JPH0238808A - 光センサ - Google Patents
光センサInfo
- Publication number
- JPH0238808A JPH0238808A JP18759388A JP18759388A JPH0238808A JP H0238808 A JPH0238808 A JP H0238808A JP 18759388 A JP18759388 A JP 18759388A JP 18759388 A JP18759388 A JP 18759388A JP H0238808 A JPH0238808 A JP H0238808A
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- JP
- Japan
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- split
- sensitivity
- length
- measured
- reflected
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- Pending
Links
- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims abstract description 16
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 claims abstract description 16
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims description 23
- 238000000034 method Methods 0.000 abstract description 6
- 201000009310 astigmatism Diseases 0.000 description 2
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 230000004075 alteration Effects 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
- 230000003746 surface roughness Effects 0.000 description 1
Landscapes
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〈産業上の利用分野〉
この発明は非接触の粗さ計及び光学測長器等に使用され
る光センサに係るものである。
る光センサに係るものである。
〈従来技術〉
例えば表面粗さ測定去として、測定面に接触することな
く測定する光学的手段が、vf閏昭62−2110号に
示されている。この場合測定可能の山と谷との間隔は、
一般に測定エリア、感度とされでいるが、数回程度で非
常に狭く、これに合わせて測定するので、測定開始まで
の調整準備に煩雑な手数と時間とを要し、光学系(対物
レンズ)の交換を要することもあった。
く測定する光学的手段が、vf閏昭62−2110号に
示されている。この場合測定可能の山と谷との間隔は、
一般に測定エリア、感度とされでいるが、数回程度で非
常に狭く、これに合わせて測定するので、測定開始まで
の調整準備に煩雑な手数と時間とを要し、光学系(対物
レンズ)の交換を要することもあった。
〈本発明の問題解決手段〉
従来の測定装置には狭いエリアの光学系が使用されてい
るのに対して、本発明においては同時に広いエリアの測
定を可能とする光学系を併設する。
るのに対して、本発明においては同時に広いエリアの測
定を可能とする光学系を併設する。
このとき測定光を2分して光路長の差によって測定エリ
アの差を作る。
アの差を作る。
〈実施例〉
本発明をまず非、弘収差方式の測定について説明する。
この方式では受光検出装置において、焦点の前後におい
て受光形状に変化が発生することを利用し、受光面を9
0°に4分割した分割受光素子で受け、各素子の受光量
から測定対象面の位置関係を演伴するものである。ここ
で測定感度は対物レンズと再結像、ヴの開の光路長を変
化させる。
て受光形状に変化が発生することを利用し、受光面を9
0°に4分割した分割受光素子で受け、各素子の受光量
から測定対象面の位置関係を演伴するものである。ここ
で測定感度は対物レンズと再結像、ヴの開の光路長を変
化させる。
第1図において、レーザを源1を出た光はコリメートレ
ンズ2を通り、アイソレータ3、対物しンに4を通って
、測定面5に当って反射されるにこで測定面のamな上
下動を粗さとして測定する。反射光は対物レンズ4アイ
ソレータ3により反射されてビームスプリッタ6に入り
、ここで低感度の系lと、高感度系のHに分ける。そし
て系lではビームスブリ7タ9で分割し、これを各々9
0’方向を変えて取付けたシリンドラ力ルレンズ10.
11を通して4分割された受光素子12.13で受ける
。なお受光素子は各4つの信号を発し、これをA3、A
2、A3、A、及びB、、B2、B3、B、とすると出
力信号5=(A、+A))−(A2+A、)−(B、十
B、)+(B2+B、)を演算して、表面5の反射位置
の検出信号とする。
ンズ2を通り、アイソレータ3、対物しンに4を通って
、測定面5に当って反射されるにこで測定面のamな上
下動を粗さとして測定する。反射光は対物レンズ4アイ
ソレータ3により反射されてビームスプリッタ6に入り
、ここで低感度の系lと、高感度系のHに分ける。そし
て系lではビームスブリ7タ9で分割し、これを各々9
0’方向を変えて取付けたシリンドラ力ルレンズ10.
11を通して4分割された受光素子12.13で受ける
。なお受光素子は各4つの信号を発し、これをA3、A
2、A3、A、及びB、、B2、B3、B、とすると出
力信号5=(A、+A))−(A2+A、)−(B、十
B、)+(B2+B、)を演算して、表面5の反射位置
の検出信号とする。
一方高感度系■では、プリズム7.8を通すことにより
光路長を系1よりも長くして、I同様にビームスプリッ
タ】5、シリンドルカルレンズ6、17によって4分割
受光素子18、19に入れ、その出力を前記同様の演算
に上って位置信号として取出す。
光路長を系1よりも長くして、I同様にビームスプリッ
タ】5、シリンドルカルレンズ6、17によって4分割
受光素子18、19に入れ、その出力を前記同様の演算
に上って位置信号として取出す。
そして測定Wi5を水平に移動して反射面の上下をMl
、■によって同時に測定する。
、■によって同時に測定する。
本発明は上記非点収差方式の外に臨界角力式にも使用す
ることができる。これは測定面からの反射光を臨界角プ
リズムを通し、その光を2つの2分割受光素子によって
設け、計4つの出力から反射点の位置変化を検出する方
式であって、この場合には光路長が長い場合には高感度
短い方が低感度である。第2図において光源20の光は
偏光ビームスプリッタ21、λ/4板2板金2って、測
定面23に当って反射し、バー7ミ:724によって低
感度系■、高感度系Hに分けられ、Iは更に2分割され
て光路長の臨界角プリズム25.2Gを通って感光素子
27、28に入る。
ることができる。これは測定面からの反射光を臨界角プ
リズムを通し、その光を2つの2分割受光素子によって
設け、計4つの出力から反射点の位置変化を検出する方
式であって、この場合には光路長が長い場合には高感度
短い方が低感度である。第2図において光源20の光は
偏光ビームスプリッタ21、λ/4板2板金2って、測
定面23に当って反射し、バー7ミ:724によって低
感度系■、高感度系Hに分けられ、Iは更に2分割され
て光路長の臨界角プリズム25.2Gを通って感光素子
27、28に入る。
一方■では長い光路の臨界角プリズムを通して検出され
る。
る。
以上無接触粗さ計について本発明の実施例について示し
たが、無接触の光学測長器においても同様に光路長に長
短2種の系を併せて設ける事により測定感度の違ったも
のを無調整で同時に測定可能となった。
たが、無接触の光学測長器においても同様に光路長に長
短2種の系を併せて設ける事により測定感度の違ったも
のを無調整で同時に測定可能となった。
く効果〉
本発明によって、低高感度が一つの測定機で常に同時に
得られ、従来に比べて広範囲の測定が一つの光センサで
可能となって、ワークのセットが簡単になった。
得られ、従来に比べて広範囲の測定が一つの光センサで
可能となって、ワークのセットが簡単になった。
PIS1図は非点収差方式のセンサーの構成説明図、第
2図は臨界角方式のセンサーの構成説明図。 1・・・t[ 2・・・フリメートレンズ 3・
・・アイソレータ 4・・・対物レンズ 5・・・
測定表面6・・・ビームスプリッタ 9・・・ビーム
スプリッタ10、11・・・シリンドルカルレンズ
18、19・・・低感度系受光素子 20・・・光源
23・・・測定面 24・・・ハーフミラ−
27、28低高感度受光素子 特許出願人 株式会社東京精密
2図は臨界角方式のセンサーの構成説明図。 1・・・t[ 2・・・フリメートレンズ 3・
・・アイソレータ 4・・・対物レンズ 5・・・
測定表面6・・・ビームスプリッタ 9・・・ビーム
スプリッタ10、11・・・シリンドルカルレンズ
18、19・・・低感度系受光素子 20・・・光源
23・・・測定面 24・・・ハーフミラ−
27、28低高感度受光素子 特許出願人 株式会社東京精密
Claims (3)
- (1)光路長の長短によって測定感度に高低の相違をき
たす無接触光センサにおいて、光路長に長短2種の系
I 、IIを併せて設けてなる光センサ。 - (2)請求項第1項において光センサが非点収差方式に
よる系である光センサ。 - (3)請求項第1項において光センサが臨界角方式によ
る系である光センサ。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP18759388A JPH0238808A (ja) | 1988-07-27 | 1988-07-27 | 光センサ |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP18759388A JPH0238808A (ja) | 1988-07-27 | 1988-07-27 | 光センサ |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH0238808A true JPH0238808A (ja) | 1990-02-08 |
Family
ID=16208824
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP18759388A Pending JPH0238808A (ja) | 1988-07-27 | 1988-07-27 | 光センサ |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH0238808A (ja) |
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US9728833B2 (en) | 2013-04-18 | 2017-08-08 | Sony Semiconductor Solutions Corporation | Connector apparatus and radio transmission system |
US11635459B2 (en) | 2017-03-03 | 2023-04-25 | Aehr Test Systems | Electronics tester |
US11860221B2 (en) | 2005-04-27 | 2024-01-02 | Aehr Test Systems | Apparatus for testing electronic devices |
US11977098B2 (en) | 2009-03-25 | 2024-05-07 | Aehr Test Systems | System for testing an integrated circuit of a device and its method of use |
US12007451B2 (en) | 2016-01-08 | 2024-06-11 | Aehr Test Systems | Method and system for thermal control of devices in an electronics tester |
-
1988
- 1988-07-27 JP JP18759388A patent/JPH0238808A/ja active Pending
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US11860221B2 (en) | 2005-04-27 | 2024-01-02 | Aehr Test Systems | Apparatus for testing electronic devices |
US11977098B2 (en) | 2009-03-25 | 2024-05-07 | Aehr Test Systems | System for testing an integrated circuit of a device and its method of use |
US9728833B2 (en) | 2013-04-18 | 2017-08-08 | Sony Semiconductor Solutions Corporation | Connector apparatus and radio transmission system |
US12007451B2 (en) | 2016-01-08 | 2024-06-11 | Aehr Test Systems | Method and system for thermal control of devices in an electronics tester |
US11635459B2 (en) | 2017-03-03 | 2023-04-25 | Aehr Test Systems | Electronics tester |
US11821940B2 (en) | 2017-03-03 | 2023-11-21 | Aehr Test Systems | Electronics tester |
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