KR900018714A - 대물렌즈 및 그 주사 장치 - Google Patents

대물렌즈 및 그 주사 장치 Download PDF

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KR900018714A
KR900018714A KR1019900007046A KR900007046A KR900018714A KR 900018714 A KR900018714 A KR 900018714A KR 1019900007046 A KR1019900007046 A KR 1019900007046A KR 900007046 A KR900007046 A KR 900007046A KR 900018714 A KR900018714 A KR 900018714A
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scanning
radiation
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KR1019900007046A
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Inventor
요한네스 마리아 브라트 요세푸스
Original Assignee
프레데릭 얀 스미트
엔. 브이. 필립스 글로아이람펜파브리켄
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    • G02—OPTICS
    • G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B26/00—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements
    • G02B26/08—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements for controlling the direction of light
    • G02B26/10—Scanning systems
    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B3/00—Simple or compound lenses
    • G02B3/02—Simple or compound lenses with non-spherical faces
    • G02B3/04—Simple or compound lenses with non-spherical faces with continuous faces that are rotationally symmetrical but deviate from a true sphere, e.g. so called "aspheric" lenses

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Abstract

내용 없음

Description

대물렌즈 및 그 주사장치
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제1도는 본 발명에 따른 대물렌즈의 제1수정을 포함하는 주사장치의 제1실시예의 도시도, 제2도 및 제3도는 대물렌즈 면중 하나에 배치된 회절 그레이팅 주사 장치의 다른 실시예의 도시도.

Claims (13)

  1. 대물렌즈 측면에서 제1굴절면과 영상 측면에서 제2굴절면을 가지는 투명 물질의 단일 렌즈 몸체를 구비하며, 상기 면의 최소한 하나는 비구면이며, 회절 제한 방사 스폿으로 발산 방사 비임을 포카싱하기 위한 대물렌즈에 있어서, 제1 및 제2굴절면 둘다 대물측에서 관측되며, 오목렌즈이며, 초점길이는 축에 따른 두께보다 상당히 작으며 제2굴절면은 비구면인 것을 특징으로 하는 대물렌즈.
  2. 제1항에 있어서, 상기 제1굴절면 또한 비구면인 것을 특징으로 하는 대물렌즈.
  3. 제1항 또는 제2항에 있어서, 제3면은 제1굴절면과 제2굴절면 사이에 존재하며, 상기 제3면은 제2굴절면 쪽으로 대략 90도의 각으로 제1굴절면을 통해 비임 엔터링의 치프 레이를 반사하고 편향하는 것을 특징으로 하는 대물렌즈.
  4. 기록 캐리어의 투영 기판상에 정보 플레인을 주사하기 위한 장치로서, 상기 주사 장치는 정보 플레인에서 떨어진 기판의 측면을 포카싱하는 방사 소스 및 정보층에 주사 스폿에 대해 소스에 의해 공급된 발산 방사비임을 포카싱하기 위한 대물 시스템을 구비하며, 상기 대물렌즈는 제1항, 제2항 또는 제3항에 청구된 바와 같은 대물렌즈에 의해 구성되는 것을 특징으로 하는 주사장치.
  5. 제4항에 있어서, 반사 정보 플레인을 주사하기 위해 의도되며, 방사 감지 검출 시스템쪽의 정보 플레인으로부터 방사를 편향하기 위한 회절 소자는 방사 소스로서 대물렌즈의 같은 측면에서 배치되어 있는 것을 특징으로 하는 주사장치.
  6. 제4항에 있어서, 주사 비임을 형성하기 위한 회절소자 및 방사 비임으로부터의 2개의 보조 비임은 방사 소스에 의해 공급되는 것을 특징으로 하는 주사장치.
  7. 제5항에 있어서, 상기 회절소자는 소자 안내 비점수차이며 상기 방사 감지 검출시스템은 회절소자에 의해 편향된 치프레이 비임 둘레에 4개의 다른 퀴드런트에 배열된 4개의 검출기를 구비하는 것을 특징으로 하는 주사장치.
  8. 제7항에 있어서, 상기 비점수차 회절 그레이팅은 비선형적으로 변화하는 그레이팅 주기와 커브 그레이팅 스트립을 가진 홀로그래픽 그레이팅인 것을 특징으로 하는 주사장치.
  9. 제5항에 있어서, 상기 제1회절 소자는 2개의 서브 그레이팅을 구비하는 복합 회절 그레이팅이며, 상기 그레이팅은 2개의 서브-비임으로 편향된 주사 비임을 스필트하며, 상기 복합 검출 시스템은 2개의 검출기쌍을 구비하며, 상기 제1 및 제2보조 비임은 제1 및 제2검출기쌍과 각각 협력하는 것을 특징으로 하는 주사장치.
  10. 제9항에 있어서, 상기 서브 그레이팅은 다양한 그레이팅 주기를 가지며 서브 그레이팅의 그레이팅 스트립은 곡선인 것을 특징으로 하는 주사장치.
  11. 제9항 또는 제10항에 있어서, 상기 하나의 서브 그레이팅의 그레이팅 스트립은 다른 서브 그레이팅처럼 주 방향을 가지며 서브 그레이팅의 평균 그레이팅 주기는 다르며 상기 검출기 쌍은 서브 그레이팅 사이의 바운딩라인에 대해 병렬 방향으로 나란히 배치된 것을 특징으로 하는 주사 장치.
  12. 제9항 또는 제10항에 있어서, 상기 서브 그레이팅은 같은 평균 그레이팅 주기를 가지며, 하나의 서브 그레이팅의 그레이팅 스트립의 주방향은 제1각도에서 연장되며 다른 서브 그레이팅의 방향은 2개의 서브그레이팅 사이의 바운딩 라인에 대해 제2각도에서 연장되며 검출기 쌍은 상기 바운딩 라인의 방향을 가로지른 방향으로 나란히 배치된 것을 특징으로 하는 주사장치.
  13. 제5,6,7항 또는 제9항에 있어서, 상기 회절 소자는 대물렌즈의 면중 하나에 배치되어 있는 것을 특징으로 하는 주사장치.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
KR1019900007046A 1989-05-19 1990-05-17 대물렌즈 및 그 주사 장치 KR900018714A (ko)

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