JP4532647B2 - 露光装置 - Google Patents
露光装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP4532647B2 JP4532647B2 JP2000046323A JP2000046323A JP4532647B2 JP 4532647 B2 JP4532647 B2 JP 4532647B2 JP 2000046323 A JP2000046323 A JP 2000046323A JP 2000046323 A JP2000046323 A JP 2000046323A JP 4532647 B2 JP4532647 B2 JP 4532647B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- optical system
- aberration
- lens
- projection optical
- exposure apparatus
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B17/00—Systems with reflecting surfaces, with or without refracting elements
- G02B17/08—Catadioptric systems
- G02B17/0892—Catadioptric systems specially adapted for the UV
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B17/00—Systems with reflecting surfaces, with or without refracting elements
- G02B17/008—Systems specially adapted to form image relays or chained systems
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B17/00—Systems with reflecting surfaces, with or without refracting elements
- G02B17/08—Catadioptric systems
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B17/00—Systems with reflecting surfaces, with or without refracting elements
- G02B17/08—Catadioptric systems
- G02B17/0804—Catadioptric systems using two curved mirrors
- G02B17/0812—Catadioptric systems using two curved mirrors off-axis or unobscured systems in which all of the mirrors share a common axis of rotational symmetry
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B27/00—Optical systems or apparatus not provided for by any of the groups G02B1/00 - G02B26/00, G02B30/00
- G02B27/0025—Optical systems or apparatus not provided for by any of the groups G02B1/00 - G02B26/00, G02B30/00 for optical correction, e.g. distorsion, aberration
-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
- G03F7/70—Microphotolithographic exposure; Apparatus therefor
- G03F7/70216—Mask projection systems
- G03F7/70225—Optical aspects of catadioptric systems, i.e. comprising reflective and refractive elements
-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
- G03F7/70—Microphotolithographic exposure; Apparatus therefor
- G03F7/70216—Mask projection systems
- G03F7/70258—Projection system adjustments, e.g. adjustments during exposure or alignment during assembly of projection system
-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
- G03F7/70—Microphotolithographic exposure; Apparatus therefor
- G03F7/70216—Mask projection systems
