JPH08313805A - レンズ装置及び紫外線集光装置 - Google Patents
レンズ装置及び紫外線集光装置Info
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- JPH08313805A JPH08313805A JP7119946A JP11994695A JPH08313805A JP H08313805 A JPH08313805 A JP H08313805A JP 7119946 A JP7119946 A JP 7119946A JP 11994695 A JP11994695 A JP 11994695A JP H08313805 A JPH08313805 A JP H08313805A
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Classifications
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- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B7/00—Recording or reproducing by optical means, e.g. recording using a thermal beam of optical radiation by modifying optical properties or the physical structure, reproducing using an optical beam at lower power by sensing optical properties; Record carriers therefor
- G11B7/12—Heads, e.g. forming of the optical beam spot or modulation of the optical beam
- G11B7/135—Means for guiding the beam from the source to the record carrier or from the record carrier to the detector
- G11B7/1372—Lenses
- G11B7/1374—Objective lenses
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B7/00—Recording or reproducing by optical means, e.g. recording using a thermal beam of optical radiation by modifying optical properties or the physical structure, reproducing using an optical beam at lower power by sensing optical properties; Record carriers therefor
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- G11B7/135—Means for guiding the beam from the source to the record carrier or from the record carrier to the detector
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- G11B7/1378—Separate aberration correction lenses; Cylindrical lenses to generate astigmatism; Beam expanders
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- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B13/00—Optical objectives specially designed for the purposes specified below
- G02B13/14—Optical objectives specially designed for the purposes specified below for use with infrared or ultraviolet radiation
- G02B13/143—Optical objectives specially designed for the purposes specified below for use with infrared or ultraviolet radiation for use with ultraviolet radiation
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- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B13/00—Optical objectives specially designed for the purposes specified below
- G02B13/18—Optical objectives specially designed for the purposes specified below with lenses having one or more non-spherical faces, e.g. for reducing geometrical aberration
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B3/00—Simple or compound lenses
- G02B3/02—Simple or compound lenses with non-spherical faces
Abstract
(57)【要約】
【構成】 対物レンズ装置１５は、一面が球面研磨され
た合成石英からなる球面部２１の該一面にフッ化樹脂を
コーティングして非球面部２２を形成した第１レンズ２
