KR910010422A - 격자 대물렌즈 및 격자 빔 정형기와 이들 소자를 최소 하나 포함하는 광학 주사 장치 - Google Patents

격자 대물렌즈 및 격자 빔 정형기와 이들 소자를 최소 하나 포함하는 광학 주사 장치 Download PDF

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게라르드 오페이유 빌렘
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프레데릭 얀 스미트
엔.브이. 필립스 글로아이람펜파브리켄
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Abstract

내용 없음

Description

격자 대물렌즈 및 격자 빔 정형기와 이들 소자를 최소 하나 포함하는 광학 주사 장치
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제1도 및 제2도는 본 발명에 따른 광학 주사 장치의 실시예도,
제3도는 전송결자(trnsmission grating)로 구성된 격자 대물렌즈를 구비한 장치의 실시예도.

Claims (12)

  1. 사물측에서 영상측으로 연장하는 조사 경로에서 하나 배후에 다른 하나가 정렬되는 제1및 제2회절 격자를 포함한 격자 대물렌즈로서, 한 격자에 대한 축광선 또는 경계광선인 빔 광선이 제각기 다른 격자에 대한 경계광선 또는 축광선인 방식으로 적용되고 정렬되는 격자 대물렌즈에 있어서, 최소한 제3격자는 제1및 제2격자에 의해서 형성된 조사 경로에서 정렬됨으로써 격자 대물렌즈를 횡단하는 빔의 축관선 및 경계 광선이 최소한 3회 교환되는 것을 특징으로 하는 격자 대물렌즈.
  2. 제1항에 있어서, 모든 격자가 전송 격자인 것을 특징으로 하는 격자 대물렌즈.
  3. 제1항에 있어서, 사물측에서의 제1표면 및 영상측에서의 제2표면을 가지는 투명 평면 평행 플레이트와 제1및 제2표면에 수직한 광축을 포함하며, 제1표면이 광축을 에워싸는 조사 윈도우를 가지며, 제1격자는 반사하여 광축 부근의 제2표면상에 정렬되며, 제2격자는 반사하여 제1표면상에 조사 윈도우 부근에 정렬되며, 제3격자는 조사 전송하여 제1격자 부근의 제2표면상에 정렬되는 것을 특징으로 하는 격자 대물렌즈.
  4. 타원형의 단면을 가지는 빔을 원형 대칭의 단면을 가지는 빔으로 재정형하기 위한 빔 정형기에 있어서, 빔의 경로에서 하나가 다른 하나 배후에 정렬되며 빔의 광축선 및 경계 광선이 최소한 3회 교환되며, 일차원 격자이며,최소한 세개의 격자 시스템인 것을 특징으로 하는 빔 정형기.
  5. 제4항에 있어서, 모든 격자가 전송 격자인 것을 특징으로 하는 빔 정형기.
  6. 제4항에 있어서, 우수한 격자가 반사하는 것을 특징으로 하는 빔 정형기.
  7. 제1항, 제2항 또는 제3항에 있어서, 조립 빔 정형기를 포함하며, 두개의 상호 수직 방향으로 다른 격자 주기를 각각 가지는 이차원 격자를 포함하는 것을 특징으로 하는 격자 대물렌즈.
  8. 주사빔을 공급하는 조사원 및 주사빔을 정보 평면을 조사점에 접속하기 위한 대물렌즈 시스템을 포함하는 정보 평면을 광학적으로 주사하기 위한 장치에 있어서, 대물렌즈 시스템은 제1항, 제2항 또는 제3항과 같은 격자 대물렌즈로 구성되는 것을 특징으로 하는 정보 평면을 광학적으로 주사하기 위한 장치.
  9. 타원형의 단면을 가지는 빔을 공급하는 조사원, 타원형의 빔 단면을 원형 단면으로 재정형하는 빔 정형기 및 주사빔을 정보 평면의 주사점에 접속하기 위한 대물렌즈 시스템을 포함하는 정보평면을 광학적으로 주사하기 위한 장치에 있어서, 제4항, 제5항 또는 제6항과 같은 빔 정형기인 것을 특징으로 하는 정보 평면을 광학적으로 주사하기 위한 장치.
  10. 타원형의 단면을 가지는 주사 빔을 공급하는 조사원, 타원형의 빔 단면을 원형 단면으로 재정형하는 빔 정형기 및 주사빔을 정보 평면의 주사점에 접속하기 위한 대물렌즈 시스템을 포함하는 정보 평면을 광학적으로 주사하기 위한 장치에 있어서, 제7항과 같은 빔 정형기를 포함하는 격자 대물렌즈인 것을 특징으로 하는 정보 평면을 광학적으로 주사하기 위한 장치.
  11. 제8항 또는 제10항에 있어서, 격자 대물렌즈의 출입 윈도우는 조사원 경로에서 대물렌즈를 통해 복귀하는 조사를 변경하는 외부 커플링 격자로 제공하는 것을 특징으로 하는 정보 평면을 광학적으로 주사하기 위한 장치.
  12. 제8항, 제10항 또는 제11항에 있어서, 격자 대물렌즈 및 조사 감지 검출 시스템은 조사원의 하우징내에 정렬되는 것을 특징으로 하는 정보 평면을 광학적으로 주사하기 위한 장치.
    ※참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
KR1019900017401A 1989-11-02 1990-10-30 격자 대물렌즈 및 격자 빔 정형기와 이들 소자를 최소 하나 포함하는 광학 주사 장치 KR910010422A (ko)

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