- G03F7/70308—Optical correction elements, filters or phase plates for manipulating imaging light, e.g. intensity, wavelength, polarisation, phase or image shift
Description
【発明が属する技術分野】
本発明は露光装置に関し、特に、光源に紫外線原を用いた投影光学系に反射屈折型の光学系を用いた投影露光装置に関する。
【0002】
【従来の技術】
マスク上のパターンをウエハ上に露光する露光装置はより高解像化が望まれるようになり、そのために短波長の光源、たとえば波長248nmのKrFエキシマレーザを用いた露光装置が開発されるようになっている。そして、波長193nmのArFエキシマレーザや、波長157nmのF2 レーザによって更に短波長化が進められている。
【0003】
投影光学系は、一般に屈折光学系や反射屈折型の光学系が用いられている。しかし、短波長の光源では使用できるガラスの種類が限定されるため、色収差の補正が難しくなりがちである。一方、反射屈折光学系は色収差の除去に関して効果的であり、この点でメリットが大きい。反射屈折型光学系にも数種のタイプがある。キューブ型のビームスプリッターを用いたタイプは、たとえば特開平6−300973号公報に開示されておりいる。又、中間像を形成するタイプは、たとえば特開平10−10431号公報に開示されている。
【0004】
図6に示すように、特開平6−300973号公報に開示された「反射屈折縮小光学系」は高い開口数を有する半導体のフォトグラフィー製造に用いる反射屈折縮小光学系であって、レチクル面100からの光線は、順次、第1のレンズ群、偏向鏡20、第2のレンズ群、ビームスプリッタキューブ30、4分の1波長板32を通過し、凹面鏡34で反射される。そして、この反射光は、再びビームスプリッタキューブ30を通り、第3のレンズ群を通過してウエハ面50上に収束される。高次の収差を更に低減するためには、凹面鏡34は非球面とされる。
【0005】
又、図7に示すように、特開平10−10431号公報に開示された「反射屈折光学系」は、像側において十分大きな開口数及び作動距離を有し、紫外領域でクオーターミクロン単位の解像度を有する小型の反射屈折光学系であって、物体面からの光は第1結像光学系S1の凹面反射鏡CMで反射された後、第1結像光学系S1の光路中に中間像を形成する。この中間像は、第1光路変更部材M1を介して第2結像光学系S2によってウエハ面上に結像される。第1結像光学系S1の結像倍率を0.75から0.95の間とすることによって、第1光路偏向部材M1による光路偏向を可能とするとともに、光学系の像側の開口数NAを大きくしている。更に、L1/LMの値を0.13から00.35の間(第1結像光学系S1の光軸と第2結像光学系S2の光軸との交点と物体面との間の軸上距離L1:物体面と凹面鏡CMとの間の軸上距離:LM)とすることによって、光学系の像側の作動距離を確保するとともに、コマ収差及び歪曲収差を良好に補正している。
【0006】
又、図8は、公知の反射屈折型投影光学系(特開平10−20195号公報の実施例1)を示したものである。
【0007】
【発明が解決しようとする課題】
しかし、ArFエキシマレーザやF2 レーザになるとガラスによる光の吸収が今まで以上に大きくなり、このため露光時の熱収差発生量が従来よりも大きくなる。
【0008】
また、気圧の変化や照明条件によっても、収差が変化する。
【0009】
これらを補正するために、物体面に近い部分のレンズを移動させてもよいが、レンズ移動に対する収差の変化を大きくする必要があるために移動距離を大きくすると、移動させるレンズの機械的な位置精度が悪くなり、従って、対象する収差を小さくできない。
【0010】
また、NA(開口数)が小さい場合には、倍率と歪曲とを補正した後の球面収差や非点収差や像面湾曲などの対称性収差の残存量は小さいが、たとえば、球面収差や非点収差や像面湾曲などの対称性収差の残存量は波面収差表示でそれぞれNAの4乗と2乗に比例して増えるため、高NAの場合に無視できない量になる。今後、半導体素子の微細化がすすむにつれてNAは大きくなるため、NAの累乗で増大化する対称性収差を小さくすることは最重要課題の1つである。
【0011】
そこで、本発明は、対称性収差を小さくできる光学系や露光装置を提供することを課題としている。
【0012】
【課題を解決するための手段】
本発明は、反射屈折型の投影光学系を備える露光装置において、前記投影光学系は、該投影光学系の往復光路部分に配置された光学素子を有し、該光学素子を前記投影光学系の光軸方向に移動する駆動装置と、前記光学素子を移動させることによって前記投影光学系の対称性収差を補正するように前記駆動装置を制御する制御装置と、を備えたことを特徴とする。
【0022】
【発明の実施の形態】
以下、図面を参照して本発明の実施の形態について説明する。
【0023】
[実施形態1]
図1は、本発明の露光装置に用いる像面側NAが0.65以上の反射屈折型縮小投影光学系であってビームスプリッタを備えたものの光路図である。1はマスク、2はウエハ、LG1〜LG3はそれぞれ第1〜第3レンズ群、MR1は凹面鏡、BSはキューブ型のビームスプリッタである。本発明の露光装置は、LSI等の半導体チップ、液晶パネル、CCD、磁気ヘッドなどの各種デバイスを製造するプロセスで用いられ、この装置によりウエハを露光し、露光されたウエハが現像されることになる。
【0024】
第1レンズ群LG1と第3レンズ群LG3は光線が1回のみ通過し、第2レンズ群LG2は光線が(往復するため)2回通過するレンズ群である。
