KR860002742A - 영상 픽업 장치 - Google Patents

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KR860002742A
KR860002742A KR1019850007160A KR850007160A KR860002742A KR 860002742 A KR860002742 A KR 860002742A KR 1019850007160 A KR1019850007160 A KR 1019850007160A KR 850007160 A KR850007160 A KR 850007160A KR 860002742 A KR860002742 A KR 860002742A
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우찌야마 야스시
닛뽕지도세이교 가부시끼가이샤
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Abstract

내용 없음

Description

영상 픽업 장치
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제1도는 본 발명에 따른 영상 픽업 장치의 주요 구성의 개략도.
제2도는 비임 휘점과 광전 변환 소자들 사이의 위치 관계를 예시한 개략적 평면도.
제9도는 본 발명에 따른 영상 픽업 장치의 다른 실시예를 예시하는 개략도.
* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명
1, 51, 101∼103, 201 : 광원 2, 52, 104, 120, 132, 202 : 신장기
3, 55, 106, 122, 134 : 음향 광학소자
4, 31, 79 : 집광렌즈
5, 20, 21, 57, 67, 76, 107, 108, 114, 115, 123, 124, 135, 136, 207 : 릴레이 렌즈
6, 86, 129, 204 : 반투명 밀러 7 : 전반사 밀러
8, 30, 32, 63, 113, 205 : 진동 밀러
9, 69, 116, 208 : 대물렌즈 10 : 시료
11, 73, 119, 130, 141, 210 : 선형 영상센서
33, 80, 206 : 영상렌즈 12 : 광점
53, 54, 58, 59, 60, 64, 65, 66, 75, 81, 82, 105, 121, 126, 133, 138 : 직각 프리즘
61, 83 : 비임 분할기 72 : 광로 전환 장치
74 : 오각 프리즘 84, 160 : 블록렌즈
85 : 슬릿판 87, 88, 163, 164 : 광검출기
89, 92 : 차동 증폭기 90 : 게이트 회로
91 : 가산기 93 : 전위차계
109, 125, 137 : 편광 프리즘 110, 127, 139 : 1/4파장판
111, 112 : 색선별 밀러 118, 128, 140 : 오목렌즈
131 : 초점 검출장치 142, 220, 258 : 동기회로
143, 221, 259 : 클럭펄스 발생회로
144, 260 : 음향 광학소자 구동회로
145, 222, 261 : 진동밀러 구동회로
146, 223 : 프로세서 회로
147, 148, 149, 224, 262, 263, 264 : 증폭기
150, 225, 257 : 모니터 151, 226, 256 : VTR
170, 171 : 진동 보정 밀러 172, 173 : 보정 밀러 구동회로
175 : 평행 평면판 176, 177, 178 : 메모리
179 : 서입 제어회로 18 : 독출 제어회로
203, 230, 231, 232 : 원기둥렌즈 265∼267 : A/D변환기
268∼270 : 연산회로

Claims (41)

  1. 광비임을 방출하기 위하여 최소한 하나의 광원을 포함하는 광원 장치와; 검사될 시료 상에 광비임의, 주-주사 방향으로 그리고 주-주사 방향에 수직인 부-주사 방향으로 뻗어 있는, 래스터를 투사시키기 위한 수단과; 주-주사 방향으로 선형으로 일련하여 있는 다수의 광전 변환 소자들을 가진 최소한 하나의 선형 영상 센서를 포함하는 광검출 장치와; 상기 광검출 장치의 선형 영상 센서 상에 시료에 의해 광학적으로 변조된 광속을 지향시키기 위한 수단과; 영상 신호를 유도하도록 선형 영상 센서의 광전 변환 소자들에 축적된 광전 전하들을 독출시키기 위한 수단으로 구성하는 것을 특징으로 하는 영상 픽업 장치.
