KR940010218A - 사진석판술용 노광 장치의 조명 시스템 - Google Patents

사진석판술용 노광 장치의 조명 시스템 Download PDF

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Abstract

본 발명은 감광성 표면을 갖는 기판에 레티클의 패턴을 전사하기 위해 반도체 디바이스의 제조에 사용된 노광장치의 조명 시스템에 관한 것이다. 통상적으로 조명 시스템은 광원에서 방사된 광선을 원형 단면의 광 비임으로 만들기 위한 반사 및 조준 소자와, 광 비 임을 균일하게 하기 위한 광 집속기와, 균일화된 광 비임을 요구 형상으로 만들기 위한 어퍼츄어 조리개를 갖는다. 첨가된 축소 또는 확대 렌즈는 축소력 또는 확대력이 다른 축소 또는 확대 렌즈로 교환이 가능하고, 비임이 어퍼츄어 조리개에 도달하기 전에 어퍼츄어 직경에 아주 적합하게 일치하는 광 비임의 직경으로 변화시키며 따라서 어퍼츄어 조리개로서 차단되는 조명광의 손실을 줄이게 된다. 필요에 따라 광 비임의 단면 형상은 마주보도록 정렬된 2개의 광학 소자의 조합에 의해 환형으로 만들어질 수 있고, 상기 광학 소자중 하나는 방사면에서 원추형 볼록면을 가지고, 다른 하나는 원추형 볼록면과 마주보는 원추형 오목면을 가진다.

Description

사진석판술용 노광 장치의 조명 시스템
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제1도는 본 발명에 따른 조명 시스템의 기본 구조 및 시스템상의 광로의 개략도,
제2도는 제1도의 조명 시스템을 부분적으로 수정한 개략도.

Claims (6)

  1. 감광막 표면을 갖는 기판에 레티클의 패턴을 전사하기 위해 노광 장치에서 사용되는 조명 시스템에 있어서, 광원과, 상기 광원에서 방사된 광선을 원형 단면을 갖는 광 비임으로 만들기 위한 제1광학 수단과, 상기 광 비임을 균일하게 하기 위한 제2광학 수단과, 상기 제2광학 수단과 레티클과의 사이에 배치되어 있으며 광 비임 형상의 어퍼츄어를 갖는 어퍼츄어 조리개와, 제1광학 수단에서 방사된 광 비임의 직경을 여러 가지로 축소 또는 확대하기 위한 제3광학 수단을 구비하는 것을 특징으로 하는 조명 시스템.
  2. 제1항에 있어서, 제3광학 수단은 축소력 또는 확대력이 서로 다른 다수의 축소 또는 확대 렌즈를 구비하고, 축소 또는 확대 렌즈중 하나는 제1광학 수단과 제2광학 수단과의 사이에서 광학적으로 정렬된 상태에서 교환가능하게 배치되는 것을 특징으로 하는 조명 시스템.
  3. 제1항에 있어서, 제3광학 수단은 축소력 또는 확대력을 변화시키기 위하여 두 렌즈간의 거리를 변경시킬 수 있는 복합 렌즈인 축소 또는 확대 렌즈를 구비하는 것을 특징으로 하는 조명 시스템.
  4. 제1항에 있어서, 광 비임이 제3광학수단에 도달하기 전에 원형 단면의 광선은 환형 단면의 광비임으로 변형시키기 위한 제4광학 수단을 더 구비하는 것을 특징으로 하는 조명 시스템.
  5. 제4항에 있어서, 제3광학 수단은 제1광학 수단과 제3광학 수단과의 사이에서 광학적으로 정렬된 상태로 배치된 제1 및 제2 투명 광학 소자의 조합을 구비하고, 제1광학 수단에 더 가까이 있는 제1광학 소자는 방사면으로서 원추형 볼록면을 가지고, 입사면으로서 원추형 오목면을 갖는 제2광학 소자는 제1광학 소자의 원추형 볼록면과 마주보는 것을 특징으로 하는 조명 시스템.
  6. 제5항에 있어서, 제1광학 소자와 제2광학 소자간의 거리는 환형 단면을 갖는 광 비임의 외경에 대한 내경의 비를 변화시키기 위해 변경될 수 있는 것을 특징으로 하는 조명 시스템.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
KR1019930020126A 1992-10-01 1993-09-28 사진석판술용 노광 장치의 조명 시스템 KR970003882B1 (ko)

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