JP2914035B2 - 輪帯光束形成方法および照明光学装置 - Google Patents
輪帯光束形成方法および照明光学装置Info
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- JP2914035B2 JP2914035B2 JP4237930A JP23793092A JP2914035B2 JP 2914035 B2 JP2914035 B2 JP 2914035B2 JP 4237930 A JP4237930 A JP 4237930A JP 23793092 A JP23793092 A JP 23793092A JP 2914035 B2 JP2914035 B2 JP 2914035B2
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- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
- G03F7/70—Microphotolithographic exposure; Apparatus therefor
- G03F7/70058—Mask illumination systems
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明はＬＳＩ等の半導体素子を
製造する際に用いられるマスクパターンの投影露光装置
の輪帯光束形成方法および照明光学装置に関する。
製造する際に用いられるマスクパターンの投影露光装置
の輪帯光束形成方法および照明光学装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、半導体素子製造に用いられるマス
クパターンの投影露光装置における照明光学装置は、図
８に示すように、水銀ランプあるいはエキシマレーザを
光源５１とし、光源５１よりの光束５２をレンズ５３で
適当な大きさの光束にコリーメートし、微小レンズアレ
イより構成されるオプティカルインテグレータ４２で光
量分布を均一にするとともに複数の点光源を２次光源と
して照明レンズ４４でマスク４５を照明する。このよう
な例として特公平４−１３６８６がある。
クパターンの投影露光装置における照明光学装置は、図
８に示すように、水銀ランプあるいはエキシマレーザを
光源５１とし、光源５１よりの光束５２をレンズ５３で
適当な大きさの光束にコリーメートし、微小レンズアレ
イより構成されるオプティカルインテグレータ４２で光
量分布を均一にするとともに複数の点光源を２次光源と
して照明レンズ４４でマスク４５を照明する。このよう
な例として特公平４−１３６８６がある。
【０００３】照明されたマスクは結像レンズによりウエ
ハー面上に投影される。この照明方式は、オプティカル
インテグレータ４２の焦点位置にできた二次光源の像
を、結像レンズの入射瞳につくるケーラー照明になって
おり、結像レンズの入射瞳にできる二次光源像の形状を
変えると結像性能が向上することが知られている。
ハー面上に投影される。この照明方式は、オプティカル
インテグレータ４２の焦点位置にできた二次光源の像
を、結像レンズの入射瞳につくるケーラー照明になって
おり、結像レンズの入射瞳にできる二次光源像の形状を
変えると結像性能が向上することが知られている。
【０００４】図８に示す従来例の照明光学装置におい
て、輪帯照明光を得るためには、レンズ５３の前後のあ
るいはオプティカルインテグレータ４２の前後に輪帯状
の遮光板を挿入していた。
て、輪帯照明光を得るためには、レンズ５３の前後のあ
るいはオプティカルインテグレータ４２の前後に輪帯状
の遮光板を挿入していた。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】上述した従来の照明光
学装置は、図８に示すように輪帯照明光を得るためには
レンズ５３の前後あるいはオプティカルインテグレータ
４２の前後に輪帯状の遮光板を挿入する構造となってい
るので、輪帯光束以外の光束がカットされるため、光量
損失が多いという問題点がある。
学装置は、図８に示すように輪帯照明光を得るためには
レンズ５３の前後あるいはオプティカルインテグレータ