  2. 제1항에 있어서, 상기 래스터 투사 수단이 주-주사 주파수에서 광비임을 주-주사 방향으로 편향시키기 위한 제1수단과; 부-주사 주파수에서 광비임을 부-주사 방향으로 편향시키기 위한 제2수단과; 시료 상에 주- 및 부-주사 방향으로 편향된 광비임을 접속시키기 위한 렌즈로 구성하는 것을 특징으로 하는 영상 픽업 장치.
  3. 제2항에 있어서, 상기 제1편향수단이 선형 영상 센서에서의 독출 주파수와 동일한 주-주사 주파수로 동작되는 것을 특징으로 하는 영상 픽업 장치.
  4. 제2항에 있어서, 상기 제1편향수단이 선형 영상 센서에서의 독출 주파수 보다 더 큰 주-주사 주파수로 동작되는 것을 특징으로 하는 영상 픽업 장치.
  5. 제4항에 있어서, 상기 주-주사 주파수가 독출 주파수와 1보다 더 큰 정수와의 곱과 동등한 것을 특징으로 하는 영상 픽업 장치.
  6. 제2항에 있어서, 그 외에 제1편향수단과 렌즈 사이에 배열된 릴레이 렌즈 시스템을 포함하는 것을 특징으로 하는 영상 픽업 장치.
  7. 제2항에 있어서, 선형 영상 센서 상에 투사된 비임 휘점의 크기가 선형 영상 센서의 광전 변환 소자의 수광 구멍보다 약간 더 큰 것을 특징으로 하는 영상 픽업 장치.
  8. 제2항에 있어서, 그 외에 선형 영상 센서에 지향된 광비임의 일부를 수취함에 의해 렌즈의 집속 조건을 검출하기 위한 초점 검출 수단을 포함하는 것을 특징으로 하는 영상 픽업 장치.
  9. 제2항에 있어서, 상기 광원이 레이저 광원으로 형성되는 것을 특징으로 하는 영상 픽업 장치.
  10. 제2항에 있어서, 상기 제1편향수단이 음향 광학 소자로 구성되는 것을 특징으로 하는 영상 픽업 장치.
  11. 제2항에 있어서, 상기 제2편향수단이 진동 밀러로 구성하는 것을 특징으로 하는 영상 픽업 장치.
  12. 제2항에 있어서, 상기 제2편향수단이 회전식 다각형 밀러로 구성하는 것을 특징으로 하는 영상 픽업 장치.
  13. 제2항에 있어서, 상기 광원 장치가 적색, 녹색 및 청색 광비임을 방출하기 위한 적색, 녹색 및 청색 광원들로 구성하고, 상기 광검출 장치가 각각 적색, 녹색 및 청색 광비임들을 수취하기 위한 세 개의 선형 영상 센서들로 구성하고, 장치가 그 외에 적색, 녹색 및 청색 광비임들을 제1 및 제2편향수단 사이에 배치된 공통 광로로 입사시키기 위한 광학 시스템을 포함하는 것을 특징으로 하는 영상 픽업 장치.
  14. 제13항에 있어서, 상기 광학 시스템이 하나의 광비임의 광로에 배열된 제1 및 제2색 선별 밀러들로 구성하는 것을 특징으로 하는 영상 픽업 장치.
  15. 제13항에 있어서, 그 외에 하나의 선형 영상 센서를 향해 지향된 하나의 광비임의 일부분에 의해 집속조건을 검출하기 위한 초점 검출 장치를 포함하는 것을 특징으로 하는 영상 픽업 장치.
  16. 제13항에 있어서, 상기 광학 시스템이 최소한 두 개의 광비임들에 관한 선형 영상 센서들상에 투사된 래스터 영상들의 크기를 조절하기 위하여 최소한 두 개의 광비임들의 광로들을 따라 이동 가능하게 배열된 최소한 두 개의 오목 랜즈들로 구성하는 것을 특징으로 하는 영상 픽업 장치.
