JP2997351B2 - 照明光学装置 - Google Patents
照明光学装置Info
- Publication number
- JP2997351B2 JP2997351B2 JP3287434A JP28743491A JP2997351B2 JP 2997351 B2 JP2997351 B2 JP 2997351B2 JP 3287434 A JP3287434 A JP 3287434A JP 28743491 A JP28743491 A JP 28743491A JP 2997351 B2 JP2997351 B2 JP 2997351B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- fly
- illumination optical
- optical device
- light source
- eye lens
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
- G03F7/70—Microphotolithographic exposure; Apparatus therefor
- G03F7/70008—Production of exposure light, i.e. light sources
- G03F7/7005—Production of exposure light, i.e. light sources by multiple sources, e.g. light-emitting diodes [LED] or light source arrays
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Exposure And Positioning Against Photoresist Photosensitive Materials (AREA)
- Projection Apparatus (AREA)
- Exposure Of Semiconductors, Excluding Electron Or Ion Beam Exposure (AREA)
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、写真製版、投影検査
機、ステッパ、映写機、プロジェクタなどの光学機器に
広く用いることのできる照明光学装置に関し、特にフラ
イアイレンズを用いた照明光学装置に関する。
機、ステッパ、映写機、プロジェクタなどの光学機器に
広く用いることのできる照明光学装置に関し、特にフラ
イアイレンズを用いた照明光学装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】フライアイレンズ（蝿の目レンズ）は一
般に、入射する光線の角度情報を位置の情報に変換して
出射する光学素子として知られ、具体的には、光源の光
を拡散して、均一に被照明体に与えるための光拡散素子
として用いられている。例えば、写真製版システムに於
て、原稿を撮影した反射フィルムを照明して投影光学系
でＰＳ板上に投影する場合、光源とコンデンサレンズと
の間にこのフライアイレンズを配設して光源の像を均一
に拡散し、この拡散した光によって、コンデンサレンズ
と投影光学系との間に置いた版下フィルムを照明する。
このフライアイレンズは、拡散板よりも光の拡散効果が
高く、より均一に被照明体を照明することができる。フ
ライアイレンズを構成する個々の微小レンズは、一般に
断面円柱状、四角柱状、六角柱状をなしていて、これを
束ねることによりフライアイレンズが構成される。
般に、入射する光線の角度情報を位置の情報に変換して
出射する光学素子として知られ、具体的には、光源の光
を拡散して、均一に被照明体に与えるための光拡散素子
として用いられている。例えば、写真製版システムに於
て、原稿を撮影した反射フィルムを照明して投影光学系
でＰＳ板上に投影する場合、光源とコンデンサレンズと
の間にこのフライアイレンズを配設して光源の像を均一
に拡散し、この拡散した光によって、コンデンサレンズ
と投影光学系との間に置いた版下フィルムを照明する。
このフライアイレンズは、拡散板よりも光の拡散効果が
高く、より均一に被照明体を照明することができる。フ
ライアイレンズを構成する個々の微小レンズは、一般に
断面円柱状、四角柱状、六角柱状をなしていて、これを
束ねることによりフライアイレンズが構成される。
【０００３】フライアイレンズによる照明エリアの形状
は、フライアイレンズを構成する個々の微小レンズの入
射側端面形状に相似形となることは特願昭６３−１４１
３４０号明細書に記載されている。また、このような用
途に於いては被照明体が長方形である場合が多いため、
照明光のロスを少なくするためには照明エリアの形状を
被照明体の形状と相似である長方形とする必要がある。
は、フライアイレンズを構成する個々の微小レンズの入
射側端面形状に相似形となることは特願昭６３−１４１
３４０号明細書に記載されている。また、このような用
途に於いては被照明体が長方形である場合が多いため、
照明光のロスを少なくするためには照明エリアの形状を
被照明体の形状と相似である長方形とする必要がある。
【０００４】一方、フライアイレンズを構成する個々の
微小レンズの射出瞳は射出面の位置に生じその形状は入
射光束の角度に比例する。即ち、放射状光束が入射すれ
ば射出瞳形状は丸くなり、入射光束の角度が大きいほど
射出瞳径は大きくなる。
微小レンズの射出瞳は射出面の位置に生じその形状は入
射光束の角度に比例する。即ち、放射状光束が入射すれ