４２の前後に輪帯状の遮光板を挿入する構造となってい
るので、輪帯光束以外の光束がカットされるため、光量
損失が多いという問題点がある。
【０００６】また輪帯形状を変える場合は遮光板を取り
替えなければならず、操作が煩雑になり、さらに連続的
に形状を変えることはできないという問題点がある。
替えなければならず、操作が煩雑になり、さらに連続的
に形状を変えることはできないという問題点がある。
【０００７】
【課題を解決するための手段】本第１の発明の輪帯光束
形成方法は、第１，第２の凸型反射鏡と第１，第２の凹
型反射鏡とが光軸を同じくし、前記第１の凸型反射鏡に
入射した光束が前記第１の凸型反射鏡で反射し、前記第
１の凹型反射鏡を介して前記第２の凸型反射鏡で反射せ
れる輪帯状光束を得て、前記第２の凸型反射鏡を射出光
束の光軸方向に移動させれることにより、前記射出光束
の輪帯の形状を可変とし、又、前記第１の凸型反射鏡へ
の入射光束の直径を可変させて前記第２の凸型反射鏡か
らの射出光束の輪帯の内径および外径を独立に可変させ
る。
形成方法は、第１，第２の凸型反射鏡と第１，第２の凹
型反射鏡とが光軸を同じくし、前記第１の凸型反射鏡に
入射した光束が前記第１の凸型反射鏡で反射し、前記第
１の凹型反射鏡を介して前記第２の凸型反射鏡で反射せ
れる輪帯状光束を得て、前記第２の凸型反射鏡を射出光
束の光軸方向に移動させれることにより、前記射出光束
の輪帯の形状を可変とし、又、前記第１の凸型反射鏡へ
の入射光束の直径を可変させて前記第２の凸型反射鏡か
らの射出光束の輪帯の内径および外径を独立に可変させ
る。
【０００８】本第２の発明の輪帯光束形成装置は、光源
からの入射光束をこの入射光束の光軸に対しほぼ９０度
方向に輪帯状に反射させる第１の凸型反射鏡と、この第
１の凸型反射鏡から反射された輪帯状光束を前記入射光
束の光軸と平行な方向に反射させる第１の凹型反射鏡
と、この第１の凹型反射鏡から反射された輪帯状光束を
前記入射光束の光軸に対し平行で反対方向に反射させる
第２の凹型反射鏡と、この第２の凹型反射鏡から反射さ
れた輪帯状光束を前記入射光束の反射光束の光軸と同じ
光軸で且つ同じ方向に射出し、又前記入射光束の光軸方
向に中心が移動可能な第２の凸型反射鏡とを有し、又、
前記凸型反射鏡は凸型円錐反射鏡又は凸型多角錐多面鏡
で成り、前記凹型反射鏡は凹型円錐反射鏡又は凹型多角
錐多面鏡で成っている。
からの入射光束をこの入射光束の光軸に対しほぼ９０度
方向に輪帯状に反射させる第１の凸型反射鏡と、この第
１の凸型反射鏡から反射された輪帯状光束を前記入射光
束の光軸と平行な方向に反射させる第１の凹型反射鏡
と、この第１の凹型反射鏡から反射された輪帯状光束を
前記入射光束の光軸に対し平行で反対方向に反射させる
第２の凹型反射鏡と、この第２の凹型反射鏡から反射さ
れた輪帯状光束を前記入射光束の反射光束の光軸と同じ
光軸で且つ同じ方向に射出し、又前記入射光束の光軸方
向に中心が移動可能な第２の凸型反射鏡とを有し、又、
前記凸型反射鏡は凸型円錐反射鏡又は凸型多角錐多面鏡
で成り、前記凹型反射鏡は凹型円錐反射鏡又は凹型多角
錐多面鏡で成っている。
【０００９】本第３の発明の照明光学装置は、光源から
供給された光束を輪帯状光束に形成する前記輪帯光束形
成装置と、前記輪帯状光束の二次光源を形成する第１の
光学素子と、前記二次光源からの光束を基に被照射面を
照明する第２の光学素子とを備え、又、前記輪帯光束形
装置から射出される輪帯状光束の内径および外径を独立
に変化させる光束可変手段を有している。
供給された光束を輪帯状光束に形成する前記輪帯光束形
成装置と、前記輪帯状光束の二次光源を形成する第１の
光学素子と、前記二次光源からの光束を基に被照射面を
照明する第２の光学素子とを備え、又、前記輪帯光束形
装置から射出される輪帯状光束の内径および外径を独立
に変化させる光束可変手段を有している。
【００１０】
【作用】本発明は半導体露光装置の照明光学装置におい
て、二次光源を形成する第１の光学素子の前方に光束の
大きさを可変とすることのできる輪帯光束形成装置を設
置し、輪帯状光束による二次光源を形成被照射物体を照
明することにより光学系の解像度を向上させる。
て、二次光源を形成する第１の光学素子の前方に光束の
