TW314666B - - Google Patents

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314666 A7 B7 #.'#都中 >消 5. >t印装 發明説明（1 ) 醏明節8^_ 本發明係大致有關於一種用於修正像散、弓狀歪曲及場 曲率的新方法和裝置，特別是有關於一種可修正像散的反 折射式雷射掃描器或是一種中央物鏡掃描器。 發明赀 使用雷射的掃描糸統可以應用在多種情形中。雷射掃描 器是一個正在成長之數十億美元市場的一部份。例如說， 雷射光可用來在半専體基體上鑽孔，以製造微電路，或者 是可將其用來在某一部位上標示文字和數字，或者是用來 讀取條碼，或是使用在雷射印表機上，而這些僅是其中少 数的幾種應用而已。 雷射掃描糸統基本上可區分為三種類別：物鏡掃描器、 前物鏡掃描器和後物鏡掃描器。 如圖U和1B中所示 > 物鏡掃描器19是一種使用簡單透鏡 1 0來將一光束2 5，如雷射光束2 5，聚焦在一工件或一部位 12上的掃描器。聚焦的雷射光束25接著可^藉著移動透鏡 10，如圖1A中所示，或是移動部位12，如圖1B中所示，而 移動掃摇過部位12。物鏡掃描器的一項主要·優點是其所用 的光學糸統較為簡軍。但是，物鏡掃描器的主要缺點是其 掃描速度較慢，且需要較複雜的操作方式來移動透鏡或被 掃描的部位。 · 前物鏡掃描器29»如圖2中所示者，是一種具有一可移 動反射鏡面22，一般為檢流計或是具有反射鏡面的可旋轉 多邊體，以將雷射光束25反射至一透鏡20上的掃描器。透 本紙張尺度逋用中國國家標準（CNS )六4規鼻（210X297公釐） (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁)

-IT 、線 314666 A7 B7 五、發明説明（2 經 濟 部 中 央 標 準 Λ —IT 工 消 费 合 作 J£T 印 製 鏡20接著 同圖2中 反射鏡面 20内。透 。一般而 且昂貴的 >且其可 要缺點是 非常地大 中心在整 其糸統非 均使得其 後物鏡 中所示> 22，通常 式的掃描 束或雷射 鏡會將雷 流計或反 。當此掃 引至沿著 3 A中所示 無法聚焦 38上。就 可將雷 所可清 22 '會 鏡20接 _ j... Β '刖 ^ -f- |Γ/.. 0則物 產生平 其所用 ，否則 個掃描 常複雜 糸統非 掃描器 是一種 射光束 楚看到 將雷射 著可將 物鏡掃 鏡掃描 坦視場 的透鏡 就不是 過程均 ，顔色 常地昂 39 >如 在聚焦 是檢流計或是 器。光束或雷 光束125 。雷 射光束1 2 5聚 射鏡面22檷截 描機構改變其 一假想曲線或 。光束1 2 5可 在工件或部位 圖3 A中的後物 25聚焦在郜位12上的位置23處。如 的，當該反射鏡面改變其角度時* 光束2 5導引沿不同的角度進人透鏡 光束2 5聚焦在部1 2上的另一點2 7上 描糸統29内所用的透鏡20是較複雑 器29的主要優點是其掃描速度較高 的影像。但是前物鏡掃描器29的主 是相當的複雑，而且除非其透鏡是 焦闌式（焦_透鏡可使掃描光束的 能垂直地投射至工件表面上），且 修正非常困難，而所有的這些要點 貴。 圖3 A (側視画）和圖3 B (頂視圖） 物鏡30後方設有一可移動反射鏡面 具有反射鏡面的可旋轉多邊體之型 射光束2 5在通過Γ透^鏡後將稱之為光 射光束25首先通過透鏡30，而此透 集至焦點上。雷射光·束125會被檢 並反射而聚焦至部位12上的點35處 角度時，將會將光束125的焦點専 弧線31的其它光點33或37上，如圖 以完美地聚焦在弧線31上，但是卻 12之平坦表面32上的點或光點34及 ----------------------------------……-............... 一 — · 鏡掃描器39而言，雷射光束125會 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) -装· 訂 線 本紙張尺及適用中國國家標率（CNS ) A4規格（210X 297公釐） 314666 A7 B7 五、發明説明（ 經 濟 部 中 k 標 隼為 1一 工 消 被檢流計22在X-Y平面上彎折90度，以使雷射光束聚焦在 點35上。當檢流計22移動光束125掃描時，其係繞著一軸 心線1 3 5旋轉，而此軸心線係位在檢流計2 2之表面上，並 係位於聚焦光束1 2 5的中心位置上，同時是在Z軸的方向 上。檢流計22可K移動至和雷射光束125在X-Y平面上相 交一個不等於90度的角度。這使得聚焦光束能沿著弧線 31移動掃描。在圖3B中顯示出此後物鏡掃描器39自掃描弧 線31上面向下看的情形。雖然掃描弧線31在掃描的邊緣會 有無法聚焦的問題，但是它可以在X - Z：平面上沿著平直的 路徑移動。一般而言，在後物鏡掃描糸統39中的透鏡30較 為簡單而便宜。後物鏡掃描器的主要優點是在於其掃描速 度、物鏡的簡單性、顔色的可修正性、及其可 '設計供較多 種波長使用的特性*而其主要缺點則包括其影像場在掃描 場的邊緣無法聚焦或者是在其掃描的範圍内無法聚焦。 本發明基本上是一種後物鏡掃描器的改良，可說是第四 種型式的雷射掃描糸統，其將被稱為扩央/物鏡雷射掃描器 〇 發明的目的筘概沭 - 本發明是一種新穎可修正像.散的反折射式雷射掃描器的 新穎方法及裝置。 ^ 因此，本發明之一目的是要提供一種装置及方法，其可 提供一種能修正像散的反折射式雷射掃描器。 本發明的另一目的是要提供一棰裝I.，A供將後物鏡掃 描器糸統所產生的弓狀歪曲、像散和埸曲率等琨像減至最 -2* -6 本紙張尺度逋用中國國家榡準（CNS ) A4规格（210X297公釐） (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 1! •裝 訂

I 314666 A7 B7 五、發明说明（4) 本發 透鏡及 本發 聚焦之 所有的 本發 成本的 本發 其掃描 量，這 因此 散、弓 明的再另一目的是要提供一種僅需使用非常便宜的 反射鏡的掃描器系統。 明的再另一目的是要提供一種焦闌式 光束的中心在掃描路徑上是垂直於被 黠。 明的再另一目 條件下供不同 明的再另一目 線的長 是所諝 ，在本 的光束，亦即 掃描部位上的 狀歪曲 u)至少一 道人射光束 度是直 之 F -1 h 發明的 和場曲 個透鏡 聚焦在 個掃描 的是要提 波長的光 的是要提 接正比於 e t a透鏡 親點中 供一種光學糸統，其可在低 線使用。 供一種光學掃 反射鏡 描:系統，其中 面的角度改變 可移動 所追求的目標。 ，其包含有一種用Μ修正像 率的方法，其包含有： ，其傾斜一角度alpha Μ.供將至少 至少一工件上* 機構，以供檷截該少一道的入射光 (請先閲讀背面之注意事項再填需本頁) 裝 經 濟 部 中 央 樣 準 局 -員 工 消 费 合 印 製 (b) 至少 束，並使其掃動， (c) 該至少一個的掃描機構可進一 光束導引至一個凹柱面反射鏡之反射 K及 (d) 引至該 件上。 在本發明的另一觀點中，其包含一種可用以修正像散 步將說 面的至 至少一道入射 少一部份上， 其中該凹柱面反射鏡可將該至少一道的入射光束導 工件上，K使得該至少一道的人射光束聚焦在該工 本紙張尺度逋用中國國家標率（CNS ) A4規格（210 X 297公釐） 線 A7 B7五、發明説明（5 ) 置 裝 的 率 曲 場 一， 和少度 曲至角 歪} a 3 In 狀 i p 弓al

上 件 斜工 傾一 Μ少 加至 鏡在 透焦 :個聚 有 一 束 含少光 包至射 其將人 , 供道 以一 , 少 置至 裝將 種W 件Μ 工’ 個置 1 裝 少種 至一 該少 和至 鏡有 透具 斜構 傾機 的描 個掃 一 該 少中 至其 該 ， 在構 位櫬 個描 一 掃 }的 (b間 之 射 反 之 鏡 射 反 面 柱 凹 個1 至 引 専 束及 光以 射 * 入上 的份 道部 1 1 少少 至至 該的 將面 少入 至的 該道 該一 K少 用至 , 該 置得 装使 的以 上， 鏡上 射件 反工 面 一。 柱.至上 凹引件 該導工 在束該 設光在 種射焦 一 入聚 }的束 (C道光 1 射 散 像 正 修 M 用 可 II 8 ·· 一 有 含含 包包 其其 中置 點裝 觀的 一 率 另曲 再場 的和 明曲 發歪 本狀 在弓 焦 聚 束 光 射 入 道 一 少 至 將 供 以 鏡 透 面 曲* 複上 1 件 少工 至 一 } 少 U至 在 I， 個置 1 裝 少種 至一 該少 ,至 k有 gr具 面構 曲機 複描 的掃 個該 一 中 少其 至’ 該構 在機 位描 個掃 一 的 }間 (b之 件 反 之 鏡 射 反 面 S- 凹 個1 至 引 導 束及 光以 射， 入上 的份 道部 1 1 少少 至至 該的 將面 K射 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) k! 裝.

、1T 線 經濟部中央棣準局-f工消费合作β印製 機 1 射 少入 該的 將道 K 一 用少 , 至 置該 裝得 的使 上以 鏡 ’ 射上 反件 面工 柱 一。 凹至上 該引件 在導 Η 設束該 種光在 一 射’焦 丨入聚 (C的束 道光 法 方 的 二率 另一曲 再-場 s |和 明|曲 發歪 本一狀 在一弓 中 點 觀 散 像 正： 修 以用一 種 I :: 有一有 含一含 包一包 其I其 準 揉 家 國 國 中 用 I逋 |嫠 公 97 2 314666 A7 B7 五、發明説明（ 經 濟 部 中 央 橾 隼 局 η 工 消 (a) 至少一個複曲面透鏡’用以將至少一道入射光束聚 焦在至少一工件上， (b) 至少一個掃描機構，以供攔截該至少一道的入射光 束，並使其掃動* (c) 該至少一個的掃描機構可進一步將該至少一道入射 光束導引至一個凹柱面反射鏡之反射面的至少一部份上’ K及 (d) 其中該凹柱面反射鏡可將該至少一道的入射光束導 引至該工件上’以使得該至少一道的人射光束聚焦在該工 件上。 附p夕髋跫說明 本發明中被視為新穎的特點及本發明的元件特性將詳细 地界定於所附之申請專利範圍。本文中的圖式僅係供示範 說明之用，並未按照實際尺寸繪製。但是本發明本身’包 括其結構及其操作之方法，可藉著閱讀下面的詳妞說明， 並配合所附之圖式，而得到充份的瞭解*。/在圖式中： 匾1A和圖1B顯示出二種典型的習用物鏡掃描器。 圖2顯示出一種典型的習用前物鏡掃描歃。 圖3A和圖3B分別顯示出一種典型的習用後物鏡掃描器的 測視圖及頂視圖。 ’ 圖4顯示出一種可用以修正圖3A和3 B牛之習用後物鏡掃 描器所造成之場曲率的方法。 圖5A顯示出習用之後物鏡掃描器所造成的場曲率及弓狀 .....- — _ —_·' .… — —— — — - ：„ 歪曲。 -9 本紙張纽34財851|料牟⑽s )〜祕（21GX297公瘦〉 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本莨) -K!- •装 -5 '線

I 經濟部中央梯隼局見工消费合^批印製 A7 __B7_五、發明説明（7 ) 圖5B顯示出圖5A中之後物鏡掃描系統在X-Z平面上的頂 視圖。 圃6顯示出一透鏡所造成的像散琨象。 圖7顯示出本發明之一·較佳具體實例。 圖3顯示出本發明使用複曲面透鏡的另一較佳具體實例 〇 A ·骑明的雄前說TO 本發明特別是有翮於一種可修正像散的反折射式雷射掃 描器或是一種中央物鏡雷射掃描器糸統。反析射式糸统是 一種同時應用反射及折射規象來達成其焦度的系统。雖然 透鏡和反射鏡的相對光焦度是隨系統的不同而不同，担是 使用反射式表面來提供大部份的光焦度，並配合使用小焦 度或零焦度的折射式表面，其可形成具有較佳像差特性的 影像。 本文中所用之透鏡係指單個的透鏡元件或是多個的透鏡 元件。 一〆 本發明亦可使用潸色差式透鏡，以使得本發明的中央物 鋳掃描糸统中亦可使用多重色彩的光線或是多種波長的光 線。 琨在回頭參閱圖3A和3B，當一後物鏡掃描’器39在一假想 線段或曲線31上掃描出聚焦的雷射光點-35時，其係沿著一 條具有某種曲率半徑的弧線或曲線31上來回移動 > 而該曲 率半徑是和檢流計22之中心至焦點35的距離相等，如圄_ 3A和圖3B中所示。這使其和平坦的影像平面間產生一偏差 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁)

k· ,-ί \| I -裝. -1Τ -10- 本紙張尺度逍用中國國家梂準（CNS ) Α4規格（210X297公釐） 經濟部中央橾準局^工消費合：^印製 A7 B7 五、發明説明（8 ) 童，這即稱為場曲率36。場曲率36是弧線31和部位12之平 坦表面3 2間的距離。如同圖3 A和圖3 B中所可清楚看到的* 弧線31是完全地聚焦在點35上，但是當光束125朝向光點 33或37的方向掃描時，光束125將無法聚焦在部位12的平 面32上，如部位12上之點34和38上所看到的情形。完美的 掃描應是聚焦的光點34是沿著部位1 2上的一條平直直線或 平坦表面12移動，K正確地掃描部位12。 場曲率可利用如圖4所示之後物鏡掃描器49，藉著將掃 描光束1 2 5 K —個具有正確曲率半徑4 8之弧狀反射鏡4 2 > 如圖4中所示者 > 加K反射而修正之。這可肜成一條平直 的掃描線或是一個平坦的影像埸4 1，且如同圖中所可看到 的，聚焦點4 3 _、4 5和.4 7均聚焦於假想影像平面或假想影像 場41上。但是，此一平直影像平面41實際上是無法碰觸到 的*因為部位1 2必須要設在雷射源與弧狀反射鏡42之間> 而且在大部份的情形中，雷射光束125是無法穿透部位 12的。 一〆 如圖5 A (側視圖）和圖5 B (頂視圖）所示，在具有可移 動反射鏡面50，50 ’的後物鏡掃描器59將雷射光束125在 X-Y平面上以90度角加以導引投射出去後，再將檢流計 50繞一袖心線54旋轉而使聚焦光點移動掃描'時，則掃描光 點所行經之路徑51不僅會自平坦的部位-或工件12上臀折出 來，無法聚焦，同時亦彎離直線52。實際的掃描路徑和此 直線間的此一偏差量即稱為弓狀歪曲。此弓狀歪曲的情形 可在圖5 B中清楚看到，此圖是此掃描糸統5 9羥由檢流計 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本页) .k!· -裝 訂 丨線 -> -11-本纸張A度適用中國國家揉率（CNS ) ( 210X297公釐） 3^4666 at B7 經濟部中央橾準局1工消费合^印製 五、發明説明（9 ) 5 0朝向工件表面1 2看去的視圖。聚焦光點的軌跡不僅是位 在一個X-Y平面上的一個曲面上（即造成場曲率者），其 掃描路線在X - Z平面上也是彎曲的（即造成弓狀歪曲者） 。應注意到在檢流計掃描X - Y平面上的聚焦光點或點時， 如圖3A和圖3B所示，就不會產生弓狀歪曲的琨象。 在愛德隆（E i d 〇 1 ο η )公可的維克多J道賀地（V i c t 〇 r J. Doherty)於攝影光學儀器工程師學會的國際透鏡研討 會専刊第5 5 4冊第247 - 25 1頁（西元1 98 5年）中所發表之 名稱為、''Correction Scheme -for a Post-Objective i Optical Scanner^* 的論文中曾討論到一種修正弓狀歪曲 的方法。在此種修正模式，他提到使用和圖4中所示之反 射鏡42類似的球面鏡，但是他是將此反射鏡傾斜45度角， K使該假想平面能被碰觸到。但是，此一修正方式會使影 像產生稱為像散的像差琨象》 在圖6中顯示出一個由透鏡所造成之像散的典型範例， 其中透鏡的像差會成沿著軸向分開的正* «τ'及弧矢像 (sagittal image)平面，或者是說其中之聚焦光束的一條 軸心線聚焦在另一條袖心線的前面。如圖6 -中所示，在一 個具有一物點61和一光袖65的光學糸統60中 > 正切扇形區 的光射線62會聚焦在正切影像或焦線6 4上，但是弧矢扇形 區的光射線66M會聚焦在弧矢影像或焦線6 8上。 在愛德隆的修正模式中，此二像差的修正是藉由將反射 鏡製成類似圖4中所示之反射鏡42的超環面反射鏡而達成 的，而不是球面式的*也就是說該彎曲的反射鏡在每一袖 -12- - - 1 -H- I 丨' il, 1 I (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂 本紙張尺度適用中國國家梯準（CNS ) A4規格（210X297公釐） 五、發明説明（1〇) A7 B7 經 濟 部 中 央 樣 準 Μι f 印 % 心線上具有不同的球面曲率。可以看的出來超環面反射鏡 並無法修正該：系統内的所有弓狀歪曲，同時也無法修正所 有的像散現像。愛德隆的修正模式基本上是在這二種像差 現像，即由弓吠歪曲所造成者和由像散所造成者 > 二者之 間的折衷方案。 但是本發明的發明人發琨一種新的方法及裝置，可同時 修正像散及弓狀歪曲現象 > 亦可修正場曲率。 本發明的較佳具體實例為一種如圖7中所示的中央物鏡 掃描器糸統79，其使用一個傾斜一角度α的簡軍式折射物 鏡70，以將一入射雷射光束25聚集至焦點上。光束125會 被一掃描機構5 0，如檢流計或具有反射鏡面的可旋轉多遏 體加以攔截，並將其在Χ-Υ平面上做90度的反射。檢流計 50可繞一軸心線74旋轉而將雷射光束125做掃描移動。 在雷射光1 2 5聚焦之前，此雷射光束位在掃描路徑中心 上的中心點會被一個具有曲率半經78的凹柱面反射鏡77再 次加以彎折，該凹柱面反射鏡是位在歡先/前將光束加以彎 折的檢流計50同一平面上，其可將該光束彎折而使該雷射 光125重新導引回其在被檢流計50加以彎折之前的傳遞方 向。該凹柱面反射鏡77的曲率一般是在χ-Ζ平面上傾斜 45度角，並具有可將影像平面75上的場曲率加以修正的曲 率半經7 8。 ， 藉著利用此種方式將光束125加Κ再次營折’可以再一 次在此系统上產生弓狀歪曲，但這是和先前由檢流計50所 造成的弓狀歪曲剛好相反的。因此，這些弓狀歪曲會互相 13 本纸張尺度適用中國國家標率（CNS ) A4规格（2丨0X297公釐） (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) -裝 訂 314666 A7 B7 經濟部中央梂隼局t工消费合$印製 五、發明説明（11) 抵消掉，而使影像上沒有弓狀歪曲的情形。 