KR970022571A - 투영노광장치 - Google Patents

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Abstract

투영광학계중의 굴절계의 노광광 흡수에 기인하는 투영광학계의 촛점위치의 변동에 대하여 초점이 맞추어지는 조정을 한다. 투영광학계는, 플러스굴절력을 갖는 굴절계와, 해당 굴절계와 공축에 위치결정된 반사경을 가지며, 제1의 기판을 사이에 세운 조명광학계로부터의 광중 반사경을 투과한 빛을 검출하기 위한 광검출수단과, 광검출수단의 출력에 따라서 제1의 기판 및 제2의 기판과 투영광학계와의 초점이 맞춰진 상태를 조정하기 위한 조정수단을 구비하고 있다.

Description

투영노광장치
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제1도는 본 발명의 실시예1에 따른 투영노광장치의 구성을 나타내는 도면.

Claims (10)

  1. 패턴이 형성된 제1의 기판을 조명하기 위한 조명광학계와, 상기 제1의 기판상에 형성된 패턴의 형상을 제2의 기판상에 형성하기 위한 투영광학계를 구비한 투영노광장치에 있어서, 상기 투영광학계는, 플러스굴절력을 가지는 굴절계와, 해당 굴절계와 공동축에 위치결정된 반사경을 가지며, 상기 제1의 기판을 사이에 세운 상기 조명광학계로부터의 광중 상기 반사경을 투과한 빛을 검출하기 위한 광검출수단과, 상기 광검출수단의 출력에 따라서 상기 제1의 기판 및 상기 제2의 기판과 상기 투영광착계와의 초점을 맞추는 상태를 조정하기 위한 조정수단을 구비하는 것을 특징으로 하는 투영노광장치.
  2. 제1항에 있어서, 상기 조정수단은, 상기 광검출수단의 출력에 근거하여 구한 상기 투영광학계의 촛점위치의 변동에 따라서 상기 제1의 기판 및 상기 제2의 기판중 적어도 한쪽의 기판을 상기 투영광학계에 대하여 이동시키는 것을 특징으로 하는 투영노광장치.
  3. 제1항에 있어서, 상기 조정수단은 상기 광검출수단의 출력에 근거하여 구한 상기 투영광학계의 촛점위치의 변동을 보정하기 위해서 상기 투영광학계의 촛점위치를 조정하는 것을 특징으로 하는 투영노장장치.
  4. 제1항에 있어서, 상기 투영광학계는, 상기 제1의 기판상에 형성된 패턴의 중간상을 형성하기 위한 제1부분 광학계와, 상기 중간형상으로부터의 광에 근거하여 상기 제2의 기판상에 상기 패턴의 이차 형상을 재형성하기 위한 제2부분 광학계를 구비하며, 상기 제1부분 광학계 및 상기 제2부분 광학계는, 플러스굴절력을 갖는 굴절계와, 해당 굴절계와 공동축 위치결정된 반사경을 각각 가지며, 상기 광검출수단은, 상기 제1부분 광학계중의 반사경 및 상기 제2부분 광학계중의 반사경중 적어도 한쪽의 반사경을 투과한 빛을 검출하는 것을 특징으로 하는 투영노광장치.
  5. 제1항 내지 제4항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 투영광학계는, 상기 제1의 기판으로 형성된 패턴의 등배형상을 상기 제2의 기판상에 형성하기 위한 복수의 텔레센트릭한 투영광학유닛으로 이루어지고, 상기 복수의 투영광학유닛의 각각은, 플러스굴절력을 갖는 굴절계와, 해당 굴절계와 공동축에 위치결정된 반사경을 각각 가지며, 상기 광검출수단은, 상기 복수의 투영과학유닛중의 각 반사경을 투과한 빛을 각각 검출하여, 상기 투영광학계에 대하여 상기 제1의 기판 및 상기 제2의 기판을 상대적으로 이동시키고 상기 제1의 기판상에 형성된 패턴을 상기 투영광학계를 통해 상기 제2의 기판상에 투영노광하는 것을 특징으로 하는 투영노광장치.
