JPH0238808A - 光センサ - Google Patents
光センサInfo
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- JPH0238808A JPH0238808A JP18759388A JP18759388A JPH0238808A JP H0238808 A JPH0238808 A JP H0238808A JP 18759388 A JP18759388 A JP 18759388A JP 18759388 A JP18759388 A JP 18759388A JP H0238808 A JPH0238808 A JP H0238808A
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- JP
- Japan
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- split
- sensitivity
- length
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- reflected
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- Pending
Links
- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims abstract description 16
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 claims abstract description 16
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims description 23
- 238000000034 method Methods 0.000 abstract description 6
- 201000009310 astigmatism Diseases 0.000 description 2
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 230000004075 alteration Effects 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
- 230000003746 surface roughness Effects 0.000 description 1
Landscapes
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〈産業上の利用分野〉
この発明は非接触の粗さ計及び光学測長器等に使用され
る光センサに係るものである。
る光センサに係るものである。
〈従来技術〉
例えば表面粗さ測定去として、測定面に接触することな
く測定する光学的手段が、ｖｆ閏昭６２−２１１０号に
示されている。この場合測定可能の山と谷との間隔は、
一般に測定エリア、感度とされでいるが、数回程度で非
常に狭く、これに合わせて測定するので、測定開始まで
の調整準備に煩雑な手数と時間とを要し、光学系（対物
レンズ）の交換を要することもあった。
く測定する光学的手段が、ｖｆ閏昭６２−２１１０号に
示されている。この場合測定可能の山と谷との間隔は、
一般に測定エリア、感度とされでいるが、数回程度で非
常に狭く、これに合わせて測定するので、測定開始まで
の調整準備に煩雑な手数と時間とを要し、光学系（対物
レンズ）の交換を要することもあった。
〈本発明の問題解決手段〉
従来の測定装置には狭いエリアの光学系が使用されてい
るのに対して、本発明においては同時に広いエリアの測
定を可能とする光学系を併設する。
るのに対して、本発明においては同時に広いエリアの測
定を可能とする光学系を併設する。
このとき測定光を２分して光路長の差によって測定エリ
アの差を作る。
アの差を作る。
〈実施例〉
本発明をまず非、弘収差方式の測定について説明する。
この方式では受光検出装置において、焦点の前後におい
て受光形状に変化が発生することを利用し、受光面を９
０°に４分割した分割受光素子で受け、各素子の受光量
から測定対象面の位置関係を演伴するものである。ここ
で測定感度は対物レンズと再結像、ヴの開の光路長を変
化させる。
て受光形状に変化が発生することを利用し、受光面を９
０°に４分割した分割受光素子で受け、各素子の受光量
から測定対象面の位置関係を演伴するものである。ここ
で測定感度は対物レンズと再結像、ヴの開の光路長を変
化させる。
第１図において、レーザを源１を出た光はコリメートレ
ンズ２を通り、アイソレータ３、対物しンに４を通って
、測定面５に当って反射されるにこで測定面のａｍな上
下動を粗さとして測定する。反射光は対物レンズ４アイ
ソレータ３により反射されてビームスプリッタ６に入り
、ここで低感度の系ｌと、高感度系のＨに分ける。そし
て系ｌではビームスブリ７タ９で分割し、これを各々９
０’方向を変えて取付けたシリンドラ力ルレンズ１０．
１１を通して４分割された受光素子１２．１３で受ける
。なお受光素子は各４つの信号を発し、これをＡ３、Ａ
２、Ａ３、Ａ、及びＢ、、Ｂ２、Ｂ３、Ｂ、とすると出
力信号５＝（Ａ、＋Ａ））−（Ａ２＋Ａ、）−（Ｂ、十
Ｂ、）＋（Ｂ２＋Ｂ、）を演算して、表面５の反射位置
の検出信号とする。
ンズ２を通り、アイソレータ３、対物しンに４を通って
、測定面５に当って反射されるにこで測定面のａｍな上
下動を粗さとして測定する。反射光は対物レンズ４アイ
ソレータ３により反射されてビームスプリッタ６に入り
、ここで低感度の系ｌと、高感度系のＨに分ける。そし
て系ｌではビームスブリ７タ９で分割し、これを各々９
０’方向を変えて取付けたシリンドラ力ルレンズ１０．
１１を通して４分割された受光素子１２．１３で受ける
。なお受光素子は各４つの信号を発し、これをＡ３、Ａ
２、Ａ３、Ａ、及びＢ、、Ｂ２、Ｂ３、Ｂ、とすると出
力信号５＝（Ａ、＋Ａ））−（Ａ２＋Ａ、）−（Ｂ、十
Ｂ、）＋（Ｂ２＋Ｂ、）を演算して、表面５の反射位置
の検出信号とする。
一方高感度系■では、プリズム７．８を通すことにより
光路長を系１よりも長くして、Ｉ同様にビームスプリッ
タ】５、シリンドルカルレンズ６、１７によって４分割
受光素子１８、１９に入れ、その出力を前記同様の演算
に上って位置信号として取出す。
光路長を系１よりも長くして、Ｉ同様にビームスプリッ
タ】５、シリンドルカルレンズ６、１７によって４分割
受光素子１８、１９に入れ、その出力を前記同様の演算
に上って位置信号として取出す。
そして測定Ｗｉ５を水平に移動して反射面の上下をＭｌ
、■によって同時に測定する。
、■によって同時に測定する。
本発明は上記非点収差方式の外に臨界角力式にも使用す
ることができる。これは測定面からの反射光を臨界角プ
リズムを通し、その光を２つの２分割受光素子によって
設け、計４つの出力から反射点の位置変化を検出する方
式であって、この場合には光路長が長い場合には高感度
短い方が低感度である。第２図において光源２０の光は
偏光ビームスプリッタ２１、λ／４板２板金２って、測
定面２３に当って反射し、バー７ミ：７２４によって低
感度系■、高感度系Ｈに分けられ、Ｉは更に２分割され
て光路長の臨界角プリズム２５．２Ｇを通って感光素子
２７、２８に入る。
ることができる。これは測定面からの反射光を臨界角プ
リズムを通し、その光を２つの２分割受光素子によって
設け、計４つの出力から反射点の位置変化を検出する方
式であって、この場合には光路長が長い場合には高感度
短い方が低感度である。第２図において光源２０の光は
偏光ビームスプリッタ２１、λ／４板２板金２って、測
定面２３に当って反射し、バー７ミ：７２４によって低
感度系■、高感度系Ｈに分けられ、Ｉは更に２分割され
て光路長の臨界角プリズム２５．２Ｇを通って感光素子
２７、２８に入る。
一方■では長い光路の臨界角プリズムを通して検出され
る。
る。
以上無接触粗さ計について本発明の実施例について示し
たが、無接触の光学測長器においても同様に光路長に長
短２種の系を併せて設ける事により測定感度の違ったも
のを無調整で同時に測定可能となった。
たが、無接触の光学測長器においても同様に光路長に長
短２種の系を併せて設ける事により測定感度の違ったも
のを無調整で同時に測定可能となった。
く効果〉
本発明によって、低高感度が一つの測定機で常に同時に
得られ、従来に比べて広範囲の測定が一つの光センサで
可能となって、ワークのセットが簡単になった。
得られ、従来に比べて広範囲の測定が一つの光センサで
可能となって、ワークのセットが簡単になった。
ＰＩＳ１図は非点収差方式のセンサーの構成説明図、第
２図は臨界角方式のセンサーの構成説明図。 １・・・ｔ［ ２・・・フリメートレンズ ３・
・・アイソレータ ４・・・対物レンズ ５・・・
測定表面６・・・ビームスプリッタ ９・・・ビーム
スプリッタ１０、１１・・・シリンドルカルレンズ
１８、１９・・・低感度系受光素子 ２０・・・光源
２３・・・測定面 ２４・・・ハーフミラ−
２７、２８低高感度受光素子 特許出願人 株式会社東京精密
２図は臨界角方式のセンサーの構成説明図。 １・・・ｔ［ ２・・・フリメートレンズ ３・
・・アイソレータ ４・・・対物レンズ ５・・・
測定表面６・・・ビームスプリッタ ９・・・ビーム
スプリッタ１０、１１・・・シリンドルカルレンズ
１８、１９・・・低感度系受光素子 ２０・・・光源
２３・・・測定面 ２４・・・ハーフミラ−
２７、２８低高感度受光素子 特許出願人 株式会社東京精密
Claims (3)
- （１）光路長の長短によって測定感度に高低の相違をき
たす無接触光センサにおいて、光路長に長短２種の系
I 、IIを併せて設けてなる光センサ。 - （２）請求項第１項において光センサが非点収差方式に
よる系である光センサ。 - （３）請求項第１項において光センサが臨界角方式によ
る系である光センサ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18759388A JPH0238808A (ja) | 1988-07-27 | 1988-07-27 | 光センサ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18759388A JPH0238808A (ja) | 1988-07-27 | 1988-07-27 | 光センサ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0238808A true JPH0238808A (ja) | 1990-02-08 |
Family
ID=16208824
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP18759388A Pending JPH0238808A (ja) | 1988-07-27 | 1988-07-27 | 光センサ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0238808A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US9728833B2 (en) | 2013-04-18 | 2017-08-08 | Sony Semiconductor Solutions Corporation | Connector apparatus and radio transmission system |
| US11635459B2 (en) | 2017-03-03 | 2023-04-25 | Aehr Test Systems | Electronics tester |
| US11860221B2 (en) | 2005-04-27 | 2024-01-02 | Aehr Test Systems | Apparatus for testing electronic devices |
| US11977098B2 (en) | 2009-03-25 | 2024-05-07 | Aehr Test Systems | System for testing an integrated circuit of a device and its method of use |
| US12007451B2 (en) | 2016-01-08 | 2024-06-11 | Aehr Test Systems | Method and system for thermal control of devices in an electronics tester |
-
1988
- 1988-07-27 JP JP18759388A patent/JPH0238808A/ja active Pending
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US11860221B2 (en) | 2005-04-27 | 2024-01-02 | Aehr Test Systems | Apparatus for testing electronic devices |
| US11977098B2 (en) | 2009-03-25 | 2024-05-07 | Aehr Test Systems | System for testing an integrated circuit of a device and its method of use |
| US9728833B2 (en) | 2013-04-18 | 2017-08-08 | Sony Semiconductor Solutions Corporation | Connector apparatus and radio transmission system |
| US12007451B2 (en) | 2016-01-08 | 2024-06-11 | Aehr Test Systems | Method and system for thermal control of devices in an electronics tester |
| US11635459B2 (en) | 2017-03-03 | 2023-04-25 | Aehr Test Systems | Electronics tester |
| US11821940B2 (en) | 2017-03-03 | 2023-11-21 | Aehr Test Systems | Electronics tester |
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