大きさを可変とすることのできる輪帯光束形成装置を設
置し、輪帯状光束による二次光源を形成被照射物体を照
明することにより光学系の解像度を向上させる。
【００１１】
【実施例】次に、本発明について図面を参照して説明す
る。
る。
【００１２】図１は本第１，第２および第３の発明の一
実施例を適用する半導体露光装置を示す図である。
実施例を適用する半導体露光装置を示す図である。
【００１３】図１において、本適用例の半導体露光装置
は光源４１と、光源４１からの光束がミラー３０で光路
が変更された光束をマスク４５へ照明する本第３の発明
の一実施例の照明光学装置１と、マスク４５の回路パタ
ーンをウェハー４８に投影させるための照明光学装置１
からの光束を収束させる結像レンズ４６とを有して構成
している。
は光源４１と、光源４１からの光束がミラー３０で光路
が変更された光束をマスク４５へ照明する本第３の発明
の一実施例の照明光学装置１と、マスク４５の回路パタ
ーンをウェハー４８に投影させるための照明光学装置１
からの光束を収束させる結像レンズ４６とを有して構成
している。
【００１４】本第３の発明の一実施例の照明光学装置１
はビーム変換器３１からの光束を輪帯光束に形成する本
第１，第２の発明の一実施例の輪帯光束形成装置２と、
輪帯光束形成装置２からの光束の焦点面に輪帯状に二次
光源４３を作るオプティカルインテグレータ４２と、二
次光源４３からの光束をマスク４５へ照明するための照
明レンズ４４とを有して構成している。
はビーム変換器３１からの光束を輪帯光束に形成する本
第１，第２の発明の一実施例の輪帯光束形成装置２と、
輪帯光束形成装置２からの光束の焦点面に輪帯状に二次
光源４３を作るオプティカルインテグレータ４２と、二
次光源４３からの光束をマスク４５へ照明するための照
明レンズ４４とを有して構成している。
【００１５】図２は本第１，第２の発明の一実施例を輪
帯光束形成装置を示し、（ａ）は輪帯状光束の直径を最
小にした場合を示す図、（ｂ）は輪帯状光束の直径を最
大にした場合を示す図である。
帯光束形成装置を示し、（ａ）は輪帯状光束の直径を最
小にした場合を示す図、（ｂ）は輪帯状光束の直径を最
大にした場合を示す図である。
【００１６】図１及び図２において、本実施例の輪帯光
束形成装置２はビーム変換器３１から平行に入射する光
束１０を左右に反射される凸型円錐反射鏡１１と、凸型
円錐反射鏡１１の反射面に対して平行な反射面を持つ凹
型円錐反射鏡１２と、凹型円錐反射鏡１２から輪帯状に
反射される光束を同様に輪帯状に反射させる凹型円錐反
射鏡１２と同形状の凹型円錐反射鏡１３と、凹型円錐反
射鏡１３から反射された輪帯状光束を入射光束１０と平
行な方向に輪帯状の光束で射出する凸型円錐反射鏡１４
とを有して構成している。
束形成装置２はビーム変換器３１から平行に入射する光
束１０を左右に反射される凸型円錐反射鏡１１と、凸型
円錐反射鏡１１の反射面に対して平行な反射面を持つ凹
型円錐反射鏡１２と、凹型円錐反射鏡１２から輪帯状に
反射される光束を同様に輪帯状に反射させる凹型円錐反
射鏡１２と同形状の凹型円錐反射鏡１３と、凹型円錐反
射鏡１３から反射された輪帯状光束を入射光束１０と平
行な方向に輪帯状の光束で射出する凸型円錐反射鏡１４
とを有して構成している。
【００１７】尚、凸型円錐反射鏡１４は図２の（ａ），
（ｂ）に示すように、Ａ，Ｂ方向に移動可能で、Ａ方向
に移動した場合には反射される輪帯状光束の直径が小さ
くなり、Ｂ方向に移動した場合には反射される輪帯状光
束の直径は大きくなり、各輪帯の幅は変らない。
（ｂ）に示すように、Ａ，Ｂ方向に移動可能で、Ａ方向
に移動した場合には反射される輪帯状光束の直径が小さ
くなり、Ｂ方向に移動した場合には反射される輪帯状光
束の直径は大きくなり、各輪帯の幅は変らない。
【００１８】次に、本実施例の輪帯光束形成装置の動作
について図１，図２を用いて説明する。
について図１，図２を用いて説明する。
【００１９】凸型円錐反射鏡１１に入射した平行な光束
１０は凸型円錐反射鏡１１で放射状に反射される。放射
状に反射した光束は凸型円錐反射鏡１１の反射面と平行
な反射面を持つ凹型円錐反射鏡１２で輪帯状に反射され
る。輪帯状になった光束は凹型反射鏡１２と同様な形状
を持つ凹型反射鏡１３で反射し、凸型反射鏡１４に入射
する。凸型反射鏡１４に入射した光束は反射されて、入
射光束１０と平行な方向に輪帯状の光束で射出する。こ
のとき図２の（ａ）のように凹型円錐反射鏡１３と凸型
円錐反射鏡１４の距離が凸型円錐反射鏡１１と凹型円錐
反射鏡１２の距離に似た距離であれば、射出された輪帯
光束の内径は小さい。凹型円錐反射鏡１３と凸型反射鏡
１４の距離が近づけば射出される輪帯光束の内径および
外径は大きくなる。図２の（ｂ）はその様子を示した図
である。凸型反射鏡１４を入射光束と平行方向に動かす
ことにより射出光束の大きさを変えることができる。
１０は凸型円錐反射鏡１１で放射状に反射される。放射
状に反射した光束は凸型円錐反射鏡１１の反射面と平行
な反射面を持つ凹型円錐反射鏡１２で輪帯状に反射され
る。輪帯状になった光束は凹型反射鏡１２と同様な形状
を持つ凹型反射鏡１３で反射し、凸型反射鏡１４に入射
する。凸型反射鏡１４に入射した光束は反射されて、入
射光束１０と平行な方向に輪帯状の光束で射出する。こ
のとき図２の（ａ）のように凹型円錐反射鏡１３と凸型
円錐反射鏡１４の距離が凸型円錐反射鏡１１と凹型円錐
反射鏡１２の距離に似た距離であれば、射出された輪帯
光束の内径は小さい。凹型円錐反射鏡１３と凸型反射鏡
１４の距離が近づけば射出される輪帯光束の内径および
外径は大きくなる。図２の（ｂ）はその様子を示した図
である。凸型反射鏡１４を入射光束と平行方向に動かす
ことにより射出光束の大きさを変えることができる。
【００２０】図３は本実施例における輪帯状光束の内径
を外径とを独立に変える方法を示す図である。
を外径とを独立に変える方法を示す図である。
【００２１】次に、本実施例の輪帯光束形成装置の輪帯
光束の内径と外径とを独立に変える方法について図１，
図２及び図３を用いて説明する。
光束の内径と外径とを独立に変える方法について図１，
図２及び図３を用いて説明する。
【００２２】変倍可能なビーム変換器３１で光束の大き
さを変換した光束は二組の凸型円錐反射鏡１１、１４と
二組の凹型円錐反射鏡１２，１３より構成される輪帯光
束形成装置２に入射し、輪帯光束となって射出する。前
述したように射出光束の輪帯形状は凸型円錐反射鏡１４
を光軸方向に動かすことにより変えることができるが内
径と外径とが同時に同じ量だけ変化する。さらに変倍可
能なビーム変換器３１で入射光束の大きさを変えること
により、射出光束の外径を変えることが可能である。す
なわち、凸型円錐反射鏡１４の移動で射出光束の内径を
変化させ、入射側に設置された変倍可能なビーム変換器
３１で射出光束の外径を変えることができ、内径、外径
共に独立に可変な輪帯光束を光束を遮光することなく得
ることが可能である。
さを変換した光束は二組の凸型円錐反射鏡１１、１４と
二組の凹型円錐反射鏡１２，１３より構成される輪帯光
束形成装置２に入射し、輪帯光束となって射出する。前
述したように射出光束の輪帯形状は凸型円錐反射鏡１４
を光軸方向に動かすことにより変えることができるが内
径と外径とが同時に同じ量だけ変化する。さらに変倍可
能なビーム変換器３１で入射光束の大きさを変えること
により、射出光束の外径を変えることが可能である。す
なわち、凸型円錐反射鏡１４の移動で射出光束の内径を
変化させ、入射側に設置された変倍可能なビーム変換器
３１で射出光束の外径を変えることができ、内径、外径
共に独立に可変な輪帯光束を光束を遮光することなく得
ることが可能である。
【００２３】図３では入射側にビーム変換器３１として
ビームコンプレッサを用いて、光束を小さくして輪帯形
状形成装置２に入射させているが、ビームエキスパンダ
で光束を大きくしてから輪帯形状形成装置２に入射させ
ても良い。さらにビーム変換器３１であるビームコンプ
レッサあるいはビームエキスパンダを輪帯形状形成装置
２の射出側に設置しても同様の効果を得ることができ
る。また二組の凸型円錐反射鏡１１，１４および二組の
凹型円錐反射鏡１２，１３は円錐型の反射面に限らず、
多面鏡の反射面でも効果は同様に得ることができる。
ビームコンプレッサを用いて、光束を小さくして輪帯形
状形成装置２に入射させているが、ビームエキスパンダ
で光束を大きくしてから輪帯形状形成装置２に入射させ