ば射出瞳形状は丸くなり、入射光束の角度が大きいほど
射出瞳径は大きくなる。
【０００５】従って、特願昭６３−１４１３４０号明細
書に記載されているように個々の微小レンズの入射側断
面形状を長方形とした場合、射出瞳の大きさが射出側断
面よりも大きくなってケラれてしまい、照明光をロスし
てしまうか、射出瞳の大きさを小さくするために入射光
束の角度を小さくしなくてはならず、照明体の照度を充
分に高めることが困難となる。
書に記載されているように個々の微小レンズの入射側断
面形状を長方形とした場合、射出瞳の大きさが射出側断
面よりも大きくなってケラれてしまい、照明光をロスし
てしまうか、射出瞳の大きさを小さくするために入射光
束の角度を小さくしなくてはならず、照明体の照度を充
分に高めることが困難となる。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】このような従来技術の
問題点に鑑み、本発明の主な目的は、断面が長方形をな
すフライアイレンズを用いた照明光学装置に於て、照明
効率を高め、照明体の照度を高め得るようにした照明光
学装置を提供することにある。
問題点に鑑み、本発明の主な目的は、断面が長方形をな
すフライアイレンズを用いた照明光学装置に於て、照明
効率を高め、照明体の照度を高め得るようにした照明光
学装置を提供することにある。
【０００７】
【課題を解決するための手段】本発明によれば、このよ
うな目的は、光源の像をフライアイレンズを介してコン
デンサレンズに入射させ、このコンデンサレンズと投影
光学系との間に、照明すべき透光性の被照明体を配置す
る照明光学装置に於て、前記フライアイレンズを構成す
る個々の微小レンズの入射側の断面形状を略長方形と
し、前記光源を、前記長方形の長辺方向に沿って設けら
れた複数の光源からなるものとしたことを特徴とする照
明光学装置を提供することにより達成される。
うな目的は、光源の像をフライアイレンズを介してコン
デンサレンズに入射させ、このコンデンサレンズと投影
光学系との間に、照明すべき透光性の被照明体を配置す
る照明光学装置に於て、前記フライアイレンズを構成す
る個々の微小レンズの入射側の断面形状を略長方形と
し、前記光源を、前記長方形の長辺方向に沿って設けら
れた複数の光源からなるものとしたことを特徴とする照
明光学装置を提供することにより達成される。
【０００８】
【実施例】図１は、本発明に基づく照明光学装置を単純
化して示す光路図である。光源１の光は、断面形状が長
方形の微小レンズ４ａを多数組み合わせてなる（図２）
フライアイレンズ４に入射され、該フライアイレンズの
射出面（図３）からの出射光はコンデンサレンズ５によ
って集光された後、長方形の照明エリア６（図４）に設
けられた被照明体を透過し、投影光学系７（図５）に入
射する。
化して示す光路図である。光源１の光は、断面形状が長
方形の微小レンズ４ａを多数組み合わせてなる（図２）
フライアイレンズ４に入射され、該フライアイレンズの
射出面（図３）からの出射光はコンデンサレンズ５によ
って集光された後、長方形の照明エリア６（図４）に設
けられた被照明体を透過し、投影光学系７（図５）に入
射する。
【０００９】この照明光学装置に於て、光源１は、フラ
イアイレンズ４に於ける微小レンズ４ａの長辺の方向に
沿って設けられた３つの光源１ａ〜１ｃからなり、それ
ぞれ超高圧水銀ランプ２ａ〜２ｃと楕円反射ミラー３ａ
〜３ｃとを組み合わせてなるもので、しかもこれら光源
からの光は、フライアイレンズ４の入射面に集光される
ように各要素が配置されている。水銀ランプの配光は、
電極に垂直な方向に偏っているため、楕円ミラーを組み
合わせることにより効率良く照明光を取り込むことがで
きる。
イアイレンズ４に於ける微小レンズ４ａの長辺の方向に
沿って設けられた３つの光源１ａ〜１ｃからなり、それ
ぞれ超高圧水銀ランプ２ａ〜２ｃと楕円反射ミラー３ａ
〜３ｃとを組み合わせてなるもので、しかもこれら光源
からの光は、フライアイレンズ４の入射面に集光される
ように各要素が配置されている。水銀ランプの配光は、
電極に垂直な方向に偏っているため、楕円ミラーを組み
合わせることにより効率良く照明光を取り込むことがで
きる。
【００１０】ハロゲンランプを光源として用いることも
できるが、ハロゲンランプは放射方向にほぼ一定の配光
パターンを有しているため、ＮＡの大きな集光レンズを
用い、反対側に球面鏡を配置して照明光を集光レンズに
向けて反射させることにより、効率良く照明光を取り込
むことができる。
できるが、ハロゲンランプは放射方向にほぼ一定の配光
パターンを有しているため、ＮＡの大きな集光レンズを
用い、反対側に球面鏡を配置して照明光を集光レンズに
向けて反射させることにより、効率良く照明光を取り込
むことができる。
【００１１】フライアイレンズ４に於ては、微小レンズ
４ａの入射面の入射光線像は照明エリア６に結像し、微
小レンズ４ａの射出面からの出射光線像は、投影光学系
７に結像することから、光の利用効率が高い照明光学装
置が得られる。しかも、光源１ａ〜１ｃを、フライアイ
レンズ４の微小レンズ４ａの長辺方向に沿って配置した
ことから、フライアイレンズの微小レンズ中に光源によ
って生じる瞳を比較的隙間無く並べることにより、効率
を高めしかも複数の光源を使用することができる。
４ａの入射面の入射光線像は照明エリア６に結像し、微
小レンズ４ａの射出面からの出射光線像は、投影光学系
７に結像することから、光の利用効率が高い照明光学装
置が得られる。しかも、光源１ａ〜１ｃを、フライアイ
レンズ４の微小レンズ４ａの長辺方向に沿って配置した
ことから、フライアイレンズの微小レンズ中に光源によ
