KR980005336A - 조명장치, 노광장치 및 디바이스제조방법 - Google Patents

조명장치, 노광장치 및 디바이스제조방법 Download PDF

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Abstract

광원 및 상기 광원으로부터의 광속을 피조사면에 투영하는 광학계를 구비한 조명장치에 있어서, 상기 광학계는, 거의 0인 근축굴절력을 지닌 동시에 비구면을 지닌 광학소자를 포함하고, 상기 광학소자는 피조사면상의 조도분포를 변화시키고자 할 때 광축을 따라 이동되는 것을 특징으로 한다.

Description

조명장치, 노광장치 및 디바이스제조방법
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제1도는 본 발명의 제 1실시예에 의한 조명장치에 이용되는 조명광학계의 주요부의 개략도이다.

Claims (19)

  1. 광원 및 상기 광원으로부터의 광속을 피조사면에 투영하는 광학계를 구비한 조명장치에 있어서, 상기 광학계는, 거의 0인 근축굴절력을 지닌 동시에 비구면을 지닌 광학소자를 포함하고, 상기 광학소자는 피조사면상의 조도분포를 변화시키고자 할 때 광축을 따라 이동되는 것을 특징으로 하는 조명장치.
  2. 제 1 항에 있어서, 상기 광학소자의 비구면은 축상조명광석 및 축외조명광속에 대해 거의 동일한 개구수를 지니도록 구성되어 있는 것을 특징으로 하는 조명장치.
  3. 제 1 항에 있어서, 상기 광학소자는, 상기 광원과 대면하는 쪽이 평면이고, 피조사면과 대면하는 해당 광학소자의 다른면이 비구면으로 이루어져 있는 것을 특징으로 하는 조명 장치.
  4. 제 1 항에 있어서, 상기 비구면은 굴절면 또는 회절면으로 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 조명장치.
  5. 제 1 항에 있어서, 상기 광학계는, 피조사면상의 조도분포를 변화시키고자 할 때 광축을 따라 이동하는 렌즈소자를 또 포함하고 잇는 것을 특징으로 하는 조명장치.
  6. 제 1 항에 있어서, 상기 광학계는 옵티컬인티그레이터를 포함하고, 상기 광학소자는 상기 옵티컬인티그레이터와 피조사면사이에 배치되어 있는 것을 특징으로 하는 조명장치.
  7. 제 6 항에 있어서, 상기 광학소자의 비구면은, 축상조명광속 및 축외조명광속에 대해 거의 동일한 개구수를 지니도록 구성되어 있는 것을 특징으로 하는 조명장치.
  8. 제 6 항에 있어서, 상기 광학소자는, 상기 광원과 대면하는 쪽이 평면이고, 피조사면과 대면하는 해당 광학소자의 다른 면이 비구면으로 이루어져 있는 것을 특징으로 하는 조명장치.
  9. 제 6 항에 있어서, 상기 비구면은 굴절면 또는 회절면으로 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 조명장치.
  10. 제 6 항에 있어서, 상기 광학계는, 피조사면상의 조도분포를 변화시키고자 할 때 광축을 따라 이동하는 렌즈소자를 또 포함하고 있는 것을 특징으로 하는 조명장치.
  11. 제 6 항에 있어서, 상기 옵티컬인티그레이터는 렌즈어레이로 구성된 것을 특징으로 하는 조명장치.
  12. 제 11 항에 있어서, 상기 렌즈어레이는 파리의 눈렌즈로 구성된 것을 특징으로 하는 조명장치.
  13. 피조사면상의 조도분포를 변화시킬 수 있는 조명장치에 있어서, 해당 조명장치는 광속을 피조사면에 투영하는 광학계를 구비하고, 상기 광학계는, 거의 0인 근축굴절력을 지닌 동시에 비구면을 지닌 광학소자를 포함하고, 상기 광학소자는 피조사면상의 조도분포를 변화시키고자 할 때 광축을 따라 이동되는 것을 특징으로 하는 조명장치.
  14. 제 13 항에 있어서, 상기 광학소자의 비구면은 축상조명광속 및 축외조명광속 에대해 거의 동일한 개구수를 지니도록 고성되어 있는 것을 특징으로 하는 조명장치.
  15. 제 1 항에 내지 제 14 항중 어느 한 항에 기재된 조명장치에 의해 마스크를 조명함으로써, 마스크의 패턴을 기관상에 노광하는 것을 특징으로 하는 노광장치.
  16. 제 15 항에 있어서, 상기 조명장치에 의해 조명된 마스크의 패턴을 기판상에 투영하는 투영광학계를 또 구비한 것을 특징으로 하는 노광장치.
  17. 제 15 항에 있어서, 상기 기판은 스텝 앤드 리피트방식에 따라 노광되는 것을 특징으로 하는 노광장치.
  18. 제 15 항에 있어서, 상기 기판은 스텝 앤드 스캔 방식에 따라 노광되는 것을 특징으로 하는 노광장치.
  19. 제 15 항에 기재된 노광장치를 이용해서 기판상에 디바이스패턴을 전사하는 공정을 포함하는 것을 특징으로 하는 디바이스제조방법.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
KR1019970023107A 1996-06-04 1997-06-04 조명장치, 노광장치 및 디바이스제조방법 KR100276797B1 (ko)

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