【0025】
また、3は第2レンズ群LG2の中の光軸方向に移動可能なレンズ、4はレンズ3を光軸方向に移動させるための駆動装置、5は装置4を制御してレンズ3の移動を制御するための制御装置、6は収差計測装置である。
【0026】
マスク1から出射した光線は第1レンズ群LG1を通過し、ビームスプリッタBSを透過し、第2レンズ群LG2を通過後、凹面鏡MR1に到達して反射される。
【0027】
凹面鏡MR1で反射された光線は、第2レンズ群LG2を再度通過後、ビームスプリッタBSに入射し、反射されて90度方向を変えて出射し、第3レンズ群LG3を通過後、ウエハ2上に収束して、像を形成する。
【0028】
露光が開始されると、露光光の一部がレンズ材料又はミラー材料に吸収され、レンズ材料又はミラー材料の温度が上昇する。この温度上昇によってレンズ材料又はミラー材料は膨張し面形状と面間隔は微小であるが変化する。また、レンズ材料は、屈折率の絶対値が変化するとともに屈折率分布も変化する。これらの変化によって、フォーカス位置が変化するが若干の収差も発生するため、そのままではフォーカスを合わせても像性能が若干劣化する。
【0029】
また、気圧の変化や照明条件が変わっても、収差が発生するため像性能が変化する。
【0030】
そこで、制御装置5が、露光量や露光時間やその他の露光条件からレンズ3の移動量に相当する駆動量を決定し、駆動装置4を動作させる。それによってレンズ3が所定量だけ光軸方向に移動し、発生した対称性収差が補正される。制御装置5はこのようなオープンループの制御を行うだけでなく、公知の収差計測装置6からの収差情報を得てその収差を補正するようにレンズ3を移動させるクローズドループ制御を行うことも可能である。
【0031】
このようにレンズ3を移動させることによって、対称性収差を効果的に補正することができる。
【0032】
図2は、図1における凹面ミラーMR1の近傍における収差の発生状況を説明するための図である。説明が簡単なため、凹面ミラーMR1で光路を展開して表示している。
【0033】
実際の光線は、レンズ3を通過し、凹面ミラーMR1で反射したあと、光線が逆向きに進みレンズ3を再度通過するのであるが、ここでは展開図で示したのでミラーで反射後も光線は右に進み、ミラーMR1に対してレンズ3と対称なレンズ3′を通過するように表示している。7は周辺(マージナル)光線、8は主光線である。
【0034】
凹面ミラーMR1は、開口絞りの位置と等価な位置(光学的に共役な位置を含む)にある。
【0035】
レンズ3,3′は開口絞りに対して対称であるから、レンズ3,3′で発生する、コマ収差、歪曲収差などの非対称性収差は、異符号で合計されるので互いにキャンセルされて、非常に小さな量になる。
【0036】
一方、球面収差、非点収差、像面湾曲などの対称性収差はレンズ3,3′で発生するものが同符号で合計されるので、レンズ1枚のみの場合(光線が1回のみ通過する場合)に比べて大きくなる。凹面ミラーMR1とレンズ3,3′が近接している場合には、レンズ1枚のみの場合の約2倍になる。
【0037】
結局、レンズ3,3′で大きく発生する収差は、対称性収差のみであり、非対称性収差は小さい。
【0038】
従って、レンズ3,3′と凹面ミラーMR1の間隔を(対称的に)変えた場合も、大きく変わる収差は対称性収差のみであり、非対称性収差の変動は殆どない。
【0039】
このように、凹面鏡の近くの、光線が2回通過するレンズ部分を移動させると、非対称性収差に影響を与えずに対称性収差のみを大きく変化させることが可能となる。
【0040】
従って、対称性収差を、この収差に寄与するレンズ3のような光学素子を、たとえば光軸方向に移動させることによって、効果的に補正することができる。
【0041】
[実施形態2]
図3は、ビームスプリッタの代わりに折り曲げミラーを備えた像面側NAが0.65以上の反射屈折型縮小投影光学系の光路図である。1はマスク、2はウエハ、LG1〜LG3はそれぞれ第1〜第3レンズ群、MR1は凹面鏡、MR2は折り曲げミラーである。
【0042】
第1レンズ群LG1と第3レンズ群LG3は光線が1回のみ通過し、第2レンズ群LG2は光線が(往復するため)2回通過するレンズ群である。
【0043】
また、3は第2レンズ群LG2の中の光軸方向に移動可能なレンズ、4はレンズ3を移動させるための駆動装置、5は装置4を制御してレンズ3の移動を制御するための制御装置である。
【0044】
マスク1から出射した光線は第1レンズ群LG1を通過し、第2レンズ群LG2を通過後、凹面鏡MR1に到達して反射される。
【0045】
凹面鏡MR1で反射された光線は、第2レンズ群LG2を再度通過後、中間像を形成するが、中間像近傍に配置された折り曲げミラーMR2によって反射されて90度方向を変え、第3レンズ群LG3を通過後、ウエハ2上に収束して、像を形成する。
【0046】
この場合も露光が開始されると、露光光の一部がレンズ材料又はミラー材料に吸収され、レンズ材料又はミラー材料の温度が上昇することにより熱による若干の収差も発生するため、そのままではフォーカスを合わせても像性能が若干劣化する。
【0047】
また、気圧の変化や照明条件が変わっても、像性能が変化する。
【0048】
そのため、制御装置5が、露光量や露光時間や照明条件やその他の露光条件や気圧などから駆動量を決定し、駆動装置4を動作させる。それによって対称性収差に寄与している光学素子であるレンズ3が所定量だけ光軸方向に移動し、発生した対称性収差を補正する。制御装置5はこのようなオープンループの制御を行うだけでなく、不図示の収差計測装置からの収差情報を得てその収差を補正するようにレンズ3を移動させるクローズドループ制御を行うことも可能である。