在將弓狀歪曲加K修正後 > 系统中唯一留下會破懷影像 品質的像差現象是像散。此像散琨像可藉著在第一個簡單 式的折射物鏡70上加上相反的像散量。這個賴著將透鏡 70在雷射光125被彎折的平面（X-Y平面）上傾斜一角度 α而達成，如圖7中所較清楚顯示的。 傾斜角《之角度或其大小是由数個因素決定的’其中的 —些因素如（a )由數值孔徑所測量得的糸統解析度、（b ) 自凹柱面反射鏡7 7的反射面至工件1 2之間的工作距離、 (c)可移動反射鏡面50和凹柱面反射鏡77之反射面之間的 距離、（d)透鏡70和可移動反射鏡面50間的距離、（e)所 用之透鏡或折射物鏡70的焦距。 同樣地，凹柱面反射鏡7 7的曲率半徑7 8也是由数個因素 決定的，其中的一些因素如（a)透鏡70和可移動反射鏡面 5 〇間的距離、（b )可移動反射鏡面5 0和凹柱面反射鏡7 7之 反射面間的距離、（c)透鏡70的焦距 < 〆 在透鏡70繞其節點（節點是每一透鏡上都有的假想點） 傾斜時，聚焦的影像位置不會因透鏡70的愤斜而移動。這 使其可在連績觀察聚焦光點時，影像的品質會持續地改菩 ，如同看著一個散焦影像逐漸聚焦的情形一壎。在將物鏡 70傾斜時，可以觀察到雷射光束125搮定出像散現象最小 的地方。 圖8中顯示出本發明中央物鏡掃描器89的另一具體實例 ------------_______ . . — ________________________________________ ____________ ___________ _____· . - _ *其中使用複曲面透鏡80。複曲面透鏡是一種其表面在一 -14- 本紙張尺度逋用中國國家輮丰（CNS ) A4規格（210X297公釐） (請先聞讀背面之注意事項再填寫本頁) ..h. -裝 訂 A7 314666 B7 —*· " " — . 真、發明説明（12 ) 子午線上具有最大的焦度》而在一相垂直的子午線上則具 有最小焦度的透鏡。複曲面透鏡一般是用來修正像散現象 。中央烤巍雷射掃描器89的製造費用會較製造中央物鏡雷 射掃描器79稍微昂貴，這是因為該複曲面透鏡80之故，但 是在某些情形的應用中，可能會有需要使用這樣的一涸透 鏡。複曲面透鏡8 0的複曲面8 0可產生必須要增加或修正之 像散量，因而可在工件1 2之表面上獲得平直的影像或線條 該至少一道的人射光束25或125可以是雷射光束或是具 有光能的準直光束。 此種稱為中央物鏡掃描器的装置及方法使其可使用一平 坦視埸後物鏡掃描器，而不會使像散及弓狀歪曲的琨象。 此外，其所得的掃描雷射光束對於琨有的技術而言，也是 一大改進。 本發明可去除弓狀歪曲、像散和場曲率。其不需使用昂 貴的透鏡和反射鏡。其亦可提供一種焦*蘭/式的光束，即一 種在掃描時，光束中心點是垂直於掃描路徑上的所有點的 光束。本發明亦可產生一掃描線段，其長度是直接正比P 可移動表面50的掃描角度。這是掃描糸統中所極力追求的 狀況，也就是所諝的F -1 h e t a狀況。 適合供本發明中央物鏡掃描器使用的犓形之一是用來取 代一種由IBM公司所開發出來而取得美画專利案號第 5,1 68,454號（LaPlante等人發明）的MLDS修正模式_( ____________________- -------------------------------------- —...... ' . MLDS Correction Scheme)中的光學掃描糸統’該美國專 先t财08家橾率(CNS ) A4胁（210X297公釐) --^衣-- (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂 '線 A7 B7 五、發明説明（15) 利案係引述於此以供參考。