KR970703540A - 광학 광선 분할 소자(Optical beam-splitting element) - Google Patents

광학 광선 분할 소자(Optical beam-splitting element) Download PDF

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게라르트 오페이 빌렘
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요트.게.아. 롤페즈
필립스 일렉트로닉스 엔.브이.
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Abstract

입사 광선(14')의 방사 일부를 부광선(17)의 형태로 분할하는 광학 광선 분할 소자가 기술된다. 이 소자는 입사 광선의 일부를 회절시켜 편광시키는 격자(16) 및 부광선의 방향이 입사 광선의 방향으로 되는 각도를 확장하는 거울(18)을 포함한다.

Description

광학 광선 분할 소자(Optical beam-splitting element)
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제1도는 본 발명에 따른 광선 형상기를 구비하는 광학 주사 유닛을 도시하는 도면.

Claims (10)

  1. 제1표면을 가진 광학 광선 분할 장치(optical beam-splitting element)로서, 상기 제1표면에는 제1방향을 가지고 제1표면에 입사한 방사선으로부터 제2방향을 가진 부광선(sub-beam)을 발생시키는 격자가 제공되는 광학 광선 분할 장치에 있어서, 상기 부광선의 상기 방향을 상기 제2방향에서 제3방향으로 변화시키는 거울을 포함하고, 상기 제1방향과 상기 제2방향 사이의 각도는 상기 제1방향과 상기 제3방향 사이의 각도보다 작은 것을 특징으로 하는 광학 광선 분할 장치.
  2. 제1항에 있어서, 상기 부광선의 경로에 출구표면(exit surface)을 가지고, 상기 거울은 상기 제1표면과 상기 출구표면 사이의 상기 부광선의 상기 경롱 위치하는 것을 특징으로 하는 광학 광선 분할 장치.
  3. 제1항 또는 2항에 있어서, 상기 거울은 전적으로 내부 반사하는 것을 특징으로 하는 광학 광선 분할 장치.
  4. 제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 제1방향과 상기 제3방향 사이의 각도는 거의 90°인 것을 특징으로 하는 광학 광선 분할 장치.
  5. 제1항 내지 제4항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 격자는 2개의 부격자를 포함하는 것을 특징으로 하는 광학 광선 분할 장치.
  6. 제1항에 있어서, 상기 입사 광선의 상기 경로에 위치한 제2표면을 가지고 상기 제2표면은 격자 선이 평행한 격자를 구비하는 것을 특징으로 하는 광학 광선 분할 장치.
  7. 제1항에 있어서, 상기 입사 광선의 상기 경로에 위치한 제2표면을 가지고 상기 제1표면과 상기 제2표면중의 적어도 하나는 광학력(optical power)이 있는 것을 특징으로 하는 광학 광선 분할 장치.
  8. 제1항에 있어서, 상기 제1표면과 상기 제2표면은 공통의 광 축을 가지고 상기 제2표면은 원통형 축을 가진 거의 원통형인 부분을 구비하고, 상기 부분은 횡단 평면에서 n1/n2의 차수의 각도 확대도와 종단 평면에서 n2/n1의 차수를 가지고, 상기 횡단 평면과 종단 평면은 서로 직각이고 광학 축을 따라 서로 교차하고, 상기 원통형 축은 상기 횡단 평면에 위치하고, n2와 n1은 각기 상기 장치 물질과 상기 주위 매체의 반사 지수이고, 상기 제1표명는 환형(toroidal) 표면인 것을 특징으로 하는 광학 광선 분할 장치.
  9. 방사원 유닛(radiation source unit)에 있어서, 상기 부광선의 상기 경로에 배열된 다이오드 레이저 및 상기 청구항의 어느 한 항에서 청구된 광학 광선 분할 장치 및 방사 감지 검출 시스템(radiation-sensitive detection system)을 포함하는 것을 특징으로 하는 광학 방사원 유닛.
  10. 정보 평면을 주사하는 광학 주사 장치(optical scanning device)에 있어서, 제9항에서 청구된 방사원 유닛 및 상기 정보 평면 위에 주사점을 형성하기 위해 상기 유닛이 공급되는 상기 방사선의 초점을 맞추는 대물렌즈 시스템을 포함하되, 상기 정보 평면으로부터의 상기 부광선의 방사선을 상기 정보 평면에 저장된 정보를 나타내는 전기 신호로 변환하는 상기 검출 시스템은 상기 방사원 유닛에 배치되는 것을 특징으로 하는 광학 주사 장치.
    ※ 참고사항:최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
KR1019960706949A 1994-06-07 1995-05-15 광학 광선 분할 소자(Optical beam-splitting element) KR970703540A (ko)

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