【0049】
実施形態1と同じ理由により、非対称性収差の影響を与えずに、対称性収差のみを効率よく補正することができる。
【0050】
[実施形態3]
図4は、ビームスプリッタを持たない別のタイプの等倍の反射屈折型投影光学系の光路図である。1はマスク、2はウエハ、LG1〜LG3はそれぞれ第1〜第3レンズ群、MR1は凹面鏡、MR3は凸面鏡である。
【0051】
第1レンズ群LG1と第3レンズ群LG3は光線が1回のみ通過し、第2レンズ群LG2は光線が(往復するため)2回通過するレンズ群である。
【0052】
また、3は第2レンズ群LG2の中の光軸方向に移動可能なレンズ、4はレンズ3を移動させるための駆動装置、5は装置4を制御してレンズ3の移動を制御するための制御装置である。
【0053】
本実施形態では第2レンズ群LG2はレンズ3のみである。また、レンズ群LG1及びLG3は平行平面板を含んでいてもよく、平行平面板のみから構成されていてもよいものとする。
【0054】
同図において、マスク1から出射した光線は第1レンズ群LG1を通過し、凹面鏡MR1で反射され、第2レンズ群LG2を構成するレンズ3を通過後、凸面鏡MR3で反射される。光線は再びレンズ3を通過後、凹面鏡MR1で反射され、レンズ群LG3を通過し、ウエハ2上に収束して、像を形成する。
【0055】
この場合も、制御装置5が、露光量や露光時間や照明条件等の露光条件や気圧などから駆動量を決定し、駆動装置4を動作させる。それによって収差に寄与する光学素子であるレンズ3が所定量だけ光軸方向に移動し、発生した対称性収差を補正する。制御装置5はこのようなオープンループの制御を行うだけでなく、不図示の収差計測装置からの収差情報を得てその収差を補正するようにレンズ3を移動させるクローズドループ制御を行うことも可能である。実施形態1と同じ理由により、対称性収差のみを効率よく補正することができる。
【0056】
以上、3つのタイプの投影光学系に本発明を適用した場合について述べたが、これら以外のタイプの反射屈折型光学系にも同様に本発明を適用することができる。
【0057】
また、説明の簡単のため、1つのレンズの移動で説明したが、往復光路部分の複数のレンズを移動してもよい。
【0058】
また、対称性収差と非対称性収差の両方を補正したい場合には、対称性収差の補正用としては光が2回通過するレンズ(収差に寄与する光学素子)を、非対称性収差の補正用としては光が1回通過するレンズ(収差に寄与する光学素子)を選び、各々のレンズを移動させることにより、対称性収差と非対称性収差の両方を効率良く補正することができる。
【0059】
このことについて、次の実施形態で説明する。
【0060】
[実施形態4]
図5は、図1の光学系に更に、非対称性収差を補正する手段を加えた光学系の光路図である。9は第1レンズ群LG1の中の光軸方向に移動可能なレンズ、10はレンズ9を移動させるための駆動装置である。また、制御装置5は、駆動装置4と10の両方を制御することができる。
【0061】
本実施形態では、露光による温度上昇や、気圧変化や照明条件の変化などによって発生する収差について、対称性収差(球面収差、非点収差、像面湾曲)と非対称性収差(コマ収差、歪曲)の双方を補正する。
【0062】
これらの原因などで収差が生じている場合、先ず第1レンズ群LG1の中のレンズ9を光軸方向に移動させることによって、非対称性収差を補正する。
【0063】
光学系のNAが大きい場合には、レンズ9の移動により対称性収差が若干変化する。次に第2レンズ群LG2の中のレンズ3を光軸方向に移動させることによって、非対称性収差を殆ど変えずに対称性収差を補正することができる。以上の手順によって、本実施形態では、非対称性収差と対称性収差の双方を、補正する。このような双方の収差を補正する技術は実施形態2,3の光学系にも適用できる。
【0064】
尚、以上の説明では、非対称性収差の補正を先に行い、対称性収差の補正を後に行うような手順を説明したが、逆の順番で補正してもよく、また、非対称性収差の補正と対称性収差の補正を交互に繰り返して補正の精度を高めるような手順を用いてもよい。
【0065】
次に、本発明の反射屈折型投影光学系を図8に示す従来例に適用する一例を示す。図8は、公知の反射屈折型投影光学系(特開平10−20195号公報の実施例1)を示したものであり、この光学系で往復光路中の凹面鏡近傍のレンズを光軸方向に移動させた場合の収差の変化量について説明する。
【0066】
凹面鏡MR1の隣の往復光路中の凹レンズ2枚(LMで示した)を同時に光軸方向に(凹面鏡の方向に)1μmだけ移動させた場合の収差量を表1に示した。
【0067】
【表1】
この例の場合には、球面収差が大きく変わるのでレンズ系LMを球面収差の調整に使うことになる。同時にコマ収差(波面収差非対称成分)や結像点の位置ずれ(倍率変化や歪曲収差変化によるもの)も若干変化する。
【0068】
従って、本発明をこの実施例に適用する際には、図示の往復光路中のレンズ系LMだけではなく、片道光路中のいくつかのレンズも同時に光軸方向に動かすことにより、変化する倍率と歪曲収差とコマ収差を補正することになる。
【0069】
以上説明した各実施形態によれば、光が2度通過する往復光路部分のレンズを光軸方向に移動させて、対称性収差を補正する方法を用いることにより、片道光路部分のレンズの移動に比べて対称性収差の変化が大きいので、補正可能な収差の範囲を大きくすることができ、また、同じ量の収差を補正する場合には、より小さいストロークでより早い時間で補正を行うことができるという効果がある。
【0070】
また、非対称性収差を殆ど変えずに、対称性収差のみを変化させることもできるで、収差の制御が容易であるという効果がある。
