CZ302491B6 - Interferometrický systém s prostorovou nosnou frekvencí zobrazující v polychromatickém zárení - Google Patents

Interferometrický systém s prostorovou nosnou frekvencí zobrazující v polychromatickém zárení Download PDF

Info

Publication number
CZ302491B6
CZ302491B6 CZ20100288A CZ2010288A CZ302491B6 CZ 302491 B6 CZ302491 B6 CZ 302491B6 CZ 20100288 A CZ20100288 A CZ 20100288A CZ 2010288 A CZ2010288 A CZ 2010288A CZ 302491 B6 CZ302491 B6 CZ 302491B6
Authority
CZ
Czechia
Prior art keywords
plane
output
branch
axis
interferometer
Prior art date
Application number
CZ20100288A
Other languages
English (en)
Other versions
CZ2010288A3 (cs
Inventor
Chmelík@Radim
Kolman@Pavel
Slabý@Tomáš
Antoš@Martin
Dostál@Zbynek
Original Assignee
Vysoké ucení technické v Brne
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Vysoké ucení technické v Brne filed Critical Vysoké ucení technické v Brne
Priority to CZ20100288A priority Critical patent/CZ302491B6/cs
Priority to EP11160863A priority patent/EP2378244B1/en
Priority to CN201110085860.6A priority patent/CN102279555B/zh
Priority to US13/083,947 priority patent/US8526003B2/en
Priority to JP2011088438A priority patent/JP5510676B2/ja
Priority to EA201100490A priority patent/EA018804B1/ru
Publication of CZ2010288A3 publication Critical patent/CZ2010288A3/cs
Publication of CZ302491B6 publication Critical patent/CZ302491B6/cs

Links

Classifications

    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01BMEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B9/00Measuring instruments characterised by the use of optical techniques
    • G01B9/02Interferometers
    • G01B9/021Interferometers using holographic techniques
    • G01B9/023Interferometers using holographic techniques for contour producing
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01BMEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B11/00Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
    • G01B11/24Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring contours or curvatures
    • G01B11/2441Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring contours or curvatures using interferometry
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01BMEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B9/00Measuring instruments characterised by the use of optical techniques
    • G01B9/02Interferometers
    • G01B9/02015Interferometers characterised by the beam path configuration
    • G01B9/02032Interferometers characterised by the beam path configuration generating a spatial carrier frequency, e.g. by creating lateral or angular offset between reference and object beam
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01BMEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B9/00Measuring instruments characterised by the use of optical techniques
    • G01B9/02Interferometers
    • G01B9/02041Interferometers characterised by particular imaging or detection techniques
    • G01B9/02047Interferometers characterised by particular imaging or detection techniques using digital holographic imaging, e.g. lensless phase imaging without hologram in the reference path
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01BMEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B9/00Measuring instruments characterised by the use of optical techniques
    • G01B9/02Interferometers
    • G01B9/0209Low-coherence interferometers
    • GPHYSICS
    • G03PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
    • G03HHOLOGRAPHIC PROCESSES OR APPARATUS
    • G03H1/00Holographic processes or apparatus using light, infrared or ultraviolet waves for obtaining holograms or for obtaining an image from them; Details peculiar thereto
    • G03H1/04Processes or apparatus for producing holograms
    • GPHYSICS
    • G03PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
    • G03HHOLOGRAPHIC PROCESSES OR APPARATUS
    • G03H1/00Holographic processes or apparatus using light, infrared or ultraviolet waves for obtaining holograms or for obtaining an image from them; Details peculiar thereto
    • G03H1/04Processes or apparatus for producing holograms
    • G03H1/0443Digital holography, i.e. recording holograms with digital recording means
    • GPHYSICS
    • G03PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
    • G03HHOLOGRAPHIC PROCESSES OR APPARATUS
    • G03H1/00Holographic processes or apparatus using light, infrared or ultraviolet waves for obtaining holograms or for obtaining an image from them; Details peculiar thereto
    • G03H1/04Processes or apparatus for producing holograms
    • G03H1/06Processes or apparatus for producing holograms using incoherent light
    • GPHYSICS
    • G03PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
    • G03HHOLOGRAPHIC PROCESSES OR APPARATUS
    • G03H1/00Holographic processes or apparatus using light, infrared or ultraviolet waves for obtaining holograms or for obtaining an image from them; Details peculiar thereto
    • G03H1/0005Adaptation of holography to specific applications
    • G03H2001/0083Adaptation of holography to specific applications for restoring distorted objects, e.g. restoring objects through scattering media
    • GPHYSICS
    • G03PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
    • G03HHOLOGRAPHIC PROCESSES OR APPARATUS
    • G03H1/00Holographic processes or apparatus using light, infrared or ultraviolet waves for obtaining holograms or for obtaining an image from them; Details peculiar thereto
    • G03H1/04Processes or apparatus for producing holograms
    • G03H1/0443Digital holography, i.e. recording holograms with digital recording means
    • G03H2001/0454Arrangement for recovering hologram complex amplitude
    • G03H2001/0456Spatial heterodyne, i.e. filtering a Fourier transform of the off-axis record
    • GPHYSICS
    • G03PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
    • G03HHOLOGRAPHIC PROCESSES OR APPARATUS
    • G03H1/00Holographic processes or apparatus using light, infrared or ultraviolet waves for obtaining holograms or for obtaining an image from them; Details peculiar thereto
    • G03H1/04Processes or apparatus for producing holograms
    • G03H1/0465Particular recording light; Beam shape or geometry
    • G03H2001/0467Gated recording using pulsed or low coherence light source, e.g. light in flight, first arriving light
    • GPHYSICS
    • G03PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
    • G03HHOLOGRAPHIC PROCESSES OR APPARATUS
    • G03H2222/00Light sources or light beam properties
    • G03H2222/20Coherence of the light source
    • G03H2222/24Low coherence light normally not allowing valuable record or reconstruction
    • GPHYSICS
    • G03PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
    • G03HHOLOGRAPHIC PROCESSES OR APPARATUS
    • G03H2223/00Optical components
    • G03H2223/23Diffractive element

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Computing Systems (AREA)
  • Theoretical Computer Science (AREA)
  • Instruments For Measurement Of Length By Optical Means (AREA)
  • Holo Graphy (AREA)
  • Investigating Or Analysing Materials By Optical Means (AREA)
  • Microscoopes, Condenser (AREA)

Abstract

V interferometrickém systému je obrazová rovina (3.3) zobrazovací sousty (3.1) predmetové vetve výstupní zobrazovací soustavou (4) pres soustavu (6.1) odražecu zobrazena do výstupní roviny (7) a soucasne v obrazové rovine (3.4) zobrazovací soustavy (3.2) referencní vetve je umístena reflexní difrakcní mrížka (5), která je výstupní zobrazovací soustavou (4) pres soustavu (6.2) odražecu zobrazena také do výstupní roviny (7) interferometru, kde interferencí vlnení z predmetové a z referencní vetve vzniká achromatický mimoosový hologram, a kde je umísten detektor. Soustavy odražecu (6.1 a 6.2) jsou nastaveny tak, že osy obou vetví jsou na vstupu do výstupní roviny (7) sjednocené a rovnobežné s normálou výstupní roviny (7) a osový paprsek difraktovaný reflexní difrakcní mrížkou (5) pod úhlem .alfa. dopadá do výstupní roviny (7) pod úhlem .beta. pro nejž platí sin(.beta.) = sin(.alfa.)/m, kde m je zvetšení výstupní zobrazovací soustavy (4). Zarízení umožnuje holografické zobrazení predmetu vlnením nízké koherence, napríklad bílým svetlem plošného zdroje. Nekoherentní vlnení umožnuje zobrazování predmetu vnorených v rozptylujících prostredích. Zobrazení probíhá v reálném case.

