KR840001719A - 축외(軸外) 광 비임 결함 검출기 - Google Patents

Abstract

내용 없음

Description

축외(軸外) 광 비임 결함 검출기

본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음

제3도는 본 발명의 원리에 따른 레이저 비임결함 검출장치의 개략도,

제4도는 본 발명에서 입사 광비임을 나타내는 렌즈도면.

제5도는 결함에 의해 반사되는 입사 및 반사 광비임을 나타내는 렌즈도면.

Claims (19)

1. 주사될 표면으로부터 반사된 광 비임의 성질을 감지하기 위한 비임주사장치에 있어서, 상기 표면으로부터 일정거리에 배치된 집중렌즈, 그 집중렌즈와 상기 표면사이의 미리 정해진 일정한 거리를 유지하기 위한 수단, 상기 렌즈와 표면사이의 측방이동을 제공하기 위한 주사수단, 상기 렌즈의 중앙축과 비평행관계로 배치되고 상기 렌즈로 통해 상기 표면으로 향하는 제1 광비임을 제공하기 위한 제1 광비임수단, 상기 표면에서 반사되어 상기 렌즈를 역으로 통과하는 상기 광비임 부분의 공간성질을 감지하기 위한 제1 광비임 감지수단으로 구성된 광비임 주사장치.
2. 제1항에 있어서, 상기 제1 광비임 감지수단이 반사비임의 축에 대해 적어도 하나의 축방향으로의 상기 반사비임의 이동을 감지하기 위한 수단을 포함하는 상기 장치.
3. 제1항에 있어서, 상기 렌즈가 그의 중심축이 상기 표면에 수직이도록 배치되는 상기 장치.
4. 제3항에 있어서, 상기 제1 광비임수단이, 비임의 축이 상기 표면으로부터 렌즈의 반대측 측부에 배치된 렌즈의 초점을 통과하도록 상기 입사 광비임을 제공하는 상기 장치.
5. 제1항에 있어서, 일정간격을 유지하기 위한 상기 수단이, 렌즈의 중앙축과 평행하고 그 렌즈를 통해 상기 표면으로 향하는 제2 광비임을 제공하기 위한 제2 광비임수단, 상기 표면쪽으로 향하는 제2 광비임수단의 광의 많은 부분을 통과시키고, 상기 표면에서 반사되어 상기 렌즈를 통과하는 제2 광비임수단의 광의 많은 부분을 제1 검출위치로 반사시키기 위해 제2 광비임의 통로에 배치된 비임분리수단, 상기 렌즈와 표면사이 간격에 따라 변하는 상기 반사된 제2 광비임의 성질을 감지하고 그를 나타내는 출력신호를 발생시키기 위해 제1 검출위치에 배치된 제2 광비임 감지수단, 및 상기 표면으로부터 상기 소정의 고정거리에 상기 렌즈를 유지하기 위해 상기 출력신호에 응하여 작동하는 위치조절수단을 포함하는 상기 장치.
6. 제5항에 있어서, 상기 제1 및 제2 광비임수단이 일방향으로 편광된 광비임들을 제공하고, 상기 비임분리수단이 제2 비임의 축에 대해 경사지게 배치된 편광비임 스플리터와, 그 편광비임 스플리터와 상기 표면사이에 배치된 사분의 일 파장판을 포함하는 상기 장치.
7. 제6항에 있어서, 상기 제1 광비임수단이, 상기 제2 광비임에 인접해 상기 비임분할수단을 통과하도록 그리고 상기 렌즈를 통과하는 반사된 제1 광비임의 많은 부분이 제2 검출위치로 반사되도록 제1 광비임을 제공하는 상기 장치.
8. 제1항에 있어서, 상기 제1 광비임 감지수단이 광검출기를 포함하고, 상기 광검출기가 각각 별도의 출력을 갖는 적어도 2개의 감지표면들을 가지고 있어 상기 반사된 제1 광비임의 측방 변위가 상기 제1 감지수단에 의해 검출되도록 한 상기 장치.
9. 제8항에 있어서, 상기 광검출기가 궈드런트 광검출기를 포함하고, 그리하여 두 직교 방향들로의 상기 반사된 제1 광비임의 측방 변위들이 상기 제1 감지수단에 의해 검출되는 상기 장치.
10. 주사될 표면에 대해 소정의 위치에 집중렌즈를 배치하고, 상기 집중렌즈와 표면사이에 일정한 간격을 유지하고, 상기 렌즈와 표면사이에 축방이동을 제공하고, 상기 렌즈의 중앙축과 비형행 관계로 배치된 제1 광비임을 제공하고, 상기 광비임을 상기 렌즈를 통해 상기 표면으로 향하게 하고, 상기 표면에서 반사되어 상기 렌즈를 통해 역으로 주행하는 광비임의 부분의 공간성질을 감지하는 단계들로 구성된 주사될 표면의 결함 검출방법.
11. 제10항에 있어서, 상기 감지단계가 상기 반사된 비임의 축에 대해 적어도 하나의 축방향으로의 상기 반사비임의 이동을 감지함에 의해 이행되는 상기 방법.
12. 제10항에 있어서, 집중렌즈를 제공하는 상기 단계가 렌즈의 중앙축이 상기 표면에 수직이도록 그 렌즈를 배치함에 의해 이행되는 상기 방법.
13. 제11항에 있어서, 상기 광비임을 향하게 하는 상기 단계가 상기 표면으로부터 렌즈의 반대측 측부에 위치된 렌즈의 초점을 통과하도록 상기 광비임을 향하게 함에 의해 이행되는 상기 방법.
14. 제13항에 있어서, 제1 광비임을 제공하는 단계가 상기 렌즈의 상기 초점에 광비임을 집중시킴에 의해 이행되는 상기 방법.
15. 제10항에 있어서, 상기 집중렌즈와 표면사이에 일정간격을 유지하는 상기 단계가, 상기 렌즈의 중앙축과 평행하고 상기 렌즈를 통해 상기 표면으로 향하는 제2 광비임을 제공하고, 그 광의 일부를 상기 표면으로부터 렌즈를 통하도록 반사하고, 표면으로부터 반사된 제2 비임의 광르로부터 표면으로 향한 제2 비임의 광을 분리하고, 그 분리된 반사광을 제1 검출위치로 향하게 하고, 집중렌즈와 표면사이 거리에 따라 변하는 분리된 반사광의 성질을 감지하여 그 감지된 성질을 나타내는 신호를 발생시키고, 그 신호를 기초로 하여 렌즈의 위치를 조절하는 것을 포함하는 상기 방법.
16. 제15항에 있어서, 상기 제1 및 제2 광비임을 제공하는 상기 단계가 일방향으로 편광된 광비임들을 제공함에 의해 이행되고, 그 단계가 상기제2비임의 통로에 대해 경사지게 배치된 편광비임 스폴리터를제공하고 그 편광비임 스플리터와 상기 표면사이에 배치된 사분의 일 파장판을 제공하는 단계들을 더 포함하는 상기 방법.
17. 제16항에 있어서, 제1 광비임을 제공하는 상기 단계가 제2 비임에 인접히 상기 비임분할 수단을 통과하도록 그리고 상기 렌즈로 반사된 제1 광비임의 많은 부분이 제2 검출위치로 반사되도록 상기 제1 광비임을 제공함에 의해 이행되는 상기 방법.
18. 제16항에 있어서, 상기 제2 비임의 반사광을 검출하는 상기 단계가 상기 표면상의 제2 비임의 초점 상태를 나타내는 상기 비임의 성질을 검출함에 의해 이행되는 상기 방법.
19. ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.