【0071】
また、硝材やミラーでの吸収が大きい場合に本発明の効果が大きくなるので、ArFレーザやF2 レーザを光源とする光学系などで効果が大きい。
【0072】
また、NAが0.65以上と大きい場合に、熱や気圧変化や照明条件変化による収差の変化が大きくなるので、NAが大きい光学系で本発明の効果が大きい。
【0073】
【発明の効果】
以上、本発明によれば、光学系の対称性収差を効果的に調整、補正できる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の露光装置に用いる反射屈折型光学系の光路図
【図2】反射屈折光学系の収差を説明する光路図
【図3】折り曲げミラーを備えた反射屈折光学系の光路図
【図4】ビームスプリッタを持たない別のタイプの反射屈折光学系の光路図
【図5】非対称収差を補正する手段を備えた反射屈折光学系の光路図
【図6】ビームスプリッタを備えた従来の反射屈折光学系の光路図
【図7】中間像を形成させる従来の反射屈折光学系の光路図
【図8】特開平10−20195号公報に開示された反射光学系の光路図
【符号の説明】
1 マスク
2 ウエハ
3,9 光軸方向に移動可能なレンズ
4,10 レンズを移動させるための駆動装置
5 レンズ移動を制御するための制御装置
6 収差計測装置
LG1 第1レンズ群
LG2 第2レンズ群
LG3 第3レンズ群
MR1 凹面鏡
MR2 折り曲げミラー
MR3 凸面鏡
BS キューブ型のビームスプリッタ
Claims (6)
- 反射屈折型の投影光学系を備える露光装置において、前記投影光学系は、該投影光学系の往復光路部分に配置された光学素子を有し、該光学素子を前記投影光学系の光軸方向に移動する駆動装置と、前記光学素子を移動させることによって前記投影光学系の対称性収差を補正するように前記駆動装置を制御する制御装置と、を備えたことを特徴とする露光装置。
- 更に、前記投影光学系の収差を計測する収差計測装置を備え、前記制御装置は前記収差計測装置からの収差情報に応じて前記光学素子を移動させるクローズドループ制御を行うことを特徴とする請求項1記載の露光装置。
- 前記投影光学系は、前記光学素子から出射した光を反射する凹面鏡を有し、該凹面鏡で反射した光が再度前記光学素子に入射することを特徴とする請求項1又は2に記載の露光装置。
- 前記投影光学系は、該投影光学系の片道光路部分に配置された更なる光学素子を有し、
前記露光装置は、前記更なる光学素子を前記投影光学系の光軸方向に移動する更なる駆動装置を備え、前記制御装置は前記更なる光学素子を移動させることによって前記投影光学系の非対称性収差を補正するように前記更なる駆動装置を制御することを特徴とする請求項1乃至3のいずれか一項に記載の露光装置。 - 更に、ArFレーザ又はF 2 レーザから成る光源を備えたことを特徴とする請求項1乃至4のいずれか一項に記載の露光装置。
- 請求項1乃至5のいずれか一項に記載の露光装置を使用して、デバイスパターンでウエハを露光し、露光された該ウエハを現像することを特徴とするデバイス製造方法。
Priority Applications (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2000046323A JP4532647B2 (ja) | 2000-02-23 | 2000-02-23 | 露光装置 |
EP01301632A EP1128218A3 (en) | 2000-02-23 | 2001-02-22 | Projection exposure apparatus |
US09/790,865 US6707532B2 (en) | 2000-02-23 | 2001-02-23 | Projection exposure apparatus |
US10/764,530 US7038761B2 (en) | 2000-02-23 | 2004-01-27 | Projection exposure apparatus |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2000046323A JP4532647B2 (ja) | 2000-02-23 | 2000-02-23 | 露光装置 |
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2001237165A JP2001237165A (ja) | 2001-08-31 |
JP2001237165A5 JP2001237165A5 (ja) | 2007-03-29 |
JP4532647B2 true JP4532647B2 (ja) | 2010-08-25 |
Family
ID=18568757
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2000046323A Expired - Fee Related JP4532647B2 (ja) | 2000-02-23 | 2000-02-23 | 露光装置 |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
US (2) | US6707532B2 (ja) |
EP (1) | EP1128218A3 (ja) |
JP (1) | JP4532647B2 (ja) |
Families Citing this family (22)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP4532647B2 (ja) * | 2000-02-23 | 2010-08-25 | キヤノン株式会社 | 露光装置 |