  17. 제13항에 있어서, 그 외에 부-주사 방향으로의 래스터의 편차가 보상될 수 있도록 제2편향수단과 동기적으로 부-주사 방향으로 최소한 두 개의 광비임들을 편향시키기 위한 최소한 두 개의 제3편향수단들을 포함하는 것을 특징으로 하는 영상 픽업 장치.
  18. 제17항에 있어서, 상기 제3편향수단이 선형으로 구동됨을 특징으로 하는 영상 픽업 장치.
  19. 제17항에 있어서, 상기 제3편향수단이 비-선형으로 구동됨을 특징으로 하는 영상 픽업 장치.
  20. 제17항에 있어서, 상기 제3편향수단이 진동 수단으로 구성됨을 특징으로 하는 영상 픽업 장치.
  21. 제17항에 있어서, 상기 제3편향수단이 주-주사 방향으로 뻗어 있는 축에 대해 회전 가능하게 배치된 평행 평면판으로 구성함을 특징으로 하는 영상 픽업 장치.
  22. 제13항에 있어서, 최소한 두 개의 선형 영상 센서들의 최소한 두 개의 독출 주파수들은 적색, 녹색 및 청색 래스터들 사이에서 주-주사 방향으로의 어떤 편차도 보상될 수 있게 조절 가능한 것을 특징으로 하는 영상 픽업 장치.
  23. 제13항에 있어서, 상기 독출 수단이 세 개의 선형 영상 센서들에서 독출된 영상 신호들을 각각 기억시키기 위한 세 개의 메모리들과, 세 개의 메모리들에서의 서입 동작을 제어하기 위한 서입 제어회로와, 세 개의 메모리들에서의 독출 장치를 제어하기 위한 독출 제어회로로 구성하는 것을 특징으로 하는 영상 픽업 장치.
  24. 제23항에 있어서, 적색, 녹색 및 청색 래스터들 사이의 주-주사 방향으로의 편차가 보상될 수 있게 최소한 두 개의 메모리들의 독출 주파수가 조절 가능한 것을 특징으로 하는 영상 픽업 장치.
  25. 제24항에 있어서, 상기 독출 주파수가 선형으로 변화됨을 특징으로 하는 영상 픽업 장치.
  26. 제24항에 있어서, 상기 독출 주파수가 비-선형으로 변화됨을 특징으로 하는 영상 픽업 장치.
  27. 제23항에 있어서, 최소한 하나의 메모리의 독출 주파수는 부-주사 방향으로의 래스터의 어떤 편차가 보상될 수 있게 조절됨을 특징으로 하는 영상 픽업 장치.
  28. 제2항에 있어서, 그 외에 시료를 지지하기 위한 스테이지와, 광축 방향으로 렌즈에 대해 스테이지를 이동시키는 수단과, 선형 영상 센서의 독출된 영상 신호를 기억하는 프레임 메모리를 포함하는 신호처리회로를 포함하는 것을 특징으로 하는 영상 픽업 장치.
  29. 제28항에 있어서, 상기 신호처리회로가 선형 영상 센서의 각개의 광전 변환 소자들의 독출된 영상 신호들의 합을 유도하는 것을 특징으로 하는 영상 픽업 장치.
  30. 제28항에 있어서, 스테이지가 일정 속도로 이동됨을 특징으로 하는 영상 픽업 장치.
  31. 제28항에 있어서, 스테이지가 변환 속도로 이동됨을 특징으로 하는 영상 픽업 장치.
  32. 제2항에 있어서, 상기 제2편향수단이 상기 제1편향수단 바로 뒤에 배치됨을 특징으로 하는 영상 픽업 장치.
  33. 제1항에 있어서, 상기 래스터 투사 수단이 광원으로부터 방출된 광비임을 신장하기 위한 신장기와, 직선 광비임을 형성하도록 부-주사 방향으로만 신장된 광비임을 수렴하기 위한 원기둥 렌즈와, 부-주사 방향으로 수렴된 광비임을 편향하기 위한 진동 밀러와, 직선 광점으로서 시료 상에 편향된 광비임을 집속하기 위한 렌즈로 구성함을 특징으로 하는 영상 픽업 장치.
