KR830006706A - 대물렌즈의 집속조건 검출용 장치 및 방법 - Google Patents

대물렌즈의 집속조건 검출용 장치 및 방법 Download PDF

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Abstract

내용 없음

Description

대물렌즈의 집속조건 검출용 장치 및 방법
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제2도는 출원인에 의해 제안된 초점 검출장치의 1실시예를 도시하는 개략도.
제3도는 임계각에 가까운 입사각을 갖는 반사광의 강도를 나타내는 그래프.
제4도는 본 발명에 따른 집속오차신호 검출장치의 1실시예를 설명하는 개략도.
제5A도 및 제5B도는 제4도의 장치의 작동을 설명하는 개략도.
제6도는 본 발명에 따른 집속오차신호 검출장치의 변형된 실시예를 나타내는 개략도.
제7도는 제6도의 장치의 신호처리회로를 도시하는 회로도.

Claims (32)

  1. 대물렌즈에 의해 광점이 그위에 형성되는 물체에 대해 대물렌즈와 집속오차신호를 검출하기 위한 방법에 있어서, 광원으로부터 방출된 광선을 물체상에 접속하고, 광속의 적어도 1부를 반사 및/또는 굴절시키는 광학표면을 포함하는 굴점되되고 통과된 후 광속이 도입되는 물질의 굴절률보다 높은 굴절률을 갖는 재료로 제조된 광학부재내로 물체로부터 반사된 광속의 적어도 1부를 도입시키며, 집속오차신호를 발생하기 위해 상기 광학표면에 의해 반사 및/또는 굴절된 주변광속의 적어도 일부의 광량의 분포변화를 검출하는 것으로 구성된 대물렌즈의 집속오차신호 검출방법.
  2. 상기 대물렌즈가 집속조건일때 주변광속의 상기 부분의 소정광선이 임계각과 동등한 각도로 광학표면상에 입사되게 상기 광학표면이 설정되는 특허청구범위 1항에 따른 방법.
  3. 상기 대물렌즈가 집속조건일때 주변광속의 상기 부분의 소정광선이 임계각과 동등한 각도로 광학표면상에 입사되게 상기 광학표면이 설정되는 특허청구범위 1항에 따른 방법.
  4. 상기 대물렌즈가 집속조건일때 주변광속의 상기 부분의 소정광선이 임계각보다 큰 각도로 광학표면상에 입사되게 상기 광학표면이 설정되는 특허청구범위 1항에 따른 방법.
  5. 광학표면에 의해 반사되며 광학축의 1축상에 위치한 주변광속과, 광학표면에 의해 반사되며 상기 광학축의 타측상에 위치한 주변광속이 별개로 검출되는 특허청구범위 1항에 따른 방법.
  6. 광학표면에 의해 반사되며 광학축의 1축상에 위치한 주변광속과, 광학표면에 의해 굴절 및 통과되며 상기 광학축의 타측상에 위치한 주변광속이 별개로 검출되는 특허청구범위 1항에 따른 방법.
  7. 광학표면에 의해 굴절 및 통과되며 광학축의 1축상에 위치한 주변광속과, 광학표면에 의해 굴절 및 통과되며 상기 광학축의 타측상에 위치한 주변광속이 별개로 검출되는 특허청구범위 1항에 따른 방법.
  8. 물체에 의해 반사된 주변광속이 1회 집속조건의 평행광속으로서 광학표면상에 주입되는 특허청구범위 1항에 따른 방법.
  9. 물체에 의해 반사된 주변광속이 1회 접속조건의 확산광속으로서 광학표면상에 주입되는 특허청구범위 1항에 따른 방법.
  10. 물체에 의해 반사된 주변광속이 1회 집속조건의 수렴광속으로서 광학표면상에 주입되는 특허청구범위 1항에 따른 방법.
  11. 광학표면에 주입되는 광속이 P편광된 광속인 특허청구범위 1항에 따른 방법.
  12. 물체에 의해 반사된 광속이 다수회 광학표면에 의해 반사되는 특허청구범위 1항에 따른 방법.
  13. 물체에 의해 반사된 주변광속만이 상기 광학표면에 도입되는 특허청구범위 1항에 따른 방법.
  14. 광원에서 대물렌즈까지 방출된 광원에서 대물렌즈까지 방출된 광빔을 인도하고 물체에서 반사된 광속을 물체에서 광원까지 다른 방법으로 인도하는 대물렌즈와 광원사이에 배치된 빔분산소자, 상기 물체에서 반사된 광속의 일부를 수취하고 광속의 상기 부분은 반사하는 광학면을 포함하는 광학부재, 상기 광학부재는 반사된 후 상기 광학면을 관통한 후 광속이 들어가는 물질의 굴절률보다 더 큰 굴절률을 갖는 물질로 제작되며, 상기 릴레이이렌즈를 관통하는 광속의 일부를 수취하게 배치된 적어도 두개의 광수취영역을 갖고 광수취지역에 입사한 광량을 나타내는 출력신호를 발생하는 광검출수단 및 광검출수단의 출력신호를 입력하여 차신호를 형성하여 집속오차신호를 발생하는 회로로 구성된 광원에서 방출된 광빔이 대물렌즈의 수단에 의해 광점으로 집속될 수 있는 물체에 관해 대물렌즈의 집속오차신호를 검출하기 위한 장치.
  15. 상기 광학부재가 검출프리즘으로 구성된 특허청구범위 14항에 따른 장치.
  16. 광학표면에 의해 반사되며 광축의 1측상에 위치한 광속과, 광학표면에 의해 반사되며 상기 광축의 타측상에 위치한 광속을 각기 별개로 수납하도록 상기 광수취지역에 배치된 특허청구범위 14항에 따른 장치.
  17. 광학표면에 의해 굴절 및 통과되며 상기 광축의 1측상에 위치한 주변광속과, 광학표면에 의해 굴절 및 통과되며 상기 광축의 타측상에 위치한 주변광속을 각기 별개로 수납하도록 상기 광수취지역이 배치된 특허청구범위 14항에 따른 장치.
  18. 상기 비임분산소자가 편광프리즘으로 구성되며 편광된 광속이 광학표면상에 주입되는 특허청구범위 14및 15항중 임의의 1개항에 따른 장치.
  19. 또한 편광프리즘과 대물렌즈사이에 배치된 사분의 일파장판을 갖는 특허청구범위 18항에 따른 장치.
  20. 편광속이 P편광된 광속인 특허청구범위 18항에 따른 장치.
  21. 또한 광원과 대물렌즈사이에 배치된 조준렌즈를 가지며, 광학표면상에 주입되는 상기 광속이 대물렌즈의 집속조건의 평형광속인 특허청구범위 14항에 따른 장치.
  22. 광학표면이 입사광이 소정광선에 대해 임계각과 동등한 각도를 이루도록 광학부재가 배치된 특허청구범위 14항에 따른 장치.
  23. 광학표면이 입사광의 소정광선에 대해 임계각보다 작은 각도를 이루도록 광학부재가 배치된 특허청구범위 14항에 따른 장치.
  24. 광학표면이 입사광의 소정광선에 대해 임계각보다 큰 각도를 이루도록 광학부재가 배치된 특허청구범위 14항에 따른 장치.
  25. 편광프리즘에 의해 반사된 광속의 적어도 1부를 수취하기 위하여 편광프리즘과 광검출수단 사시에 광학부재가 배치되며, 광원으로부터 방출된 광선이 편광프리즘을 통과하는 특허청구범위 19항에 따른 장치.
  26. 광속이 대향하는 광학표면에 의해 다수의 반사되는 길이를 갖는 장방형으로 검출프리즘이 구성된 특허청구범위 15항에 따른 장치.
  27. 또한 평행광비임을 대물렌즈내로 도입하기 위해 대물렌즈와 편광르리즘 사이에 배치된 조준렌즈와, 입사수력 광비임을 평행 광비임으로 변환시키기 위해 광학부재와 편광프리즘 사이에 배치된 오목렌즈를 갖는 특허청구범위 25항에 따른 장치.
  28. 또한 수렴 광비임을 대물렌즈내로 도입하기 위해 광원과 편광프리즘 사이에 배치된 오목렌즈, 입사수렴 광비임을 평행 광비임으로 변환시키기 위해 광학부재 편광프리즘 사이에 배치된 오목렌즈를 갖는 특허청구범위 25항에 따른 장치.
  29. 상기 편광프리즘이 광학부재를 향해 주변 광속단을 반사하기 위해 광학축에 대해 서로 대향하는 주변부에 위치한 2개의 별개의 편광필름을 갖는 특허청구범위 25항에 따른 장치.
  30. 상기 광학부재가 중앙부에 위치한 반사거울과 광학축에 대해 서로 대향하는 주변부에 위치한 2개의 반사표면을 갖는 삼각프리즘을 갖는 특허청구범위 25항에 따른 장치.
  31. 상기 물체가 동심 또는 나선형으로 기록된 정보트랙을 갖는 광학디스크이며 상기 장치가 또한 광학 표면에 의해 반사된 중앙광속을 집속하기 위한 집광렌즈와 집광렌즈의 초점면에 배치되며 광축을 포함하는 경계면을 따라 분할된 2개의 광수취지역을 가지며 광학디스크의 정부트랙에 접선방향으로 신장하는 제2광검출기를 가짐으로써, 트래킹 오차신호가 제2 광검출기의 상기 2개의 광수취지역의 출력으로부터 유도되는 특허청구범위 14항에 따른 장치.
  32. 상기 물체가 동심 또는 나선형으로 기록된 정보트랙을 갖는 광학디스크이며 상기 광원이 반도체 레이저장치에 의해 형성됨으로써, 상기 광학디스크에 의해 반사되며 상기 광검출수단상에 주입되지 않는 중앙광속이 상기 반도체 레이저 장치상에 입사되며 정보신호가 반도체 레이저장치의 자기연결효과를 기초로 하여 반도체 레이저 장치로부터 유도되는 특허청구범위 14항에 따른 장치.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
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