TW298629B - - Google Patents

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A7 __ B7 五、發明説明（/ > 用於光學系統之照明系統 本發明係有關於一種用於光學系統之照明系統，特別係 指一種顯微膠片投影曝光系統，其包括兩組同軸透鏡組。 由W.N.巴特羅等人所發表之，’光學/雷射微膠技術VI， SPIE卷I927，使這種系統成爲一種衆所周知之系統。這種 系統提供一道聚合光束路徑，其中兩套同軸透鏡組係放置在 兩套透鏡組間，該等透鏡組係放置在光源及光線集光器間， 其中之一組同軸透鏡組爲凹透鏡，另一組則爲凸透鏡，二者 同時顯現出一道平面第二鏡面。爲了能讓不同的環形薄膜都 能達到最佳化之照明，同軸透鏡組間之距離可以降到零，這 表示傳統之照明系統也是可行的。 由ΕΡ 0 W4 264 Α1，這種稱爲錐面鏡-一同軸透鏡組-可 以用做晶原步進器，以產生環形之薄膜照明，或金字塔型之 菱鏡(圖7及圖8)，以產生多重照明。在此，使用兩套同軸透 鏡組(圖Π，I9)係衆所週知的；但是，兩套同軸透鏡組則由 其他的光學組件所分隔。錐形或金字形之表面都是凸面鏡》 JP 5/251 3〇8 Α所揭露之凹透-錐形組件，也同時可以應 用在這個範圍。 經濟部中央橾準局貝工消费合作社印製 EP 0 346 S44 A1揭露了使用一對凸透-錐形透鏡元件， 該写件之頂點部分別指向相反之方向，進而將光束分叉開 來，以在超解析度的情況下，達到點映像。 US 5 208 629揭露出使用菱形或錐形同軸透鏡組之使用-同時具有凸透-凹透之形狀-以在晶原步進器上達到低損失 本纸張尺度逋用中••家梯率（CNS ) A4规格（210X297公釐） 83.3.10,000 經濟部中央標準局負工消費合作社印裝 A7 B7 五、發明説明（2 ) 之對稱性偏斜照明(多重照明）。這套系統的特徵在於並無聚 焦功能。 可改變聚像角度之變焦系統匕被用在晶原階梯之照明系 統，其包括蠅眼集光器，該集光器係自1987年由荷蘭之 ASM_LQ司開始採用。 美國5 237 367號專利揭露出在晶原階梯器之照明系統上 使用變焦鏡頭，以達到聚像角度之無損失調整’以做爲傳 統式之照明系統。 美國專利第5 245 384號揭露出在晶原階梯器之照明系統 上，使用一種AFOCAL變焦系統，以達到聚像角度C在低損 失之修正作業。未提供同軸透鏡組。 美國專利5 357 312號揭露出一種用於顯微攝影曝光裝 置中之照明系統，其包括一對同軸透鏡組’以消除中央之黑 點，該黑點通常係由一般型之放電燈泡所造成，其包括一對 可調整之同軸透鏡組，以達到環形薄膜之最佳調整；一變焦 系統，可改變照明光束之直徑至一使用之薄膜，以做爲第二 光源，以及一蠅眼集光器，做爲一種固定在薄膜前之光源集 光器。所有這些組件都係以串接方式，依序排列而成’使得 每兩個組件間之平行光束變得極爲必要。 對於在照明光束路徑使用光線導桿玻璃之投射曝光系 統，ΕΡ 0 297 161 Α1揭露出一種可變密度之濾光器’可以 安裝在玻璃桿後方使用。這只濾光器很明顯地是用來改善照 明之均匀性，而不是降低光度。 2 « ----------赛------ST------^ (請先聞嗍势面之注·意事項U4..寫本瓦) ..... ( 本紙張尺度適用中國國家橾準（CNS ) Α4说格（210X297公着） 298629 A7 __ B7 五、發明説明（3 ) 由於科技不斷地進步，因此也愈來愈接近顯微結之光學 投影之解析度極限，於是所使用之照明必需予以最佳化，以 因應每一個個別圖案之結構，即，必需能夠調整最佳化之環 形薄膜或四極照明或其他型式之照明。 