TW575904B (en) * | 2001-08-21 | 2004-02-11 | Asml Us Inc | Optical projection for microlithography |
US7136220B2 (en) * | 2001-08-21 | 2006-11-14 | Carl Zeiss Smt Ag | Catadioptric reduction lens |
DE10146499B4 (de) * | 2001-09-21 | 2006-11-09 | Carl Zeiss Smt Ag | Verfahren zur Optimierung der Abbildungseigenschaften von mindestens zwei optischen Elementen sowie Verfahren zur Optimierung der Abbildungseigenschaften von mindestens drei optischen Elementen |
US6757110B2 (en) | 2002-05-29 | 2004-06-29 | Asml Holding N.V. | Catadioptric lithography system and method with reticle stage orthogonal to wafer stage |
JP2004158786A (ja) * | 2002-11-08 | 2004-06-03 | Canon Inc | 投影光学系及び露光装置 |
US7869121B2 (en) * | 2003-02-21 | 2011-01-11 | Kla-Tencor Technologies Corporation | Small ultra-high NA catadioptric objective using aspheric surfaces |
JP2004281697A (ja) * | 2003-03-14 | 2004-10-07 | Canon Inc | 露光装置及び収差補正方法 |
WO2005119369A1 (en) * | 2004-06-04 | 2005-12-15 | Carl Zeiss Smt Ag | Projection system with compensation of intensity variatons and compensation element therefor |
JP4980922B2 (ja) * | 2004-11-18 | 2012-07-18 | カール・ツァイス・エスエムティー・ゲーエムベーハー | マイクロリソグラフィ投影露光装置及びマイクロリソグラフィ投影露光装置の像面湾曲を修正するための方法 |
KR100674959B1 (ko) | 2005-02-23 | 2007-01-26 | 삼성전자주식회사 | 비축상 프로젝션 광학계 및 이를 적용한 극자외선 리소그래피 장치 |
US20060238732A1 (en) * | 2005-04-21 | 2006-10-26 | Mercado Romeo I | High-NA unit-magnification projection optical system having a beamsplitter |
WO2007017089A1 (en) | 2005-07-25 | 2007-02-15 | Carl Zeiss Smt Ag | Projection objective of a microlithographic projection exposure apparatus |
US7605914B2 (en) | 2005-09-29 | 2009-10-20 | Carl Zeiss Smt Ag | Optical system and method for improving imaging properties thereof |
WO2008040494A1 (en) * | 2006-10-02 | 2008-04-10 | Carl Zeiss Smt Ag | Method for improving the imaging properties of an optical system, and such an optical system |
US9409255B1 (en) | 2011-01-04 | 2016-08-09 | Nlight, Inc. | High power laser imaging systems |
US10095016B2 (en) | 2011-01-04 | 2018-10-09 | Nlight, Inc. | High power laser system |
US9429742B1 (en) * | 2011-01-04 | 2016-08-30 | Nlight, Inc. | High power laser imaging systems |
JP5787662B2 (ja) * | 2011-08-04 | 2015-09-30 | キヤノン株式会社 | 結像光学系、および、画像投射装置 |
US9720244B1 (en) | 2011-09-30 | 2017-08-01 | Nlight, Inc. | Intensity distribution management system and method in pixel imaging |
US9310248B2 (en) | 2013-03-14 | 2016-04-12 | Nlight, Inc. | Active monitoring of multi-laser systems |