MLDS是位在美國Arraonk市的 I B Μ公司的註冊商標。由於本發明中央物鏡掃描器可提供 一種焦蘭式的透鏡糸統（tele centric lens sys+tem) ’因 此由上述之美國專利荼第5,168,454號的無罩幕雷射鑽孔 糸統（maskless laser drilling system， MLDS)所親出 的孔洞在整個掃描路徑中都會是相當均匀的，亦即不會因 其與掃描中心點之距雔的改變而產生角度或傾斜的邊壁。 雖然上文中僅係針對本發明的特定較佳具體實例來說明 本發明，但是很明顯的熟知此技薛之人士在瞭解前面的說 明後，當可構想出多種的修改、變更及改變。因此’下文 所述的申請專利範圍應包含這些鼷於本發明真正範1^及精 神内的修改、變更及改變。 經濟部中央梯準局t工消费合t印装 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁)

一紙 I本 準 標 家 國 -國 I中 一用 適 一釐 公 7 9 2

Claims (1)

1. 申請專利範圍 一棰用以修正像散、弓狀歪曲和場曲率的方法，其包含 有： (a) 至少一個透鏡，其傾斜一角度31{)^ ,以供將至少 一道人射光束聚焦在至少一工件上， (b) 至少一個掃描櫬構，.K供中斷該至少—道的人射光 束*並對其掃描，- (c.)該至少一個的掃描櫬構可進一步將該至少—道入射 光束導引至一個凹柱面反射鏡之反射面的至少一部份上 (d)其中該凹柱面反射鏡可將該至少一道的人射光束導 引至該工件上，以使得該至少一道的入射光束聚焦在該 工件上。 2. 根據申請專利範圍第1項之方法，其中該至少一道的光 束是雷射光束。 3. 根據申請專利範圍第1項之方法，其中該至少一道的光 束是具有光能的準直光束。 一〆 4. 根據申請專利範圍第1項之方法，其中該掃描櫬構是檢 流計。 _ 請 先 閲 讀 背 面 之 注 意 事 項 再. 填 寫 本 頁 裝 訂

   線 經 濟 部 中 k 棣 隼 %ΊΓ— 工 消 费 印 % 5, 根據申請專利範圍第1項之方法，其中該掃描機構是具 有反射鏡面的可旋轉多邊體。 ’ 6, 根據申請專利範園第1項之方法 其中該透鏡是消色k 透鏡(achromatic lens) ° 7, 根據申請專利範匾第1項之方法，其中該透鏡係繞其節 一’ . —— *— · .一··· - —— ···__. .1 ... ·. , .一 一·. 點傾斜的。 17- 本紙張ΛΑ逍用(CNS)A4«^( 210X297^*)

   314666 A8 B8 C8 D8 六、申請專利範圍 8 . 9 . 10 經濟部中夬標準為^工消费合^杜印製 根據申請専利範圍第1項之方法，其中該凹柱面反射鏡 的曲率半徑是由（a)該透鏡與可移動掃描機構的掃描面 間的距離、（b)可移動掃描櫬構之掃描面與該凹柱面反 射鏡之反射面間的距雠、（c)該透鏡的焦距所決定的。 根據申請專利範圍第1項之方法，其中該傾斜透鏡的角 度a 1 P h a是由U )以數值孔徑所測量得的系統解析度、 (b)自該凹柱面反射鏡的反射面至該工件之間、的工作距 離、（c)可移動掃描櫬構之掃描面與該凹柱面反射鏡2 反射面間的距離+、（d)該透鏡與可移動掃描機構夂》$ 面間的距離、（e )該透鏡的焦距所決定的。 一種可用以修正像散.