KR960029910A - 반사굴절 축소 투영 광학계 및 그를 사용하는 노광 장치 - Google Patents

반사굴절 축소 투영 광학계 및 그를 사용하는 노광 장치 Download PDF

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Abstract

본 발명은 광속 스플리터의 크기를 증가시키기 않고 개구수를 증가시킬 수 있는 구조를 갖는 반사굴절 축소 투영 광학계를 실현하며 반도체 제조 장치의 뛰어난 성능을 달성한다. 본 발명의 반사굴절 축소 투영 광학계는 제1물체의 중간 영상을 형성하도록 제1렌즈 그룹, 광속 스플리터, 제2렌즈 그룹 및 오목 반사 거울을 갖는 제1부분 광학계, 제2물체 위에 중간 영상의 축소상을 형성하고, 정의 굴절력을 갖는 제3렌즈 그룹을 가지며 중간 영상이 형성되는 표면과 제2물체 사이의 광로에 배열된 제2부분 광학계, 및 광속 스플리터와 제3렌즈 그룹 사이의 광로에 배열된 제4렌즈 그룹으로 이루어진다. 제1물체로부터의 광은 명명된 순서로 제1렌즈 그룹, 광속 스플리터, 및 제2렌즈 그룹을 통해 오목 반사거울로 유도된다. 오목 반사 거울에 의해 반사된 광은 명명된 순서로 제2렌즈 그룹 및 광속 스플리터를 통과하여 중간 영상이 형성된 표면으로 유도된다. 제4렌즈 그룹의 적어도 일부는 광속 스플리터와 표면 사이의 광로에 배열된다.

Description

반사굴절 축소 투영 광학게 및 그를 사용하는 노광 장치
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제1도는 본 발명에 따르는 반사굴절 축소 투영 광학계를 사용할 수 있는 노광 장치의 개략적인 배열을 도시한 도면.

Claims (22)

