KR920016867A - 빛의 반사와 굴절 축소렌즈 - Google Patents

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울리히 빌헬름
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Abstract

내용 없음

Description

빛의 반사와 굴절 축소렌즈
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제1도는 본 발명에 따른 빛의 반사와 굴절 축소렌즈의 제1실시예의 개략도, 제2도는 본 발명에 따른 빛의 반사와 굴절 축소렌즈의 제2실시예의 개략도, 제3도는 본 발명에 따른 빛의 반사와 굴절 축소렌즈의 제3실시예의 개략도.

Claims (11)

  1. 광학상의 축을 한정하고 물체면(0)에서 렌즈에 의하여 한정된 이미지면(27)까지 빛을 전달하기 위한 빛의 반사와 굴절 축소렌즈에 있어서, 상기 광학 축을 따라서 빛을 수용하고 전달하기 위한 제1의 렌즈군(100)과 ,상기 축을 따라서 상기 빛을 또한 전달하기 위한 상기 제1의 렌즈군의 하부에 배열된 제2의 렌즈군(200)과, 상기 축에 배열된 오목 거울(15)과, 상기 이미지면(27)내로 빛을 모으기 위한 제3의 렌즈군(400)과, 상기 제2의 렌즈군에서 상기 오목 거울까지 빛을 통과시키고 상기 오목 거울(15)에서 상기 제3의 렌즈군(400)내의 복귀하는 빛을 반사하기 위한 상기 오목 거울(15)과 상기 제2의 렌즈군 사이의 상기 축상에 장착된 빔 분사기(300)와 , 빛이 상기 오목 거울(15)을 통과하고 그리고 상기 오목 거울에서 복귀하는 출구/재 입구면(14,16)을 한정하는 상기 빔 분산기(300)와, 이들 사이에 명확하게 방해 받지 않는 렌즈가 없는 공간을 한정하는 결합된 상기 출구/재 입구면(14,16)과 상기 오목 거울(15)과, 축소비를 갖는 상기 오목거울(15)로 구성되는 빛의 반사와 굴절 축소렌즈.
  2. 제1항에 있어서, 상기 렌즈는 0.5이상의 이미지 측면 구경을 갖는 렌즈.
  3. 제1항에 있어서, 또한 상기 제3의 렌즈군(400)에서 미리 예정된 간격을 두고 상기 오목 거울(15)과 가까운 위치에 배치되는 조리개와 촛점길이를 갖는 상기 제3렌즈군(400)으로 구성되며, 상기 미리 예정된 간격은 대기중의 굴절율이 총 간격과 촛점 길이상에 주어지는 표준 조건에서 상기 촛점길이 보다 짧은 렌즈.
  4. 제1항에 있어서, 상기 빛은 레이저 빔이며 상기 레이저 빔은 자외선 영역 또는 짙은 자외선 영역에서의 파장으로 수정되는 렌즈.
  5. 제1항에 있어서, 상기 빔 분사기(300)가 정육면체 형상을 하는 렌즈.
  6. 제1항에 있어서, 상기 제1렌즈군과 제2렌즈군 사이에 배열된 평면형 접는 거울(M)로 구성되는 렌즈.
  7. 제1항에 있어서, 상기 렌즈군(100,200,400)과 상기 빔 분사기(300)가 모두 동일한 재료로 제조되는 렌즈.
  8. 제1항에 있어서, 상기 이미지면에 텔레센트릭되는 렌즈.
  9. 제1항에 있어서, 1:2∼1:10의 축소비를 갖는 렌즈.
  10. 제1항에 있어서, 상기 오목 거울이 0.55∼0.10 사이의 축소비를 갖는 렌즈.
  11. 렌즈가 제1항에 내지 제10항중의 어느 한 항에 따라서 구성되는 마이크로리쏘그래픽 돌출장치.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
KR1019920001831A 1991-02-08 1992-02-08 반사 굴절 축소 대물 렌즈 KR100288990B1 (ko)

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