  6. 제1항에 있어서, 상기 반사경의 반사면은 유전체다층막으로 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 투영노광장치.
  7. 제1항에 있어서, 상기 조성수단은, 상기 광검출수단의 출력에 근거하여 구한 상기 투영광학계의 초점위치의 변동에 따라서 상기 제1의 기판 및 상기 제2의 기판중 적어도 한쪽의 기판을 상기 투영광학계에 대하여 이동시키며, 상기 투영광학계는, 상기 제1의 기판상에 형성된 패턴의 중간상을 형성하기 위한 제1부분 광학계와, 상기 중간형성으로부터의 광에 근거하여 상기 제2의 기판상에 상기 패턴이 이차 형상을 재형성하기 위한 제2부분 광학계를 구비하며, 상기 제1부분 광학계 및 상기 제2부분 광학계는, 플러스굴절력을 갖는 굴절계와, 해당 굴절계와 공동축에 위치결정된 반사경을 각각 가지며, 상기 광검출수단은, 상기 제1부분 광학계중의 반사경 및 상기 제2부분 광학계중의 반사경중 적어도 한쪽의 반사경을 투과한 빛을 검출하는 것을 특징으로 하는 투영노광장치.
  8. 제7항에 있어서, 상기 투영광학계는, 상기 제1의 기판으로 형성된 패턴의 등배형상을 상기 제2의 기판상에 형성하기 위한 복수의 텔레센트릭한 투영광학유닛으로 이루어지고, 상기 복수의 투영광학유닛의 각각은, 플러스굴절력을 갖는 굴절계와, 해당 굴절계와 공동축에 위치결정된 반사경을 각각 가지며, 상기 광검출수단은, 상기 복수의 투영광학유닛중의 각 반사경을 투과한 빛을 각각 검출하여, 상기 투영광학계에 대하여 상기 제1의 기판 및 상기 제2의 기판을 상대적으로 이동시키고 상기 제1의 기판상에 형성된 패턴을 상기 투영광학계를 통해 상기 제2의 기판상에 투영노광하는 것을 특징으로 하는 투영노광장치.
  9. 제1항에 있어서, 상기 조정수단은, 상기 광검출수단의 출력에 근거하여 구한 상기 투영광학계의 초점위치의 변동을 보정하기 위해서 상기 투영공학계의 초점위치를 조정하며, 상기 투영광학계는, 상기 제1의 기판상에 형성된 패턴의 중간상을 형성하기 위한 제1부분 광학계와, 상기 중간형상으로부터의 광에 근거하여 상기 제2의 기판상에 상기 패턴의 이차 형성을 재형성하기 위한 제2부분 광학계를 구비하며, 상기 제1부분 광학계 및 상기 제2부분 광학계는, 상기 제1부분 광학계중의 반사경 및 상기 제2부분 광학계중의 반사경중 적어도 한쪽의 반사경을 투과한 빛을 검출하는 것을 특징으로 하는 투영노광장치.
  10. 제9항에 있어서, 상기 투영광학계는, 상기 제1의 기판으로 형성된 패턴의 등배형상을 상기 제2의 기판상에 형성하기 위한 복수의 텔레센트릭한 투영광학유닛으로 이루어지고, 상기 복수의 투영광학유닛의 각각은, 플러스굴절력을 갖는 굴절계와, 해당 굴절계와 공동축에 위치결정된 반사경을 각각 가지며, 상기 광검출수단은, 상기 복수의 투영광학유닛중의 각 반사경을 투과한 빛을 각각 검출하여, 상기 투영광학계에 대하여 상기 제1의 기판 및 상기 제2의 기판을 상대적으로 이동시키고 상기 제1의 기판상에 형성된 패턴을 상기 투영광학계를 통해 상기 제2의 기판상에 투영노광하는 것을 특징으로 하는 투영노광장치.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
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