KR950024024A - 투영노광장치 및 이를 이용한 디바이스 제조방법 - Google Patents

투영노광장치 및 이를 이용한 디바이스 제조방법 Download PDF

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Abstract

본 발명의 투영노광장치는, 제1물체의 패턴을 제2물체상에 투영하는 투영광학계와, 레이저광원과, 상기 레이저광원으로부터 2차공원을 형성하는 올티컬인터그레이터와, 상기 2차 광원으로 상기 제1물체를 조명함과 동시에, 상기 제1물체뒤의 서로 다른 2개의 방향에 관하여 광축방향의 다른 위치에 상기 2차광원을 형성하는 집광광학계를 구비하고 있다.

Description

투영노광장치 및 이를 이용한 디바이스 제조방법
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제2도는 동장치를 ZX평면에서 도시한 도면.

Claims (11)

  1. 제1물체의 패턴을 제2물체상에 투영하는 투영광확계와, 레이저광원과, 상기 레이저광원으로부터 2차광원을 형성하는 옵티컬인터그레이터와, 상기 2차광원으로 제1물체를 조명함과 동시에 상기 제1물체뒤의 2개의 다른 방향에 관해서 광축방향의 다른 위치에 2차광원을 결상시키는 집광광학계를 구비한 것을 특징으로 하는 투영노광장치.
  2. 제1항에 있어서, 상기 집광광학계는 서로 직교하는 방향에 관해서 굴절력이 다른 것을 특징으로 하는 투영노광장치.
  3. 제1항에 있어서, 상기 제1물체와 제2물체를 광으로 주사하고, 상기 투영광학계의 동공면근방에 2차광원의 상이 형성되며, 상기 주사방향과 직교하는 방향에 관한 결상 위치는 거의 동공면과 일치하고, 상기 주사방향에 관한 결상위치는 상기 투영광학계의 동공면으로부터 광축방향으로 소정거리만큼 떨어진 위치에 있는 것을 특징으로 하는 투영노광장치.
  4. 제1항에 있어서, 상기 옵티컬인터그레이터는 직교하는 2개의 방향에서 굴절력이 다른 복수의 렌즈로 구성된 것을 특징으로 하는 투영노광장치.
  5. 제1물체의 패턴을 제2물체상에 투영하는 투영광학계와, 레이저광원과, 상기 레이저광원으로부터 2차광원을 형성하는 옵티컬인터그레이터와, 상기 2차광원으로부터의 광선에 의해 상기 제1물체를 조명하는 집광렌즈로 구성되고, 상기 옵티컬인터그레이터는 직교하는 2개의 방향에서 뒤쪽초점위치가 서로 소정거리만큼 떨어진 위치에 존재하도록 배치된 복수개의 렌즈로 구성되고, 상기 집광렌즈를 개재해서 상기 제1물체뒤의 상기 2개의 방향에 관해서 광축방향의 다른 위치에 상기 광속을 집광시키는 것을 특징으로 하는 투영노광장치.
  6. 제5항에 있어서, 상기 제1물체와 제2물체를 광으로 주사하고, 상기 옵티컬인터그레이터의 주사방향과 직교하는 방향의 뒤쪽초점위치가, 상기 투영광학계의 동공민과 광학적으로 공역관계에 있는 것을 특징으로 하는 투영노광장치.
  7. 제1물체의 패턴을 제2물체상에 투영하는 투영광학계와, 상기 제1물체의 패턴으로 제2물체를 조명하는 조명계를 구비하고, 상기 조명계는, 레이저광원과, 해당 레이저광원으로부터의 광속으로 상기 제1물체를 조명함과 동시에 상기 제1물체뒤의 상기 투영광학계의 광축방향의 다른 위치에 상기 레이저광원으로부터의 광속을 집광시키는 조명광학계를 구비한 것을 특징으로 하는 투영노광장치.
  8. 제7항에 있어서, 상기 조명광학계는 상기 투영광학계의 동공면의 위치와 해당 동공면의 위치로부터 광축방향으로 떨어진 다른 위치에 상기 광속을 집광시키는 것을 특징으로 하는 투영노광장치.
  9. 제7항에 있어서, 상기 조명광학계는 비점수차를 발생시키는 것을 특징으로 하는 투영노광장치.
  10. 제8항에 있어서, 상기 제1물체와 제2물체를 광으로 주사하고, 상기 주사방향과 직교하는 방향과 광축을 포함하는 평면에 관하여 상기 동공면의 위치에 상기 광속을 집광시킴과 동시에, 상기 주사방향과 광축을 포함하는 평면에 관하여 동공면으로 부터 떨어진 위치에 상기 광속을 집광시키는 것을 특징으로 하는 투영노광장치.
  11. 제1항 내지 제10항 중 어느 한 항에 기재된 상기 투영노광장치를 이용해서 제1물체의 디바이스패턴을 제2물체상에 투영하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 디바이스제조방법.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
KR1019950001248A 1994-01-26 1995-01-25 투영노광장치 및 이를 이용한 디바이스제조방법 KR0164647B1 (ko)

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