０と、一面が球面研磨された合成石英よりなる第２レン
ズ２３からなる。 【効果】 フォーカス駆動機構を小さくし、適用される
装置の小型化と軽量化を実現できる。
た合成石英からなる球面部２１の該一面にフッ化樹脂を
コーティングして非球面部２２を形成した第１レンズ２
０と、一面が球面研磨された合成石英よりなる第２レン
ズ２３からなる。 【効果】 フォーカス駆動機構を小さくし、適用される
装置の小型化と軽量化を実現できる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、紫外線領域の光を集光
するレンズ装置及びこのレンズ装置を用いる紫外線集光
装置に関する。
するレンズ装置及びこのレンズ装置を用いる紫外線集光
装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】コンピュータの記憶装置、画像情報のパ
ーケージメディアとして、光ディスクの高密度化が進ん
でいる。光ディスクの高密度化は、高密度記録と高密度
再生に分けられるが、いずれの場合も光源から光ディス
クに出射されるレーザ光の短波長化が有効である。
ーケージメディアとして、光ディスクの高密度化が進ん
でいる。光ディスクの高密度化は、高密度記録と高密度
再生に分けられるが、いずれの場合も光源から光ディス
クに出射されるレーザ光の短波長化が有効である。
【０００３】例えば光ディスクの製造工程において、短
波長光源から出射された短波長化レーザ光が情報信号に
応じて強度変調されて原盤上のフォトレジストに照射さ
れれば、最終的に高密度記録の施された光ディスクを製
造することができる。
波長光源から出射された短波長化レーザ光が情報信号に
応じて強度変調されて原盤上のフォトレジストに照射さ
れれば、最終的に高密度記録の施された光ディスクを製
造することができる。
【０００４】ここで、短波長化レーザ光として例えば波
長２６６ｎｍの紫外線レーザ光を用いた光ディスクカッ
ティング装置について図１１を参照しながら説明する。
この光ディスクカッティング装置５０の短波長光源であ
る紫外線光源５１から出射された紫外線レーザ光は、光
強度変調器５２により情報信号に応じて強度変調され
る。光強度変調器５２を透過した紫外線レーザ光は、ビ
ームエキスパンダ５３により光束を広げられる。ビーム
エキスパンダ５３により光束を広げられた紫外線レーザ
光は、折り返しミラー５４で反射されて対物レンズ装置
５５に導かれる。対物レンズ装置５５は球面レンズを組
み合わせて成り、上記情報信号に応じて強度変調された
紫外線レーザ光を原盤５６上に照射する。
長２６６ｎｍの紫外線レーザ光を用いた光ディスクカッ
ティング装置について図１１を参照しながら説明する。
この光ディスクカッティング装置５０の短波長光源であ
る紫外線光源５１から出射された紫外線レーザ光は、光
強度変調器５２により情報信号に応じて強度変調され
る。光強度変調器５２を透過した紫外線レーザ光は、ビ
ームエキスパンダ５３により光束を広げられる。ビーム
エキスパンダ５３により光束を広げられた紫外線レーザ
光は、折り返しミラー５４で反射されて対物レンズ装置
５５に導かれる。対物レンズ装置５５は球面レンズを組
み合わせて成り、上記情報信号に応じて強度変調された
紫外線レーザ光を原盤５６上に照射する。
【０００５】この際、原盤５６はＸ−Ｙステージ５７上
で回転している。また、Ｘ−Ｙステージ５７は、原盤５
６をＸ−Ｙ方向に動かしてトラッキング制御を行ってい
る。また、フォーカス制御は、駆動コイル５８によって
対物レンズ装置５５を図中矢印Ｆに示す方向に動かすこ
とによって行われる。
で回転している。また、Ｘ−Ｙステージ５７は、原盤５
６をＸ−Ｙ方向に動かしてトラッキング制御を行ってい
る。また、フォーカス制御は、駆動コイル５８によって
対物レンズ装置５５を図中矢印Ｆに示す方向に動かすこ
とによって行われる。
【０００６】原盤５６は、例えば厚み６ｍｍのガラス円
盤に例えば０．１μｍの厚みにフォトレジストを塗布し
てなる。上記紫外線レーザ光は、光強度変調器５２で強
弱がつけられ、情報信号に応じた強さで上記フォトレジ
ストを感光させる。その後、原盤５６を現像すると、感
光された部分のフォトレジストが現像液に溶け、ピット
の列ができる。これに金属を蒸着した後、再生して記録
状態、きず等による欠陥状態をチェックした後、例えば
Ｎｉメッキをしてスタンパを形成する。このスタンパを
用いて大量のレプリカを作る。このレプリカから最終的
に高密度記録が施された光ディスクが作られる。
盤に例えば０．１μｍの厚みにフォトレジストを塗布し
てなる。上記紫外線レーザ光は、光強度変調器５２で強
弱がつけられ、情報信号に応じた強さで上記フォトレジ
ストを感光させる。その後、原盤５６を現像すると、感
光された部分のフォトレジストが現像液に溶け、ピット
の列ができる。これに金属を蒸着した後、再生して記録
状態、きず等による欠陥状態をチェックした後、例えば
Ｎｉメッキをしてスタンパを形成する。このスタンパを
用いて大量のレプリカを作る。このレプリカから最終的
に高密度記録が施された光ディスクが作られる。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】ところで、光ディスク
カッティング装置５０に用いる対物レンズ装置５５は、
従来、紫外線レーザ光がガラスレンズに吸収されてしま
うため、合成石英からなる球面レンズを組み合わせて構
成されていた。合成石英レンズの一面を球面とするのは
比較的たやすいが、非球面とするのは困難である。この
ため、従来の対物レンズ装置５５は、例えば直径２０〜
３０ｍｍ、長さ５０ｍｍ、質量１００ｇというように大
型化してしまう。このため、この対物レンズ装置５５を
駆動する駆動コイル５８を備えるフォーカス駆動機構
も、大型化してしまう。対物レンズ装置５５及びフォー
カス駆動機構が大きくなれば、光ディスクカッティング
装置全体の小型化と軽量化を妨げてしまう。
カッティング装置５０に用いる対物レンズ装置５５は、
従来、紫外線レーザ光がガラスレンズに吸収されてしま
うため、合成石英からなる球面レンズを組み合わせて構
成されていた。合成石英レンズの一面を球面とするのは
比較的たやすいが、非球面とするのは困難である。この
ため、従来の対物レンズ装置５５は、例えば直径２０〜
３０ｍｍ、長さ５０ｍｍ、質量１００ｇというように大
型化してしまう。このため、この対物レンズ装置５５を
駆動する駆動コイル５８を備えるフォーカス駆動機構
も、大型化してしまう。対物レンズ装置５５及びフォー
カス駆動機構が大きくなれば、光ディスクカッティング
装置全体の小型化と軽量化を妨げてしまう。
【０００８】また、光ディスクカッティング装置５０
は、対物レンズ装置５５のトラッキング制御をＸ−Ｙス
テージ５７を動かして相対的に行っているため、高速の
ビームスキャンができなかった。
は、対物レンズ装置５５のトラッキング制御をＸ−Ｙス
テージ５７を動かして相対的に行っているため、高速の
ビームスキャンができなかった。
【０００９】本発明は、上記実情に鑑みてなされたもの
であり、フォーカス駆動機構を小さくし、適用される装
置の小型化と軽量化を実現できるレンズ装置の提供を目
的とする。
であり、フォーカス駆動機構を小さくし、適用される装
置の小型化と軽量化を実現できるレンズ装置の提供を目
的とする。
【００１０】また、本発明は、上記実情に鑑みてなされ
たものであり、フォーカス駆動機構を小さくできるた
め、小型化と軽量化を実現できる紫外線集光装置の提供
を目的とする。
たものであり、フォーカス駆動機構を小さくできるた
め、小型化と軽量化を実現できる紫外線集光装置の提供
を目的とする。
【００１１】
【課題を解決するための手段】本発明に係るレンズ装置
は、上記課題を解決するため、球面研磨した一面にフッ
化樹脂をコーティングして非球面を形成してなる少なく
とも１枚の合成石英レンズを備えて、紫外線領域の光を
集光する。
は、上記課題を解決するため、球面研磨した一面にフッ
化樹脂をコーティングして非球面を形成してなる少なく
とも１枚の合成石英レンズを備えて、紫外線領域の光を
集光する。
【００１２】また、本発明に係る紫外線集光装置は、上
記課題を解決するため、球面研磨した一面にフッ化樹脂
をコーティングして非球面を形成してなる少なくとも１
枚の合成石英レンズを備えた紫外線非球面レンズ手段
と、上記紫外線非球面レンズ手段を少なくとも光軸方向
に駆動する駆動手段とを備える。
記課題を解決するため、球面研磨した一面にフッ化樹脂
をコーティングして非球面を形成してなる少なくとも１
枚の合成石英レンズを備えた紫外線非球面レンズ手段
と、上記紫外線非球面レンズ手段を少なくとも光軸方向
に駆動する駆動手段とを備える。
【００１３】
【作用】一面が球面研磨された合成石英レンズの該球面
にフッ化樹脂をコーティングして非球面を形成した合成
石英レンズを用いているので、レンズ装置自体が小さく
なり、フォーカス駆動機構の小型化、軽量化を達成でき
る。
にフッ化樹脂をコーティングして非球面を形成した合成
石英レンズを用いているので、レンズ装置自体が小さく
なり、フォーカス駆動機構の小型化、軽量化を達成でき
る。
【００１４】
【実施例】本発明に係るレンズ装置及び紫外線集光装置
の実施例について説明する。ここでは、光ディスクカッ
ティング装置を第１実施例、光学ピックアップ装置を第
２実施例としている。共にレンズ装置を用いた紫外線集
光装置の例である。
の実施例について説明する。ここでは、光ディスクカッ
ティング装置を第１実施例、光学ピックアップ装置を第
２実施例としている。共にレンズ装置を用いた紫外線集
光装置の例である。
【００１５】先ず、図１に示す第１実施例の光ディスク
カッティング装置１０は、紫外線領域の光である紫外線
レーザ光を光強度変調器１２により情報信号に応じて強
度変調してから原盤１６上のフォトレジストに照射す
る。この後、原盤１６を現像すると、上記紫外線レーザ
光に感光した部分のフォトレジストが現像液に溶け、ピ
ットの列ができる。これに金属を蒸着した後、再生して
記録状態、きず等による欠陥状態をチェックした後、例
えばＮｉメッキをしてスタンパを形成する。このスタン
パを用いて大量のレプリカを作り、このレプリカから最
終的に高密度記録が施された光ディスクが作られる。
カッティング装置１０は、紫外線領域の光である紫外線
レーザ光を光強度変調器１２により情報信号に応じて強
度変調してから原盤１６上のフォトレジストに照射す
る。この後、原盤１６を現像すると、上記紫外線レーザ
光に感光した部分のフォトレジストが現像液に溶け、ピ
ットの列ができる。これに金属を蒸着した後、再生して
記録状態、きず等による欠陥状態をチェックした後、例
えばＮｉメッキをしてスタンパを形成する。このスタン
パを用いて大量のレプリカを作り、このレプリカから最
終的に高密度記録が施された光ディスクが作られる。
【００１６】ここで、対物レンズ装置１５は、球面研磨
した一面にフッ化樹脂をコーティングして非球面を形成
してなる少なくとも１枚の合成石英レンズを備えてな
る。
した一面にフッ化樹脂をコーティングして非球面を形成
してなる少なくとも１枚の合成石英レンズを備えてな
る。
【００１７】光ディスクカッティング装置１０は、上記
対物レンズ装置１５と、この対物レンズ装置１５を少な
くとも光軸方向に駆動する駆動手段である駆動コイル１
７とを備えている。
対物レンズ装置１５と、この対物レンズ装置１５を少な
くとも光軸方向に駆動する駆動手段である駆動コイル１
７とを備えている。
【００１８】また、この光ディスクカッティング装置１
０は、短波長光源として紫外線領域の例えば波長２６６
ｎｍのレーザ光を出射する紫外線レーザのような紫外線
光源１１を備えている。紫外線光源１１から出射された
紫外線レーザ光は、光強度変調器１２により情報信号に
応じて強度変調される。光強度変調器１２を透過した紫
外線レーザ光は、ビームエキスパンダ１３により光束を
広げられる。ビームエキスパンダ１３により光束を広げ
られた紫外線レーザ光は、折り返しミラー１４で反射さ
れて対物レンズ装置１５に導かれる。対物レンズ装置１
５は上記紫外線レーザ光を原盤１６上のフォトレジスト
に照射する。なお、原盤１６は、スピンドルモータ１９
の発生した回転駆動力によって回転している。
０は、短波長光源として紫外線領域の例えば波長２６６
ｎｍのレーザ光を出射する紫外線レーザのような紫外線
光源１１を備えている。紫外線光源１１から出射された
紫外線レーザ光は、光強度変調器１２により情報信号に
応じて強度変調される。光強度変調器１２を透過した紫
外線レーザ光は、ビームエキスパンダ１３により光束を
広げられる。ビームエキスパンダ１３により光束を広げ
られた紫外線レーザ光は、折り返しミラー１４で反射さ
れて対物レンズ装置１５に導かれる。対物レンズ装置１
５は上記紫外線レーザ光を原盤１６上のフォトレジスト
に照射する。なお、原盤１６は、スピンドルモータ１９
の発生した回転駆動力によって回転している。
【００１９】ここで、フォーカス制御は、フォーカシン
グ駆動コイル１７によって対物レンズ装置１５を図中矢
印Ｆ方向に駆動して行われる。また、トラッキング制御
は、トラッキング駆動コイル１８によって対物レンズ装
置１５を図中矢印Ｔ方向に駆動して行われる。
グ駆動コイル１７によって対物レンズ装置１５を図中矢
印Ｆ方向に駆動して行われる。また、トラッキング制御
は、トラッキング駆動コイル１８によって対物レンズ装
置１５を図中矢印Ｔ方向に駆動して行われる。
【００２０】対物レンズ装置１５は、図２に示すよう
に、一面が球面研磨された合成石英からなる球面部２１
の該一面にフッ化樹脂をコーティングして非球面部２２
を形成した第１レンズ２０と、一面が球面研磨された合
成石英よりなる第２レンズ２３からなる。第１レンズ２
０において、フッ化樹脂がコーティングされて形成され
た非球面部２２は、屈折率ｎが１．４１〜１．４３であ
る。
に、一面が球面研磨された合成石英からなる球面部２１
の該一面にフッ化樹脂をコーティングして非球面部２２
を形成した第１レンズ２０と、一面が球面研磨された合
成石英よりなる第２レンズ２３からなる。第１レンズ２
０において、フッ化樹脂がコーティングされて形成され
た非球面部２２は、屈折率ｎが１．４１〜１．４３であ
る。
【００２１】また、この対物レンズ装置１５は、第１レ
ンズ２０の非球面部２２の表面である第１面１５ａと、
球面部２１の表面である第２面１５ｂと、球面部２１の
裏面である第３面１５ｃと、第２レンズ２３の表面であ
る第４面１５ｄと、第２レンズ２３の裏面である第５面
１５ｅとを備えている。
ンズ２０の非球面部２２の表面である第１面１５ａと、
球面部２１の表面である第２面１５ｂと、球面部２１の
裏面である第３面１５ｃと、第２レンズ２３の表面であ
る第４面１５ｄと、第２レンズ２３の裏面である第５面
１５ｅとを備えている。
【００２２】以下、この対物レンズ装置１５のいくつか
の具体例について説明する。
の具体例について説明する。
【００２３】先ず、第１具体例は、波長２６６ｎｍの紫
外線レーザ光に対して焦点距離４．６７４ｍｍ、バック
フォーカス２．７ｍｍとなるような開口数ＮＡ（＝０．
４）を有し、射出瞳径が４．１ｍｍである対物レンズ装
置である。また、第１具体例の非球面部２２の屈折率ｎ
は、１．４１である。
外線レーザ光に対して焦点距離４．６７４ｍｍ、バック
フォーカス２．７ｍｍとなるような開口数ＮＡ（＝０．
４）を有し、射出瞳径が４．１ｍｍである対物レンズ装
置である。また、第１具体例の非球面部２２の屈折率ｎ
は、１．４１である。
【００２４】この第１具体例は、非球面形状Ｚが
【００２５】
【数１】
【００２６】のように表せる。この（１）式において、
CURVは非球面の内接球面の曲率、ｋは円錐常数、ｈは中
心軸からの変位量、Ａは４次の非球面係数、Ｂは６次の
非球面係数、Ｃは８次の非球面係数、Ｄは１０次の非球
面係数である。
CURVは非球面の内接球面の曲率、ｋは円錐常数、ｈは中
心軸からの変位量、Ａは４次の非球面係数、Ｂは６次の
非球面係数、Ｃは８次の非球面係数、Ｄは１０次の非球
面係数である。
【００２７】この第１具体例は次のようなレンズ諸元を
備えている。なお、ここでは第１面１５ａ、第２面１５
ｂ、第３面１５ｃ、第４面１５ｄ、第５面１５ｅという
面種類別に曲率半径、面間隔、屈折率の順でレンズ諸元
を示す。また、物体面の曲率半径と面間隔は、共に無限
大（∞）である。
備えている。なお、ここでは第１面１５ａ、第２面１５
ｂ、第３面１５ｃ、第４面１５ｄ、第５面１５ｅという
面種類別に曲率半径、面間隔、屈折率の順でレンズ諸元
を示す。また、物体面の曲率半径と面間隔は、共に無限
大（∞）である。
【００２８】第１面１５ａの曲率半径は3.10000、面間
隔は0.050000、屈折率は1.410000である。ここでいう面
間隔は第１面１５ａと第２面１５ｂとの光軸Ｌ上での間
隔である。また、ここでいう屈折率は第１面１５ａと第
２面１５ｂ間、すなわち非球面部２２の屈折率である。
また、この第１面１５ａの上記（１）式に示した各非球
面係数は、ｋ＝-1.77O441（回転双曲面）、Ａ＝0.40556
E-02、Ｂ＝-0.146668E-03、Ｃ＝0.000000E+00、Ｄ＝0.0
00000E+00である。
隔は0.050000、屈折率は1.410000である。ここでいう面
間隔は第１面１５ａと第２面１５ｂとの光軸Ｌ上での間
隔である。また、ここでいう屈折率は第１面１５ａと第
２面１５ｂ間、すなわち非球面部２２の屈折率である。
また、この第１面１５ａの上記（１）式に示した各非球
面係数は、ｋ＝-1.77O441（回転双曲面）、Ａ＝0.40556
E-02、Ｂ＝-0.146668E-03、Ｃ＝0.000000E+00、Ｄ＝0.0
00000E+00である。
【００２９】第２面１５ｂの曲率半径は3.000000、面間
隔は1.90000000、屈折率は1.4996790000である。ここで
も上記第１面１５ａの記載と同様に、面間隔とは第２面
１５ｂと第３面１５ｃとの光軸Ｌ上での間隔である。ま
た屈折率は第２面１５ｂと第３面１５ｃとの間、すなわ
ち球面部２１の屈折率である。
隔は1.90000000、屈折率は1.4996790000である。ここで
も上記第１面１５ａの記載と同様に、面間隔とは第２面
１５ｂと第３面１５ｃとの光軸Ｌ上での間隔である。ま
た屈折率は第２面１５ｂと第３面１５ｃとの間、すなわ
ち球面部２１の屈折率である。
【００３０】第３面の曲率半径は無限大（∞）、面間隔
は0.30000000、屈折率は空気と同様である。ここでの面
間隔とは、第３面１５ｃと第４面１５ｄとの光軸Ｌ上で
の間隔である。また屈折率は第３面１５ｃと第４面１５
ｄの間、すなわち空気の屈折率である。
は0.30000000、屈折率は空気と同様である。ここでの面
間隔とは、第３面１５ｃと第４面１５ｄとの光軸Ｌ上で
の間隔である。また屈折率は第３面１５ｃと第４面１５
ｄの間、すなわち空気の屈折率である。
【００３１】第４面１５ｄの曲率半径は4.919710、面間
隔は1.00000000、屈折率は1.4996790000である。ここで
の面間隔とは、第４面１５ｄと第５面１５ｅとの光軸Ｌ
上での間隔である。また屈折率は第４面１５ｄと第５面
１５ｅの間、すなわち第２レンズの屈折率である。
隔は1.00000000、屈折率は1.4996790000である。ここで
の面間隔とは、第４面１５ｄと第５面１５ｅとの光軸Ｌ
上での間隔である。また屈折率は第４面１５ｄと第５面
１５ｅの間、すなわち第２レンズの屈折率である。
【００３２】第５面１５ｅの曲率半径は11.49383、面間
隔は2.75143000、屈折率は空気と同様である。ここでの
面間隔とは、第５面１５ｅと物体面との光軸Ｌ上での間
隔である。また屈折率は第５面１５ｅと物体面の間、す
なわち空気の屈折率である。
隔は2.75143000、屈折率は空気と同様である。ここでの
面間隔とは、第５面１５ｅと物体面との光軸Ｌ上での間
隔である。また屈折率は第５面１５ｅと物体面の間、す
なわち空気の屈折率である。
【００３３】そして、レンズ仕様としては、基板厚が0
ｍｍ、開口数（ＮＡ）が0.40000、波長が266ｎｍのと
き、像高が0.05000である。
ｍｍ、開口数（ＮＡ）が0.40000、波長が266ｎｍのと
き、像高が0.05000である。
【００３４】以上に示したこの第１具体例の光軸に対す
る波面収差の変化を図３及び４に示す。図３の（Ａ）に
は光軸からの傾きが0.5゜つまり軸外0.5゜での子午面内
収差の変化を示し、図３の（Ｂ）には軸上での子午面内
収差を示す。上記収差は軸上で0.002rmsλ、軸外0.5゜
で0.021rmsλとなる。どちらの場合でも十分にマルシャ
ルの許容値0.07rmsλ以下となる。なお、図４の（Ａ）
には軸外0.5゜での球欠面内収差の変化を示し、図４の
（Ｂ）には軸上での球欠面内収差の変化を示す。
る波面収差の変化を図３及び４に示す。図３の（Ａ）に
は光軸からの傾きが0.5゜つまり軸外0.5゜での子午面内
収差の変化を示し、図３の（Ｂ）には軸上での子午面内
収差を示す。上記収差は軸上で0.002rmsλ、軸外0.5゜
で0.021rmsλとなる。どちらの場合でも十分にマルシャ
ルの許容値0.07rmsλ以下となる。なお、図４の（Ａ）
には軸外0.5゜での球欠面内収差の変化を示し、図４の
（Ｂ）には軸上での球欠面内収差の変化を示す。
【００３５】したがって、この第１具体例は、従来より
小型でありながら光軸の傾きに対してもマルシャルの許
容値以下に波面収差を抑えることができる。
小型でありながら光軸の傾きに対してもマルシャルの許
容値以下に波面収差を抑えることができる。
【００３６】このため、第１具体例を適用した対物レン
ズ装置１５を駆動しフォーカス制御を行うフォーカシン
グ駆動コイル１７を使ったフォーカス駆動機構は、小型
化できる。また、トラッキング駆動コイル１８を使った
トラック駆動機構で、第１具体例を適用した対物レンズ
装置１５を駆動し、トラック制御を行うことができ、か
つそのトラック駆動機構も小型化できる。
ズ装置１５を駆動しフォーカス制御を行うフォーカシン
グ駆動コイル１７を使ったフォーカス駆動機構は、小型
化できる。また、トラッキング駆動コイル１８を使った
トラック駆動機構で、第１具体例を適用した対物レンズ
装置１５を駆動し、トラック制御を行うことができ、か
つそのトラック駆動機構も小型化できる。
【００３７】次に、対物レンズ装置１５の第２具体例に
ついて説明する。この第２具体例は、上記第１具体例と
同様に波長２６６ｎｍの紫外線レーザ光に対して焦点距
離４．６７４ｍｍ、バックフォーカス２．７ｍｍとなる
ような開口数ＮＡ（＝０．４）を有し、射出瞳径が４．
１ｍｍである対物レンズ装置である。この第２具体例の
非球面形状Ｚも上記（１）式で表せる。
ついて説明する。この第２具体例は、上記第１具体例と
同様に波長２６６ｎｍの紫外線レーザ光に対して焦点距
離４．６７４ｍｍ、バックフォーカス２．７ｍｍとなる
ような開口数ＮＡ（＝０．４）を有し、射出瞳径が４．
１ｍｍである対物レンズ装置である。この第２具体例の
非球面形状Ｚも上記（１）式で表せる。
【００３８】この第２具体例は次のようなレンズ諸元を
備えている。なお、ここでも面種類別に曲率半径、面間
隔、屈折率の順でレンズ諸元を示す。また、面間隔、屈
折率についても第１具体例の定義と同様である。また、
物体面の曲率半径と面間隔は、共に無限大（∞）であ
る。
備えている。なお、ここでも面種類別に曲率半径、面間
隔、屈折率の順でレンズ諸元を示す。また、面間隔、屈
折率についても第１具体例の定義と同様である。また、
物体面の曲率半径と面間隔は、共に無限大（∞）であ
る。
【００３９】第１面１５ａの曲率半径は3.10000、面間
隔は0.050000、屈折率は1.420000である。また、この第
１面１５ａの上記（１）式に示した各非球面係数は、ｋ
＝-1.746914（回転双曲面）、Ａ＝0.404955E-02、Ｂ＝-
0.133193E-03、Ｃ＝0.000000E+00、Ｄ＝0.000000E+00で
ある。
隔は0.050000、屈折率は1.420000である。また、この第
１面１５ａの上記（１）式に示した各非球面係数は、ｋ
＝-1.746914（回転双曲面）、Ａ＝0.404955E-02、Ｂ＝-
0.133193E-03、Ｃ＝0.000000E+00、Ｄ＝0.000000E+00で
ある。
【００４０】第２面１５ｂの曲率半径は3.000000、面間
隔は1.90000000、屈折率は1.4996790000である。第３面
１５ｃの曲率半径は無限大（∞）、面間隔は0.3000000
0、屈折率は空気と同様である。第４面１５ｄの曲率半
径は4.87750、面間隔は1.00000000、屈折率は1.4996790
000である。第５面１５ｅの曲率半径は11.21653、面間
隔は2.750606である。
隔は1.90000000、屈折率は1.4996790000である。第３面
１５ｃの曲率半径は無限大（∞）、面間隔は0.3000000
0、屈折率は空気と同様である。第４面１５ｄの曲率半
径は4.87750、面間隔は1.00000000、屈折率は1.4996790
000である。第５面１５ｅの曲率半径は11.21653、面間
隔は2.750606である。
【００４１】そして、レンズ仕様としては、基板厚が0
ｍｍ、開口数（ＮＡ）が0.40000、波長が266ｎｍのと
き、像高が0.05000ｍｍであり、第１具体例と同じであ
る。
ｍｍ、開口数（ＮＡ）が0.40000、波長が266ｎｍのと
き、像高が0.05000ｍｍであり、第１具体例と同じであ
る。
【００４２】以上に示したこの第２具体例の光軸に対す
る波面収差の変化を図５及び図６に示す。図５の（Ａ）
には軸外0.5゜での子午面内収差の変化を示し、図５の
（Ｂ）には軸上での子午面内収差を示す。上記収差は軸
上で0.002rmsλ、軸外0.5゜で0.02rmsλとなる。どちら
の場合でも十分にマルシャルの許容値0.07rmsλ以下と
なる。なお、図６の（Ａ）には軸外0.5゜での球欠面内
収差の変化を示し、図６の（Ｂ）には軸上での球欠面内
収差の変化を示す。
る波面収差の変化を図５及び図６に示す。図５の（Ａ）
には軸外0.5゜での子午面内収差の変化を示し、図５の
（Ｂ）には軸上での子午面内収差を示す。上記収差は軸
上で0.002rmsλ、軸外0.5゜で0.02rmsλとなる。どちら
の場合でも十分にマルシャルの許容値0.07rmsλ以下と
なる。なお、図６の（Ａ）には軸外0.5゜での球欠面内
収差の変化を示し、図６の（Ｂ）には軸上での球欠面内
収差の変化を示す。
【００４３】したがって、この第２具体例は、上記第１
具体例と同じように、従来の対物レンズ装置よりも小型
でありながら光軸の傾きに対してもマルシャルの許容値
以下に波面収差を抑えることができる。
具体例と同じように、従来の対物レンズ装置よりも小型
でありながら光軸の傾きに対してもマルシャルの許容値
以下に波面収差を抑えることができる。
【００４４】このため、この第２具体例を適用した対物
レンズ装置１５を駆動しフォーカス制御を行うフォーカ
シング駆動コイル１７を使ったフォーカス駆動機構は、
小型化できる。また、トラッキング駆動コイル１８を使
ったトラック駆動機構で、第２具体例を適用した対物レ
ンズ装置１５を駆動し、トラック制御を行うことがで
き、かつそのトラック駆動機構を小さくできる。
レンズ装置１５を駆動しフォーカス制御を行うフォーカ
シング駆動コイル１７を使ったフォーカス駆動機構は、
小型化できる。また、トラッキング駆動コイル１８を使
ったトラック駆動機構で、第２具体例を適用した対物レ
ンズ装置１５を駆動し、トラック制御を行うことがで
き、かつそのトラック駆動機構を小さくできる。
【００４５】次に、対物レンズ装置１５の第３具体例に
ついて説明する。この第３具体例も、上記第１及び第２
具体例と同様に波長２６６ｎｍの紫外線レーザ光に対し
て焦点距離４．６７４ｍｍ、バックフォーカス２．７ｍ
ｍとなるような開口数ＮＡ（＝０．４）を有し、射出瞳
径が４．１ｍｍである対物レンズである。また、この第
３具体例も非球面形状Ｚを上記（１）式のように表せ
る。
ついて説明する。この第３具体例も、上記第１及び第２
具体例と同様に波長２６６ｎｍの紫外線レーザ光に対し
て焦点距離４．６７４ｍｍ、バックフォーカス２．７ｍ
ｍとなるような開口数ＮＡ（＝０．４）を有し、射出瞳
径が４．１ｍｍである対物レンズである。また、この第
３具体例も非球面形状Ｚを上記（１）式のように表せ
る。
【００４６】この第３具体例は次のようなレンズ諸元を
備えている。なお、ここでも面種類別に曲率半径、面間
隔、屈折率の順でレンズ諸元を示す。また、面間隔、屈
折率についても第１及び第２具体例の定義と同様であ
る。また、物体面の曲率半径と面間隔は、共に無限大
（∞）である。
備えている。なお、ここでも面種類別に曲率半径、面間
隔、屈折率の順でレンズ諸元を示す。また、面間隔、屈
折率についても第１及び第２具体例の定義と同様であ
る。また、物体面の曲率半径と面間隔は、共に無限大
（∞）である。
【００４７】第１面１５ａの曲率半径は3.10000、面間
隔は0.050000、屈折率は1.430000である。また、この第
１面１５ａの上記（１）式に示した各非球面係数は、ｋ
＝-1.740877（回転双曲面）、Ａ＝0.398929E-02、Ｂ＝-
0.134266E-03、Ｃ＝0.000000E+00、Ｄ＝0.000000E+00で
ある。
隔は0.050000、屈折率は1.430000である。また、この第
１面１５ａの上記（１）式に示した各非球面係数は、ｋ
＝-1.740877（回転双曲面）、Ａ＝0.398929E-02、Ｂ＝-
0.134266E-03、Ｃ＝0.000000E+00、Ｄ＝0.000000E+00で
ある。
【００４８】第２面１５ｂの曲率半径は3.000000、面間
隔は1.90000000、屈折率は1.4996790000である。第３面
１５ｃの曲率半径は無限大（∞）、面間隔は0.3000000
0、屈折率は空気と同様である。第４面１５ｄの曲率半
径は5.52523、面間隔は1.00000000、屈折率は1.4996790
000である。第５面１５ｅの曲率半径は16.80428、面間
隔は2.786303である。
隔は1.90000000、屈折率は1.4996790000である。第３面
１５ｃの曲率半径は無限大（∞）、面間隔は0.3000000
0、屈折率は空気と同様である。第４面１５ｄの曲率半
径は5.52523、面間隔は1.00000000、屈折率は1.4996790
000である。第５面１５ｅの曲率半径は16.80428、面間
隔は2.786303である。
【００４９】そして、レンズ仕様としては、基板厚が0
ｍｍ、開口数（ＮＡ）が0.40000、波長が266ｎｍのとき
に、像高が0.05000ｍｍであり、第１及び第２具体例と
同じである。
ｍｍ、開口数（ＮＡ）が0.40000、波長が266ｎｍのとき
に、像高が0.05000ｍｍであり、第１及び第２具体例と
同じである。
【００５０】以上に示したこの第３具体例の対物レンズ
の光軸に対する波面収差の変化を図７及び図８に示す。
図７の（Ａ）には軸外0.5゜での子午面内収差の変化を
示し、図７の（Ｂ）には軸上での子午面内収差を示す。
上記収差は軸上で0.002rmsλ、軸外0.5゜で0.022rmsλ
となる。どちらの場合でも十分にマルシャルの許容値0.
07rmsλ以下となる。なお、図８の（Ａ）には軸外0.5゜
での球欠面内収差の変化を示し、図８の（Ｂ）には軸上
での球欠面内収差の変化を示す。
の光軸に対する波面収差の変化を図７及び図８に示す。
図７の（Ａ）には軸外0.5゜での子午面内収差の変化を
示し、図７の（Ｂ）には軸上での子午面内収差を示す。
上記収差は軸上で0.002rmsλ、軸外0.5゜で0.022rmsλ
となる。どちらの場合でも十分にマルシャルの許容値0.
07rmsλ以下となる。なお、図８の（Ａ）には軸外0.5゜
での球欠面内収差の変化を示し、図８の（Ｂ）には軸上
での球欠面内収差の変化を示す。
【００５１】したがって、この第３具体例は、上記第１
及び第２具体例と同じように、従来の対物レンズよりも
小型でありながら光軸の傾きに対してもマルシャルの許
容値以下に波面収差を抑えることができる。
及び第２具体例と同じように、従来の対物レンズよりも
小型でありながら光軸の傾きに対してもマルシャルの許
容値以下に波面収差を抑えることができる。
【００５２】このため、この第３具体例を適用した対物
レンズ装置１５を駆動しフォーカス制御を行うフォーカ
シング駆動コイル１７を使ったフォーカス駆動機構は、
小型化できる。また、トラッキング駆動コイル１８を使
ったトラック駆動機構で、第３具体例を適用した対物レ
ンズ装置１５を駆動し、トラック制御を行うことがで
き、かつそのトラック駆動機構も小型化できる。
レンズ装置１５を駆動しフォーカス制御を行うフォーカ
シング駆動コイル１７を使ったフォーカス駆動機構は、
小型化できる。また、トラッキング駆動コイル１８を使
ったトラック駆動機構で、第３具体例を適用した対物レ
ンズ装置１５を駆動し、トラック制御を行うことがで
き、かつそのトラック駆動機構も小型化できる。
【００５３】以上より、これら第１、第２及び第３具体
例のような対物レンズ装置１５、上記フォーカス駆動機
構、上記トラック駆動機構を備える光ディスクカッティ
ング装置１０は、小型化と軽量化を実現できる。
例のような対物レンズ装置１５、上記フォーカス駆動機
構、上記トラック駆動機構を備える光ディスクカッティ
ング装置１０は、小型化と軽量化を実現できる。
【００５４】次に、図９に示す第２実施例の光学ピック
アップ装置３０について説明する。
アップ装置３０について説明する。
【００５５】この第２実施例は、紫外線光源３１が出射
した紫外線領域の光である紫外線レーザ光を用いて光学
ディスク３７の信号記録面に情報信号を記録する光学ピ
ックアップ装置３０である。この光学ピックアップ装置
３０は、対物レンズ装置３６を用いて、上記紫外線レー
ザ光を光学ディスク３７の信号記録面に集光している。
そして、この光学ピックアップ装置３０は、対物レンズ
装置３６を光軸方向であるフォーカス方向Ｆに駆動する
と共に、光軸方向に対して垂直方向となるトラッキング
方向Ｔにも駆動する。
した紫外線領域の光である紫外線レーザ光を用いて光学
ディスク３７の信号記録面に情報信号を記録する光学ピ
ックアップ装置３０である。この光学ピックアップ装置
３０は、対物レンズ装置３６を用いて、上記紫外線レー
ザ光を光学ディスク３７の信号記録面に集光している。
そして、この光学ピックアップ装置３０は、対物レンズ
装置３６を光軸方向であるフォーカス方向Ｆに駆動する
と共に、光軸方向に対して垂直方向となるトラッキング
方向Ｔにも駆動する。
【００５６】光学ピックアップ装置３０において、紫外
線光源３１から出射された紫外線レーザ光は、光強度変
調器３２により情報信号に応じて強度変調される。光強
度変調器３２を透過した紫外線レーザ光は、ビームエキ
スパンダ３３により光束が広げられる。ビームエキスパ
ンダ３３で光束が広げられた紫外線レーザ光は、折り返
しミラー３４で反射されてから、２軸アクチュエータ３
５がフォーカス及びトラッキングを制御する対物レンズ
装置３６に導かれる。対物レンズ装置３６は、上記紫外
線レーザ光を光学ディスク３７上の信号記録面に集光す
る。そして、この光学ピックアップ装置３０は、上述し
たように、情報信号に応じた記録マークを光学ディスク
３７上の信号記録面に形成する。
線光源３１から出射された紫外線レーザ光は、光強度変
調器３２により情報信号に応じて強度変調される。光強
度変調器３２を透過した紫外線レーザ光は、ビームエキ
スパンダ３３により光束が広げられる。ビームエキスパ
ンダ３３で光束が広げられた紫外線レーザ光は、折り返
しミラー３４で反射されてから、２軸アクチュエータ３
５がフォーカス及びトラッキングを制御する対物レンズ
装置３６に導かれる。対物レンズ装置３６は、上記紫外
線レーザ光を光学ディスク３７上の信号記録面に集光す
る。そして、この光学ピックアップ装置３０は、上述し
たように、情報信号に応じた記録マークを光学ディスク
３７上の信号記録面に形成する。
【００５７】対物レンズ装置３６は、上記第１実施例に
用いられた対物レンズ装置１５と同様に、球面研磨した
一面にフッ化樹脂をコーティングして非球面を形成した
１枚の合成石英レンズと、もう一枚の球面レンズを組み
合わせて成り、図２に示すような構造である。この対物
レンズ装置３６には、説明を省略するが、上記第１〜第
３の具体例を適用することができる。
用いられた対物レンズ装置１５と同様に、球面研磨した
一面にフッ化樹脂をコーティングして非球面を形成した
１枚の合成石英レンズと、もう一枚の球面レンズを組み
合わせて成り、図２に示すような構造である。この対物
レンズ装置３６には、説明を省略するが、上記第１〜第
３の具体例を適用することができる。
【００５８】したがって、この対物レンズ装置３６も従
来より小型でありながら光軸の傾きに対してもマルシャ
ルの許容値以下に波面収差を抑えることができる。
来より小型でありながら光軸の傾きに対してもマルシャ
ルの許容値以下に波面収差を抑えることができる。
【００５９】なお、この対物レンズ装置３６のフォーカ
シング及びトラッキングを制御する２軸アクチュエータ
３５の概略を図１０に示す。この２軸アクチュエータ３
５は、対物レンズ装置３６を保持するレンズホルダ４０
と、フォーカシング駆動用及びトラッキング駆動用のコ
イル４１と、コイル４１を挟み込むように設置された一
対のマグネット４０ａ及び４０ｂと、ベース４３と、ヒ
ンジ構造のアーム４２とを備えて成る。この２軸アクチ
ュエータ３５におけるトラッキング制御は、ヒンジ構造
のアーム４２により対物レンズ装置３６を図中矢印Ｔ方
向に回動して行われる。また、フォーカス制御は、これ
らのリング機構により対物レンズ３６を図中矢印Ｆ方向
に上下動して行われる。
シング及びトラッキングを制御する２軸アクチュエータ
３５の概略を図１０に示す。この２軸アクチュエータ３
５は、対物レンズ装置３６を保持するレンズホルダ４０
と、フォーカシング駆動用及びトラッキング駆動用のコ
イル４１と、コイル４１を挟み込むように設置された一
対のマグネット４０ａ及び４０ｂと、ベース４３と、ヒ
ンジ構造のアーム４２とを備えて成る。この２軸アクチ
ュエータ３５におけるトラッキング制御は、ヒンジ構造
のアーム４２により対物レンズ装置３６を図中矢印Ｔ方
向に回動して行われる。また、フォーカス制御は、これ
らのリング機構により対物レンズ３６を図中矢印Ｆ方向
に上下動して行われる。
【００６０】対物レンズ装置３６は、上述したように小
型、軽量であるため、この対物レンズ装置３６を駆動し
てフォーカシング及びトラッキングを制御する２軸アク
チュエータ３５も小型化、軽量化することができる。
型、軽量であるため、この対物レンズ装置３６を駆動し
てフォーカシング及びトラッキングを制御する２軸アク
チュエータ３５も小型化、軽量化することができる。
【００６１】以上より、対物レンズ装置３６と、２軸ア
クチュエータ３５とを備えるこの第２実施例の光学ピッ
クアップ装置３０も、小型化と軽量化を実現できる。
クチュエータ３５とを備えるこの第２実施例の光学ピッ
クアップ装置３０も、小型化と軽量化を実現できる。
【００６２】なお、本発明に係るレンズ装置及び紫外線
集光装置の実施例は、上記第１、第２の実施例にのみ限
定されるものではなく、紫外線非球面レンズを用いて紫
外線領域のレーザ光を集光するようなレーザ装置を備え
ていれば例えばレーザ描画装置や、レーザ加工装置でも
よい。
集光装置の実施例は、上記第１、第２の実施例にのみ限
定されるものではなく、紫外線非球面レンズを用いて紫
外線領域のレーザ光を集光するようなレーザ装置を備え
ていれば例えばレーザ描画装置や、レーザ加工装置でも
よい。
【００６３】
【発明の効果】本発明に係るレーザ装置は、球面研磨し
た一面にフッ化樹脂をコーティングして非球面を形成し
てなる少なくとも１枚の合成石英レンズを備えてなるの
で、フォーカス駆動機構を小さくし、適用される装置の
小型化と軽量化を実現できる。
た一面にフッ化樹脂をコーティングして非球面を形成し
てなる少なくとも１枚の合成石英レンズを備えてなるの
で、フォーカス駆動機構を小さくし、適用される装置の
小型化と軽量化を実現できる。
【００６４】また、本発明に係る紫外線集光装置は、球
面研磨した一面にフッ化樹脂をコーティングして非球面
を形成してなる少なくとも１枚の合成石英レンズを備え
た紫外線非球面レンズ手段と、上記紫外線非球面レンズ
手段を少なくとも光軸方向に駆動する駆動手段とを備え
てなるので、フォーカス駆動機構を小さくできるため、
小型化と軽量化を実現できる。
面研磨した一面にフッ化樹脂をコーティングして非球面
を形成してなる少なくとも１枚の合成石英レンズを備え
た紫外線非球面レンズ手段と、上記紫外線非球面レンズ
手段を少なくとも光軸方向に駆動する駆動手段とを備え
てなるので、フォーカス駆動機構を小さくできるため、
小型化と軽量化を実現できる。
【図１】本発明に係るレンズ装置及び紫外線集光装置の
第１実施例となる光ディスクカッティング装置の概略構
成図である。
第１実施例となる光ディスクカッティング装置の概略構
成図である。
【図２】上記第１実施例となる光ディスクカッティング
装置に用いられる対物レンズ装置の模式図である。
装置に用いられる対物レンズ装置の模式図である。
【図３】上記対物レンズ装置の第１具体例の子午面内収
差の変化特性図である。
差の変化特性図である。
【図４】上記対物レンズ装置の第１具体例の球欠面内収
差の変化特性図である。
差の変化特性図である。
【図５】上記対物レンズ装置の第２具体例の子午面内収
差の変化特性図である。
差の変化特性図である。
【図６】上記対物レンズ装置の第２具体例の球欠面内収
差の変化特性図である。
差の変化特性図である。
【図７】上記対物レンズ装置の第３具体例の子午面内収
差の変化特性図である。
差の変化特性図である。
【図８】上記対物レンズ装置の第３具体例の球欠面内収
差の変化特性図である。
差の変化特性図である。
【図９】本発明に係るレンズ装置及び紫外線集光装置の
第２実施例となる光学ピックアップ装置の概略構成図で
ある。
第２実施例となる光学ピックアップ装置の概略構成図で
ある。
【図１０】上記第２実施例となる光学ピックアップ装置
に用いられる２軸アクチュエータの外観斜視図である。
に用いられる２軸アクチュエータの外観斜視図である。
【図１１】従来の紫外線集光装置の一種である光ディス
クカッティング装置の概略構成図である。
クカッティング装置の概略構成図である。
１０ 光ディスクカッティング装置 １１、３１ 紫外線光源 １２、３２ 光強度変調器 １３、３３ ビームエキスパンダ １４、３４ 折り返しミラー １５、３６ 対物レンズ装置 １６ 原盤 １７ フォーカシング駆動コイル １８ トラッキング駆動コイル ３０ 光学ピックアップ装置 ３７ 光学ディスク
Claims (3)
- 【請求項１】 紫外線領域の光を集光するレンズ装置に
おいて、 球面研磨した一面にフッ化樹脂をコーティングして非球
面を形成してなる少なくとも１枚の合成石英レンズを備
えることを特徴とするレンズ装置。 - 【請求項２】 球面研磨した一面にフッ化樹脂をコーテ
ィングして非球面を形成してなる少なくとも１枚の合成
石英レンズを備えた紫外線非球面レンズ手段と、 上記紫外線非球面レンズ手段を少なくとも光軸方向に駆
動する駆動手段とを備えることを特徴とする紫外線集光
装置。 - 【請求項３】 上記駆動手段は、上記紫外線非球面レン
ズ手段を光軸方向に対して垂直にも駆動することを特徴
とする請求項２記載の紫外線集光装置。
Priority Applications (4)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7119946A JPH08313805A (ja) | 1995-05-18 | 1995-05-18 | レンズ装置及び紫外線集光装置 |
| US08/649,759 US5852508A (en) | 1995-05-18 | 1996-05-15 | Lens device, ultraviolet-ray emitting device, and optical disc recording device |
| KR1019960016310A KR960042578A (ko) | 1995-05-18 | 1996-05-16 | 렌즈장치, 자외선집광장치 및 광디스크기록장치 |
| CN96110703A CN1149724A (zh) | 1995-05-18 | 1996-05-18 | 透镜装置、紫外线发射装置以及光盘记录装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7119946A JPH08313805A (ja) | 1995-05-18 | 1995-05-18 | レンズ装置及び紫外線集光装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08313805A true JPH08313805A (ja) | 1996-11-29 |
Family
ID=14774098
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7119946A Withdrawn JPH08313805A (ja) | 1995-05-18 | 1995-05-18 | レンズ装置及び紫外線集光装置 |
Country Status (4)
| Country | Link |
|---|---|
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| JP (1) | JPH08313805A (ja) |
| KR (1) | KR960042578A (ja) |
| CN (1) | CN1149724A (ja) |
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|---|---|---|---|---|
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- 1995-05-18 JP JP7119946A patent/JPH08313805A/ja not_active Withdrawn
-
1996
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- 1996-05-16 KR KR1019960016310A patent/KR960042578A/ko not_active Application Discontinuation
- 1996-05-18 CN CN96110703A patent/CN1149724A/zh active Pending
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| US5852508A (en) | 1998-12-22 |
| KR960042578A (ko) | 1996-12-21 |
| CN1149724A (zh) | 1997-05-14 |
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| A300 | Application deemed to be withdrawn because no request for examination was validly filed |
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