US9709810B2 (en) | 2014-02-05 | 2017-07-18 | Nlight, Inc. | Single-emitter line beam system |
Family Cites Families (15)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5311362A (en) * | 1989-04-20 | 1994-05-10 | Nikon Corporation | Projection exposure apparatus |
JP3085481B2 (ja) * | 1991-09-28 | 2000-09-11 | 株式会社ニコン | 反射屈折縮小投影光学系、及び該光学系を備えた露光装置 |
JP3243818B2 (ja) * | 1992-02-14 | 2002-01-07 | 株式会社ニコン | 投影露光装置及び方法、並びに素子製造方法 |
JP2750062B2 (ja) | 1992-12-14 | 1998-05-13 | キヤノン株式会社 | 反射屈折型光学系及び該光学系を備える投影露光装置 |
US5537260A (en) * | 1993-01-26 | 1996-07-16 | Svg Lithography Systems, Inc. | Catadioptric optical reduction system with high numerical aperture |
US5729331A (en) * | 1993-06-30 | 1998-03-17 | Nikon Corporation | Exposure apparatus, optical projection apparatus and a method for adjusting the optical projection apparatus |
JPH1010431A (ja) * | 1996-06-20 | 1998-01-16 | Nikon Corp | 反射屈折光学系 |
JPH1020197A (ja) * | 1996-06-28 | 1998-01-23 | Nikon Corp | 反射屈折光学系及びその調整方法 |
JPH1020195A (ja) | 1996-06-28 | 1998-01-23 | Nikon Corp | 反射屈折光学系 |
EP1039509A4 (en) * | 1997-04-18 | 2005-01-12 | Nikon Corp | ALIGNER, EXPOSURE METHOD USING THE SAME, AND METHOD OF MANUFACTURING CIRCUIT DEVICE |
JP4182304B2 (ja) * | 1998-05-18 | 2008-11-19 | 株式会社ニコン | 走査型投影露光装置及び該露光装置に好適な投影光学系 |
DE19824030A1 (de) * | 1998-05-29 | 1999-12-02 | Zeiss Carl Fa | Katadioptrisches Projektionsobjektiv mit adaptivem Spiegel und Projektionsbelichtungsverfahren |
JP2000021765A (ja) * | 1998-07-03 | 2000-01-21 | Nikon Corp | 照明装置及びそれを用いた投影露光装置 |
JP2001060546A (ja) * | 1999-08-20 | 2001-03-06 | Nikon Corp | 露光方法及び露光装置 |
JP4532647B2 (ja) * | 2000-02-23 | 2010-08-25 | キヤノン株式会社 | 露光装置 |
-
2000
- 2000-02-23 JP JP2000046323A patent/JP4532647B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
2001
- 2001-02-22 EP EP01301632A patent/EP1128218A3/en not_active Withdrawn
- 2001-02-23 US US09/790,865 patent/US6707532B2/en not_active Expired - Fee Related
-
2004
- 2004-01-27 US US10/764,530 patent/US7038761B2/en not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US20020012107A1 (en) | 2002-01-31 |
JP2001237165A (ja) | 2001-08-31 |
US20040189962A1 (en) | 2004-09-30 |
US6707532B2 (en) | 2004-03-16 |
EP1128218A2 (en) | 2001-08-29 |
US7038761B2 (en) | 2006-05-02 |
EP1128218A3 (en) | 2003-10-08 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4532647B2 (ja) | 露光装置 | |
US5861997A (en) | Catadioptric reduction projection optical system and exposure apparatus having the same | |
JP4717974B2 (ja) | 反射屈折光学系及び該光学系を備える投影露光装置 | |
US6913373B2 (en) | Optical illumination device, exposure device and exposure method | |
US20040130806A1 (en) | Catadioptric system and exposure device having this system | |
JP2001185480A (ja) | 投影光学系及び該光学系を備える投影露光装置 | |
JP3925576B2 (ja) | 投影光学系、該光学系を備えた露光装置、及び該装置を用いたデバイスの製造方法 | |
KR101100125B1 (ko) | 투영 광학계, 노광 장치 및 노광 방법 | |
USRE38438E1 (en) | Catadioptric reduction projection optical system and exposure apparatus having the same | |
JP2005140999A (ja) | 光学系、光学系の調整方法、露光装置、および露光方法 | |
US20090027768A1 (en) | Catadioptric imaging system, exposure apparatus, and device manufacturing method | |
EP1548803A1 (en) | Optical integrator, illumination optical device, exposure apparatus, and exposure method | |
US7283294B2 (en) | Catadioptric projection optical system, exposure apparatus having the same, device fabrication method | |
JP2002208551A (ja) | 反射屈折光学系及び投影露光装置 | |
US6947121B2 (en) | Projection optical system, a projection exposure apparatus provided with the same, as well as a device manufacturing method | |
JP2005340605A (ja) | 露光装置およびその調整方法 | |
JPWO2007114024A1 (ja) | 投影光学系、露光装置、およびデバイス製造方法 | |
JP2001337463A (ja) | 露光装置、露光装置の製造方法、およびマイクロデバイスの製造方法 | |
US20120015306A1 (en) | Illumination optical system, exposure apparatus, and device manufacturing method | |
JP2006086141A (ja) | 投影光学系、露光装置、および露光方法 | |
JP2002040327A (ja) | 波面分割型のオプティカルインテグレータおよび該オプティカルインテグレータを備えた照明光学装置 | |
JP4811623B2 (ja) | 投影光学系および該投影光学系を備えた露光装置 | |
JP4826755B2 (ja) | 露光装置、露光装置の調整方法、およびデバイスの製造方法 | |
JP2004266259A (ja) | 照明光学装置、露光装置および露光方法 | |
JP4707924B2 (ja) | 投影光学系、露光装置、及びマイクロデバイスの製造方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20070213 |
|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20070213 |
|
RD01 | Notification of change of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7421 Effective date: 20090324 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20090902 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20090908 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20091106 |
|
RD04 | Notification of resignation of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7424 Effective date: 20100201 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20100525 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20100611 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130618 Year of fee payment: 3 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |