KR980005328A - 반사굴절 광학계 - Google Patents

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KR980005328A
KR980005328A KR1019970021294A KR19970021294A KR980005328A KR 980005328 A KR980005328 A KR 980005328A KR 1019970021294 A KR1019970021294 A KR 1019970021294A KR 19970021294 A KR19970021294 A KR 19970021294A KR 980005328 A KR980005328 A KR 980005328A
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imaging
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야스히로 오무라
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고노 시게오
니콘 코포레이션
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Abstract

상측(傷惻)에 있어 충분히 큰 개구수 및 작동거리를 갖고, 자외선 파장영역에서 쿼터 미크론 단위의 해상도를 갖는 소형 반사굴절 광학계를 제공코자 하는 것으로, 물체면으로부터의 빛에 의거하여 물체면의 중간상을 형성하기 위한 제 1 결상광학계S1과, 상기 중간상으로부터 빛에 의거하여 물체면의 축소상을 형성하기 위한 제 2 결상광학계S2와, 중간상이 형성되는 위치의 근방에 배치되어 상기 제 1 결광학계S1을 거친 빛을 상기 제 2 결상광학계S2를 향해서 편향하기 위한 제 1 광로편향부재M1과를 구비하고 있다. 제 1 결상광학계S1은 요면(凹面)반사경CM을 갖고, 물체면으로부터의 빛은 상기 요면반사경CM에서 반사된 후에, 상기 제 1 결상광학계S1의 광로중에 중간상을 형성하고, 조건식(1) 및 (2)를 만족한다.

Description

반사굴절 광학계
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제1도는 본 발명의 제1 실시예에 있어서 반사굴절 광학계의 렌즈 구성을 개략적으로 나타내는 도면이다.

Claims (7)

  1. 물체면으로부터의 빛에 의거하여 상기 물체면의 중간상을 형성하기 위한 제 1 결상광학계S1과, 상기 중간상으로부터의 빛에 의거하여 상기 물체면의 축소상을 형성하기 위한 제 2 결상광학계S2와, 상기 중간상이 형성되는 위치의 근방에 배치되어 상기 제 1 결상광학계을 거친 빛을 상기 제 1 결상광학계S2를 향해서 편향하기 위한 제 1 광로편향부재M1를 구비하고, 상기 제 1 결상광학계S1은 요면(凹面)반사경CM을 갖고, 상기 물체면으로부터의 빛은 상기 요면반사경CM에서 반사된 후에 , 상기 제 1 결상광학계S1의 광로중에 상기 중간상을 형성하고, 상기 제 1 광로편향부재M1은, 상기 제 1 결상광학계S1의 광로중에 배치된 평면반사경을 가지며, 상기 제 1 결상광학계S1의 결상배율을 β1으로 하고, 상기 제 1 결상광학계S1의 광축과 상기 제 2 결상광학계S2의 광축과의 교점과 상기 물체면과의 사이의 축상거리를 L1으로 하며, 상기 물체면과 상기 요면반사경CM과의 사이의 축상거리를 LM으로 하였을 때.
    0.75 〈 ｜β1 ｜ 〈 0.95
    0.13 〈 L1 / LM 〈 0.35
    의 조건을 만족하는 것을 특징으로 하는 반사굴절 광학계
  2. 제 1 항에 있어서, 상기 제 1 결상광학계S1은, 물체측으로부터 순서대로, 제 1 렌즈군G1과 제 2 렌즈군G2와, 상기 요면반사경CM과를 갖고, 상기 물체면으로부터의 빛은, 상기 제 1 렌즈군G1 및 상기 제 2 렌즈군G2를 거쳐 상기 요면반사경CM에서 반사된 후에, 상기 제 1 렌즈군G1과 상기 제 2 렌즈군G2와의 사이의 광로중에 상기 중간상을 형서하는 것을 특징으로 하는 반사굴절 광학계.
  3. 제 2 항에 있어서, 상기 제 2 렌즈군G2는 적어도 2개의 서로 다른 부굴절력(負屈折力)을 갖는 굴절소자와, 적어도 2개의 서로 다른 정(正)굴절력을 갖는 굴절소자를 가지는 것을 특징으로 하는 반사굴절 광학계.
  4. 제 2 항 또는 제 3 항에 있어서, 상기 제 1 렌즈군G1은 적오도 세 개의 서로 다른 굴절력을 갖는 굴절소자를 갖는 것을 특징으로 하는 반사굴절 광학계.
  5. 제 1 항 내지 제 4 항의 어느 하나의 항에 있어서, 상기 제 2 결상광학계S2는, 물체측으로부터 순서대로, 전체로서는 정(正)의 굴절력을 갖는 제 3 렌즈군G3과,그 제 3렌즈군을 거친 빛을 편향하기 위한 제 2 광로 편향부재 M2와 및 전체로서 정(正)의 굴절력을 갖는 제 4 렌즈군G4를 가지며, 상기 중간상으로부터의 빛은, 상기 제 3 렌즈군G3, 상기 제 2 광로편향부재M2 및 상기 제 4 렌즈군G4를 거쳐서 상기 물체면의 축소상을 형성하는 것을 특징으로 하는 반사굴절 광학계.
  6. 제 1 항 내지 제 5 항의 어느 하나의 항에 있어서, 상기 반사굴절 광학계를 구성하는 굴절소자는 석영 및 형석중 적어도 어느 한쪽의 광학재료로 형성된 것을 특징으로 하는 반사굴절 광학계.
  7. 제 2 항 내지 제 6 항의 어느 하나의 항에 있어서, 상기 제 2 렌즈군G2는 적어도 하나의 형석으로 이루어진 정(正) 렌즈를 갖고, 상기 제 2 렌즈군G2중의 형석으로 이루어진 정(正) 렌즈의 굴절력의 총합을øc로 하고, 상기 요면반사경CM의 굴절력을 øm으로 하였을 때.
    0.5 〈 ｜øc / øm ｜ 〈 1.6
    의 조건을 만족하는 것을 특징으로 하는 반사굴절 광학계.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
KR1019970021294A 1996-06-20 1997-05-28 반사굴절 광학계 KR980005328A (ko)

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