本發明之目的即在於提供一種特別靈活，可調整之照明 系統，該系統可以利用調整組件，而可進行不同模式之照 明，同時無需改變組件，並且效率非常地高。在此同時，可 以得到一種非常精簡的設計。 本發明之目的係由一種廣泛性之照明系統來達成，其包 括兩套同軸透鏡組，共同組合成一具變焦透鏡組，同時該等 透鏡組間之距離是可以調整的。 本發明照明系統在光束橫截面形狀之靈活性，則可以根 據申請專利範圍第2項及第3項來予以最佳化，其係利用具有 相同頂角度之同軸透鏡組，同時降低同軸透鏡組間之距離， 直到二同軸透鏡組接觸爲止來完成前述之靈活性。特別傳統 照明之邊界殼體於是便可以實現。 經濟部中央標準局貝工消費合作社印製 如果同軸透鏡組爲凸透鏡，則該等設計則最適合環形薄 膜照明。如果使用金字塔型之同軸透鏡組，則可將多重柱體 照明達到最佳化之水平。 如果根據申請專利範圍第6項及第7項之第二道邊界表面 具有一種鏡面效果，則可以將變焦鏡頭之設計更爲精簡，更 爲單純，這點是非常有利的。 f 本紙張尺度逋用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） A7 B7 五、發明説明（午） 申請專利範圍第8項揭露出根據本發照明系統之特殊優 點，其在於傳統式，環形薄膜照明或多重柱體照明之可變調 整，可以在更寬廣的範圍內進行。
I 根據申請專利範圍第8項及第9項，係包括一作用爲光線 集光器之玻璃桿設置在根據本發明之照明系統內，其中該玻 璃桿之輸出端配置有一光罩系統。在十字網線處直接設置有 一·h字網線光罩系統，特別係當該系統係可調整的，會造成 ~種問題，或是在十字光罩系統處使用一套獨立之中間影像 系統便不再需要。在此同時，設計之工作量低了，但是整體 仍維持在高品質之水平。 訂 在燈鏡焦聚外設置一快門(同時也爲一種光圈)爲本發明之 一般性措施，其目的在於使照明之均一性更均匀。在組合本 發明之其他特徵，這項設計被證明是非常成功的。 線 經濟部中央標準局男工消費合作社印装 本發明以上描述之照明系統可以進行各種設定，以配合 不同之照明系統，完全無需使用到任何薄膜，這些薄膜是用 來成型源於光線集光器之光束形狀，這些薄膜必需是可以調 整的或更相互更換的，以達到各種不同模式之照明。整套成 形程序可藉由調整變焦同軸透鏡組來完成，使得整套系統非 常適合使用程式化之電腦來控制。個別照明模式之品質可以 藉由增加變焦/同軸透鏡組模組之精密度’而達到明顯之增 強。 當然，也可以設置阻光器，來抑制光線之散射’同時也 可以在光束之路徑上設置阻光器，這對整套系統也是非常有 利的。 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） A7 --------- 五、發明説明（5 ) 申請專利範圍第14項所揭露之措施可以使透鏡組設計可· 以在將變焦效果與同軸透鏡組之相互配合上，得到更多之自 由度。對於更大之(T，即更大之照明區域，則光線之密度可 以利用更小或更大之半徑來達成，使得照明更爲均一。 Λ 在此，如果所加入之額外變焦元件能夠與其相鄰之透鏡 組相互接近，直到與該透鏡組接觸，這是非常有利的，特別 當透鏡組之折射率都相同時，這效果最佳。 根據申請專利範圍第17項，小聚像角度0*可以在將兩套 可移動之同軸透鏡組固定在相互距離很遠之位置處來達成； 而大聚像角度σ則可以藉由將這些透鏡組靠的非常近來達 成。 本發明將配合圖示做詳細地說明。 