KR950033695A

KR950033695A - 광학 인테그레이터 및 이를 사용한 투영 노광 장치

Info

Publication number: KR950033695A
Application number: KR1019950011281A
Authority: KR
Inventors: 타카시 모리; 히데키 코마쭈다
Original assignee: 오노 시게오; 가부시끼가이샤 니콘
Priority date: 1994-05-09
Filing date: 1995-05-09
Publication date: 1995-12-26
Also published as: US5594526A; JPH0831736A; JP3633002B2

Abstract

본 발명은 광원 시스템, 복수의 광원 상을 형성하는 광학 인테그레이터, 및 직사각형 또는 원호 패턴으로 표적 조명면을 다양한 방식으로 조명하는 집광 광학계로 이루어짐을 특징으로 하는 투영 노광 장치에 관한 것이다. 광학 인테그레이터는 광원 측으로부터, 복수의 제1렌즈 성분으로 각각 구성된 복수의 제1렌즈 성분 그룹을 갖는 제1렌즈 그룹, 및 복수의 제2렌즈 성분으로 각각 구성된 복수의 제2렌즈 성분의 그룹을 갖는 제2렌즈 그룹을 갖는다. 제2렌즈 성분은 제1렌즈 성분과 1대 1로 대응되도록 배열되어 있으며, 제1 및 제2렌즈의 렌즈 단면의 디멘젼은 소정의 관계식을 만족시킨다.

Description

광학 인테그레이터 및 이를 사용한 투영 노광 장치

본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음

제6도는 본 발명에 따른 플라이 눈 렌즈(50)의 원리를 설명하기 위한 투시도, 제7도는 본 발명에 따른 플라이 툰 렌즈(50)의 배열 방법을 설명하기 위한 도면, 제8도는 본 발명을 직사각형 노광 필드를 갖는 주사형 투영 노광 장치에 적용된 실시예의 배열을 도시한 개요도.

Claims

직사각형 렌즈 단면을 갖고 제1방향을 따라 배열된 제1렌즈 성분의 그룹을 갖고, 제1방향에 수직인 제2방향을 따라 배열된 제1렌즈 그룹으로서, 상기 두 개의 제1렌즈 성분의 위치가 상기 제1방향을 따라 서로 소정의 길이로 이동된 두 개의 상기 제1렌즈 성분에 각각 인접한 제1렌즈 그룹 ; 상기 제1렌즈 성분의 렌즈 단면과는 다른 직사각형 렌즈 단면을 갖고 제2방향을 따라 배열된 제2렌즈 성분의 그룹을 갖고, 제1방향을 따라 배열된 제1렌즈 그룹으로서, 상기 두 개의 제2렌즈 성분의 위치가 상기 제2방향을 따라 서로 소정의 길이로 이동된 두 개의 상기 제2렌즈 성분에 각각 인접한 제2렌즈 그룹 ; 및 상기 제1 및 제2렌즈 그룹을 각각 상기 제1렌즈 성분의 렌즈 단면의 중심이 상기 제2렌즈 성분의 렌즈 단면의 중심과 일치하는 상태로 고정하도록 배열된 베이스로 이루어짐을 특징으로 하는 광학 인테그레이터.
제1항에 있어서, 제1렌즈 성분이 전체로서 상기 베이스로 형성됨을 특징으로 하는 인테그레이터.
제2항에 있어서, 제1렌즈 성분이 전체로서 주형법에 의한 상기 기판으로 형성됨을 특징으로 하는 인테그레이터.
제2항에 있어서, 제1렌즈 성분 및 베이스가 접착제로 서로 고정됨을 특징으로 하는 인테그레이터.
직사각형 렌즈 단면을 갖고 제1방향을 따라 배열된 제1렌즈 성분의 그룹을 갖고, 제1방향에 수직인 제2방향을 따라 배열된 제1렌즈 그룹으로서, 상기 두 개의 제1렌즈 성분의 위치가 상기 제1방향을 따라 서로 소정의 길이로 이동된 두 개의 상기 제1렌즈 성분에 각각 인접한 제1렌즈 그룹 ; 및 상기 제1렌즈 성분의 렌즈 단면과는 다른 직사각형 렌즈 단면을 갖고 제2방향을 따라 배열된 제2렌즈 성분의 그룹을 갖고, 제1방향을 따라 배열된 제1렌즈 그룹으로서, 상기 두 개의 제2렌즈 성분의 위치가 상기 제2방향을 따라 서로 소정의 길이로 이동된 두 개의 상기 제2렌즈 성분에 각각 인접한 제2렌즈 그룹으로 이루어지며, 상기 제1렌즈 성분의 렌즈 단면의 중심이 상기 제2렌즈 성분의 렌즈 단면의 성분과 일치하며, 하기의 관계가 만족됨을 특징으로 하는 광학 인테그레이터.

