KR950033946A - 비점수차, 보우 왜곡 및 필드 곡률을 교정하기 위한 장치 및 그 방법 - Google Patents

비점수차, 보우 왜곡 및 필드 곡률을 교정하기 위한 장치 및 그 방법 Download PDF

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Abstract

본 발명은 전박적으로 비점수차, 보우 왜곡 및 필드 곡률을 교정하기 위한 새로운 방법 및 장치에 관한 것으로, 보다 상세하게는 비점수차식으로 교정된 카타디옵트릭 레이저 스캐너 또는 중간 대물 렌즈 레이저 스캐너에 관한 것이다.

Description

비점수차, 보우 왜곡 및 필드 곡률을 교정하기 위한 장치 및 그 방법
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제7도는 본 발명의 바람직한 실시예도, 제8도는 토릭 렌즈(toric rens)를 사용한 본 발명의 다른 실시예도.

Claims (20)

  1. 비점수차, 보우 왜곡 및 필드 보정하기 위한 장치(an apparatus for correcting astgmatism, bow distortion and field curvature)에 있어서, (a)적어도 하나의 입사 광빔을 적어도 하나의 작업편(at least one workpiece)으로 집속시키는 각α로 경사진 적어도 하나의 렌즈(at least one lens)와, (b) 상기 적어도 하나의 입사 광빔을 차단하여 주사시키는 적어도 하나의 스캐닝 기구(at least one scanning mechanism)를 포함하며, 상기 적어도 하나의 스캐닝 기구는 상기 적어도 하나의 입사 광빔을 오목 원통형 미러(a concave cylindrical mirror)의 반사면 중 적어도 일부분으로 전달시키며, 상기 오목 원통형 미러는 상기 적어도 하나의 입사광빔을 상기 작업편으로 전달시켜, 상기 적어도 하나의 입사광빔이 상기 작업편에 집속되어지는 것을 특징으로 하는 비점수차, 보우 왜곡 및 필드 곡률을 교정시키는 장치.
  2. 제1항에 있어서, 상기 적어도 하나의 광빔은 레이저 빔(a leser beam)인 것을 특징으로 하는 장치.
  3. 제1항에 있어서, 상기 적어도 하나의 광빔은 광 에너지의 조준된 빔(a collimated beam of light energy)인 것을 특징으로 하는 장치.
  4. 제1항에 있어서, 상기 스캐닝 기구는 검류계(a galvanometer)인 것을 특징으로 하는 장치.
  5. 제1항에 있어서, 상기 스캐닝 기구는 다각형의 회전 미러(a rotating mirrored polygon)인 것을 특징으로 하는 장치.
  6. 제1항에 있어서, 상기 렌즈는 색지움 렌즈(achromatic lens)인 것을 특징으로 하는 장치.
  7. 제1항에 있어서, 상기 렌즈는 그 노달점(nodal point)을 중심으로 경사진 것을 특징으로 하는 장치.
  8. 제1항에 있어서, 상기 오목 원통형 미러의 곡률 반경은, (a) 상기 렌즈와 상기 스캐닝 기구의 스캐닝면(the scanning surface)사이의 거리와, (b) 상기 스캐닝 기구의 스캐닝면과 상기 오목 원통형 미러의 상기 반사면 사이의 거리와, (c) 상기 렌즈의 초점 길이(focal length)에 의해 정해지는 것을 특징으로 하는 장치.
  9. 제1항에 있어서, 상기 경사진 렌즈의 상기 각 α는 (a) 개구수(the numerical apertute)에 의해 측정된 시스템의 해상도(the resolution)와, (b) 상기 오목 원통형 미러의 상기 반사면에서 상기 작업편까지의 동작거리(working distance)와, (c) 상기 스캐닝 기구의 스캐닝면과 상기 오목 원통형 미러의 상기 반사면 사이의 거리와, (d) 상기 렌즈와 상기 스캐닝 기구의 스캐닝면 사이의 거리와, (e) 상기 렌즈의 초점길이에 의해 정해지는 것을 특징으로 하는 장치.
  10. 비점수차, 보우 왜곡 및 필드 곡률을 교정하기 위한 장치에 있어서, (a)적어도 하나의 입사 광빔을 적어도 하나의 작업편으로 접속시키기 위해 적어도 하나의 렌즈를 각α로 경사시키는 적어도 하나의 수단(means) (b) 상기 적어도 하나의 경사진 렌즈와 상기 적어도 하나의 작업편 사이에 위치하며, 상기 적어도 하나의 입사 광빔을 오목 원통형 미러의 반사면 중 적어도 일부분으로 전달시키는 적어도 하나의 수단을 갖고있는 스캐닝 기구와, (c) 상기 오목 원통형 미러에서 상기 적어도 하나의 입사광빔을 작업편으로 전달시키는 수단을 포함하여, 상기 적어도 하나의 입사광빔이 상기 작업편에 집속되어지는 것을 특징으로 하는 비점수차, 보우 왜곡 및 필드 곡률을 교정시키는 장치.
  11. 제10항에 있어서, 상기 적어도 하나의 광빔은 레이저 빔인 것을 특징으로 하는 장치.
  12. 제10항에 있어서, 상기 적어도 하나의 광빔은 광에너지의 조준된 빔인 것을 특징으로 하는 장치.
  13. 제10항에 있어서, 상기 스캐닝 기구는 검류계인 것을 특징으로 하는 장치.
  14. 제10항에 있어서, 상기 스캐닝 기구는 다각형의 회전 미러인 것을 특징으로 하는 장치.
  15. 제10항에 있어서, 상기 렌즈는 색지움 렌즈인 것을 특징으로 하는 장치.
  16. 제10항에 있어서, 상기 렌즈는 그 노달점을 중심으로 경사진 것을 특징으로 하는 장치.
  17. 제10항에 있어서, 상기 오목 원통형 미러의 곡률 반경은, (a) 상기 렌즈와 상기 스캐닝 기구의 스캐닝면 사이의 거리와, (b) 상기 스캐닝 기구의 스캐닝면과 상기 오목 원통형 미러의 상기 반사면 사이의 거리와, (c) 상기 렌즈의 초점길이(focal length)에 의해 정해지는 것을 특징으로 하는 장치.
  18. 제10항에 있어서, 상기 경사진 렌즈의 상기 각 α는 (a) 개구수에 의해 측정된 시스템의 해상도와, (b) 상기 오목 원통형 미러의 상기 반사면에서 상기 작업편까지의 동작거리와, (c) 상기 스캐닝 기구의 스캐닝면과 상기 오목 원통형 미러의 상기 반사면 사이의 거리와, (d) 상기 렌즈와 상기 스캐닝 기구의 스캐닝면 사이의 거리와, (e) 상기 렌즈의 초점길이에 의해 정해지는 것을 특징으로 하는 장치.
  19. 비점수차, 보우 왜곡 및 필드 곡률을 교정하기 위한 장치에 있어서, (a)적어도 하나의 입사 광빔을 적어도 하나의 작업편으로 접속시키는 적어도 하나의 토릭 렌즈(toric lens)와, (b) 상기 적어도 하나의 토릭렌즈와 상기 적어도 하나의 작업편 사이에 위치하며, 상기 적어도 하나의 입사 광빔을 오목 원통형 미러의 반사면 중 적어도 일부분으로 전달시키는 적어도 하나의 수단을 갖고 있는 스캐닝 기구와, (c) 상기 오목형 미러에서 상기 적어도 하나의 입사광빔을 작업편으로 전달시키는 수단을 포함하여, 상기 적어도 하나의 입사광빔이 상기 작업편에 집속되어지는 것을 특징으로 하는 비점수차, 보우 왜곡 및 필드 곡류을 교정시키는 장치.
  20. 비점수차, 보우 왜곡 및 필드 곡률을 교정하기 위한 방법에 있어서, (a)적어도 하나의 토릭 렌즈에 의해 적어도 하나의 입사 광빔을 적어도 하나의 작업편으로 접속시키는 단계와, (b)적어도 하나의 스캐닝 기구에의해 상기 적어도 하나의 입사광빔을 차단하여 주사시키는 단계를 포함하며, 상기 적어도 하나의 스캐닝 기구는 또한 상기 적어도 하나의 입사광빔을 오목원통형 미러의 반사면 중 적어도 일부분으로 전달시키며, 상기 오목 원통형 미러는 상기 적어도 하나의 입사광빔을 상기 작업편으로 전달시켜, 상기 적어도 하나의 입사광빔이 상기 작업편에서 접속되어지는 것을 특징으로 하는 비점수차 보우 왜곡 및 필드 곡률을 교정하기 위한 방법.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
KR1019950013799A 1994-05-31 1995-05-30 비점수차, 보우 왜곡 및 필드 곡률을 교정하기 위한 장치 및 그 방법 KR100228975B1 (ko)

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