Description

Oblast techniky
Předkládané řešení popisuje interferometrický systém s prostorovou nosnou frekvencí vytvářející holografické zobrazení vlněním nízké koherence umožňující konfokální zobrazení v širokopásmovém vlnění plošného prostorově nekoherentního zdroje a v reálném čase.
io
Dosavadní stav techniky
Současné interferometrické systémy s oddělenou předmětovou a referenční větví mají jako společný znak dělič světelného svazku, který rozdělí svazek vlnění na dva vzájemně koherentní svazky, které vstupují do předmětové a referenční větve. Současné systémy lze rozdělit do třech základních skupin.
Do první skupiny patří interferometrické systémy, které většinou využívají klasických interferometrů Machova-Zehnderova nebo Michelsonova typu, kde osy obou větví jsou na výstupu
2o z interferometru sjednocené a vlny tedy interferují pod nulovým úhlem. Toto řešení umožňuje použít zcela nekoherentního zdroje vlnění jako je například běžná žárovka, což má tu výhodu, že odstraňuje koherenční zrnitost a umožňuje hloubkovou diskriminaci výsledného zobrazení, tj, optické řezy vzorkem. Nevýhodou pak je, že k získání úplné informace o předmětové vlně je nutno zaznamenat minimálně 3 snímky s různým fázovým posuvem, což má negativní důsledky.
Jednak vlivem proudění v okolním prostředí a vlivem vibrací roste šum ve výsledném zobrazení a jednak není možné zobrazovat rychlé děje. Toto řešení využívají mikroskopy Krug&Lau, Hom a Mirauův objektiv.
Druhou skupinu tvoří holografické systémy. Ty využívají stejných interferometrů jako předešlá skupina s tím rozdílem, že osy obou větví se na výstupu z interferometru scházejí pod dostatečně velkým nenulovým úhlem takovým, aby vznikající interferenční struktura měla dostatečně vysokou prostorovou frekvenci takovou, aby bylo možné rekonstruovat předmětovou vlnu z jediného interferogramu, tedy hologramu, čehož je dosaženo prostým natočením zrcadla nebo jiného členu podobného významu. Takovýto interferometr není achromatický, a tudíž nelze použít široko35 pásmového vlnění, jelikož vlnění různých vlnových délek vstupuje do výstupní roviny pod týmž úhlem a vznikající interferenční struktura má pro každou vlnovou délku jinou prostorovou frekvenci. Žádoucí interferenční struktura (proužky) pak v součtu ve velké části zorného pole vymizí. Výhodou tohoto řešení je, že zobrazení lze kompletně rekonstruovat z jediného záznamu, hologramu. Dalším pozitivem je, že frekvence snímkování závisí pouze na použitém detektoru, nikoli na sestavě holografického systému. Řešení je vhodné pro pozorování dynamických procesů. Nevýhodou pak je nutnost použít koherentní, nebo částečně prostorově nekoherentní vlnění, například laser, aby interference nastala v celém obrazovém poli, což má tyto negativní důsledky, a to přítomnost koherenčního šumu a silně omezenou možnost pozorovat vzorky vnořené v rozptylujícím prostředí. Zorné pole je 2x menší než v případě systémů první skupiny, což plyne z holografické podmínky.
Třetí skupinou jsou koherencí řízené, achromatické, holografické systémy. Tato skupina odstraňuje problém popsaný ve druhé skupině tím, že vlnění různých vlnových délek vstupuje do výstupní roviny interferometru pod různými úhly takovými, aby vznikající interferenční struktura měla pro každou vlnovou délku stejnou a dostatečně vysokou prostorovou frekvenci (hustotu proužků) takovou, aby bylo možné rekonstruovat předmětovou vlnu v celém zorném poli z jediného interferogramu, tedy hologramu. Uvedeného řešení je dosaženo děličem světelného svazku, kterým je zde difřakční mřížka. Do předmětové větve vstupuje +1. difřakční řád a do referenční větve vstupuje -1. difřakční řád. Vlivem úhlové disperze vlnění na difřakční mřížce zní vystu55 puje vlnění různých vlnových délek pod různými úhly a takto vstupuje do kondenzorů. Difřakční
- 1 CZ 302491 B6 mřížka je v každé větvi zobrazena příslušnou zobrazovací soustavou do výstupní roviny interferometru, čímž je zaručeno zachování úhlové disperze vlnění v každé z větví aje dán předpoklad pro možnost vzniku achromatíckých interferenčních proužků. Toto řešení zahrnuje všechny výhody uvedené pro výše popsanou první a druhou skupinu a zároveň odstraňuje u nich uve5 děné nevýhody. Nevýhodou však je skutečnost, že kondenzor a objektiv tvořící zobrazovací soustavu v každé z větví musí být dva shodné prvky, tj. například v uspořádání transmisního mikroskopuje nutno použít čtyři stejné objektivy pro každé zvětšení. Důsledkem pak je finanční náročnost, omezený prostor mezi objektivem a kondenzorem pro objektivy s větším zvětšením. Velikost zorného pole zůstává shodná se systémy z druhé skupiny. Toto řešení využívají také ío užitné vzory CZ 8547 a CZ 19150.
Podstata vynálezu t5 Výše uvedené nevýhody odstraňuje interferometrický systém s prostorovou nosnou frekvencí zobrazující v širokopásmovém vlnění podle předkládaného vynálezu. Tento systém sestává z plošného, Časově a prostorově nekoherentního zdroje vlnění, za kterým je zařazen dělič vlnění pro rozdělení dopadajícího vlnění do dvou oddělených větví interferometru, a to do první a druhé větve. V ose první větve je umístěna libovolně vytvořená první zobrazovací soustava a v ose druhé větve je umístěna druhá zobrazovací soustava, která musí být s první zobrazovací soustavou shodná co do doby průchodu vlnění a co do zvětšení. Může se lišit například tím, že první zobrazovací soustava může zobrazovat v procházejícím vlnění a druhá v odraženém vlnění.
Interferometrický systém dále obsahuje ve výstupní rovině umístěný detektor. Podmínkou je, že rozdíl dob šíření vlnění v první a v druhé větvi nesmí být větší než koherenční doba použitého vlnění. Počátek první, resp. druhé větve je v bodě rozdělení dopadajícího vlnění v děliči vlnění a konec první, resp. druhé větve je ve výstupní rovině interferometru.
Obrazová rovina první zobrazovací soustavy první větve je vzhledem k první zobrazovací sou50 stavě obrazem předmětové roviny této zobrazovací soustavy a současně obrazová rovina druhé zobrazovací soustavy druhé větve je vzhledem k druhé zobrazovací soustavě obrazem předmětové roviny této zobrazovací soustavy.
Podstatou nového řešení je, že za obrazovou rovinou první zobrazovací soustavy první větve a před výstupní rovinou interferometru je v ose první větve umístěna první výstupní zobrazovací soustava a současně za obrazovou rovinou druhé zobrazovací soustavy druhé větve a před výstupní rovinou interferometru je v ose druhé větve umístěna druhá výstupní zobrazovací soustava.
Výstupní rovina interferometru je vzhledem k první výstupní zobrazovací soustavě obrazem obrazové roviny první zobrazovací soustavy první větve a současně výstupní rovina interferometru je vzhledem k druhé výstupní zobrazovací soustavě obrazem obrazové roviny druhé zobrazovací soustavy druhé větve.
Celkové zvětšení mezi předmětovou rovinou první zobrazovací soustavy první větve a výstupní rovinou interferometru se rovná celkovému zvětšení mezi předmětovou rovinou druhé zobrazovací soustavy druhé větve a výstupní rovinou interferometru.
Alespoň v jedné větvi je mezí příslušnou zobrazovací soustavou dané větve a výstupní rovinou interferometru umístěna v první větvi první přenosová soustava odražečů a v druhé větvi druhá přenosová soustava odražečů, a to takové, že osa první větve a osa druhé větve jsou před vstupem do výstupní roviny interferometru sjednoceny a jsou rovnoběžné s normálou výstupní roviny interferometru.
? CZ 302491 B6
Paprsek vlnění šířící se v ose první větve vstupuje do první výstupní zobrazovací soustavy v její ose a vystupuje z ní také v její ose a vstupuje do výstupní roviny interferometru ve směru její normály.
V blízkosti obrazové roviny druhé zobrazovací soustavy druhé větve je umístěna difrakění mřížka. Paprsek vlnění šířící se v ose druhé větve a difraktovaný difrakění mřížkou pod úhlem a vstupuje do druhé výstupní zobrazovací soustavy rovněž pod úhlem a vzhledem k ose této výstupní zobrazovací soustavy a vystupuje z této výstupní zobrazovací soustavy vzhledem k její ose pod úhlem β a vstupuje do výstupní roviny interferometru vzhledem k její normále rovněž io pod úhlem β. Mezi úhly β a a platí vztah sín(p) = sin(a)/m2, kde m2 je zvětšení druhé výstupní zobrazovací soustavy.
Analogické řešení vychází z toho, že v blízkosti obrazové roviny první zobrazovací soustavy první větve je umístěna první difrakění mřížka a v blízkosti obrazové roviny druhé zobrazovací soustavy druhé větve je umístěna druhá difrakění mřížka.
Paprsek vlnění šířící se v ose první, resp. druhé větve a difraktovaný první resp. druhou difrakění mřížkou pod úhlem al resp. a2 vstupuje do první resp. druhé výstupní zobrazovací soustavy rovněž pod úhlem al resp. a2 vzhledem k ose první resp. druhé výstupní zobrazovací soustavy a zo vystupuje zdané výstupní zobrazovací soustavy vzhledem kjejí ose pod úhlem βΐ resp. β2 a vstupuje do výstupní roviny interferometru vzhledem k její normále rovněž pod úhlem βΐ resp. β2. Mezi úhly βΐ a al resp. β2 a a2 platí vztah 5ΐη(β1) = sin(al)/ml, kde ml je zvětšení první výstupní zobrazovací soustavy, resp. 3ΐη(β2) = sin(a2)/m2, kde m2 je zvětšení druhé výstupní zobrazovací soustavy.