  34. 제33항에 있어서, 상기 광원 장치가 적색, 녹색 및 청색 광비임들을 각각 방출하는 적색, 녹색 및 청색 광원들로 구성하고; 상기 래스터 투사 장치가, 각개의 적색, 녹색 및 청색 광로에 각각 배열된, 세쌍의 신장기 및 원기둥 렌즈들과, 공통 광로로 적색, 녹색 및 청색 광비임들을 입사시키기 위한 광학 시스템과, 공통 광로를 따라 전파하는 적색, 녹색 및 청색 광비임들을 수취하고 부-주사 방향으로 적색, 녹색 및 청색 광비임들을 편향시키도록 배열된 단일 진동 밀러로 구성함을 특징으로 하는 영상 픽업 장치.
  35. 제2항에 있어서, 상기 렌즈가 시료에 의해 반사된 광속을 수집하고; 장치가 그 위에 대물렌즈로부터 방사하는 그리고 선형 영상 센서 상에 상기 제2편향수단에 의해 편향되는 광비임을 지향시키기 위한 광학 시스템을 포함하는 것을 특징으로 하는 영상 픽업 장치.
  36. 제35항에 있어서, 상기 광학 시스템이 제1 및 제2편향수단들 사이에 배치된 반투명 밀러로 구성함을 특징으로 하는 영상 픽업 장치.
  37. 제35항에 있어서, 상기 광학 시스템이 편광 소자와, 제1 및 제2편향수단들 사이에 배치된 1/4 파장판으로 구성함으로 특징으로 하는 영상 픽업 장치.
  38. 제8항에 있어서, 그 외에 시료를 통해 투과된 광속을 수집하는 대물렌즈와, 제2편향수단과 동기적으로 부-주사 방향으로 대물렌즈로부터 방사하는 광비임을 편향시키는 제3편향수단과, 선형 영상 센서 상에 제3편향수단에 의해 편향된 광비임을 지향시키는 광학 시스템을 포함하는 것을 특징으로 하는 영상 픽업 장치.
  39. 제38항에 있어서, 상기 제2 및 제3편향수단이 부-주사 방향으로 뻗어 있는 축에 대해 진동 회전하는 평판의 전 후면들 상에 형성된 반사면들로 구성함을 특징으로 하는 영상 픽업 장치.
  40. 제39항에 있어서, 상기 평판이 서로에 대해 수직인 제1 및 제2위치들을 취하고; 장치가 그 외에 제1 및 제2위치들을 취하고; 장치가 그 외에 제 1및 제2위치들을 취하는 광로 전환 소자를 포함하고, 평판 및 광로 전환 소자들이 제1위치에 있을 때, 제1 및 제2편향수단에 의해 편향된 광비임이 시료 상에 투사되고, 시료에 의해 반사된 광속이 대물렌즈에 의해 수집되고, 반사형 검사를 실시하도록 제2편향수단과 광로 전환 소자를 통해 선형 영상 센서상에 투사되며, 그리고 상기 평판 및 광로 전환 소자들이 제2위치들에 있을 때, 제1 및 제2편향수단에 의해 편향된 광비임이 집광 렌즈에 의해 시료상에 투사되고, 시료를 투과한 광속이 대물렌즈에 의해 수집되고 투과형 검사를 실시하도록 제3편향수단과 광로 전환 소자를 통해 상기 선형 영상 센서 상에 투사됨을 특징으로 하는 영상 픽업 장치.
  41. 제40항에 있어서, 그 외에 평판과 집광 렌즈 사이의 광로에 배치된 우 및 좌측을 반전하는 광학 시스템을 포함하는 것을 특징으로 하는 영상 픽업 장치.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
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