、弓狀歪曲和場曲率的装置’包含 有： (a) 至少一種裝置> Μ供將至少一個透鏡加以傾斜 a 1 p h a墮度，以將至少一道入射光束聚焦在至少一 1 # 上* (b) —個位在該至少一個的傾斜透鏡"和該至少一個1件 之間的掃描機構，其中該掃描機構具有至少一種裝3 ’ 可將該至少一道的入射光束専引至一個凹柱面反射胃& 反射面的至少一部份上，以及 U)—種設在該凹柱面反射鏡上的裝置’，用以將該 i —道的入射光束導引至一工，.以使得該至少一道白勺 入射光束聚焦在該工件上。 11.根據申請專利範圍第10項之 束是雷射光束 r» 18 本紙張尺度適用屮围國家#準（CNS ) A4规格（210X297公犛） (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) *其中該至少 道的光 ^14666 申請專利範圍 12 13 14 15 16 17 18 經 濟 部 中 央 梯 準 .¾ κ 工 消 费 合 印 袈 19 根 束 根 流 根 有 根 透 根 點 根 的 間 射 根 斜 統 間 面 機 含 據申請專 是具有光 據申請專 計0 據申請專 反射鏡面 據申請專 鏡。 據申請專 傾斜的。 據申請専 曲率半徑 的距離、 鏡之反射 據申請專 透鏡的角 解析度、 的工作距 反射鏡之 構之掃描 種可用K 有： 利範圍第1 0項之 能的準直光束 利範匾第1 0 利範圍第1 0 的可旋轉多 利範圍第1 0項 利範圍第 是由（a) (b)可移 面間的距 利範圍第 度 a 1 p h a (b)自該 離、（c) 反射面間 面間的距 修正像散

   其中該至少一道的光 利範圍第10項

   其中該掃描機構是檢 其中該掃描機構是具 該透鏡是消色差 該透鏡係Μ其節 1 其中該凹柱面 該透可移動掃描櫬構的 動掃描機構之掃描面與該凹 離、（c) 鏡的焦距而決 10項之其中該至少 是由{T孔 :'Έί0. 凹柱面反~射鏡的反 可移動掃描櫬構之 的距離、（d)該透 離、（e)該透鏡的; 、弓狀歪曲和_場曲 徑所測童 射面至該 掃描面與 鏡與可移 焦距而決 率的装置 反射鏡 掃描面 柱面反 定的。 個的傾 得的糸 工件之 該凹柱 動掃描 定的。 ，其’包 (a)至少一複曲面透鏡（toric lerrs)，以供將至少一道入 射光束聚焦在至少一工件上* -19 本纸張尺度適用中國國家梯準（CNS ) Μ规格（210X297公釐） (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 經 央 揉 準 局 貝 費 合 印 製 314666 AS B8 C8 D8 申請專利範圍 20 . (b) —個位在該至少一個的複曲面透鏡與該至少一個工 件之間的掃描機構 > 其中該掃描機構具有至少一種裝置 >以將該至少一道的入射光束専引至一個凹柱面反射鏡 之反射面的至少一部份上，以及 (c) 一種設在該凹柱面反射鏡上的裝置，用以將該少一 道的入射光束導引至一工件上，K使得該至少一道的入 射光束聚焦在該工件上。 - —種用K修正像散、弓狀歪曲和場曲率的方法，其包含 (a) 至少一個複曲面透鏡 > 用以將至少一道人射光束聚 焦在至少一工件上> (b) 至少一個掃描機構，以供中斷該至少一道的入射光 束，並對其掃描， (c) 該至少一個的掃描機構可進一步將該至少一道人射 光束導引至一個凹柱面反射鏡之反射面的至少一部份上 > K及 一〆 (d) 其中該凹柱面反射鏡可將該至少一道的入射光束導 引至該工件上，以使得該至少一道的入射光束聚焦在該 工件上。 -2» -20- 本紙張尺度適用中國國家橾準（CNS ) A4g ( 210X297公釐} (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁)