイオニア株式会社 | 走査装置及び測定装置 |
-
1991
- 1991-10-14 JP JP26473991A patent/JP3088148B2/ja not_active Expired - Fee Related
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| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH05150175A (ja) | 1993-06-18 |
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