KR960032097A - 투영 노광 장치 - Google Patents

Abstract

본 발명의 투영 노광 장치는 충분한 작업 거리를 확보하기 때문에 우수한 결상능을 달성한다. 이러한 투영 노광 장치는 제1물체과 제2물체 사이에 장착된 제1물체의 등배상을 제2물체 위로 투영 전달하는 투영광학계를 갖는다. 이러한 투영광학계는 평볼록렌즈와 제1의 부의 요철 렌즈로 구성되는 결합렌즈, 제2의 부의 요철 렌즈, 그리고 제1물체로부터 나온 광속을 유속하는 경로 굴곡 프리즘을 갖는다. 본 발명은 제1 및 제2의 부의 요철 렌즈의 적절한 굴절력의 범위와 제1 및 제2의 부의 요철 렌즈에 사용하는 유리 재료의 적절한 아베수의 범위를 찾는 것에 기초를 둔다.

Description

투영 노광 장치

본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음

제1도는 본 발명에 따른 투영 노광 장치의 개략적인 구조를 도시한 평면도.

내용 없음

Claims (12)

1. 제1물체 위의 패턴의 실질적인 등배상을 제2물체 위로 투영 전달하는 투영 노광 장치에 있어서, 상기 제1물체에 빛을 공급하기 위한 조명 광학계; 상기 제1물체를 지지하기 위한 제1스테이지; 상기 제2물체를 지지하기 위한 제2스테이지; 및 상기 패턴이 위에 제공되는 상기 제1물체의 표면과 상기 상이 그 위에 형성되는 상기 제2물체의 표면에 실질적으로 평행한 광축을 가지며, 상기 제1물체과 제2물체 사이에 장착되고 상기 제1스테이지에 의해 지지되는 상기 제1물체의 위치를 상기 제2스테이지에 의해 지지되는 상기 제2물체의 위치와 결합시키고, 평볼록 렌즈와 상기 평볼록 렌즈와 마주보는 오목면을 갖는 제1의 부의 요철 렌즈로 구성되며, 상기 광축을 따라 장착된 상기 결합 렌즈; 상기 결합 렌즈와 마주보는 오목면을 갖고 상기 결합렌즈에 대해 기실을 갖고 상기 광축을 따라 장착된 상기 제2의부의 요철 렌즈; 상기 제2의 부의 요철 렌즈와 마주보는 오목면을 갖고 상기 제2의 부의 요철 렌즈에 대해 기실을 갖고 상기 광축을 따라 장착된 오목 거울; 및 상기 제1물체로부터 상기 평볼록 렌즈로 광속을 유도하며 상기 오목 거울에 의해 반사되는 광속을 유도하여 상기 평볼록 렌즈를 통과하여 상기 제2물체로 유도하는 프리즘으로 이루어지고, ψ_a를 상기 평볼록 렌즈의 굴절력, ψ_b1을 상기 제1의 부의 요철 렌즈의 굴절력, 그리고 ψ_b2를 상기 제2의 부의 요철 렌즈의 굴절력이라 하고, 상기 제1 및 제2의 부의 요철 렌즈중 하나의 유리 재료가 45보다 작은 아베수를 갖고 다른 하나의 유리 재료가 45보다 큰 아베수를 가질 때 다음의 조건을 만족시키는 투영 광학계로 이루어짐을 특징으로 하는 투영 노광 장치:
2. 제1항에 있어서, 성기 투영 광학계가 추가로 상기 제2의 부의 요철 렌즈와 상기 오목 거울 사이에 장착된 요철 교정 렌즈로 이루어지고, D를 상기 오목 거울과 상기 요철 교정 렌즈 사이의 거리라 하고, r을 상기 오목 거울의 곡률 반지름의 절대값이라 할 때, 다음의 조건을 만족함을 특징으로하는 투영 노광 장치:
3. 제1항에 있어서, 성기 투영 광학계가 추가로 상기 평볼록렌즈와 상기 프리즘 사이에 장착된 평면평행판으로 이루어짐을 특징으로 하는 투영 노광 장치.
4. 제1항에 있어서, r을 상기 오목 거울의 곡률 반지름, wd₁을 상기 제1물체와 상기 프리즘 사이의 거리, wd₂를 상기 제2물체와 상기 프리즘 사이의 거리라 할 때, 다음의 조건을 만족함을 특징으로 하는 투영 노광 장치:
5. 제1항에 있어서, 다수의 상기 투영 광학계가 상이 상기 제2물체 위에 형성되는 표면을 따라 배열되고, 제1물체 위의 패턴으로부터 나온 빛이 다수의 광속으로 분산되며, 상기 제2물체 위의 표면에 도달하기 위해 다수의 대응하는 상기 투영 광학계를 거쳐 진행함을 특징으로 하는 투영 노광 장치.
6. 제1물체 위의 패턴의 실질적인 등배상을 제2물체 위로 투영 전달하는 투영 노광 장치에 있어서, 상기 제1물체에 빛을 공급하기 위한 조명 광학계; 상기 제1물체를 지지하기 위한 제1스테이지; 상기 제2물체를 지지하기 위한 제2스테이지; 상기 패턴이 그위에 제공되는 상기 제1물체의 표면과 상기 상이 그위에 형성되는 상기 제2물체의 표면에 실질적으로 평행한 제1광축을 가지며, 상기 제1물체와 제2물체 사이에 장착되고, 상기 제1물로부터의 광속에 기초하여 중간상에 형성하는 제1투영 광학계; 및 상기 패턴이 그 위에 제공되는 상기 제1물체의 표면과 상기 상이 그위에 형성되는 상기 제2물체의 표면에 실질적으로 평행한 제1광축을 가지며, 상기 제1투영 광학계와 상기 제2물체 사이에 장착되고, 상기 중간상으로부터의 빛에 기초하여 상기 제2물체 위에 상을 형성시키는 제2투영 광학계로 이루어지며, 상기 제1투영 광학계는 제1평볼록 렌즈와 상기 제1평볼록 렌즈와 마주보는 오목면을 갖는 제1의 부의 요철 렌즈로 구성되며 상기 제1광축을 따라 장착된 제1결합 렌즈; 상기 제1결합 렌즈와 마주보는 오목면을 갖고, 상기 제1결합 렌즈에 대한 기실을 갖고 상기 제1광축을 따라 장착된 상기 제2의 부의 요철 렌즈; 상기 제2의 부의 요철 렌즈와 마주보는 오목면을 갖고 상기 제2의 부의 요철 렌즈에 대한 기실을 갖고 상기 제1광축을 따라 장착된 제1오목 거울; 및 상기 제1물체로부터 상기 제1평볼록 렌즈로 빛을 유도하며 상기 제1오목 거울에 의해 반사되는 빛을 유도하고 상기 중간상으로 상기 제1평볼록 렌즈를 통과하는 제1프리즘으로 이루어지며; 상기 제2투영 광학계는 제2평볼록 렌즈와 상기 제2평볼록 렌즈와 마주보는 오목면을 갖 제3부의 요철 렌즈로 구성되며, 제2광축을 따라 장착된 제2결합 렌즈; 상기 제2결합 렌즈와 마주보는 오목면을 갖고 상기 제2결합 렌즈에 대한 기실을 갖고 상기 제2광축을 따라 장착된 제4부의 요철렌즈; 상기 제4부의 요철 렌즈와 마주보는 오목면을 갖고 상기 제4부의 요철 렌즈에 대한 기실을 갖고 상기 제2광축을 다라 장착된 제2오목 거울; 및 상기 중간상으로부터 상기 제2평볼록 렌즈로 광삭을 유도하며 상기 제2오목 거울에 의해 반사되는 광속을 유도하고 상기 제2평볼록 렌즈를 통과하여 상기 제2물체로 유도하는 제2프리즘으로 이루어지고, ψ_a1을 상기 제1평볼록 렌즈의 굴절력, ψ_b1을 상기 제1의 부의 요철 렌즈의 굴절력, 그리고ψ_b2를 상기 제2의 부의 요철 렌즈의 굴절력이라 하고, 상기 제1 및 제2의 부의 요철 렌즈중 하나의 유리 재료가 45보다 작은 아베수를 갖고 다른 하나의 유리 재료가 45보다 큰 아베수를 가질 때, 다음의 조건을 만족시키며;

   ψ_a2를 상기 제2평볼록 렌즈의 굴절력, ψ_b3을 상기 제3부의 요철 렌즈의 굴절력, 그리고 ψ_b4를 상기 제4의 부의 요철렌즈의 굴절력이라 하고, 상기 제3 및 제4의 부의 요철 렌즈중 하나의 유리 재료가 45보다 작은 아베수를 갖고 다른 하나의 유리 재료가 45보다 큰 아베수를 가질 때, 다음의 조건을 만족시키는 프리즘으로 이루어짐을 특징으로 하는 제2투영 광학계로 이루어짐을 특징으로 투영 노광 장치;
7. 제6항에 있어서, 상기 제1투영 광학계가 추가로 상기 제2의 부의 요철 렌즈와 상기 제1오목 거울 사이에 장착된 제1요철 교정 렌즈로 이루어지고, 상기 제2투영 광학계가 추가로 상기 제4의 부의 요철 렌즈와 상기 제2오목 거울 사이에 장착된 제2요철 교정 렌즈로 이루어질 때, D₁을 상기 제1오목 거울과 상기 제1요철 교정렌즈 사이의 거리라 하고, r1을 상기 제1오목 거울의 곡률 반지름의 절대값이라 하면, 다음의 조건을 만족시키고;

   D₂를 상기 제2오목 거울과 상기 제2요철 교정 렌즈 사이의 거리라 하고 r₂를 상기 제2오목 거울의 곡률 반지름의 절대값이라 할 때, 다음의 조건을 만족함을 특징으로 하는 투영 노광 장치;
8. 제6항에 있어서, 상기 제1투영 광학계가 추가로 상기 제1평볼록 렌즈와 상기 제1프리즘 사이에 장착된 제1평면 평행판으로 이루어지고, 상기 제2투영 광학계가 추가로 상기 제2평볼록 렌즈와 상기 제2프리즘 사이에 장착된 제2평면 평행판으로 이루어짐을 특징으로 하는 투영 노광 장치.
9. 제6항에 있어서, 추가로 상기 중간상의 위치에 장착된 필드 스톱으로 이루어짐을 특징으로 하는 투영 노광 장치.
10. 제6항에 있어서, r₁을 상기 제1오목 거울의 곡률 반지름, wd₁을 상기 제1물체과 상기 제1프리즘 사이의 거리, wd₂를 상기 제2물체와 상기 제1프리즘 사이의 거리라 할 때, 다음의 조건을 만족시키고;

    r₂를 상기 제2오목 거울의 곡률 반지름, wd₃를 상기 제1물체와 상기 제2프리즘 사이의 거리, wd₄를 상기 제2물체와 상기 제2프리즘 사이의 거리라 할때, 다음의 조건을 만족함을 특징으로 하는 투영 노광 장치;
11. 제6항에 있어서, 각각 상기 제1 및 제2투영 광학계로 구성된 다수의 투영 광학 유니트가 상기 제2물체 위에 형성되는 표면을 따라 배열되고, 제1물체 위의 패턴으로부터 나온 빛이 다수의 광속으로 분산되며, 상기 제2물체에 도달하기 위해 다수의 대응하는 상기 투영 광학 유니트를 거쳐 진행함을 특징으로 하는 투영 노광 장치.
12. 제11항에 있어서, 상기 제2스테이지가 상기 제2물체위에 상이 형성되는 표면에 실질적으로 평행한 방향으로 운동하도록 배열되고, 상기 제1스테이지가 상기 제2스테이지의 운동 방향과 실질적으로 같은 방향으로 운동하도록 배열되며, 상기 다수의 투영 광학 유니트의 인접한 두 개의 상에 의해 상기 제2물체위에 형성된 두 상의 위치가 서로로부터 상기 제2스테이지의 운동 방향에 평행한 방향으로 이동함을 특징으로 하는 투영 노광 장치.

    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.