圖1爲根據本發明較佳實施例之示意圖； 圖2a爲圖1所示變焦_同軸透鏡組之剖視圖，其中兩個透 鏡組間之距離爲零； 圖2b爲與圖2a相同之圖示，但其中之同軸透鏡組係分開 來的； 經濟部中央標準局負工消费合作社印簟 圖3爲揭露出根據圖2a及2b在不同變焦透鏡組在瞳仁中間 平面處，光度與半徑係呈函數關係，以及同軸透鏡組間之設 計； 圖4a爲另一實施例之圖示說明； 圖4b爲另一實施例之圖示說明； 圖4c爲另一·實施例之圖不說明； 圖4d爲另一實施例之圖示說明； 本紙张尺度適用中囷國家揉準（CNS ) Α4规格（210Χ297公釐） A7 ______B7 五、發明説明（么） 圖5揭露出根據本發明製造之一套變焦-同軸透鏡組之實施 例，其內包括有一照明系統，其中同軸透鏡組間之距離爲 零，同時變焦件所在之位置，係最低照明位置； 圖6爲與圖5相同之圖示，其中變焦元件所在位置，係最 大照明位置；以及 圖7爲揭露出根據圖5及6在不同變焦透鏡組在瞳仁中間平 面處，光度與半徑係呈函數關係，以及同軸透鏡組間之設 計。 圖1揭露出根據本發明用於微膠片投影之照明系統一實施 例，其中之解析度達到1微米分之一，以便於製造積體電 路。 訂 照明燈(1)-係水銀短弧燈，係用於i-線條，其波長爲365 極微米，其係固定在橢圓鏡(12)之焦點上，該橢圓鏡聚集發 射在第二焦點(121)之光線。 線 經濟部中央標準局貝工消費合作社印裝 不同於標準結構，快門（13)(同時亦爲光圈)係位在焦點 (121)之外，其中快門距離橢圓鏡（12)之頂點約爲5%至 2〇%，最好爲10%，該距離較焦點(121)距離橢圓鏡頂點之距 離爲長。這種設計可以確保所形成之第二光源變得更爲均 匀，並使在光影像照明上之聚像效果得到改善。這樣便不需 要一套個別之混合系統，通常該混合系統可以達到這個目 的。這種程序對於傳統式之i照明系統是非常適合的。 接下來之物鏡(2)包括一第一透鏡組(21)，凹透式同軸透 鏡組(22)，凸透式，第二同軸透鏡組(23)以及第二(24)透鏡 組。固定裝置(231)及(241)可以令其中之一同軸透鏡組(23) 本紙张尺度14财關家樣牟（CNS >八4胁（210X297公兼） 238629 A7 B7 五、發明説明（7 ) 及第二透鏡組中之一元件進行軸向移動。如此之設計，非但 使得同軸透鏡組(22，23)間之距離可以調整，改變環形薄膜 之特性，同時也可以達到變焦之效果，以改變照明瞳仁之直 徑，即聚像角度σ。 在瞳仁中間平面(3)之後，設置有第二物鏡(4)，該物鏡之 目的在於將光線導入玻璃桿(5)內，玻璃桿之長度爲〇·5公 尺。玻璃桿(5)之輸出端則爲中間場平面，其包括有一光罩系 統(51)，以取代傳統之REMA(十字網線-光罩)系統。該額外 之中間場平面通常係REMA系統所必需，該系統所包括之複 雜透鏡元件組則不再需要。 接下來之物鏡(6)則成像在中間場平面上，該平面包括光 罩系統(51)設置在十字網線(7)(光罩，微膠曝光圖案），同時 包括第一透鏡組(61)，一瞳仁中間平面(62)，在該處設置有 濾光器或阻光器，一第二及第三透鏡組(63及65)，同時在該 等透鏡組間，設置有一偏光鏡(64)，該偏光鏡可使大型照明 系統(大約3公尺長)之水平安裝變得可行，同時可以進行十字 網線之水平安裝（7)。 在照明系統所有的實施例中，共通之組件則爲物鏡(2)， 其中之一實施例揭露在圖2a中，表1則說明該透鏡組之相關 數據。 第一透鏡組(21)包括兩個元件，其具有鏡面(211，212 ; 215，216)，以及兩塊平面鏡，其具有鏡面(213，214 ; 2Π，218)，這些鏡面可以做爲濾光器。
