KR980005327A - 반사굴절 축소 광학계 - Google Patents

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KR980005327A
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refractive
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optical
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야스히로 오무라
Original Assignee
고노 시게오
니콘 코포레이션
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    • G03F7/70225—Optical aspects of catadioptric systems, i.e. comprising reflective and refractive elements

Abstract

빔 스프릿터를 이용한 구성에 있어서, 결상성능의 저하나 광량손실 및 플레어 등의 미광의 발생을 회피할 수 있고, 자외선 파장역에서 쿼터 미크론 단위의 해상력을 갖는 반사굴절축소광학계를 제공코자 하는 것으로, 물체면으로부터의 발산광은, 물체면으로부터의 발산광을 거의 평행한 빛으로 변환하기 위한 제 1 광학계 S1, 광로변환을 위한 투과반사면을 갖는 빔 스플리트BS, 요면경M과 적어도 하나의 굴절력을 갖는 굴절소자를 가지며 추가로 전체적으로 거의 등배의 결상배율을 갖는 제 2 광학계S2, 빔 스플리터BS, 및 제 3 광학계S3을 거쳐서, 물체면의 축소상을 형성한다. 그리고, 소정의 조건식 (1) ∼ (3)을 만족한다.

Description

반사굴절 축소 광학계
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제1는 본 발명의 제1 실시예에 있어서의 반사굴절 축소 광학계의 렌지 구성을 개략적으로 나타낸 도이다.

Claims (9)

  1. 물체면으로부터의 발산광을 거의 평행한 빛으로 변환하기 위한 제 1 광학계S1, 광로변환을 위한 투과반사면을 갖는 빔 스플리터BS, 요면경(凹面鏡)M과 적어도 하나의 부(負)굴절력을 갖는 굴절소자와를 가지고 또한 전체로서는 거의 등배의 결상배율을 갖는 제 2 광학계S2및 제 3 광학계S3를 구비하는 것으로서, 상기 물체면으로부터의 발산광은, 상기 제 1 광학계S1을 거쳐서 거의 평행한 빛이 되고, 상기 빔 스플리터BS를 거쳐서 상기 제 2 광학계 S2에 입사하며, 상기 요면경M에 의해 반사되어, 상기 빔 스플리터BS에 거의 평행한 빛이 되어서 다시 입사하고, 상기 제 3 광학계S3을 거쳐서 상기 물체면의 축소상을 형성하며, 상기 요면경M의 결상배율을 βm으로 하고, 상기 제 2 광학계S2의 초점거리를 f2로 하며, 상기 제 3 광학계S3의 초점거리를 f3으로 하며, 상기 제 3 광학계S3의 결상배유를 β3으로 하였을 때,
    의 조건으로 만족하는 것을 특징으로 하는 반사굴절 축소 광학계.
  2. 제 1 항에 있어서, 상기 제 3 광학계 S3은, 개구 조리개AS를 구비하며, 상기 반사굴절 축소 광학계는 상측(傷惻)에 텔레센트릭(Telecentric)인 것을 특징으로 하는 반사굴절 축소 광학계.
  3. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서, 상기 빔 스플리터BS는 입사광의 편광상태에 대응하여 빛을 투과 또는 반사하는 투과반사면을 갖는 편광 빔 스플리터로서, 상기 편광 빔 스플리터BS및 상기 요면경M 사이의 광로중에는 1/4파장판이 설치되어, 상기 1/4파장판은, 상기 편광 빔 스플리터BS를 거쳐서 또는 상기 요면경M을 거쳐서 거의 평행한 빛이 입사하도록 배치되어 있는 것을 특징으로 하는 반사굴절 축소 광학계.
  4. 제 3 항에 있어서, 상기 제 3 광학계S3은, 입사광의 편광상태를 변환하기 위한 편광면 변환 광학요소를 갖고, 상기 편광면 변환 광학요소는 거의 평행인 빛이 입사하도록 배치되어 있는 것을 특징으로 하는 반사굴절 축소 광학계.
  5. 제 1 항 내지 제 4 항의 어느 하나의 항에 있어서, 상비 빔 스프리터BS는 프리즘형 빔 스플리터인 것을 특징으로 하는 반사굴절 축소 광학계.
  6. 제 1 항 내지 제 5 항의 어느 하나의 항에 있어서, 상기 제 1 광학계S1은 양(正)의 굴절력을 갖는 제 1 렌즈군G1, 적어도 2장의 음(負)렌즈를 포함하여 전체적으로 음(負)의 굴절력을 갖는 제 2 렌즈군G2 및 적어도 2장의 양(正) 렌즈를 포함하여 전체적으로는 양(正)의 굴절력을 갖는 제 3 렌즈군G3으로 구성되며, 상기 반사굴절 축소 광학계는 물체측에 텔레센트릭 광학계이고, 상기 제 3 광학계S3의 초점거리를 f3이라 하고, 상기 제 1 광학계S1중의 상기 제 2 렌즈군G2의 초점거리를 f12라고 하였을 때,
    1.2 ｜f3 / f12 ｜ 2.5
    의 조건을 만족하는 것을 특징으로 하는 반사굴절 축소 광학계.
  7. 제 1 항 내지 제 6 항의 어느 하나의 항에 있어서, 상기 물체면으로부터의 빛의 파장은 230nm이하인 것을 특징으로 하는 반사굴절 축소 광학계.
  8. 제 1 항 내지 제 7 항의 어느 하나의 항에 있어서, 상기 제 3 광학계S3은 적어도 두 개의 서로 다른 광학재료로 이루어진 굴절소자를 갖는 특징으로 하는 반사굴절 축소 광학계.
  9. 제 8 항에 있어서, 상기 제 3 광학계S3은 적어도 하나의 석영으로 이루어진 음(負)렌즈 및 적어도 세 개의 형석으로 이루어진 양(正)렌즈를 갖는 것을 특징으로 하는 반사굴절 축소 광학계.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
KR1019970021293A 1996-06-14 1997-05-28 반사굴절 축소 광학계 KR980005327A (ko)

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