ても良い。さらにビーム変換器３１であるビームコンプ
レッサあるいはビームエキスパンダを輪帯形状形成装置
２の射出側に設置しても同様の効果を得ることができ
る。また二組の凸型円錐反射鏡１１，１４および二組の
凹型円錐反射鏡１２，１３は円錐型の反射面に限らず、
多面鏡の反射面でも効果は同様に得ることができる。
【００２４】図４は本実施例に用いる凸型円錐反射鏡を
示す斜視図、図５は本実施例に用いる凹型円錐反射鏡を
示す斜視図、図６は本実施例に用いる凸型多角錐多面鏡
の一例を示す斜視図、図７は本実施例に用いる凹型多角
錐多面鏡の一例を示す斜視図である。
示す斜視図、図５は本実施例に用いる凹型円錐反射鏡を
示す斜視図、図６は本実施例に用いる凸型多角錐多面鏡
の一例を示す斜視図、図７は本実施例に用いる凹型多角
錐多面鏡の一例を示す斜視図である。
【００２５】次に、本適用例の半導体露光装置の動作に
ついて図１〜図７を用いて説明する。
ついて図１〜図７を用いて説明する。
【００２６】水銀ランプあるいはエキシマレーザなどを
光源とする光源４１からの光束はミラー３０を介してビ
ーム変換器３１に入射し、ビームの形状が変換される。
次に二組の凸型円錐反射光１１，１４と二組の凹型円錐
反射鏡１２，１３により構成される輪帯形状形成装置２
で任意の輪帯状の光束となる。
光源とする光源４１からの光束はミラー３０を介してビ
ーム変換器３１に入射し、ビームの形状が変換される。
次に二組の凸型円錐反射光１１，１４と二組の凹型円錐
反射鏡１２，１３により構成される輪帯形状形成装置２
で任意の輪帯状の光束となる。
【００２７】輪帯光束は微小レンズアレイより構成され
るオプティカルインテグレータ４２でオプティカルイン
テグレータ４２の焦点面に輪帯状の二次光源４３を作
る。輪帯状の二次光源４３は照明レンズ４４で半導体の
回路パターンが描かれているマスク４５を照明し、結像
レンズ４６でウエハー４８に御回路パターンを投影す
る。このとき二次光源の像が投影レンズ４６の入射瞳４
７にできる。入射瞳４７の径より光源像の大きさを小さ
くすることにより低周波数のコントラストを向上させる
ことができ、さらに輪帯状にすることにより高周波数の
コントラストを向上させることができる。
るオプティカルインテグレータ４２でオプティカルイン
テグレータ４２の焦点面に輪帯状の二次光源４３を作
る。輪帯状の二次光源４３は照明レンズ４４で半導体の
回路パターンが描かれているマスク４５を照明し、結像
レンズ４６でウエハー４８に御回路パターンを投影す
る。このとき二次光源の像が投影レンズ４６の入射瞳４
７にできる。入射瞳４７の径より光源像の大きさを小さ
くすることにより低周波数のコントラストを向上させる
ことができ、さらに輪帯状にすることにより高周波数の
コントラストを向上させることができる。
【００２８】二組の凸型円錐反射鏡１１，１４の形状は
図４の様な形状をしており、二組の凹型円錐反射鏡１
２，１３の形状は図５の様な形状をしている。照明光束
が結像レンズ４６の入射瞳４７に作る輪帯像は必ずしも
円形である必要はない。正方形であれば各辺と同じ方向
の解像度向上に効果が大きく現れ、多角形であれば円形
輪帯とほぼ同じ効果が得られる。図４および図５に示し
た凸型円錐反射鏡および凹型円錐反射鏡は図６および図
７のような凸型多角錐多面鏡および凹型多角錐多面鏡に
することもできる。
図４の様な形状をしており、二組の凹型円錐反射鏡１
２，１３の形状は図５の様な形状をしている。照明光束
が結像レンズ４６の入射瞳４７に作る輪帯像は必ずしも
円形である必要はない。正方形であれば各辺と同じ方向
の解像度向上に効果が大きく現れ、多角形であれば円形
輪帯とほぼ同じ効果が得られる。図４および図５に示し
た凸型円錐反射鏡および凹型円錐反射鏡は図６および図
７のような凸型多角錐多面鏡および凹型多角錐多面鏡に
することもできる。
【００２９】
【発明の効果】以上説明したように本第１，第２の発明
は、第１，第２の凸型反射鏡と第１，第２の凹型反射鏡
を用いて輪帯状光束を形式することにより、被照明体へ
の照明光の光量損失のほとんどない輪帯状光束を得るこ
とができる効果がある。
は、第１，第２の凸型反射鏡と第１，第２の凹型反射鏡
を用いて輪帯状光束を形式することにより、被照明体へ
