KR940018819A - 표면의 광주사용 디바이스와 그 방사원 검출 장치 - Google Patents

표면의 광주사용 디바이스와 그 방사원 검출 장치 Download PDF

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Abstract

표면의 주사용 디바이스가 기술되어 있으며 이 디바이스는 방사원(5), 두개의 격자 구조를 갖는 격자(17)가 제공된 투명 평판(18), 표면(3)에 방사빔의 초점을 모으는 대물렌즈(7), 이 표면이 반사한 방사빔을 전기 신호들로 변환시키는 검출 시스템(12)를 구비한다. 격자(17)의 제1격자 구조는 방사빔(6)으로 부터 두개의 부빔(21,22)을 형성하도록 만들어진다. 제2격자 구조를 제공함으로써 방사빔으로부터 반사된 모니터 빔(13)을 얻는다. 이 모니터 빔은 방사원(5)의 방사강도를 제어하는 전기 신호를 발생시키는 모니터 검출기(14)로 향한다.

Description

표면의 광주사용 디바이스와 그 방사원 검출장치
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제1도는 본 발명의 제1실시예시도, 제2도는 본 발명의 제2실시예시도.

Claims (7)

  1. 표면을 광학적으로 주사하는 디바이스로서, 상기 디바이스는 방사원 검출 장치와 이 방사원 검출 장치에 의해 공급된 방사빔을 상기 표면위에 집중시키는 초점 조정 수단을 포함하고, 상기 방사원 검출 장치는 상기 방사원이 공급한 방사빔이나 상기 표면이 반사한 빔으로부터 적어도 하나의 편향된 부빔을 형성하는 제1격자 구조가 있는 격자와 상기 표면이 반사한 방사빔을 전기 신호로 변환시키는 방사 감지 검출시스템(radiation－sensitive detection system)과, 상기 방사원에서 공급한 빔으로부터 모니터 빔을 형성하는 수단과, 상기 모니터 빔을 방사원 제어용 전기 신호로 변환시키는 모니터 검출기를 구비하는 표면의 광 주사용 디바이스에 있어서, 상기 모니터 빔 형성 수단은 상기 격자의 제2격자 구조에 의해 구성되고 상기 모니터 빔이 상기 격자가 반사한 방사빔으로구성되는 것을 특징으로 하는 표면의 광 주사용 디바이스.
  2. 제1항에 있어서, 상기 제1격자 구조의 격자 홈의 깊이가 대략 방사빔의 반파장이고 상기 제2격자 구조가 상기 모니터 검출기 방향으로 우선적으로 회절하도록 블레이징된 것을 특징으로 하는 표면의 광 주사용 디바이스.
  3. 제2항에 있어서, 상기 제2격자 구조의 격자 홈들이 상기 제2격자 홈들과 거의 수직한 것을 특징으로 하는 표면의 광 주사용 디바이스.
  4. 제2항 또는 제3항에 있어서, 상기 제2격자 구조가 광학 강도(optical power)를 갖는 것을 특징으로 하는 표면의 광 주사용 디바이스.
  5. 제1항 내지 제4항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 제1격자 구조가 선형 격자 구조로 되어 있어 방사원에서 공급한 방사 빔으로부터 하나의 비편향 주빔(non-deflected main bean)과 두개의 편향된 사이드 빔을 반대 방향으로 형성하고, 상기 검출시스템은 상기 표면이 반사한 세개의 빔들 각각에 대해, 하나씩의 분리된 검출기를 가지고 있는 것을 특징으로 하는 표면의 광 주사용 디바이스.
  6. 제1항 내지 제4항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 제1격자 구조는 상기 표면이 반사한 방사빔을 상기 검출 시스템쪽으로 편향하여 이 편향된 빔으로부터 검출 시스템이 초점 에러 신호를 만들도록 상기 편향된 빔을 변형시키기에 적합한 것을 특징으로 하는 표면의 광 주사용 디바이스.
  7. 선행항들중의 어느 한 항에 정의된 구조를 특징으로 하는 방사원 검출 장치.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
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