裝 訂 線 本紙張尺度適用中國國家橾隼（CNS)M说格（210X297公釐） I 經濟部中央標準局貝工消費合作社印«. A7 __B7_ 五、發明説明（8 ) 兩套同軸透鏡組(22，23)具有相同之錐角β，因此彼此 可以移動靠近，直到完全接觸爲止’如圖2a所示。在此位 置，同軸透鏡組之錐面(222，31)不再發生影響，兩套同軸 透鏡組僅爲一單一透鏡元件，因爲它們的第二邊界鏡面 (221，232)是弧形的。這套透鏡元件之重要性在於對物鏡(2) 之修正，即當通過同軸透鏡組(22，23)之光束路徑不是相互 平行的。元件(24)可以進行軸向之位移，同時使這種設計成 爲一種傳統設計之變焦透鏡組。這種設計使得在瞳仁平面(3) 上具有可變瞳仁直徑之傳統照明系統可以實施，即具有一可 變聚像因子〇*，其範圍最好在〇·3至〇·8之間。當然，其目的 在於調整兩套同軸透鏡組(22，23)間之距離，並且要使用到 定位裝置(231)。 圖2b所示之實施例，是與圖2a所示之實施例完全相同。 第二透鏡組(24)可以當成一套雙凹透鏡元件，其具有兩道 鏡面(241，242)來實施。快門（U)及瞳仁平面(3)同時揭露 在圖2a內。 圖3則揭露光線之光度曲線⑴是r/l在瞳仁平面上之函 數，以反應同軸透鏡組(23)及元件(24)在不同位置時之關 係。曲線A係根據圖2a所揭露之位置而得到的，曲線B則係 由圖2b開始之位置求得的，即元件(24)朝著同軸透鏡組(23) 之方向移動。曲線C則表示同軸透鏡組(22，23)位在圖2b之 位置。距離¢123(222-231)-即介於同軸透鏡組(22，23)間之 距離-確定環形薄膜照明之明晰度，該照明包括一中央，黑色 之碟影。當距離d23增加時’碟影也增大。距離d24(242·3) 背- 面 I- 事 項 Λ 裝 訂 線 卜紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（21〇Χ297公釐） A7 五、發明説明（if 則決定變焦效果，即在瞳仁平面(3)上出現照明點之整體直 徑。環形薄膜照明提供了高效率，因爲薄膜之形成無需使用 到阻光器。在軸上仍然出現一(小)黑影，這種情況甚至在同 軸透鏡組(22，23)完全密合時仍然會出現。這種現象通常是 使用照明燈（1)及凹透鏡（I2)所致。這個效果被精密地考量 過，因爲它能提供空間以便於安裝輔助系統。如有需要，黑 點可以使用即知之裝置來排除，例如在物鏡(2)之前方安裝一 固定式同軸透鏡組，參見美國專利5 357 3 12。 多重柱照明(對稱，偏斜照明)可以利用在照明系統之瞳仁 平面(3)上設置多孔式光圈或在同等級之平面上設置多孔光圏 來達成，利用這種光圈轉換，例如，即可由環形光束轉換生 成四道光束。 如果將同軸透鏡組(22，23)賦予不同之形狀，即可以得 到特殊之照明幾何；例如，同軸透鏡組可以爲金字塔形或四 方基底形，以利四柱形照明。 根據本發明所做之其他型式照明系統，則分別揭露在圖 4a及圖4b中。與圖1內相同之組件，則採用相同之數字來表 7J\ ° 圖4a揭露出另一種實施例，其中圖1所揭露之玻璃桿(5) 則由蠅眼集光器(50)所取代。蠅眼集光器之使用可以降低整 體設計之長度。但是，在此情況下，則無法實施以上所揭露 之REMA系統之各項選用配備。物鏡(6)係由兩套透鏡組 (66，65)，並包括一設置在其間之偏光鏡(64)(簡單以圖示說 明直線之光學軸線）。 背- 項 裝 訂 線 經濟部中央標準局貝工消費合作社印¾ 卜紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（2丨0X297公釐） 五、發明説明（b) 與圖4a之比較下，圖仆揭露出—另外之玻璃桿（I5)，其 型式則如圖1所揭露之玻璃桿(5)相同，該玻璃桿係設置在快 門（13)及變焦同軸透鏡組(2)間。這種設計使得蠅眼集光器 (5〇)瞳仁平面上之照明均勻性更形提高。圖中所示之變焦-同 軸透鏡組(2)配置了更多的鏡片元件，故其長度變得更長。 圖4c則揭露出根據圖1所示之設計，但是配置有一玻璃桿 (I5)及圖仆所示較長之變焦-同軸透鏡組(2)。 圖揭露出根據本發明照明系統之另一實施例，其中光 源係使用雷射光束(10)所取代。該光源最好爲激發式雷射光 束，同時光線之波長爲深UV範圍。雷射光束(10)之形狀爲標 準狹窄矩形。所使用之光束成型裝置(14)，即根據DE 41 24 311 A1，可以賦予雷射光束（1〇)更佳的形狀，基本上爲方 型，以降低聚像之形成。快門（13)之後方則設置了修正過之 變焦-同軸透鏡組(2')，該透鏡組在此處之功效爲光束放大望 遠鏡。本發明使用漫射碟片或散射元件(8)來做爲第二光源， 以進一步地降低所伴隨之聚像現象，如圖4a及4b所示，其方 式爲適當地變更蠅眼集光器（50)及物鏡(6)以及十字網線 (7)。同時也可以將雷射光源與圖1及圖4c所揭露之玻璃桿結 合起來。 與圖2a相同的是，圖5揭露出根據本發明實施照明系統之 另一實施例之剖視圖。鏡片係固定在快門之鏡面（130)間， 以做爲第二光源及瞳仁平面(3〇)，同時包括第一透鏡組 (210)，一對同軸透鏡組(220，23〇)以及變焦元件(240)，即 與圖2a所揭露者相同。但是，第一透鏡組(2〗〇)則提供第二 請 先 驳 -ik 背 意. 事 項 Λ 訂 經濟部中央標準局貝工消費合作社印製 本紙張尺度逋用中國國家橾準（CNS ) A4規格（210X297公釐） A7 B7 經濟部中央橾準局貝工消費合作社印裝 五、發明説明（I / ) 變焦元件，其包括鏡面(2U1，212〇)，如圖所示之所在之調 整位置，則完全座合在元件之鏡面(2113)上，該元件係固定 在前方。在可實施及光學相關之情況下，所提供之鏡面 (2113，2121)之曲率半徑都完全相同。此外，這兩組相關之 透鏡組係由相同之玻璃所構成，同時折射率η也相同。因 此，在圖所示之調整位置，鏡面(2113，2121)及同軸透鏡組 ( 2 2 0,2 30)之錐面(2220，23 10)則無光學功率。這個調整位 置適合應用在傳統之照明上，因爲其提供小聚合角度(Τ，即 在瞳仁中間平面(30)上之小照明區域。環形薄膜照明則可以 藉由移動同軸透鏡組(220，230)朝向相反之方向來達成，即 如圖2b所示。 圖6則揭露出達到大聚像因子σ之調整位置，其與圖5所 示之實施例相同。圖中所示之變焦元件(24〇)已經向右移動 以靠近同軸透鏡組(230)，而在此同時，具有鏡面(2!21 ’ 2120)之第二變焦元件則遠離透鏡元件鏡面(2"3)，並且靠 近第一透鏡組(210)最後一元件之鏡面(2〗5〇)。 表2則揭露了根據圖5及圖6所示物鏡所有元件之半徑’距 離與玻璃之材質。平面鏡(217〇，21S0)則是做爲濾光器組 件。 本實施例與圖2a及2b所示之實施例有很大的不同’其中 第—元件之第二鏡面(2111)之顯著曲率會導致更緊之周緣光 束。 一一 在寬廣之照明模式，第二（2Π2，21Π)及第三元件 (2121，2120)間之距離d210係最大之可能距離。該距離 11 請 背 事 項ΪΑ 裝 訂 線 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（2丨0><297公釐） A7 ___B7_ 五、發明説明（/2 ) 請 d210配合第二元件(2112，2Π3)之正反射功率會造成光束 之偏移，該光束係源於場緣朝向照明場(30)之邊緣’並在該 區域形成更高之照明光度。此外，場區光束之偏移改善照明 場(30)中心之照明。如果在光線以小角度進入側（I30)並未出 現光度（由放電燈以電極在光軸線上配合一拋物線鏡面照 明），則圖2a，2b所示之四元件參考系統，則僅能將場(30) 照亮至最低之程度。 装 同軸透鏡組效果可以產生環形薄膜照明。環形之寬度則 可由pancratic調整來達成；與該調整無關的是，環形之 置，可以藉由移動同軸透鏡組元件(230)來達成。 訂 如果最大之同軸透鏡組效果結合pancratic調整，即可以 得到最小之環形寬度，則即可以得到圖7所示之照明光度C曲 線。 曲線B可適用於根據圖6所進行調整位置，曲線A則爲根 據圖5進行之調整位置。在與圖3之比較下，曲線顯示出在中 心及周緣之照明得到了顯著的改善。 線 經濟部中央標準局貝工消費合作社印製 以上所揭露之實施例僅爲各種可行實施例中之代表。本 發明所揭露之照明系統絕不僅限於投影微膠片曝光系統。根 據本發明進行較簡單之實施例也是可行的，例如，可做爲顯 微鏡之可變照明系統，或圖案確認系統之照明系統。 12 本紙張尺度適用中固國家縣（CNS ) Α4«Μ«· ( 2丨0X 297公釐> 五、發明説明（/3 A7 B7 表1波長爲360極微米 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 編號 雜 厚度 玻璃趨式 13 平面 10.20 211 •199.5 87.40 石音 212 -92.4 45.20 213 平面 4.35 214 平面 46.54 215 393.8 29.00 FK5 216 -302.9 2.25 217 屮圆 5.00 FK5 218 屮囬 2 15 221 135.3 8.00 FK5 222 錐形 0.00 PJ® 231 錐面 42.00 FK5 232 739.1 26.53 241 -183.0 9.40 FK5 242 170.3 26.38 可變 3 平囬 度α: 對於222及231而言，爲63度 表2 編號 厚度 玻璃趨式 130 平面 35.0 2110 -48 24.3 石音 2111 -40.1 0.6 2112 -94.4 14.6 FK5(Schott) 2113 -56.6 0.2-130.5(d210) 2121 -56.0 37.4 FK5 2120 -101.5 130.4-0.2 2150 578.8 21.8 FK5 2160 -254.8 2.1 2170 平面 2.2 2180 平面 2.1 2210 154 8.0 FK5 2220 錐形 可變 2310 錐形 46.0 FK5 2320 -2512 143.1-0.2 2410 -2512 9.1 FK5 2420 128.6 23.1-166(d240) 30 平面 請 先.讀 背 之 注 意* 事 項本 頁 錐面角度π對於2220及2310而言，爲62度 13 本紙張尺度適用中國國家橾隼（CNS ) Α4規格（210X297公釐）

Claims (1)

  1. r· A8 B8 C8 D8
    經濟部中央標準局員工消費合作社印製 六、申請專利範圍 1. 一種用於光學糸統之照明系統•特別係指一種顯微膠片投影曝光糸統， 其具有兩組同軸透鏡組(axicons) (22,23)，其特徵在於使用一變焦透鏡 (2)以配合聚合角度σ之變化*同時該等透鏡組(22,23)係整合在該變焦 透鏡組(2)中，該等透鏡組間之距離係可以調整的。 2. 根據申請專利範圍第1項之照明糸統，其特徵在於同軸透鏡組(22,23)具 有相同之頂角（〇0 ，其中該角度是可行的*也是與光學有關的。 3. 根據申請專利範圍第1項之照明系統，其特徵在於兩組同軸透鏡組(22, 23)間之距離(d23)可以縮小，直到二者接觸。 