Při použití vlnění z viditelné části spektra elektromagnetického záření mohou být všechny zobrazovací soustavy, tedy první a druhá zobrazovací soustava a první výstupní a druhá výstupní zobrazovací soustava, tvořeny například libovolnými soustavami čoček, zrcadel a jiných optických členů a všechny přenosové soustavy odražečů (tj. první a druhá přenosová soustava odražečů) mohou být tvořeny například libovolnými soustavami zrcadel a jiných odrazných optických prvků, to vše při dodržení výše uvedených podmínek pro jednotlivé zobrazovací a přenosové soustavy. Pro ostatní typy vlnění platí, že všechny prvky analogické svou funkcí prvkům uvedeným v příkladu pro vlnění z viditelné části spektra elektromagnetického záření musí splňovat všechny výše uvedené podmínky.
V jednom možném provedení v obou výše uvedených případech, může být za první zobrazovací soustavou první větve v její ose umístěna první skenovací jednotka a za druhou zobrazovací soustavou druhé větve v její ose umístěna druhá skenovací jednotka, což umožňuje posouvat zobrazení ve výstupní obrazové rovině.
V jednom možném provedení v obou výše uvedených případech, může být první výstupní zobrazovací soustava a druhá výstupní zobrazovací soustava tvořena společnou výstupní zobrazovací soustavou umístěnou na společné ose první a druhé větve mezi obrazovými rovinami zobrazovacích soustav a výstupní rovinou interferometru.
V jednom konkrétním provedení je první větev předmětová větev, druhá větev referenční větev, první výstupní zobrazovací soustava a druhá výstupní zobrazovací soustava jsou tvořeny společnou výstupní zobrazovací soustavou a difrakění mřížka je reflexní difrakění mřížka umístěná v blízkosti obrazové roviny druhé zobrazovací soustavy referenční větve. Reflexní difrakění mřížce příslušející druhá přenosová soustava odražečů je tvořena na svém vstupu nastavitelným polopropustným rovinným zrcadlem umístěným v ose druhé přenosové soustavy odražečů a také v ose druhé zobrazovací soustavy a v cestě difraktováného vlnění z difrakění mřížky. Dále je tvořena nastavitelným pátým rovinným zrcadlem umístěným v cestě vlnění odraženého z polopropustného rovinného zrcadla. Odrazná plocha polo propustného rovinného zrcadla svírá s odraznou plochou pátého rovinného zrcadla pravý úhel. První přenosová soustava odražečů je pak tvořena
- j ~ na vstupu prvním rovinným zrcadlem umístěným v ose první přenosové soustavy odražečů a také v ose první zobrazovací soustavy a dále druhým rovinným zrcadlem umístěným v cestě vlnění odraženého z prvního rovinného zrcadla tak, že jeho odrazná plocha je kolmá na odraznou plochu prvního rovinného zrcadla a rovnoběžná s odraznou plochou za ním umístěného třetího rovin5 něho zrcadla, jehož odrazná plocha je kolmá na odraznou plochu v cestě odraženého paprsku umístěného čtvrtého rovinného zrcadla.
V jiném konkrétním provedení je první větev předmětová větev, druhá větev referenční větev. První difrakční mřížka je transmisní dífrakční mřížka umístěná v obrazové rovině první zobra10 zovací soustavy předmětové větve a druhá difrakční mřížka je transmisní difrakční mřížka umístěná v blízkosti obrazové roviny druhé zobrazovací soustavy referenční větve. Druhé difrakční mřížce příslušející druhá přenosová soustava odražečů je tvořena na svém vstupu nastavitelným šestým rovinným zrcadlem umístěným v ose druhé přenosové soustavy odražečů a také v ose druhé zobrazovací soustavy a v cestě difraktovaného vlnění z druhé difrakční mřížky. Dále je tvořena nastavitelným pátým rovinným zrcadlem umístěným v cestě vlnění odraženého od Šestého rovinného zrcadla. Odrazná plocha pátého rovinného zrcadla je rovnoběžná s odraznou plochou šestého rovinného zrcadla. První přenosová soustava odražečů příslušející první difrakční mřížce je pak tvořena na vstupu prvním rovinným zrcadlem umístěným v ose první přenosové soustavy odražečů a také v ose první zobrazovací soustavy a v cestě difraktovaného vlnění z první difrakční mřížky. Dáte je tvořena druhým rovinným zrcadlem umístěným v cestě vlnění odraženého z prvního rovinného zrcadla tak, že jeho odrazná plocha je kolmá na odraznou plochu prvního rovinného zrcadla a rovnoběžná s odraznou plochou za ním umístěného třetího rovinného zrcadla, jehož odrazná plocha je kolmá na odraznou plochu v cestě odraženého paprsku umístěného čtvrtého rovinného zrcadla.
V provedení, kdy jsou zařazeny první a druhá difrakční mřížka jsou možné všechny varianty, tedy kdy jsou obě tyto difrakční mřížky tvořeny reflexní difrakční mřížkou nebo transmisní difrakční mřížkou nebo jedna je reflexní a druhá transmisní difrakční mřížka.
Další možností je, že difrakční mřížky leží v jim příslušejících obrazových rovinách zobrazovacích soustav nebo leží v okolí vymezeném vzdáleností ± 500 mm odjí příslušející obrazové rovinyVýhodou tohoto řešení je, že zařízení umožňuje holografické zobrazení předmětu vlněním nízké koherence, například bílým světlem plošného zdroje. Nekoherentní vlnění umožňuje zobrazování předmětů vnořených v rozptylujícím prostředí. Zobrazení probíhá v reálném čase. Z jediného digitálně zaznamenaného hologramu části pozorovaného předmětu lze numericky zrekonstruovat předmětovou vlnu, tedy její intenzitu a fázi. Intenzitní zobrazení je hloubkově diskriminováno, tj. zobrazuje pouze část vzorku ležící v okolí předmětové roviny zobrazovací soustavy, tedy řez pozorovaným vzorkem. Tloušťka řezu závisí na stupni koherence použitého vlnění a v případě světelné mikroskopie může být tenčí než optický řez z konfokálního mikroskopu. Fázové zobrazení odpovídá rozdílu dob Šíření mezi předmětovou a referenční větví způsobenému pozorovaným vzorkem, je kvantitativní a lze pomocí něj měřit hloubku odrazných vzorků s přesností v řádu tisícin vlnové délky, nebo např. v případě mikroskopického zobrazení procházejícím svět45 lem vážit buňky či vyhodnocovat pohyb vnitrobuněčné hmoty.
Lze tedy říci, že mezi znaky společné alespoň s některými systémy patřícími do některé z výše uvedených skupin patří následující prvky. Plošný, časově a prostorově nekoherentní zdroj vlnění, který například v optické mikroskopii zahrnuje běžnou žárovku, kolektorovou čočku, matnici, apertumí clonu proměnné velikosti (irisovou, nebo sadu výměnných clon různých průměrů), výměnné barevné filtry, výměnné neutrální filtry pro regulaci intenzity osvětlení a studený filtr, který nepropouští dlouhovlnné světlo. Mezi další společné znaky patří dělič vlnění, rozdělující dopadající vlnění do předmětové a referenční větve, dále zobrazovací soustavy v těchto větvích, jim příslušné výstupní zobrazovací soustavy nebo společná výstupní zobrazovací soustava a detektor.
-4CZ 302491 B6
Předkládané řešení zahrnuje všechny výhody uvedené u třetí skupiny popsané v dosavadním stavu techniky, tedy u koherencí řízených, achromatických, holografických systémů a zároveň vylučuje všechny u nich uvedené nevýhody. Velikost zorného pole zůstává shodná se systémy z druhé skupiny.
Přehled obrázků na výkresech io Příklady provedení vynálezu jsou uvedeny na přiložených výkresech. Na obr. 1 je uvedeno schéma interferometrického systému s reflexní difrakční mřížkou umístěnou v referenční větvi a jednou společnou výstupní zobrazovací soustavou. Na obr. 2 je uvedeno schéma interferometrického systému se dvěma různými transmisními difřakčními mřížkami, z nichž jedna je umístěna v předmětové větvi a druhá v referenční větvi a každá z větví obsahuje vlastní výstupní zobra15 zovací soustavu. Obr.3 znázorňuje interferometrický systém mající dvě navzájem oddělené výstupní zobrazovací soustavy.
Příklady provedení vynálezu
Jeden příklad provedení interferometrického systému podle vynálezu je uveden na obr. 1. Jedná se o interferometrický systém s prostorovou nosnou frekvencí vytvářející holografické zobrazení světlem nízké koherence umožňující konfokální zobrazení v bílém světle plošného prostorově nekoherentního zdroje a v reálném čase. První přenosová soustava 6.1 a druhá přenosová sousta25 va 6.2 odražečů jsou zde realizovány soustavami zrcadel. Tento interferometrický systém je tvořen na svém vstupu plošným, časově a prostorově nekoherentním zdrojem 1 světla, za kterým je zařazen optický dělič 2 světelného svazku, kterým je zde standardní prvek, například dělicí kostka. Optický dělič 2 světelného svazku rozděluje dopadající světlo do předmětové a referenční větve. V předmětové větvi je umístěna libovolně vytvořená první zobrazovací soustava 3.1.