  1. 제1물체의 축소상을 제2물체 위로 투영하는 반사굴절 축소 투영 광학계에 있어서, 제1물체의 중간 영상을 형성하고, 제1렌즈 그룹, 광속 스플리터, 젠2렌즈 그룹 및 오목 반사 거울을 가져서 제1물체로부터의 광을 명명된 순서로 상기 제1렌즈 그룹, 상기 광속 스플리터, 및 상기 제2렌즈 그룹을 통해 오목 반사 거울로 차례로 유도하도록 하고, 상기 오목 반사 거울에 의해 반사된 광이 명면된 순서로 순서 제2렌즈 그룹 및 상기 광속 스플리터를 통과함으로써 중간 영상을 형성하는 제1부분 광학계; 제2물체 위에 중간 영상의 축소상을 형성하고, 정의 굴절력을 갖는 제3렌즈 그룹을 가지며 중간 영상이 상기 제1부분 광학계에 의해 형성되는 평면과 제2물체 사이의 광로에 배열된 제2부분 광학계; 및 상기 제1부분 광학계의 상기 광속 스플리터와 상기 제2부분 광학계의 상기 제3렌즈 그룹 사이의 광로에 배열된 제4렌즈 그룹으로 이루어짐을 특징으로 하는 반사굴절 축소 투영 광학계.
  2. 제1항에 있어서, 상기 제1렌즈 그룹이 제1물체와 상기 광속 스플리터 사이의 광로에 배열되며, 제2렌즈 그룹이 상기 광속 스플리터를 향하는 오목면을 갖는 부의 렌즈 성분을 가짐을 특징으로 하는 광학계.
  3. 제1항에 있어서, 상기 제1렌즈 그룹이 제1물체와 상기 광속 스플리터 사이의 광로에 배열되며, 여기에서, 상기 광속 스플리터에 가장 근접한 제1렌즈 그룹이 렌즈면이 상기 광속 스플리터에 대해 오목 형상을 가짐을 특징으로 하는 광학계.
  4. 제1항에 있어서, 상기 제4렌즈 그룹의 적어도 일부가 상기 광속 스플리터와 중간 영상이 상기 제1부분 광학계에 의해 형성되는 표면 사이의 광로에 배열됨을 특징으로 하는 광학계.
  5. 제4항에 있어서, 상기 전체 제4렌즈 그룹이 상기 광속 스플리터와 중간 영상이 형성되는 표면 사이의 광로에 배열됨을 특징으로 하는 광학계.
  6. 제4항에 있어서, 중간 영상이 형성되는 표면이 상기 광속 스플리터에 가장 근접한 상기 제4렌즈 그룹의 렌즈면과 상기 제2부분 광학계에 가장 근접한 상기 제4렌즈 그붑의 렌즈면 사이에 형성됨을 특징으로 하는 광학계.
  7. 제1항에 있어서, 상기 반사굴절 축소 투영 광학계가 다음 조건을 만족시킴을 특징으로 하는 광학계 :
    －4.0＜βPI／β＜－2.5
    상기 식에서, β는 전체 축소 배율이며, βPI는 중간 영상의 횡배율이다.
  8. 제1항에 있어서, 상기 반사굴절 축소 투영 광학계가 다음 조건을 만족시킴을 특징으로 하는 광학계 :
    －4.1＜βMI／β＜－2.8
    상기 식에서, β는 전체 축소 배율이며, βMI는 상기 오목 반사 거울의 횡배율이다.
  9. 제1항에 있어서, 상기 제4렌즈 그룹이 정의 굴절력을 가짐을 특징으로 하는 광학계.
  10. 제1항에 있어서, 상기 제1렌즈 그룹이 정의 굴절력을 가짐을 특징으로 하는 광학계.
  11. 제1항에 있어서, 상기 제3렌즈 그룹이 개구 스톱을 가짐을 특징으로 하는 광학계.
  12. 제1항에 있어서, 상기 제1, 2, 3 및 4렌즈 그룹 각각을 구성하는 각 광학 부재가 필수적으로 석영 유리 및 불화물 중의 하나로부터 선택된 물질로 구성됨을 특징으로 하는 광학계.
  13. 제12항에 있어서, 상기 제1, 2, 3 및 4렌즈 그룹 각각이 불화물로 구성된 적어도 하나의 광학 부재로 이루어짐을 특징으로 하는 광학계.
  14. 감광성 기판을 그 주 표면위에 고정되게 하는 제1스테이지; 소정의 패턴을 갖는 마스크를 고정시키는 제2스테이지; 소정의 파장을 갖는 노광광을 방출시키고 상기 마스크 위의 패턴을 상기 기판위에 전송시키는 조명 광학계; 상기 마스크의 패턴의 축소상을 상기 기판 위로 투영하기 위해 상기 제1 및 제2스테이지 사이에 배열된 반사굴절 축소 광학계로서, 제1물체의 중간 영상을 형성하고, 제1렌즈 그룹, 광속 스플리터, 제2렌즈 그룹 및 오목 반사 거울을 가져서 제1물체로부터의 광을 명명된 순서로 상기 제1렌즈 그룹, 상기 광속 스플리터, 및 상기 제2렌즈 그룹을 통해 오목 반사 거울로 차례로 유도하도록 하고, 상기 오목 반사 거울에 의해 반사된 광이 명명된 순서로 상기 제2렌즈 그룹 및 상기 광속 스플리터를 통과함으로써 중간 영상을 형성하는 제1부분 광학계; 기판 위에 중간 영상의 축소상을 형성하고, 정의 굴절력을 갖는 제3렌즈 그룹을 가지며 중간 영상이 상기 제1부분 광학계에 의해 형성되는 표면과 기판 사이의 광로에 배열된 제2부분 광학계; 및 상기 제1부분 광학계의 상기 광속 스플리터와 상기 제2부분 광학계의 상기 제3렌즈 그룹 사이의 광로에 배열된 제4렌즈 그룹으로 이루어진 반사굴절 축소 투영 광학계로 이루어짐을 특징으로 하는 노광 장치.
  15. 제14항에 있어서, 상기 반사굴절 축소 투영 광학계에서 상기 제1렌즈 그룹이 마스크와 상기 광속 스플리터 사이의 광로에 배열되며, 제2렌즈 그룹이 상기 광속 스플리터를 향하는 오목면을 갖는 부의 렌즈 성분을 가짐을 특징으로 하는 장치.
  16. 제14항에 있어서, 상기 반사굴절 축소 투영 광학계에서 상기 제1렌즈 그룹이 마스크와 상기 광속 스플리터 사이의 광로에 배열되며, 여기에서, 상기 광속 스플린터에 가장 근접한 제1렌즈 그룹이 렌즈면이 상기 광속 스플리터에 대해 오목 형상을 가짐을 특징으로 하는 장치.
  17. 제14항에 있어서, 상기 반사굴절 축소 투영 광학계에서 상기 제4렌즈 그룹의 적어도 일부가 상기 광속 스플리터와 중간 영상이 상기 제1부분 광학계에 의해 형성되는 표면 사이의 광로에 배열됨을 특징으로 하는 장치.
  18. 제17항에 있어서, 상기 반사굴절 축소 투영 광학계에서 상기 전체 제4렌즈 그룹이 상기 광속 스플리터와 중간 영상이 형성되는 표면 사이의 광로에 배열됨을 특징으로 하는 장치.
  19. 제17항에 있어서, 중간 영상이 형성되는 표면이 상기 광속 스플리터에 가장 근접한 상기 제4렌즈 그룹의 렌즈면과 상기 제2부분 광학계에 가장 근접한 상기 제4렌즈 그룹의 렌즈면 사이에 형성됨을 특징으로 하는 장치.
  20. 제14항에 있어서, 상기 반사굴절 축소 투영 광학계가 다음 조건을 만족시킴을 특징으로 하는 장치 :
    －4.0＜βPI／β＜－2.5
    상기 식에서, β는 전체 축소 배율이며, βPI는 중간 영상의 횡배율이다.
  21. 제14항에 있어서, 상기 반사굴절 축소 투영 광학계가 다음 조건을 만족시킴을 특징으로 하는 장치 :
    －4.1＜βMI／β＜－2.8
    상기 식에서, β는 전체 축소 배율이며, BMI는 상기 오목 반사 거울의 횡배율이다.
  22. 제14항에 있어서, 상기 조명 광학계가 엑시머 레이져를 포함함을 특징으로 하는 장치,
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
KR1019960001951A 1995-01-30 1996-01-29 반사굴절 축소 투영 광학계 및 그를 사용하는 노광 장치 KR960029910A (ko)

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