の照明光の光量損失のほとんどない輪帯状光束を得るこ
とができる効果がある。
【００３０】又、本第２の発明は、凸型反射鏡および凹
型反射鏡を凸型多角錐多面鏡および凹型多角錐多面鏡で
構成することにより輪帯光束形成装置のコストダウンを
図ることができる効果がある。
型反射鏡を凸型多角錐多面鏡および凹型多角錐多面鏡で
構成することにより輪帯光束形成装置のコストダウンを
図ることができる効果がある。
【００３１】更に、本第３の発明は、輪帯光束の二次光
源からの光束を基に被照射面を照明する第２の光学素子
を有し、被照射面を結蔵レンズでウェハー上に結像させ
ることにより、結像レンズの回折による解像限界以上の
解像度を得ることができる効果がある。
源からの光束を基に被照射面を照明する第２の光学素子
を有し、被照射面を結蔵レンズでウェハー上に結像させ
ることにより、結像レンズの回折による解像限界以上の
解像度を得ることができる効果がある。
【００３２】更に又、本第３の発明は、輪帯状光束の内
径および外形を独立に可変させる光束可変手段を有する
ことにより、マスクパターンの形状に合わせた最適な照
明形状と結像レンズの最高値の解像度とを得ることがで
きる効果がある。
径および外形を独立に可変させる光束可変手段を有する
ことにより、マスクパターンの形状に合わせた最適な照
明形状と結像レンズの最高値の解像度とを得ることがで
きる効果がある。
【図１】本発明の一実施例を適用する半導体露光装置を
示す図である。
示す図である。
【図２】本発明の一実施例を輪帯光束形式装置を示し、
（ａ）は輪帯状光束の内径を最小にした場合を示す
（ｂ）は輪帯状光束内径及び外径を最大にした場合を示
す図である。
（ａ）は輪帯状光束の内径を最小にした場合を示す
（ｂ）は輪帯状光束内径及び外径を最大にした場合を示
す図である。
【図３】本実施例における輪帯状光束の内径と外径とを
独立に変える方法を示す図である。
独立に変える方法を示す図である。
【図４】本実施例に用いる凸型円錐反射鏡を示す斜視図
である。
である。
【図５】本実施例に用いる凹型円錐反射鏡を示す斜視図
である。
である。
【図６】本実施例に用いる凸型多角錐多面鏡の一例を示
す斜視図である。
す斜視図である。
【図７】本実施例に用いる凹型多角錐多面鏡の一例を示
す斜視図である。
す斜視図である。
【図８】従来の照明光学装置の一例を示す模式図であ
る。
る。
１ 照明光学装置 ２ 輪帯光束形成装置 １０ 光束 １１ 凸型円錐反射鏡 １２ 凹型円錐反射鏡 １３ 凹型円錐反射鏡 １４ 凸型円錐反射鏡 ３０ ミラー ３１ ビーム変換器 ４１ 光源 ４２ オプティカルインテグレータ ４３ 二次光源 ４４ 照明レンズ ４５ マスク ４６ 結像レンズ ４７ 入射瞳 ４８ ウエハー ５１ 光源 ５２ 光束 ５３ レンズ
フロントページの続き (56)参考文献 特開 昭61−91662（ＪＰ，Ａ) 特開 平６−20914（ＪＰ，Ａ) 特開 平５−251308（ＪＰ，Ａ) 特開 平５−232397（ＪＰ，Ａ) 特開 平６−29182（ＪＰ，Ａ) 特開 平２−35407（ＪＰ，Ａ) 特開 平１−308022（ＪＰ，Ａ) 特開 平５−121290（ＪＰ，Ａ) 特開 平１−164029（ＪＰ，Ａ) 特開 昭63−108318（ＪＰ，Ａ) (58)調査した分野(Int.Cl.6，ＤＢ名) H01L 21/027 G02B 27/09
Claims (6)
- 【請求項１】 第１，第２の凸型反射鏡と第１，第２の
凹型反射鏡とが光軸を同じくし、前記第１の凸型反射鏡
に入射した光束が前記第１の凸型反射鏡で反射し、前記
第１の凹型反射鏡を介して前記第２の凹型反射鏡で反射
した後、前記第２の凸型反射鏡で反射する輪帯状光束を
得て、前記第２の凸型反射鏡を射出光束の光軸方向に移
動させることにより、前記射出光束の輪帯の形状を可変
とすることを特徴とする輪帯光束形成方法。 - 【請求項２】 前記第１の凸型反射鏡への入射光束の直
径を可変させて前記第２の凸型反射鏡からの射出光束の
輪帯の内径および外径を独立に可変させることを特徴と
する請求項１記載の輪帯光束形成方法。 - 【請求項３】 光源からの入射光束をこの入射光束の光
軸に対しほぼ９０度方向に輪帯状に反射させる第１の凸
型反射鏡と、この第１の凸型反射鏡から反射された輪帯
状光束を前記入射光束の光軸と平行な方向に反射させる
第１の凹型反射鏡と、この第１の凹型反射鏡から反射さ
れた輪帯状光束を前記入射光束の反射光束の光軸に対し
平行で反対方向に反射させる第２の凹型反射鏡と、この
第２の凹型反射鏡から反射された輪帯状光束を前記入射
光束の光軸と同じ光軸で且つ同じ方向に射出し、又前記
入射光束の光軸方向に中心が移動可能な第２の凸型反射
鏡とを有することを特徴とする輪帯光束形成装置。 - 【請求項４】 前記凸型反射鏡は凸型円錐反射鏡又は凸
型多角錐多面鏡で成り、前記凹型反射鏡は凹型円錐反射
鏡又は凹型多角錐多面鏡で成ることを特徴とする請求項
３記載の輪帯光束形成装置。 - 【請求項５】 光源から供給された光束を輪帯状光束に
形成する前記請求項３または請求項４記載の輪帯光束形
成装置と、前記輪帯状光束の二次光源を形成するオプテ
ィカルインテグレータと、前記二次光源からの光束を基
に被照射面を照明する照射レンズとを備えることを特徴
とする照明光学装置。 - 【請求項６】 前記請求項３または請求項４記載の輪帯
光束形装置から射出される輪帯状光束の内径および外径
を独立に変化させる光束可変手段を有することを特徴と
する請求項５記載の照明光学装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4237930A JP2914035B2 (ja) | 1992-09-07 | 1992-09-07 | 輪帯光束形成方法および照明光学装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4237930A JP2914035B2 (ja) | 1992-09-07 | 1992-09-07 | 輪帯光束形成方法および照明光学装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0684760A JPH0684760A (ja) | 1994-03-25 |
| JP2914035B2 true JP2914035B2 (ja) | 1999-06-28 |
Family
ID=17022565
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4237930A Expired - Lifetime JP2914035B2 (ja) | 1992-09-07 | 1992-09-07 | 輪帯光束形成方法および照明光学装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2914035B2 (ja) |
Families Citing this family (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP1041606A4 (en) | 1997-11-10 | 2005-02-09 | Nikon Corp | EXPOSURE APPARATUS |
| DE102004003696B4 (de) * | 2004-01-24 | 2017-02-16 | Limo Patentverwaltung Gmbh & Co. Kg | Vorrichtung zum simultanen Laserschweißen |
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| CN106959517A (zh) * | 2017-05-26 | 2017-07-18 | 北京华岸科技有限公司 | 光束变换装置和激光加工装置 |
-
1992
- 1992-09-07 JP JP4237930A patent/JP2914035B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0684760A (ja) | 1994-03-25 |
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|---|---|---|---|
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