KR960001786A - 조광 시스템 - Google Patents

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Abstract

광학 시스템용 조광 시스템, 특히, 동기도(σ)의 변형이 가능한 줌 렌즈(2)와 간격 조절이 가능한 두개의 액시콘(22, 23)을 포함하는 마이크로리소그래픽 프로젝션 노광 시스템이 제공되었다. 상기 간격은 제로까지 줄어들 수 있다. 이는 낮은 광손실을 제공하며, 종래의 조광 시스템의 동기도(σ)를 가변시키고 상호 다른 기하구조를 갖는 멀티플 조광 또는 링 형상의 다이아프램을 제공한다.

Description

조광 시스템
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제1도는 본 발명 조광 시스템의 바람직한 실시예를 설명하는 략도,
제2a도는 액시콘간의 거리가 제로인 상태에서, 제1도에 포함된 줌-액시콘 렌즈를 도시한 단면도,
제2b도는 제2a도와 동일하나 액시콘이 분리되어 있는 상태에서의 단면도,
제4a도는 또다른 실시예를 설명하는 개략도,
제4c도는 또다른 실시예를 설명하는 개략도,
제4d도는 또다른 실시예를 설명하는 개략도.

Claims (17)

  1. 줌 렌즈(2)가 제공되어 동기도(σ)를 변화시키며, 두 개의 액시콘(22, 23)이 상기 줌 렌즈(2)내에 집적되며 상기 액시콘간의 간격은 조절가능함을 특징으로 하는, 두 개의 액시콘(22, 23)을 갖춘 광학 시스템, 특히, 마이크로그래픽 프로젝션 노광 시스템요의 조광 시스템.
  2. 제1항에 있어서, 실행가능하고 광학적으로 타당한, 상기 액시콘(22, 23)은 동일한 꼭지각(σ)을 가짐을 특징으로 하는 조광 시스템.
  3. 제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 액시콘(22, 23)간의 거리(d23)는 상기 액시콘이 접촉할 때까지 줄어들수 있음을 특징으로 하는 조광 시스템.
  4. 제1항 내지 제3항 중의 하나 이상의 항에 있어서, 상기 액시콘(22, 23)은 원추형임을 특징으로 하는 조광 시스템.
  5. 제1항 내지 제3항 중의 하나 이상의 항에 있어서, 상기 액시콘(22, 23)은 피라미드 형상을 가짐을 특징으로 하는 조광 시스템
  6. 제1항 내지 제5항 중의 하나 이상의 항에 있어서, 하나 이상의 상기 액시콘(22, 23)의 제2경계면(221, 232)은 만곡되어 있음을 특징으로 하는 조광 시스템.
  7. 제1항 내지 제6항 중의 하나 이상의 항에 있어서, 상기 액시콘(22, 23)은 조준된 빔내에 위치하지 않음을 특징으로 하는 조광 시스템.
  8. 제1항 내지 제7항 중의 하나 이상의 항에 있어서, 종래의 조광 및 상이한 기하학적 구조를 갖는 멀티폴조광 또는 링 형상의 다이아프래은 상기 두개의 액시콘(22, 23) 사이의 간격(d23) 또는 하나 이상의 줌 소자(24)의 위치를 변화시킴으로서 연속적으로 조절됨을 특징으로 하는 조광 시스템.
  9. 제1항 내지 제8항 중의 하나 이상의 항에 있어서, 상기 조광 시스템은 광선 안티그레이트로서의 유리봉(5)을 포함함을 특징으로 하는 조광 시스템.
  10. 제9항에 있어서, 마스킹 시스템(51)이 상기 유리봉(5)의 출력 단부면에 위치함을 특징으로 하는 조광 시스템.
  11. 제1항 내지 제10항 중의 하나 이상의 항에 있어서, 애퍼츄어(13)가 램프 거울(12)의 초점(121) 외부에 위치하며 제2광원을 포함함을 특징으로 하는 조광 시스템.
  12. 제1항 내지 제11항 중의 하나 이상의 항에 있어서, 상기 광선 인티그레이터(5) 뒤에는 빔 형성용의 스탑 또는 다이아프램이 전혀 위치하지 않음을 특징으로 하는 조광 시스템.
  13. 제8항을 포함하며, 제1항 내지 제12항 중의 하나 이상의 항에 있어서, 상기 조절 절차는 프로그램에 의하여 제어되며 컴퓨터에 의하여 수행됨을 특징으로 하는 조광 시스템.
  14. 제1항 내지 제13항 중의 하나 이상의 항에 있어서, 상기 줌 렌즈의 두개 소자(2121, 2120;240)는 대체 가능함을 특징으로 하는 조광 시스템.
  15. 제14항에 있어서, 하나의 대체 가능한 소자(2121, 2120)는 인접하는 고정 소자(2112, 2113)의 면(2113)과 거의 동일한 면(2121)을 가지며, 상기 양면(2113, 2121)은 상호 접촉할 때까지 서로 이동됨을 특징으로 하는 조광 시스템.
  16. 제15항에 있어서, 상기 대체 가능한 소자(2121;2120)와 고정 소자(2112, 2113)는 동일한 굴절율 n을 가지는 유리로 이루어짐을 특징으로 하는 조광 시스템.
  17. 제14항 내지 제16항 중의 하나 이상의 항에 있어서, 동기도(σ)가 작은 경우에, 상기 두개의 대체 가능한 소자(2121, 2120;240)는 상기 두개의 액시콘(220, 230)으로부터 멀리 떨어져 위치하며, 동기도(σ)가 큰 경우에 있어서는 상기 액시콘에 근접함을 특징으로 하는 조광 시스템.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
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