4. 根據申請專利範圍第1項之照明系統，其特徵在於該同軸透鏡(22,23)組 為凸透鏡。 5. 根據申請專利範圍第1項之照明系統，其特徵在於該同軸透鏡(22,23)之 形狀為金字塔型。 6. 根據申請專利範圍第1項之照明糸統*其特徵在於至少一同軸透鏡(22, 23)之第二邊鏡面(221, 232)為弧面。 7. 根據申請專利範圍第1項之照明系統，其特徵在於該等同軸透鏡(22,23) 並不位在同平行之光束上。 8. 根據申請專利範圍第1項之照明糸統，其特徵在於傳統照明及環形薄膜 照明或不合幾何之多重柱照明可以用改變同軸透鏡組(22,23)間之距離 (d23)變化或至少一變焦元件(24)之位置，來做連續地調整。 -1- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS > A4規格（210X297公釐) --]L----^ I裝-- (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂 線 A8 B8 C8 D8々、申請專利範圍 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 9.根據申請專利範圍第1項之照明系統*該照明糸統具有一玻璃桿(5)，K 做為光線集光器。 10. 根據申請專利範圍第9項之照明系統，其特徵在於該玻璃桿(5)，之輸出 端面處，設置有一光罩糸統(51)。 11. 根據申請專利範圍第1項之照明系統，該照明系統具有一光圈（13)係落 在燈鏡(12)焦聚(121)之外側*同時構成第二光源< 12. 根據申請專利範圍第9項之照明系統，其特徵在於光線集光器之後，並 未設置一阻光器或膜片•來進行光束整形。 13. 根據申請專利範圍第1項之照明系統*其中包括第8項，其特徵在於調 整步驟係使用程式控制，同時該程式係由電腦所執行。 14. 根據申請專利範圍第1項之照明糸統*該照明系統之變焦鏡頭有兩組元 件(2121，2120; 240)係可以位移的。 15. 根據申請專利範圍第14項之照明系統，其特徵在於一可位移元件(2121, 2120)具有一表面(2121)，該表面之半徑幾乎與一固定元件(2112,2113) 之鄰近表面(2113)相同，同時該等平面(2Π3, 2121)可以朝向對方移動 ，直到彼此接觸為止。 16. 根據申請專利範圍第15項之照明系統，其特徵在於一可位移元件(2121， 2120)及一固定元件(2112, 2113)係由玻璃所構成，同時二者具有相同 之折射率η。 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 丨裝· 訂 線 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公嫠） 々、申請專利範圍 17.根據申請專利範圍第14項之照明系統，其特徵在於小聚合角度（σ) 時，該等可位移元件(2121, 2120; 240)係固定在遠離該等同軸透鏡組 (220, 230)之位置處，而在大聚合角度（σ)時，則靠近該同軸透鏡 組。 -----„----- 1^-- (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) -訂 經濟部中央標準局員工消費合作社印I 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210 X 297公釐〉
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