KR830006705A - 대물렌즈의 집속조건 검출방법 및 장치 - Google Patents

대물렌즈의 집속조건 검출방법 및 장치 Download PDF

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Abstract

내용 없음

Description

대물렌즈의 집속조건 검출방법 및 장치
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제2도는 본 발명의 초점검출장치의 실시예를 보인 개략도.
제3도는 제2도에 보인 장치의 동작을 보인 도면.
제4도는 본 발명에 따라 집속오차신호 검출장치의 실시예를 보인 개략도.
제5A~제5B도는 본 발명에 따라 초점검출장치의 동작을 설명하는 개략도.
제6도는 제4도에 보인 장치로 구한 집속오차신호를 보인 도면.

Claims (26)

  1. 대물렌즈의 수단으로 광점이 형성되는 물체에 관하여 대물렌즈의 집속오차신호를 검출하는 방법이 광원에서 방출된 광을 물체에 접속하고, 광속의 일부를 반사하는 광학면을 품는 광학부재로 물체에서 반사된 광속의 적어도 일부를 입사하며 상기 광학면에 의해 방사되고 투과된 후 상기 광속이 들어가는 물질의 굴절률보다 더 큰 반사율을 갖는 물질로 상기 광학부재가 제작되며, 상기 광학면에 의해 반사된 광속의 적어도 일부의 광량의 분포의 변화를 광검출기로 검출하고 집속오차신호를 발생하며 상기 광학면에 의해 반사된 광속이 적어도 일부를 릴레이렌즈에 안내한 후 릴레이렌즈를 투과한 광속이 광검검출기에 입사되는 것을 특징으로 하는 대물렌즈의 집속오차신호 검출방법.
  2. 상기 대물렌즈가 집속조건에 있을때 임계각과 동일한 각도로 광속의 일부의 주어진 광선이 입사되게 상기 광학면을 설정시키는 것을 특징으로 하는 특허청구범위 제1항 기재의 대물렌즈의 집속오차신호 검출방법.
  3. 상기 대물렌즈가 집속조건에 임계각보다 더 작은 각도로 광속의 일부의 주어진 광선이 광학면에 입사되게 상기 광학면을 설정시키는 것을 특징으로 하는 특허청구범위 제1항 기재의 대물렌즈의 집속오차신호 검출방법.
  4. 상기 대물렌즈가 집속조건에 있을때 임계각보다 더 큰 각도로 광속의 일부의 주어진 광선의 광학면에 입사되게 상기 광학면을 설정시키는 것을 특징으로 하는 특허청구범위 제1항 기재의 대물렌즈의 집속오차신호 검출방법.
  5. 상기 주어진 광선이 광속의 중심광선인 것을 특징으로 하는 특허청구범위 제2,3,4항중 어느 하나에 따르는 대물렌즈의 집속오차 검출방법.
  6. 광학면에 의해 반사되고 상기 광선을 품고 입사면에 수직한 경계면의 한쪽에 있는 광속과 상기 경계면의 다른 한쪽에 있으며 광학면에 의해 반사된 광속이 독립적으로 검출되는 것을 특징으로 하는 특허청구범위 제1항 기재의 대물렌즈의 집속오차 검출방법.
  7. 물체에 의해 반사된 광속이 집속조건에서 평행광속으로 광학면에 입사되는 것을 특징으로 하는 특허청구의 범위 제1항 기재의 대물렌즈의 집속오차 검출방법.
  8. 광학면에 입사한 광속이 P편광된 광속임을 특징으로 하는 특허청구범위 제1항 기재의 대물렌즈 집속오차 검출방법.
  9. 상기 릴레이렌즈가 광학면과 대물렌즈사이의 면의 영상을 광검출기에 형성하는 것을 특징으로 하는 특허청구범위 제1항 기재의 대물렌즈 집속오차 검출방법.
  10. 상기 릴레이렌즈가 대물렌즈의 동공의 영상을 광검출기에 형성하는 것을 특징으로 하는 특허청구범위 제9항 기재의 대물렌즈 집속오차 검출방법.