1x₁/y₁=a, a〉2

△1x₁=a·1y₁/m, m≥2

1x₂/1y₂=a/m²

(4a+1)^0.5/2-0.5≤m≤(4a+1)^0.5/2+0.5

상기식에서, 1x₁는 제1방향을 따라 상기 제1렌즈 성분의 렌즈 단면의 디멘젼을 나타내며, 1y₁은 제2방향을 따라 상기 제1렌즈 성분의 렌즈 단면의 디멘젼을 나타내고, lx₂는 제2방향을 따라 상기 제2렌즈 성분의 렌즈 단면의 디멘젼을 나타내며, ly₂는 제2방향에 따라 상기 제2렌즈 성분의 디멘젼을 나타내고, △1x₁는 제1방향을 따라서 상기 제1렌즈 성분 그룹 중의 하나에 속하는 제1렌즈 성분으로부터 상기 제1렌즈 성분 그룹 중에서 상기 하나에 인접하여 배열된 상기 제1렌즈 성분 그룹에 속하는 제1렌즈 성분까지의 이동량을 나타낸다.
제5항에 있어서, 1/2〈1x₂/1y₂≤3/2의 관계를 만족함을 특징으로 하는 인테그레이터.
제5항에 있어서, 2/3〈1x₂/1y₂≤3/2의 관계를 만족함을 특징으로 하는 인테그레이터.
제5항에 있어서, 제1렌즈 그룹 및 제2렌즈 그룹이 서로 분리됨을 특징으로 하는 인테그레이터.
광속을 제공하는 광원 시스템 ; 상기 광원 시스템으로부터의 광속에 기초하여 복수의 광원상을 형성하는 광학 인테그레이터 ; 상기 광학 인테그레이터로부터의 광속을 집광하는 집광 광학계 ; 물체가 조명되도록 지지하는 제1스테이지 ; 물체가 노광되도록 지지하는 제2스테이지 ; 및 상기 제1스테이지에 의해 지지되는 조명된 물체상에서의 위치와 상기 제2스테이지에 의해 지지되는 노광된 물체상의 위치를 만들기 위한 투영 광학계로 이루어지며, 상기 광학 인테그레이터는 : 직사각형 렌즈 단면을 갖고 제1방향을 따라 배열된 제1렌즈 성분의 그룹을 갖고, 제1방향에 수직인 제2방향을 따라 배열된 제1렌즈 그룹으로서, 상기 두 개의 제1렌즈 성분의 위치가 상기 제1방향을 따라 서로 소정의 길이로 이동된 두 개의 상기 제1렌즈 성분에 각각 인접한 제1렌즈 그룹 ; 및 상기 제1렌즈 성분의 렌즈 단면과는 다른 직사각형 렌즈 단면을 갖고 제2방향을 따라 배열된 제2렌즈 성분의 그룹을 갖고, 제1방향을 따라 배열된 제1렌즈 그룹으로서, 상기 두 개의 제2렌즈 성분의 위치가 상기 제2방향을 따라 서로 소정의 길이로 이동된 두 개의 상기 제2렌즈 성분에 각각 인접한 제2렌즈 그룹으로 이루어지며, 상기 제1렌즈 성분의 렌즈 단면의 중심이 상기 제2렌즈 성분의 렌즈 단면의 성분과 일치하며, 하기의 관계가 만족됨을 특징으로 하고

1x₁/y₁=a, a〉2

△1x₁=a·1y₁/m, m≥2

1x₂/1y₂=a/m²

(4a+1)^0.5/2-0.5≤m≤(4a+1)^0.5/2+0.5

상기식에서, 1x₁는 제1방향을 따라 상기 제1렌즈 성분의 렌즈 단면의 디멘젼을 나타내며, 1y₁은 제2방향을 따라 상기 제1렌즈 성분의 렌즈 단면의 디멘젼을 나타내고, lx₂는 제2방향을 따라 상기 제2렌즈 성분의 렌즈 단면의 디멘젼을 나타내며, ly₂는 제2방향에 따라 상기 제2렌즈 성분의 디멘젼을 나타내고, △1x₁는 제1방향을 따라서 상기 제1렌즈 성분 그룹 중의 하나에 속하는 제1렌즈 성분으로부터 상기 제1렌즈 성분 그룹 중에서 상기 하나에 인접하여 배열된 상기 제1렌즈 성분 그룹에 속하는 제1렌즈 성분까지의 이동량을 나타냄을 특징으로 하는 투영 노광 장치.
제9항에 있어서, 추가로 상기 광학 인테그레이터와 상기 집광 광학계 사이에 배열된 개구 스톱을 포함함을 특징으로 하는 장치.
제10항에 있어서, 개구 스톱이 존 개구부를 가짐을 특징으로 하는 장치.
제10항에 있어서, 개구 스톱이 복수의 편심 개구부를 가짐을 특징으로 하는 장치.
제9항에 있어서, 투영 광학계가 환원계임을 특징으로 하는 장치.
제1항에 있어서, 기판이 상기 제1렌즈 성분과 동일한 굴절률을 갖는 물질로 제조됨을 특징으로 하는 인테그레이터.

※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.