V referenční větvi je v daném příkladě umístěna druhá zobrazovací soustava 3.2 opticky shodná s první zobrazovací soustavou 3.1. Interferometrický systém dále obsahuje ve výstupní části výstupní zobrazovací soustavu 4. Ve výstupní rovině 7 interferometru je pak umístěný detektor. Podmínkou zde je, že rozdíl optických drah v obou větvích, měřeno od bodu rozdělení světelného svazku v děliči 2 světelného svazku až po výstupní rovinu 7 interferometru je menší než kohe35 renční délka použitého světla. V uvedeném příkladě je v blízkosti obrazové roviny 3.4 druhé zobrazovací soustavy 3.2 referenční větve umístěna difrakční mřížka 5. Mezi difrakční rovinou difrakční mřížky 5 a výstupní zobrazovací soustavou 4 je zařazena druhá přenosová soustava 6.2 odražečů, která může být realizována mnoha způsoby. Podstatné je, že je nastavená tak, že světelný svazek šířící se v ose referenční větve a difraktovaný difrakční mřížkou 5 pod úhlem α vstupuje do výstupní zobrazovací soustavy 4 rovněž pod úhlem α vzhledem k optické ose této výstupní zobrazovací soustavy 4 a vystupuje z výstupní zobrazovací soustavy 4 vzhledem k její optické ose pod úhlem § a poté vstupuje do výstupní roviny 7 interferometru vzhledem k její normále rovněž pod úhlem g. Mezi úhly gaa platí vztah sin(p) = sin(a)/m, kde m je zvětšení výstupní zobrazovací soustavy 4.
V daném příkladě je pak v předmětové větvi na výstupu první zobrazovací soustavy 3.1 zařazena první přenosová soustava 6.1 odražečů, která opět může být řešena mnoha způsoby, avšak musí být nastavená tak, že světelný svazek jdoucí v ose první zobrazovací soustavy 3.1 je veden přes první přenosovou soustavu 6.1 odražečů a přes výstupní zobrazovací soustavu 4 do výstupní roviny 7 interferometru ve směru její normály. Obrazová rovina 3.3 první zobrazovací soustavy 3.1 předmětové větve a výstupní rovina interferometru 7 a rovněž tak obrazová rovina 3.4 druhé zobrazovací soustavy 3,2 referenční větve a výstupní rovina interferometru 7 musí být vzhledem k výstupní zobrazovací soustavě 4 opticky sdruženy.
-5CZ 302491 B6
Interferometrický systém dle uvedeného příkladu může obsahovat místo jedné výstupní zobrazovací soustavy 4 dvě navzájem oddělené výstupní zobrazovací soustavy 4.1 a 4.2, jak je uvedeno na obr. 3. Ostatní prvky jsou pro zjednodušení uspořádány stejně jako v příkladě předešlém, mohou však být uspořádány i jinak.
Výstupní rovina 7 interferometru je vzhledem k první výstupní zobrazovací soustavě 4.1 obrazem obrazové roviny 3.3 první zobrazovací soustavy 3.1 předmětové větve a vzhledem k druhé výstupní zobrazovací soustavě 4,2 obrazem obrazové roviny 3.4 druhé zobrazovací soustavy 32 referenční větve.
Paprsek vinění šířící se v ose první zobrazovací soustavy 3.1 předmětové větve vstupuje do první výstupní zobrazovací soustavy 4.1 v její ose a vystupuje zní také v její ose a vstupuje do výstupní roviny 7 interferometru ve směru její normály.
V blízkosti obrazové roviny 3.4 druhé zobrazovací soustavy 3.2 referenční větve je umístěna difrakční mřížka 5 a paprsek vlnění šířící se v ose druhé zobrazovací soustavy 3.2 referenční větve difraktovaný difrakční mřížkou 5 pod úhlem α vstupuje do druhé výstupní zobrazovací soustavy 4.2 rovněž pod úhlem α vzhledem k ose této druhé výstupní zobrazovací soustavy 42 a vystupuje z této druhé výstupní zobrazovací soustavy 4.2 vzhledem k její ose pod úhlem β a vstupuje do výstupní roviny 7 interferometru vzhledem její k normále rovněž pod uhlem β, přičemž mezi úhly β a α platí vztah δίη(β) = sin(a)/m, kde m je zvětšení druhé výstupní zobrazovací soustavy 4.2.
Analogií uvedeného příkladu provedení je případ uvedený na obr. 2, kdy je v obou větvích, tedy v referenční i předmětové, zařazena difrakční mřížka. Jedná se tedy o uspořádání, kdy je v blízkosti obrazové roviny 3.3 první zobrazovací soustavy 3.1 předmětové větve umístěna první difrakční mřížka 5.1 a v blízkosti obrazové roviny 3.4 druhé zobrazovací soustavy 3.2 referenční větve je umístěna druhá difrakční mřížka 52. Mezi difrakční rovinou první difrakční mřížky 5.1 a výstupní zobrazovací soustavou 4 je opět zařazena první přenosová soustava 6.1 odražečů
3o a analogicky mezi difrakční rovinou druhé difrakční mřížky 5.2 a výstupní zobrazovací soustavou 4 je zařazena druhá přenosová soustava 6.2 odražečů, u nichž platí analogické podmínky pro úhly al, βΐ a α2, β2 jako v předešlém příkladě. Rovněž tak i zde platí, že obrazová rovina 33 první zobrazovací soustavy 3.1 předmětové větve a výstupní rovina interferometru 7 a rovněž tak obrazová rovina 3.4 druhé zobrazovací soustavy 3.2 referenční větve a výstupní rovina inter35 ferometru 7 musí být vzhledem k výstupní zobrazovací soustavě 4 opticky sdruženy.
V obou popsaných příkladech provedení je za prvním zobrazovacím systémem 3.1 předmětové větve v jeho ose umístěna první skenovací jednotka 8.1 a za druhým zobrazovacím systémem 32 referenční větve v jeho ose umístěna druhá skenovací jednotka 82, jejichž zařazení však není bezpodmínečně nutné.
Difrakční mřížka 5 může být reflexní nebo transmisní. Jedno z možných provedení, kdy je difrakční mřížka 5 reflexní difrakční mřížka, je uvedeno na obr. 1. Zde je tato reflexní difrakční mřížka umístěna v referenční větvi a přísluší jí tedy druhá přenosová soustava 62 odražečů. Taje tvořena na svém vstupu nastavitelným polopropústným rovinným zrcadlem Z6 umístěným v ose druhé přenosové soustavy 62 odražečů a také v ose druhé zobrazovací soustavy 32 a v cestě difraktovaného vlnění z difrakční mřížky 5. Dále je tvořena nastavitelným pátým rovinným zrcadlem Z5 umístěným v cestě vlnění odraženého od polopropustného rovinného zrcadla Z6. Odrazná plocha polopropustného rovinného zrcadla Z6 svírá s odraznou plochou pátého rovinné50 ho zrcadla Z5 pravý úhel. První přenosová soustava 6.1 odražečů je pak tvořena na vstupu prvním rovinným zrcadlem Z1 umístěným v ose první přenosové soustavy 6.1 odražečů a také v ose první zobrazovací soustavy 3.1 a dále druhým rovinným zrcadlem Z2 umístěným v cestě vlnění odraženého z prvního rovinného zrcadla Z1 tak, že jeho odrazná plocha je kolmá na odraznou plochu prvního rovinného zrcadla Z1 a rovnoběžná s odraznou plochou za ním umístěného třetího rovinného zrcadla Z3, jehož odrazná plocha je kolmá na odraznou plochu v cestě odraže-6CZ 302491 B6 ného paprsku umístěného čtvrtého rovinného zrcadla Z4. Soustava zrcadel Z1 a Z2 v první přenosové soustavě 6.1 odražečů je posuvná ve směru osy první zobrazovací soustavy 3.1 předmětové větve, což umožňuje nastavit shodnou optickou délku větví interferometru.
Další z možných provedení, kdy je v obou větvích, tedy v referenční i předmětové, zařazena difrakční mřížka, je uvedeno na obr. 2. V tomto případě jsou obě difrakční mřížky transmisní difrakční mřížky 5.1 a 5.2. První difrakční mřížce 5.1, resp.druhé difrakční mřížce 5.2 umístěné v předmětové, resp. referenční větvi přísluší první resp. druhá přenosová soustava 6.1 resp. 6.2 odražečů. První přenosová soustava 6.1 odražečů je tvořena na vstupu prvním rovinným zrcadlem Z1 umístěným v ose první přenosové soustavy 6.1 odražečů a také v ose první zobrazovací soustavy 3.1 a v cestě difraktovaného vlnění z první difrakční mřížky 5.1. Dále je tvořena druhým rovinným zrcadlem Z2 umístěným v cestě vlnění z první difrakční mřížky 5.1 a odraženého prvním rovinným zrcadlem Z1 tak, že jeho odrazná plocha je kolmá na odraznou plochu prvního rovinného zrcadla Z1 a rovnoběžná s odraznou plochou za ním umístěného třetího rovinného zrcadla Z3, jehož odrazná plocha je kolmá na odraznou plochu v cestě odraženého paprsku umístěného čtvrtého rovinného zrcadla Z4. Druhá přenosová soustava 6.2 odražečů je tvořena na svém vstupu nastavitelným šestým rovinným zrcadlem Z7 umístěným v ose druhé přenosové soustavy 6.2 odražečů a také v ose druhé zobrazovací soustavy 3.2 a v cestě difraktovaného vlnění z druhé difrakční mřížky 5.2. Dále je tvořena nastavitelným pátým rovinným zrcadlem Z5 umístěným v cestě vlnění odraženého od šestého rovinného zrcadla Z7. Odrazná plocha šestého rovinného zrcadla Z7 je rovnoběžná s odraznou plochou pátého rovinného zrcadla Z5.
V obou popsaných příkladech provedení je soustava prvního rovinného zrcadla Z1 a druhého rovinného zrcadla Z2 v první přenosové soustavě 6.1 odražečů posuvná ve směru osy první zobrazovací soustavy 3.1 předmětové větve, což umožňuje nastavit shodnou optickou délku větví interferometru.
Je možné také provedení, kdy jsou v případě zařazení dvou difrakčních mřížek obě reflexní nebo obě transmisní nebo jedna reflexní a jedna transmisní.
Přenosové soustavy odražečů lze technicky realizovat mnoha způsoby, ne jen těmi, které byly výše popsány.
Difrakční mřížky mohou ležet přímo v jim příslušejících obrazových rovinách nebo v okolí vymezeném vzdáleností ± 500 mm odjím příslušejících obrazových rovin.
Interferometrický systém využívá principů nekoherentní obrazové holografie. Sestava je tvořena dvousvazkovým mřížkovým interferometrem s oddělenou předmětovou a referenční větví, jejichž osy jsou ve výstupní rovině 7 interferometru sjednoceny, jsou rovnoběžné s normálou výstupní roviny 7 a sbíhají se tedy pod nulovým úhlem a právě v důsledku použití difrakční mřížky 5 nebo první difrakční mřížky 5.1 a druhé difrakční mřížky 5.2 vytvářejí ve výstupní rovině 7 achromatickou interferenční strukturu s dostatečně vysokou prostorovou frekvencí, tedy hustotou proužků takovou, aby bylo možné rekonstruovat předmětovou vlnu v celém zorném poli z jediného interferogramu respektive hotogramu zaznamenaného v jediném okamžiku. To výrazně omezuje přítomnost šumu, jež má původ v proudění okolního prostředí nebo ve vibracích.
Hologram je digitálně zaznamenán a předmětová vlna, její amplituda a fáze, je numericky rekonstruována pomocí algoritmů rychlé Fourierovy transformace. Znalost amplitudy i fáze předmětové vlny implikuje znalost předmětové vlny v celém prostoru. Z jediného hologramuje tedy možné ex post rekonstruovat zobrazení pozorovaného předmětu v rovinách odlišných od roviny pozorování, tedy numericky přeostřovat a tím do jisté míry rekonstruovat prostorové rozložení snímaného trojrozměrného objektu. Rozsah oblasti, na které lze tímto způsobem numericky přeostřovat, je dán stupněm koherence použitého vlnění. Vyšší stupeň koherence umožňuje přeostřovat na osově rozsáhlejší oblasti. Nižší stupeň koherence tuto oblast zužuje, ale umožňuje pozorovat objekty vnořené v silně rozptylujícím prostředí, a to v důsledku výrazného omezení
-7CZ 302491 B6 příspěvku násobně rozptýleného vlnění k zobrazení vzorku, což platí pro obrazovou intenzitu i fázi a bylo to experimentálně ověřeno.
Kvadrát modulu komplexní amplitudy získané rekonstrukcí hologramu, tedy intenzitní zobrazení, s je hloubkově diskriminováno, má tedy význam řezu pozorovaným vzorkem. Tloušťka řezu závisí na stupni koherence použitého vlnění a v případě světelné mikroskopie může být tenčí než optický řez z konfokálního mikroskopu. Fázové zobrazení odpovídá rozdílu dob šíření vlnění v předmětové a v referenční větvi způsobenému pozorovaným vzorkem, je kvantitativní a lze pomocí něj měřit hloubku odrazných vzorků s přesností v řádu tisícin vlnové délky, nebo např. v případě mikroskopického zobrazení procházejícím světlem vážit buňky či vyhodnocovat pohyb vnitrobuněčné hmoty.
Frekvence snímkování není omezena žádnou částí i nterfero metrického systému. Je omezena pouze rychlostí záznamového zařízení, které je většinou tvořeno digitální kamerou a počítačem.
Vzhledem k paralelnímu holografickému záznamu obrazu v mnoha barvách v jediném okamžiku lze v některých případech tímto způsobem překonat destruktivní interferenci světla ve vzorku na některé vlnové délce a zachovat tím fázovou informaci z tohoto pozorovaného místa.
Provedení uvedené jako příklad na obr.l pracuje následujícím způsobem.
Z plošného, časově a prostorově nekoherentního zdroje vlnění i s volitelným stupněm časové í prostorové koherence, který například v optické mikroskopii zahrnuje běžnou žárovku, kolektorovou čočku, matnici, aperturní clonu proměnné velikosti (irisovou, nebo sadu výměnných clon
2? různých průměrů), výměnné barevné filtry, výměnné neutrální filtry pro regulaci intenzity osvětlení a studený filtr, který nepropouští dlouhovlnné světlo, vystupuje vlnění, které dopadá na dělič 2 vlnění, který rozdělí dopadající vlnění na dva vzájemně koherentní svazky vstupující do dvou větví interferometru, nej častěji do předmětové a do referenční větve. Vzhledem k možnosti použití zcela nekoherentního vlnění jsou větve interferometru navrženy jako ekvivalentní, ίο V předmětové i referenční větvi jsou proto vloženy shodné zobrazovací soustavy, a to první zobrazovací soustava 3.1 a druhá zobrazovací soustava 3.2, které však mohou být libovolné, například pro zobrazení v procházejícím světle, v odraženém světle, pro mikroskopické či makroskopické zobrazení.
Vlnění vstupující z děliče 2 vlnění do předmětové větve dopadá na pozorovaný předmět umístěný v první předmětové rovině 2.1 první zobrazovací soustavy 3.1 předmětové větve a dále prochází přes první zobrazovací soustavu 3.1, první skenovací jednotku 8.1 a první přenosovou soustavu 6.1 odražečů tak, že se odráží na prvním rovinném zrcadle Z1 do obrazové roviny 3.3 první zobrazovací soustavy 3.1 předmětové větve, kde vzniká obraz pozorovaného předmětu vloženého v první předmětové rovině 2.1. Vlnění dále dopadá na druhé rovinné zrcadlo Z2, kde se opět odráží a dopadá na třetí rovinné zrcadlo Z3, kde se dále odráží a dopadá na Čtvrté rovinné zrcadlo Z4, kde se odráží a vstupuje do výstupní zobrazovací soustavy 4, přes níž prochází do výstupní roviny 7 interferometru, kde vzniká druhý obraz pozorovaného předmětu vloženého v první předmětové rovině 2.1.
Vlnění vstupující z děliče 2 vlnění do referenční větve dopadá na referenční předmět umístěný v druhé předmětové rovině 2.2 druhé zobrazovací soustavy 3.2 referenční větve a dále prochází přes druhou zobrazovací soustavu 3.2, druhou skenovací jednotku 8,2 a druhou přenosovou soustavu 6.2 odražečů tak, že prochází přes polopropustné rovinné zrcadlo Z6 a dopadá na difrakční rovinu reflexní difrakční mřížky 5 umístěné v obrazové rovině 3.4 druhé zobrazovací soustavy 3.2, kde vzniká obraz referenčního předmětu vloženého v druhé předmětové rovině 2.2. Paprsek vlnění šířící se v ose referenční větve a difraktovaný difrakční mřížkou 5 pod úhlem a dopadá opět na polopropustné rovinné zrcadlo Z6, kde se odráží a dopadá na páté rovinné zrcadlo Z5, kde se odráží a vstupuje do výstupní zobrazovací soustavy 4 rovněž pod úhlem a vzhledem k ose této výstupní zobrazovací soustavy 4, prochází jí a vystupuje z této výstupní zobrazovací sousta- 8 CZ 302491 B6 vy 4 vzhledem k její ose pod úhlem β a vstupuje do výstupní roviny 7 interferometru vzhledem k její normále rovněž pod úhlem β, kde vzniká druhý obraz referenčního předmětu vloženého v druhé předmětové rovině 2.2. Mezi úhly β a α platí vztah sin(p) - sin(a)/m, kde m je zvětšení výstupní zobrazovací soustavy 4.
Vinění z předmětové větve a z referenční větve ve výstupní rovině 7 interferometru interferuje a vytváří interferenční strukturu proužků s prostorovou frekvencí rovnou prostorové frekvenci difrakční mřížky 5 dělené zvětšením výstupní zobrazovací soustavy 4,
Při použití širokopásmového zdroje vlnění se na difrakční mřížce 5 uplatní závislost úhlu difrakce na vlnové délce, tak zvaná úhlová disperze. Úhel α a tudíž i úhel β je různý pro různé vlnové délky. Vhodnou prostorovou frekvencí a polohou difrakční mřížky 5 a vhodným natočením zrcadel v první přenosové soustavě 6.1 a druhé přenosové soustavě 6.2 odražečů lze dosáhnout toho, že vlnění různých vlnových délek vstupuje do výstupní roviny 7 pod různými úhly takovými, aby vznikající interferenční struktura měla pro každou vlnovou délku stejnou a dostatečně vysokou prostorovou frekvenci, tedy hustotu proužků takovou, aby bylo možné rekonstruovat předmětovou vlnu v celém zorném poli z jediného interferogramu, tedy hologramu.
Ve výstupní rovině 7 interferometru je umístěn detektor, kterým je většinou digitální kamera připojená k počítači. Zvětšení m výstupní zobrazovací soustavy 4, je takové, aby bylo možné interferenční strukturu přítomnou ve výstupní rovině 7 interferometru dostatečně navzorkovat použitým detektorem s ohledem na maximální prostorovou frekvenci přítomnou v hologramu ve výstupní rovině 7 interferometru.
Soustava prvního rovinného zrcadla Z1 a druhého rovinného zrcadla Z2 v první přenosové soustavě 6,1 odražečů je posuvná ve směru osy první zobrazovací soustavy 3.1 předmětové větve, což umožňuje nastavit v obou větvích interferometru shodnou dobu průchodu vlnění.
První skenovací jednotka 8.1 a druhá skenovací jednotka 8.2 zajišťují sjednocení os předmětové a referenční větve ve výstupní rovině 7 interferometru. Dále jsou využívány pro zjišťování funkce vzájemné koherence, zejména pro případ pozorování přes rozptylující prostředí, kdy lze náklonem svazku paprsků přicházejících do výstupní roviny 2 interferometru z předmětové větve získat neposunuté zobrazení pozorovaného předmětu, k němuž přispívá nebalistické světlo rozptýlené v bodě pozorování pod úhlem větším, než je apertumí úhel objektivu.
Pozorovaný předmět a referenční předmět mohou být také vloženy v kterékoli vhodné rovině v příslušné větvi sdružené příslušnou zobrazovací soustavou nebo její částí s příslušnými předmětovými rovinami 2.1 a 2,2.
Obdobným způsobem pracuje interferometrický systém i v ostatních příkladech uspořádání.
Průmyslová využitelnost
Navržený interferometrický systém lze použít například v kombinaci s běžnými mikroskopovými zobrazovacími soustavami zobrazujícími v odraženém i v procházejícím světle, lze jej použít také pro makroskopický holografický záznam. Je vhodný pro in vitro pozorování živých buněk, případně vnořených v suspenzi, ajejich reakcí na vnější podněty, nebo pro měření povrchů odrazných vzorků překrytých rozptylujícím prostředím.

Claims (9)

  1. PATENTOVÉ NÁROKY
    5 1. Interferometrický systém s prostorovou nosnou frekvencí zobrazující v polychromatickém záření, který sestává z plošného, časově a prostorově nekoherentního zdroje (1) vlnění, za kterým je zařazen dělič (
  2. 2) vlnění pro rozdělení dopadajícího vlnění do dvou oddělených větví interferometru, a to do první a druhé větve, kde v ose první větve je umístěna libovolně vytvořená první zobrazovací soustava (3.1) a v ose druhé větve je umístěna druhá zobrazovací soustava io (3.2), která je s první zobrazovací soustavou (3.1) shodná co do doby průchodů vlnění a co do zvětšení a obrazová rovina (3.3) první zobrazovací soustavy (3.1) první větve je vzhledem k první zobrazovací soustavě (3.1) obrazem první předmětové roviny (2.1) této zobrazovací soustavy (3.1) a současně obrazová rovina (3.4) druhé zobrazovací soustavy (3.2) druhé větve je vzhledem k druhé zobrazovací soustavě (3.2) obrazem druhé předmětové roviny (2.2) této zobra15 zovací soustavy (3.2) a interferometrický systém dále obsahuje ve výstupní rovině (7) interferometru umístěný detektor, přičemž rozdíl dob šíření vlnění v první a v druhé větvi je menší než koherenční doba použitého vlnění, měřeno od bodu rozdělení svazku v děliči (2) vlnění až po výstupní rovinu (7) interferometru, vyznačující se tím, že za obrazovou rovinou (3.3) první zobrazovací soustavy (3.1) první větve a před výstupní rovinou (7) interferometru je
    20 umístěna první výstupní zobrazovací soustava (4.1) a za obrazovou rovinou (3.4) druhé zobrazovací soustavy (3.2) druhé větve a před výstupní rovinou (7) interferometru je umístěna druhá výstupní zobrazovací soustava (4.2), přičemž alespoň vjedné větvi je mezi příslušnou zobrazovací soustavou (3.1, 3.2) dané větve a výstupní rovinou (7) interferometru umístěna v první větvi první přenosová soustava (6.1) odražečů a v druhé větvi druhá přenosová soustava (6.2) odra25 žečů, a to tak uspořádané, že osa první větve a osa druhé větve jsou před vstupem do výstupní roviny (7) interferometru sjednoceny a jsou rovnoběžné s normálou výstupní roviny (7) interferometru a dále, že výstupní rovina (7) interferometru je vzhledem k první výstupní zobrazovací soustavě (4.1) obrazem obrazové roviny (3.3) první zobrazovací soustavy (3.1) první větve a vzhledem k druhé výstupní zobrazovací soustavě (4.2) obrazem obrazové roviny (3.4) druhé
    30 zobrazovací soustavy (3.2) druhé větve a celkové zvětšení mezi první předmětovou rovinou (2.1) první zobrazovací soustavy (3.1) první větve a výstupní rovinou (7) interferometru se rovná celkovému zvětšení mezi druhou předmětovou rovinou (2.2) druhé zobrazovací soustavy (3.2) druhé větve a výstupní rovinou (7) interferometru a paprsek vlnění šířící se v ose první zobrazovací soustavy (3.1) první větve vstupuje do první výstupní zobrazovací soustavy (4.1) v její ose
    35 a vystupuje zní také v její ose a vstupuje do výstupní roviny (7) interferometru ve směru její normály a v blízkosti obrazové roviny (3.4) druhé zobrazovací soustavy (3.2) druhé větve je umístěna difrakění mřížka (5) a paprsek vlnění šířící se v ose druhé zobrazovací soustavy (3.2) druhé větve difraktovaný difrakění mřížkou (5) pod úhlem (a) vstupuje do druhé výstupní zobrazovací soustavy (4.2) rovněž pod úhlem (a) vzhledem k ose této druhé výstupní zobrazovací sou40 stavy (4.2) a vystupuje z této druhé výstupní zobrazovací soustavy (4.2) vzhledem k její ose pod úhlem (β) a vstupuje do výstupní roviny (7) interferometru vzhledem její k normále rovněž pod úhlem (β), přičemž mezi úhly (β) a (a) platí vztah 5Ϊη(β) - sin(a)/m, kde m je zvětšení druhé výstupní zobrazovací soustavy (4.2).
    45 2. Interferometrický systém s prostorovou nosnou frekvencí zobrazující v polychromatickém záření, který sestává z plošného, časově a prostorově nekoherentního zdroje (1) vlnění, za kterým je zařazen dělič (2) vlnění pro rozdělení dopadajícího vlnění do dvou oddělených větví interferometru, a to do první a druhé větve, kde v ose první větve je umístěna libovolně vytvořená první zobrazovací soustava (3.1) a vose druhé větve je umístěna druhá zobrazovací soustava so (3.2), která je s první zobrazovací soustavou (3.1) shodná co do doby průchodu vlnění a co do zvětšení a obrazová rovina (3.3) první zobrazovací soustavy (3.1) první větve je vzhledem k první zobrazovací soustavě (3.1) obrazem první předmětové roviny (2.1) této zobrazovací soustavy (3.1) a současně obrazová rovina (3.4) druhé zobrazovací soustavy (3.2) druhé větve je vzhledem k druhé zobrazovací soustavě (3.2) obrazem druhé předmětové roviny (2.2) této zobra55 zovací soustavy (3.2) a interferometrický systém dále obsahuje ve výstupní rovině (7) interfero-10CZ 302491 B6 metru umístěný detektor, přičemž rozdíl dob šíření vlnění v první a v druhé větvi je menší než koherenční doba použitého vlnění, měřeno od bodu rozdělení svazku v děliči (2) vlnění až po výstupní rovinu (7) interferometru vyznačující se tím, že za obrazovou rovinou (3.3) první zobrazovací soustavy (3.1) první větve a před výstupní rovinou (7) interferometru je umístěna první výstupní zobrazovací soustava (4.1) a za obrazovou rovinou (3.4) druhé zobrazovací soustavy (3.2) druhé větve a před výstupní rovinou (7) interferometru je umístěna druhá výstupní zobrazovací soustava (4.2), přičemž alespoň v jedné větvi je mezi příslušnou zobrazovací soustavou (3.1, 3.2) dané větve a výstupní rovinou (7) interferometru umístěna v první větvi první přenosová soustava (6.1) odražečů a v druhé větvi druhá přenosová soustava (6.2) odražečů, a to tak uspořádané, že osa první větve a osa druhé větve jsou před vstupem do výstupní roviny (7) interferometru sjednoceny a jsou rovnoběžné s normálou výstupní roviny (7) interferometru a dále, že výstupní rovina (7) interferometru je vzhledem k první výstupní zobrazovací soustavě (4.1) obrazem obrazové roviny (3.3) první zobrazovací soustavy (3.1) první větve a vzhledem k druhé výstupní zobrazovací soustavě (4.2) obrazem obrazové roviny (3.4) druhé zobrazovací soustavy (3.2) druhé větve a celkové zvětšení mezi první předmětovou rovinou (2.1) první zobrazovací soustavy (3.1) první větve a výstupní rovinou (7) interferometru se rovná celkovému zvětšení mezi druhou předmětovou rovinou (2.2) druhé zobrazovací soustavy (3.2) druhé větve a výstupní rovinou (7) interferometru a v blízkosti obrazové roviny (3.3) první zobrazovací soustavy (3.1) první větve je umístěna první difrakční mřížka (5.1) a paprsek vlnění šířící se v ose první zobrazovací soustavy (3.1) první větve difraktovaný první difrakční mřížkou (5.1) pod úhlem (al) vstupuje do první výstupní zobrazovací soustavy (4.1) rovněž pod úhlem (al) vzhledem k ose této první výstupní zobrazovací soustavy (4.1) a vystupuje z této první výstupní zobrazovací soustavy (4.1) vzhledem k její ose pod úhlem (βΐ) a vstupuje do výstupní roviny (7) interferometru vzhledem její k normále rovněž pod úhlem (βΐ), přičemž mezi úhly (βΐ) a (al) platí vztah sin^l) = sin(al)/ml, kde ml je zvětšení první výstupní zobrazovací soustavy (4.1) a v blízkosti obrazové roviny (3.4) druhé zobrazovací soustavy (3.2) druhé větve je umístěna druhá difrakční mřížka (5.2) a paprsek vlnění šířící se v ose druhé zobrazovací soustavy (3.2) druhé větve difraktovaný druhou difrakční mřížkou (5.2) pod úhlem (a2) vstupuje do druhé výstupní zobrazovací soustavy (4.2) rovněž pod úhlem (a2) vzhledem k ose této druhé výstupní zobrazovací soustavy (4.2) a vystupuje z této druhé výstupní zobrazovací soustavy (4.2) vzhledem k její ose pod úhlem (β2) a vstupuje do výstupní roviny (7) interferometru vzhledem její k normále rovněž pod úhlem (β2), přičemž mezi úhly (β2) a (a2) platí vztah 5ίη(β2) = sin(a2)/m2, kde m2 je zvětšení druhé výstupní zobrazovací soustavy (4.2).
  3. 3. Interferometrický systém podle nároku l, vyznačující se tím, že první větev je předmětová větev, druhá větev je referenční větev, difrakční mřížka (5) je reflexní difrakční mřížka umístěná v blízkosti obrazové roviny druhé zobrazovací soustavy (3.2) referenční větve a jí příslušející druhá přenosová soustava (6.2) odražečů je tvořena na svém vstupu nastavitelným polopropustným rovinným zrcadlem (Z6) umístěným v ose druhé přenosové soustavy (6,2) odražečů a také v ose druhé zobrazovací soustavy (3.2) a v cestě difraktovanébo vlnění z difrakční mřížky (5) a nastavitelným pátým rovinným zrcadlem (Z5) umístěným v cestě vlnění odraženého z polopropustného rovinného zrcadla (Z6) a odrazná plocha polopropústného rovinného zrcadla (Z6) svírá s odraznou plochou pátého rovinného zrcadla (Z5) pravý úhel a dále první přenosová soustava (6.1) odražečů je pak tvořena na vstupu prvním rovinným zrcadlem (Zl) umístěným v ose první přenosové soustavy (6.1) odražečů a také v ose první zobrazovací soustavy (3,1) a druhým rovinným zrcadlem (Z2) umístěným v cestě vlnění odraženého z prvního rovinného zrcadla (Zl) tak, že jeho odrazná plocha je kolmá na odraznou plochu prvního rovinného zrcadla (Zl) a rovnoběžná s odraznou plochou za ním umístěného třetího rovinného zrcadla (Z3), jehož odrazná plocha je kolmá na odraznou plochu v cestě odraženého paprsku umístěného čtvrtého rovinného zrcadla (Z4).
  4. 4, Interferometrický systém podle nároku 2, vyznačující se tím, že první větev je předmětová větev, druhá větev je referenční větev a první difrakční mřížka (5.1) je transmisní difrakční mřížka umístěná v blízkosti obrazové roviny první zobrazovací soustavy (3.1) předmětové větve a druhá difrakční mřížka (5.2) je transmisní difrakční mřížka umístěná v blízkosti
    - 11 CZ 302491 B6 obrazové roviny druhé zobrazovací soustavy (3.2) referenční větve a této druhé d i trakční mřížce (5.2) příslušející druhá přenosová soustava (6.2) odražečů je tvořena na svém vstupu nastavitelným šestým rovinným zrcadlem (Z7) umístěným v ose druhé přenosové soustavy (6.2) odražečů a také v ose druhé zobrazovací soustavy (3.2) a v cestě difraktovaného vlnění z druhé difrakění
  5. 5 mřížky (5.2) a nastavitelným pátým rovinným zrcadlem (Z5) umístěným v cestě vlnění odraženého z šestého rovinného zrcadla (Z7) a odrazná plocha pátého rovinného zrcadla (Z5) je rovnoběžná s odraznou plochou šestého rovinného zrcadla (Z7), přičemž první přenosová soustava (6.1) odražečů příslušející první difrakění mřížce (5.1) je pak tvořena na vstupu prvním rovinným zrcadlem (Zl) umístěným v ose první přenosové soustavy (6.1) odražečů a také v ose první io zobrazovací soustavy (3.1) a v cestě difraktovaného vlnění z první difrakění mřížky (5.1) a dále druhým rovinným zrcadlem (Z2) umístěným v cestě vlnění odraženého z prvního rovinného zrcadla (Zl) tak, že jeho odrazná plocha je kolmá na odraznou plochu prvního rovinného zrcadla (Zl) a rovnoběžná s odraznou plochou za ním umístěného třetího rovinného zrcadla (Z3), jehož odrazná plocha je kolmá na odraznou plochu v cestě odraženého paprsku umístěného čtvrtého
    15 rovinného zrcadla (Z4).
    5. Interferometrický systém podle nároku 2 nebo 4, vyznačující se tím, že první difrakění mřížka (5.1) je reflexní difrakění mřížka nebo transmisní difrakění mřížka a taktéž druhá difrakění mřížka (5.2) je reflexní difrakění mřížka nebo transmisní difrakění mřížka.
  6. 6. Interferometrický systém podle kteréhokoli z nároků 1 až 5, vyznačující se tím, že difrakění mřížka (5, 5.1, 5.2) leží v jí příslušející obrazové rovině (3.3, 3.4).
  7. 7. Interferometrický systém podle kteréhokoli z nároků 1 až 5, v y z n a č u j í c í se tím,
    25 že difrakění mřížka (5, 5.1, 5.2) leží v okolí vymezeném vzdáleností ± 500 mm od jí příslušející obrazové roviny (3.3, 3.4).
  8. 8. Interferometrický systém podle kteréhokoli z nároků 1 až 7, vyznačující se tím, že první výstupní zobrazovací soustava (4.1) a druhá výstupní zobrazovací soustava (4.2) jsou
    30 tvořeny jednou společnou výstupní zobrazovací soustavou (4) umístěnou na společné ose první a druhé větve mezi obrazovými rovinami (3.3, 3.4) zobrazovacích soustav (3.1, 3.2) a výstupní rovinou interferometru (7).
  9. 9. Interferometrický systém podle kteréhokoli z nároků 1 až 8, vyznačující se tím,
    35 že za první zobrazovací soustavou (3.1) první větve je v ose první větve umístěna první skenovací jednotka (8.1) a za druhou zobrazovací soustavou (3.2) druhé větve je vose druhé větve umístěna druhá skenovací jednotka (8.2).
CZ20100288A 2010-04-14 2010-04-14 Interferometrický systém s prostorovou nosnou frekvencí zobrazující v polychromatickém zárení CZ302491B6 (cs)

Priority Applications (6)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CZ20100288A CZ302491B6 (cs) 2010-04-14 2010-04-14 Interferometrický systém s prostorovou nosnou frekvencí zobrazující v polychromatickém zárení
EP11160863A EP2378244B1 (en) 2010-04-14 2011-04-01 Interferometric system with spatial carrier frequency capable of imaging in polychromatic radiation
CN201110085860.6A CN102279555B (zh) 2010-04-14 2011-04-02 具有空间载频的能够以多色辐射进行成像的干涉仪系统
US13/083,947 US8526003B2 (en) 2010-04-14 2011-04-11 Interferometric system with spatial carrier frequency capable of imaging in polychromatic radiation
JP2011088438A JP5510676B2 (ja) 2010-04-14 2011-04-12 多色放射での画像化を可能とする空間搬送周波数を使用するインターフェロメトリックシステム
EA201100490A EA018804B1 (ru) 2010-04-14 2011-04-13 Интерферометрическая система с использованием несущей пространственной частоты, способная к формированию изображений в полихроматическом излучении

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CZ20100288A CZ302491B6 (cs) 2010-04-14 2010-04-14 Interferometrický systém s prostorovou nosnou frekvencí zobrazující v polychromatickém zárení

Publications (2)

Publication Number Publication Date
CZ2010288A3 CZ2010288A3 (cs) 2011-06-15
CZ302491B6 true CZ302491B6 (cs) 2011-06-15

Family

ID=44144989

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CZ20100288A CZ302491B6 (cs) 2010-04-14 2010-04-14 Interferometrický systém s prostorovou nosnou frekvencí zobrazující v polychromatickém zárení

Country Status (6)

Country Link
US (1) US8526003B2 (cs)
EP (1) EP2378244B1 (cs)
JP (1) JP5510676B2 (cs)
CN (1) CN102279555B (cs)
CZ (1) CZ302491B6 (cs)
EA (1) EA018804B1 (cs)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CZ305665B6 (cs) * 2014-08-12 2016-01-27 Vysoké Učení Technické V Brně Interferometrický systém s variabilní optikou pro nekoherentní zdroj záření a způsob naladění interferometrického systému
WO2016062296A1 (en) 2014-10-20 2016-04-28 Vysoké učeni technické v Brně Interferometric system and method of measurement of refractive index spatial distribution

Families Citing this family (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN104122228B (zh) * 2014-07-14 2016-06-15 江苏大学 一种集成光干涉和散射信息分析的显微成像系统及方法
CZ307520B6 (cs) * 2017-09-21 2018-11-07 Vysoké Učení Technické V Brně Zobrazovací modul pro mimoosový záznam polarizačně oddělených vln
US10816693B2 (en) * 2017-11-21 2020-10-27 Reliance Core Consulting LLC Methods, systems, apparatuses and devices for facilitating motion analysis in a field of interest

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3580655A (en) * 1964-04-23 1971-05-25 Battelle Development Corp Wavefront reconstruction
CZ8547U1 (cs) * 1999-03-09 1999-04-16 Radim Chmelík Holografický konfokální mikroskop pro bílé světlo
US7034271B1 (en) * 2004-05-27 2006-04-25 Sandia Corporation Long working distance incoherent interference microscope
CZ19150U1 (cs) * 2008-10-06 2008-12-08 Vysoké ucení technické v Brne Holografický mikroskop

Family Cites Families (12)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4786124A (en) * 1987-04-27 1988-11-22 University Of Rochester Broad-spectrum achromatic phase shifters, phase modulators, frequency shifters, and frequency modulators
NL8903013A (nl) * 1989-11-02 1991-06-03 Philips Nv Rasterobjektief en raster-bundelomvormer alsmede optische aftastinrichting voorzien van minstens een van deze elementen.
SU1747885A1 (ru) * 1990-01-05 1992-07-15 Черновицкий Государственный Университет Способ измерени профил шероховатой поверхности издели
JP2823707B2 (ja) * 1991-03-15 1998-11-11 松下電工株式会社 位相シフト斜入射干渉計
JPH0784126A (ja) * 1993-09-13 1995-03-31 Ricoh Co Ltd ホログラム作成方法
US5548403A (en) * 1994-11-28 1996-08-20 The Regents Of The University Of California Phase shifting diffraction interferometer
JP2004151058A (ja) * 2002-11-01 2004-05-27 Mitsubishi Heavy Ind Ltd レーザ干渉計
US7535647B1 (en) * 2003-08-29 2009-05-19 Otten Iii Leonard John Beam splitters for, for instance, high efficiency spectral imagers
US7499174B2 (en) * 2005-01-12 2009-03-03 John Farah Lensless imaging with reduced aperture
US7859679B2 (en) * 2005-05-31 2010-12-28 The General Hospital Corporation System, method and arrangement which can use spectral encoding heterodyne interferometry techniques for imaging
JP4897572B2 (ja) * 2006-06-30 2012-03-14 株式会社ミツトヨ 斜入射干渉計
US8699033B2 (en) * 2008-10-03 2014-04-15 Universite Libre De Bruxelles Holographic microscopy and method to investigate nano-sized objects

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3580655A (en) * 1964-04-23 1971-05-25 Battelle Development Corp Wavefront reconstruction
CZ8547U1 (cs) * 1999-03-09 1999-04-16 Radim Chmelík Holografický konfokální mikroskop pro bílé světlo
US7034271B1 (en) * 2004-05-27 2006-04-25 Sandia Corporation Long working distance incoherent interference microscope
CZ19150U1 (cs) * 2008-10-06 2008-12-08 Vysoké ucení technické v Brne Holografický mikroskop

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CZ305665B6 (cs) * 2014-08-12 2016-01-27 Vysoké Učení Technické V Brně Interferometrický systém s variabilní optikou pro nekoherentní zdroj záření a způsob naladění interferometrického systému
WO2016051283A2 (en) 2014-08-12 2016-04-07 Vysoké Učení Technické V Brně Interferometric system with variable optics for non-coherent light source and method of interferometric system alignment
WO2016062296A1 (en) 2014-10-20 2016-04-28 Vysoké učeni technické v Brně Interferometric system and method of measurement of refractive index spatial distribution
CZ306015B6 (cs) * 2014-10-20 2016-06-22 Vysoké Učení Technické V Brně Interferometrický systém a způsob měření prostorového rozložení indexu lomu

Also Published As

Publication number Publication date
US8526003B2 (en) 2013-09-03
EA201100490A3 (ru) 2012-02-28
EA201100490A2 (ru) 2011-10-31
EP2378244B1 (en) 2012-07-04
US20110255093A1 (en) 2011-10-20
JP2011227501A (ja) 2011-11-10
CZ2010288A3 (cs) 2011-06-15
EA018804B1 (ru) 2013-10-30
CN102279555A (zh) 2011-12-14
EP2378244A1 (en) 2011-10-19
CN102279555B (zh) 2016-02-10
JP5510676B2 (ja) 2014-06-04

Similar Documents

Publication Publication Date Title
EP2565703B1 (en) Observation device
US11644791B2 (en) Holographic imaging device and data processing method therefor
AU2011384697A1 (en) Spectroscopic instrument and process for spectral analysis
JP5610063B2 (ja) 観察装置および観察方法
EP3627093B1 (en) Apparatus for parallel fourier domain optical coherence tomography imaging and imaging method using parallel fourier domain optical coherence tomography
CZ302491B6 (cs) Interferometrický systém s prostorovou nosnou frekvencí zobrazující v polychromatickém zárení
US20170322151A1 (en) Interferometric System and Method of Measurement of Refractive Index Spatial Distribution
US8508746B2 (en) Interferometric systems having reflective chambers and related methods
CA2963297A1 (fr) Optical telemetry device
IL269742B1 (en) Devices and methods for optical imaging by off-axis digital holography
CN111122509A (zh) 基于f-p干涉仪反射透射式相位显微成像测量系统
KR20170023363A (ko) 디지털 홀로그래피 마이크로스코프를 이용한 고단차 측정 방법
JPH0431720A (ja) 2次元物体の分光装置
CZ21593U1 (cs) Interferometrický systém s prostorovou nosnou frekvencí zobrazující v pólychromatickém záření
RU2527316C1 (ru) Интерференционный микроскоп
RU2536764C1 (ru) Способ интерференционной микроскопии
CZ305665B6 (cs) Interferometrický systém s variabilní optikou pro nekoherentní zdroj záření a způsob naladění interferometrického systému
CZ19150U1 (cs) Holografický mikroskop
RU2655472C1 (ru) Способ и устройство регистрации пространственного распределения оптических характеристик труднодоступных объектов
Garcia-Armenta et al. High-NA lensless coherent imager as a building block for a synthetic aperture interferometry array
CN111122510A (zh) 基于f-p干涉仪透射式正交偏振相位显微成像装置
AU2020101629A4 (en) A reflective-transmissive enhanced phase microscopy imaging measurement system based on an F-P interferometer
CN117232430A (zh) 基于定量相位成像的纳米结构三维形貌测量系统与方法
RU2410641C2 (ru) Солнечный интерферометр когерентности с рассеивающей линзой
Andrés et al. Dynamic shape measurements of rough surface with a two wavelength method