  11. 광원에서 방출된 광빔이 대물렌즈의 수단에 의해 광점으로 집속될 수 있는 물체에 관한 대물렌즈의 집속오차 검출신호 검출장치가 광원에서 대물렌즈까지 방출된 광빔을 인도하고 물체에서 반사된 광속을 물체에서 광원까지 상기와 다른 방향으로 인도하는 대물렌즈와 광원사이에 배치된 빔분사소자, 상기 물체에서 반사된 광속의 일부를 수취하고 광속의 상기 부분을 반사하는 광학면을 포함하는 광학부재, 상기 광학부재는 상기 광학면에 반사되고 투과한후 광속이 들어가는 물질의 굴절률보다 더 큰 굴절률을 갖는 물질로 제작되며, 상기 광학면에 의해 반사된 광속의 일부를 수취하는 릴레이렌즈, 상기 릴레이렌즈를 투과하는 광속의 일부를 수취하게 배치된 적어도 두개의 광수취영역을 갖고광수취지역에 입사하 광량을 나타내는 출력신호를 발생하는 광검출수단 및 광검출수단의 출력신호를 입력하여 차신호를 형성하여 집속오차 신호를 발생하는 회로를 구비한 것을 특징으로 하는 대물렌즈의 집소오차신호 검출장치
  12. 상기 광학부재가 검출프리즘을 구성하는 것을 특징으로 하는 특허청구범위 제11항 기재의 장치.
  13. 광학면에 의해 반사되고 광학부재의 광축을 품고 입사면에 수직한 경계면의 한쪽에 있는 광속과 광학면에 의해 반사되고 상기 경계면의 다른쪽에 이쓴ㄴ 광속을 독립적으로 수취하게 상기 광수취지역이 배치된 것을 특징으로 하는 특허청구범위 제11항 기재의 장치.
  14. 상기 빔분산소자가 편광프리즘에 의해 구성되며 편광속이 광학면에 입사하는 것을 특징으로 하는 특허청구범위 제11항 기재의 장치.
  15. 편광프리즘과 대물렌즈사이에 1/4λ판이 배치된 것을 특징으로 하는 특허청구범위 제14항 기재의 장치.
  16. 편광광속이 P편광속임을 특징으로 하는 특허청구의범위 제14항 기재의 장치.
  17. 광원과 대물렌즈사이에 조준렌즈가 배치되며 광학면에 평행광속을 입사하는 것을 특징으로 하는 특허청구범위 제11항 기재의 장치.
  18. 입사광속의 주어진 광선에 관해 광학면이 임계각도와 동일한 각도를 갖게 광학부재를 배치하는 것을 특징으로 하는 특허청구범위 제11항 기재의 장치.
  19. 입사광속의 주어진 광선에 관해 광학면이 임계각도보다 더 작은 각도를 갖게 광학부재를 배치하는 것을 특징으로 하는 특허청구범위 제11항 기재의 장치.
  20. 입사광속의 주어진 광선에 의해 광학면이 임계각도보다 더 큰 각도를 갖게 광학부재가 배치된 것을 특징으로 하는 특허청구범위 제11항 기재의 장치.
  21. 광학면에 입사한 상기 광속이 대물렌즈의 집속조건에서 평행광속임을 특징으로 하는 특허청구범위 제11항 기재의 장치.
  22. 광학부재가 편광프리즘과 편광프리즘에 의해 반사된 광속의 적어도 일부를 수취하는 광검출수단 사이에 배치되고 광원에서 방출된 광이 편광프리즘을 투과하는 것을 특징으로 하는 특허청구범위 제15항 기재의 장치.
  23. 광학부재가 편광프리즘과 대물렌즈사이에 배치되고 광원에서 방출된 광이 편광프리즘에 의해 반사된 후 광학면에서 전반사하며 물체에 의해 반사된 광속이 광학면에 의해 반사된 후 편광프리즘을 투과하는 것을 특징으로 하는 특허청구범위 제15항 기재의 장치.
  24. 상기 릴레이렌즈가 편광프리즘가 광학부재사이에 배치되며 광검출기는 편광프리즘을 투과하는 광속을 수취하게 배치된 것을 특징으로 하는 특허청구의범위 제23항 기재의 장치.
  25. 상기 릴레리렌즈가 대물렌즈와 광학부재사이의 광축에 있는 면의 영상을 광검출기에 형성하는 것을 특징으로 하는 특허청구범위 제11항 기재의 장치.
  26. 릴레이렌즈가 대물렌즈의 동공의 영상을 광검출기에 형성하는 것을 특징으로 하는 특허청구범위 제25항 기재의 장치.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
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