って生じる瞳を比較的隙間無く並べることにより、効率
を高めしかも複数の光源を使用することができる。
【００１１】
【発明の効果】フライアイレンズから投影面に至る光学
系は１組で済み、しかも均一な照明効果が得られる。ま
た、光源によって生じる瞳がケラれることがなく効率を
高めることができ、しかも複数の光源を使用できるた
め、照明エリアの照度を大幅に高めることができる。
系は１組で済み、しかも均一な照明効果が得られる。ま
た、光源によって生じる瞳がケラれることがなく効率を
高めることができ、しかも複数の光源を使用できるた
め、照明エリアの照度を大幅に高めることができる。
【図１】本発明に基づく照明光学装置を単純化して示す
光路図である。
光路図である。
【図２】フライアイレンズの入射面を示す平面図であ
る。
る。
【図３】フライアイレンズの射出面を示す平面図であ
る。
る。
【図４】照明エリアを示す平面図である。
【図５】投影レンズに於ける入射瞳を示す平面図であ
る。
る。
１、１ａ〜１ｃ 光源 ２ａ〜２ｃ 水銀ランプ ３ａ〜３ｃ 楕円ミラー ４ フライアイレンズ ４ａ 微小レンズ ５ コンデンサレンズ ６ 照明エリア ７ 投影光学系
フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) G02B 27/00 G03B 21/14
Claims (6)
- 【請求項１】 光源の像をフライアイレンズを介して
コンデンサレンズに入射させ、このコンデンサレンズと
投影光学系との間に、照明すべき透光性の被照明体を配
置する照明光学装置に於て、前記フライアイレンズを構
成する個々の微小レンズの入射側の断面形状を略長方形
とし、前記光源を、前記長方形の長辺方向に沿って設け
られた複数の光源からなるものとしたことを特徴とする
照明光学装置。 - 【請求項２】 前記複数の光源が、それぞれ集光ミラ
ーを備えており、且つ前記各集光ミラーの光軸が前記フ
ライアイレンズの入射面にて一致することを特徴とする
請求項１に記載の照明光学装置。 - 【請求項３】 前記集光ミラーが楕円ミラーからなる
ことを特徴とする請求項２に記載の照明光学装置。 - 【請求項４】 前記光源が水銀ランプからなることを
特徴とする請求項３に記載の照明光学装置。 - 【請求項５】 前記集光ミラーが球面ミラーからなる
ことを特徴とする請求項２に記載の照明光学装置。 - 【請求項６】 前記光源がハロゲンランプからなるこ
とを特徴とする請求項５に記載の照明光学装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3287434A JP2997351B2 (ja) | 1991-08-12 | 1991-08-12 | 照明光学装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3287434A JP2997351B2 (ja) | 1991-08-12 | 1991-08-12 | 照明光学装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0545605A JPH0545605A (ja) | 1993-02-26 |
| JP2997351B2 true JP2997351B2 (ja) | 2000-01-11 |
Family
ID=17717273
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3287434A Expired - Fee Related JP2997351B2 (ja) | 1991-08-12 | 1991-08-12 | 照明光学装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2997351B2 (ja) |
Families Citing this family (17)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5815248A (en) * | 1993-04-22 | 1998-09-29 | Nikon Corporation | Illumination optical apparatus and method having a wavefront splitter and an optical integrator |
| KR0165701B1 (ko) * | 1993-06-29 | 1999-02-01 | 미타라이 하지메 | 조명장치 및 동장치를 사용하는 노광장치 |
| JP3406946B2 (ja) * | 1993-12-22 | 2003-05-19 | キヤノン株式会社 | 照明光学系およびこれを用いた光学装置ならびにその光学装置を用いたデバイス製造方法 |
| JP3437352B2 (ja) | 1995-10-02 | 2003-08-18 | キヤノン株式会社 | 照明光学系及び光源装置 |
| US7329886B2 (en) | 1998-05-05 | 2008-02-12 | Carl Zeiss Smt Ag | EUV illumination system having a plurality of light sources for illuminating an optical element |
| DE19935404A1 (de) * | 1999-07-30 | 2001-02-01 | Zeiss Carl Fa | Beleuchtungssystem mit mehreren Lichtquellen |
