KR930000934A - 미소변위 검출 방법 - Google Patents

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KR930000934A
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케이시 쿠보
요시히로 이케모토
타쯔오 이또
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다니이 아끼오
마쯔시다덴기산교 가부시기가이샤
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    • G01Q20/00—Monitoring the movement or position of the probe
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    • G—PHYSICS
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    • G01B11/00—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
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    • G—PHYSICS
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Abstract

내용 없음

Description

미소변위 검출 방법
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제1도는 본 발명의 제1의 실시예방법의 동작원리를 표시한 도면,
제2도는 본 발명의 제2의 실시예방법의 동작원리를 표시한 도면,
제3도는 본 발명의 제3의 실시예방법의 동작원리를 표시한 도면.
제4도는 본 발명의 제4의 실시예방법의 동작원리를 표시한 도면.

Claims (3)

  1. 광원으로 부터 편광방향이 다른 2개의 레이저광을 사출시키고, 이들 레이저광을 렌즈 A를 통해서 1단 수속시킨 후에 발산시켜, 이들 발산광을 비임스플리터에 입사하고, 그 투과광을 광의 편광방향에 따라 분리각이 다른 프리즘을 통해서 분리하고, 이 프리즘에서 분리한 2개의 측정광P,S를, 렌즈B통해서, 미소변위를 검출하는 변위측정탐침의 앞끝부근에 설치한 반사면위와 탐침호울더 부근에 설치한 반사면위에 나누어서 초점을 맺도록 입사해서 반사시키고, 이들 반사한 측정광 P,S를, 재차 상기렌즈 B와 상기 프리즘을 통하게 하고, 이 프리즘로부터의 측정광P,S를, 상기 비임스플리터를 재차 통하게 하므로서, 상기 광원과는 다른 방향으로 반사시키고, 이들측정광 P,S를, 광의 편광방향에 따라 투과 또는 반사하는 편광비임스플리터를 통해서 분리하고, 이 측정광 P의 초점위치를 광검출기 A에서 검출하고, 이 측정광 S의 초점위치를 광검출기 B에서 검출하고, 상기 광검출기 A와 상기 광검출기 B로 부터의 초점위치신호를 신호처리회로에서 처리해서, 상기 변위측정탐침의 미소변위를 측정하기는 것을 특징으로 하는 미소변위 검출방법.
  2. 광원으로 부터 편광방향의 다른 2개의 레이저광을 사출시키고, 이들 레이저광을 렌즈 A를 통해서 일단 수속시킨 후에 발산시켜, 이들 발산광을 비임스플리터에 입사하고, 그 투과광을 렌즈 B 및 광의 편광방향에 따라 분리각이 다른 프리즘을 통해서 분리하고, 이 프리즘에서 분리한 2개의 측정광 P,S를, 미소변위를 검출하는 변위 측정탐침의 앞끝부근에 설치한 반사면위와 탐침호울더 부근에 설치한 반사면 위에 나누어서 초점을 맺도록 입사해서 반사시키고, 이들 반사한 측정광 P,S를, 재차 상기 프리즘과 상기 렌즈 B를 통하게 하고, 이 렌즈 B로 부터의 측정광P,S를, 상기 비임스플리터를 재차 통하게 하므로서, 상기 광원과는 다른 방향으로 반사시키고, 이들 측정광 P,S를, 광의 편광방향에 따라 투과 또는 반사하는 편광비임스플리터를 통해서 분리하고, 이 측정광P의 초점위치를 광검출기 A에서 검출하고, 이 측정광 S의 초점위치를 광검출기 B에서 검출하고, 상기 광검출기 A와 상기 광검출기 B로부터의 초점위치 신호를 신호처리회로에서 처리해서, 상기 변위측정 탐침의 미소변위를 측정하는 것을 특징으로 하는 미소변위 검출방법.
  3. 제1항 또는 제2항에 있어서, 광원으로부터의 광을 수속시키는 렌즈 A대신에, 광원으로부터의 광을 발산시키는 렌즈 A를 사용하는 것을 특징으로 하는 미소변위 검출방법.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개되는 것임
KR1019920011358A 1991-06-28 1992-06-27 미소변위검출방법 KR960013676B1 (ko)

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KR960013676B1 KR960013676B1 (ko) 1996-10-10

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US5315373A (en) 1994-05-24
JPH055622A (ja) 1993-01-14

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