| JP3472249B2 (ja) * | 2000-08-25 | 2003-12-02 | キヤノン株式会社 | 複数の光源を使用する照明装置、照明制御装置及び方法、並びに、露光装置 |
| EP2312380B1 (en) | 2001-02-27 | 2020-11-18 | Dolby Laboratories Licensing Corporation | A method and device for displaying an image |
| KR100744498B1 (ko) * | 2001-03-02 | 2007-08-01 | 엘지전자 주식회사 | 액정 프로젝터의 조명계 |
| JP4348457B2 (ja) | 2002-03-13 | 2009-10-21 | ドルビー ラボラトリーズ ライセンシング コーポレイション | 高ダイナミックレンジのディスプレイ、ディスプレイコントローラ及び画像表示方法 |
| JP4546019B2 (ja) * | 2002-07-03 | 2010-09-15 | 株式会社日立製作所 | 露光装置 |
| JP4391136B2 (ja) * | 2003-06-05 | 2009-12-24 | 株式会社目白ゲノッセン | 露光用照明装置 |
| JP4765414B2 (ja) * | 2005-06-01 | 2011-09-07 | ウシオ電機株式会社 | 光照射装置 |
| JP2008210814A (ja) * | 2008-04-28 | 2008-09-11 | Hitachi Ltd | 変調器 |
| JP5077198B2 (ja) * | 2008-11-13 | 2012-11-21 | ウシオ電機株式会社 | 光照射装置 |
| JP5470984B2 (ja) * | 2009-04-03 | 2014-04-16 | 株式会社ニコン | 照明装置、露光装置、及びデバイス製造方法 |
| JP5861122B2 (ja) | 2010-10-19 | 2016-02-16 | パナソニックＩｐマネジメント株式会社 | 光合波装置及びプロジェクタ |
-
1991
- 1991-08-12 JP JP3287434A patent/JP2997351B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0545605A (ja) | 1993-02-26 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP2997351B2 (ja) | 照明光学装置 | |
| US4497015A (en) | Light illumination device | |
| JP2655465B2 (ja) | 反射型ホモジナイザーおよび反射型照明光学装置 | |
| JPH0817223A (ja) | 照明光学装置 | |
| USRE34634E (en) | Light illumination device | |
| KR950024024A (ko) | 투영노광장치 및 이를 이용한 디바이스 제조방법 | |
| JP2870790B2 (ja) | マイクロリーダプリンタの照明系 | |
| JP2002516650A (ja) | 投影光源 | |
| JPS5949514A (ja) | 環状照明装置 | |
| JP3067491B2 (ja) | 投影露光装置 | |
| JP2875143B2 (ja) | 投影露光装置 | |
| JP2696360B2 (ja) | 照明光学装置 | |
| JPH08203803A (ja) | 露光装置 | |
| JP2997350B2 (ja) | 照明光学装置 | |
| JPH0744141B2 (ja) | 照明光学装置 | |
| JP2914035B2 (ja) | 輪帯光束形成方法および照明光学装置 | |
| JPH10241437A (ja) | 光源装置、照明系及び画像投射装置 | |
| JP2906543B2 (ja) | マイクロリーダプリンタの照明系 | |
| EP0250975A2 (en) | Illumination system | |
| JP3879142B2 (ja) | 露光装置 | |
| JP2712342B2 (ja) | 照明光学装置およびそれを用いた露光装置 | |
| JP2005018013A (ja) | 照明光学系およびそれを用いた露光装置並びに露光方法 | |
| JPH01311502A (ja) | 照明光学装置 | |
| JPS6380243A (ja) | 露光装置用照明光学装置 | |
| JPH01271718A (ja) | 照明光学装置 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20081029 Year of fee payment: 9 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20081029 Year of fee payment: 9 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20091029 Year of fee payment: 10 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20101029 Year of fee payment: 11 |
|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |