JPH04260017A - 光ビームを走査するための平らなフィ−ルドの、テレセントリック光学システム - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【技術分野】この発明は、光ビームを走査するかまたは
偏向させるための光学システムに関するものであり、よ
り特定的には、振動する鏡のような周期的に動く反射要
素を使用する型式のビームスキャナに関するものである
。

【０００２】

【背景技術】ウェーハ欠陥スキャナ、レーザプリンタ、
ドキュメントスキャナおよびその種の他のものは、真っ
直ぐな線の経路に沿って平らな表面をわたって走査され
る細いコリメートされたレーザビームを使用する。この
目的のための典型的な光学走査システムは、ビームを偏
向させるために、回転するかまたは振動する平らな鏡を
用いる。コリメートされた入力ビームは、走査鏡の回転
軸に垂直に向けられ、そのため主の偏向された光線は、
空間における平面を掃引する。したがって、ビームは、
真っ直ぐな線の経路に沿って走査するスポットにおいて
平らな表面を打つ。ビームコリメーションは、一般的に
、スポットの大きさが平らな表面の中央および端縁の双
方において実質的に同一のままであることを確実にする
。スポットが表面をわたって均一な速度で移動すること
を確実にするために、偏向されたビームは、目標物の表
面に達する前に、このｆ・θレンズシステムを介して通
過する。次いで、ビームスポットは、走査鏡の等しい角
度の偏向のために表面上の等しい距離を掃引する。

【０００３】ｆ・θレンズシステムの設計は、簡単であ
り、かつ多くのコンパクトな比較的費用のかからないシ
ステムが商業的に入手可能である。しかしながら、これ
らのコンパクトｆ・θレンズは、テレセントリックでは
なく、すなわち、走査するビームの主光線は、レンズシ
ステムを介して通過した後で走査される平らな像平面に
垂直ではない。したがって、ビームスポットは、形状を
平らな目標物表面の中心における円形から平らな目標物
表面の端縁および角における楕円形へわずかに変化させ
る。テレセントリックｆ・θレンズシステムは、利用可
能である。２つのそのようなシステムが、米国特許第４
，８６３，２５０号および第４，８８０，２９９号に開
示される。残念なことに、テレセントリックｆ・θレン
ズシステムは、より複雑であり、多数のレンズ要素を有
して、ずっとより大きく、より嵩ばり、かつより重く、
かつテレセントリックでない種類より高価である。 これは、主に、テレセントリックシステムにおける最終
のレンズ要素は、走査経路の長さよりも大きくなければ
ならないからである。２００ｍｍの経路をわたって走査
するように設計された典型的なテレセントリックレンズ
システムは、約１０ｋｇの重さがあり、かつ数千ドルの
費用がかかる。したがって、大抵のレーザプリンタは、
像の品質における可能性のある改良にもかかわらず、テ
レセントリック走査を使用しない。

【０００４】この発明の目的は、簡単で、低費用で、平
らなフィールドのテレセントリックレーザスポット走査
システムを提供することである。

【０００５】

【発明の開示】上述の目的は、走査軸の周囲の回転また
は振動のために装着された平面の走査反射器と、テレセ
ントリック走査を与えるために走査反射器から有効な焦
点の長さ離れた位置に固定された凹面の球状の鏡と、平
らなフィールドの走査を与えるためにフィールドの湾曲
を補正するための球状の光学表面だけを有する付加的な
光学要素とを含む、レーザビームのための走査システム
により満たされている。付加的な光学要素は、凹面の鏡
の前にまたは後にまたは双方に連続して位置に置かれた
正のメニスカスレンズであってもよい。凹面の鏡および
レンズ要素は、反射的に被覆されたレンズを形成するよ
うに一体的に組合わせることができる。付加的な光学要
素は、また、第２の球状の鏡であってもよい。

【０００６】動作においては、光ビームが平面の走査反
射器に入射し、それによって反射され、かつ空間におけ
る表面を掃引する。反射された光ビームは、凹面の鏡に
よって、テレセントリックの態様において平らな目標物
表面を含む像の平面の方へ反射される。光ビームは、凹
面の鏡を越えた点において像を写すように予め合焦され
、かつ付加的な光学要素が、合焦された光スポットが各
走査位置のために実質的に像の平面にあるように、光の
経路を補正する。凹面の鏡の場合と関連する曖昧にする
こと（ｏｂｓｃｕｒａｔｉｏｎ　　）の問題を防ぐため
に、先のレンズシステムの代わりに、凹面の鏡および付
加的な光学要素は、好ましくはそれらの湾曲の中心およ
び走査鏡上の主光線の入射の点により規定される対称軸
から逸れて位置される。この軸から逸れた形状において
、走査鏡は、反射されたビームが空間における浅い円錐
体を描くように、入射光に関して傾けられる。真っ直ぐ
な走査の経路も非点収差のない像および最小のコマ収差
も与えるために、最良の走査鏡の傾斜、補正的光学要素
の湾曲の半径および凹面の鏡と補正的光学要素との間隔
と配向を特定するために、よく知られるコンピュータの
光線を追跡するプログラムが用いられてもよい。

【０００７】

【発明を実施するための最良のモード】図１を参照する
と、この発明に従った光学スキャナシステムの実施例は
、平面の走査反射器１１と、固定された凹面の鏡１３お
よび付加的な光学要素、この場合には反射器１１および
鏡１３の間のレンズ１５とを含み、それらが走査の動き
におけるビームを目標物表面１９の上に向けるために光
ビーム１７ａないし１７ｃの経路に連続的に配置される
。「ビーム」は、光線束からなり、それは、ビームが合
焦されるので、幾何学上の点に収束する。図面は、ビー
ムの光線束の中心における主光線のみを示す。平面の反
射器１１は、光ビーム１７ａの主光線が点２１において
反射器１１上に入射するように、かつビームが反射器１
１によって凹面の鏡１３の方へ偏向させられるように、
配置される。反射器１１は、反射された光ビーム１７ｂ
が空間において円錐のまたは平面の表面を描くようにさ
せるように、走査軸２３の周囲を移動することができる
。

【０００８】凹面の鏡１３は、光ビーム１７ｂを遮り、
かつ光をビーム部分１７ｃとして目標物表面１９の方へ
再び向ける位置に固定される。鏡１３は、湾曲の半径を
特徴とする球状の反射的表面２１を有する。約１メート
ルの鏡の湾曲の半径が典型的である。目標物１９のテレ
セントリック走査のために、光ビーム１７ａの主光線と
平面の走査鏡１１との交点２１は、システムの初期の主
要な平面からシステムの有効な焦点の長さ離れている。 このシステムにおける凹面の鏡１３は比較的強く、かつ
補正要素ビームレンズ１５は比較的弱いので、システム
の初期の主要な平面は、凹面の鏡１３に近い。したがっ
て、凹面の鏡１３は、光ビーム１７ｂの経路における任
意の介在する光学要素１５との組合わせにおいて凹面の
鏡１３の有効な焦点の長さにほぼ等しい走査ビーム１７
ｂに沿った距離だけ平面走査反射器１１から間隔をあけ
られるべきである。この焦点の長さは、反射的表面２１
の湾曲の半径の約半分であるかまたは典型的には約５０
０ｍｍである。この距離はただおおよそのものであり、
それは、（１）凹面の鏡１３の表面２１は、放物線状で
あるよりは球状であり、（２）湾曲の半径の半分の距離
は、凹面の鏡１３の端縁が鏡１３の中心よりも平面の走
査された反射器１１上の光入射点２１からわずかにより
遠いことを意味し、かつ（３）図１における介在する正
レンズ１５は、光ビーム１７ｂの経路をわずかに変え、
それによってミラーとレンズの組合わせ１３および１５
の有効な焦点の長さをわずかに短くするからである。さ
らに、テレセントリック走査のために、凹面の鏡１３は
、少なくとも目標物表面上の走査経路が長いのと同じぐ
らい大きいべきであり、それはすなわち典型的には約２
００ｍｍの長さである。典型的に、走査は、数ミリラジ
アンだけ完全なテレセントリシティから外れる。

【０００９】付加的な光学要素、すなわちレンズ１５は
、球状の表面を有し、光ビーム１７ｂの経路において平
面の走査反射器１１および凹面の鏡１３の間に置かれた
正のメニスカスレンズである。レンズ１５は、凹面の鏡
１３から反射されたビーム１７ｃが、ただテレセントリ
ックであるだけではなく、平らなフィールド、すなわち
目標物表面１９と一致する平面における像でもあるよう
に、光の経路をわずかに調整する補正レンズである。 入射光ビーム１７ａは、好ましくは凹面の鏡１３を越え
て目標物表面１９上の小さい直径のスポット２３におけ
る像に予め合焦される。しかしながら、走査反射器１１
から目標物表面１９までの光１７ｂおよび１７ｃにより
カバーされる距離は、走査の位置によりわずかに変化す
るであろうから、合焦されたスポット２３が走査位置に
かかわらず目標物表面に対応する平面において像を写す
ように光の経路の長さを有効に補正するために、レンズ
１５が加えられる。２０μｍが、約２００ｍｍの走査長
さを通して平らなフィールド走査において維持される典
型的な合焦されたスポットの大きさである。凹面の鏡１
３からレンズ１５の距離およびレンズ１５の球状の表面
の湾曲の半径は、互いに関して相互に調整することがで
き、それはただ合焦された光スポット２３のために平面
の像のフィールドを得るためにフィールドの湾曲をなく
すためだけではなく、非点収差のないスポットの像を達
成しかつある程度まで第３のオーダのコマ収差を減少さ
せるためでもある。そのような調整をもたらすコンピュ
ータプログラムの使用は、光学の分野においてよく知ら
れている。

【００１０】入射のおよび屈折された光ビームがレンズ
の反対側の上にある先行技術のｆ・θレンズ要素と反対
に、凹面の鏡の要素の使用は入射のおよび屈折された光
ビームが凹面の鏡の同一の側の上にあることを結果とし
て生ずるので、目標物表面による光の曖昧にすることは
もしかすると問題である。図１において、凹面の鏡１３
は軸を逸れて位置されており、それで走査鏡１１から反
射された光ビーム１７ｂは、目標物表面１９による妨害
なしに凹面の鏡１３に達し、それから目標物表面１９へ
続く。対称軸２５は、走査反射器１１上のビーム１７ａ
の主光線の入射の点２１を介してかつ鏡１３の凹面の鏡
表面２１がその一部である球２７の中心点を介して通過
する線により規定される。メニスカスレンズ１５の表面
を構成する球２９は、好ましくはそれらの中心をやはり
対称軸上に有する。実際の光学要素１３および１５それ
ら自身は、図１において示される「軸を逸れた」形状に
おいて対称軸上にはない。平面の走査反射器１１は、入
射光ビーム１７ａの主光線に関して垂直から傾けて離さ
れかつ対称軸に垂直から傾けて離され、それは反射され
たビーム１７ｂがレンズ１５へ、かつ凹面の鏡１３へ、
かつ次いで像の平面１９へ障害なしに軸から逸れて続く
ようにである。もし走査反射器１１を去るビーム１７ｂ
が、それがｆ・θレンズシステムにおいて行なうように
空間において平面を描けば、次いで図１の軸を逸れた形
状において最終の合焦されたスポット２３が湾曲された
走査線に従うであろう。しかしながら、目標物表面１９
上の走査経路は、走査反射器１１の適正な傾斜とレンズ
および鏡要素１３および１５の適正な配向とを組合わせ
ることにより、真っ直ぐにすることができ、そのため走
査鏡１１から反射された光１７ｂは、入射光ビーム１７
ａから典型的に約１５°の空間における円錐体の表面を
描く。次いで、凹面の鏡１３により反射されたビーム１
７ｃはほぼ平面の表面を描き、それは好ましくは対称軸
に平行であり、それはほとんど真っ直ぐな線の走査の経
路において像の平面または目標物平面１９をただ非常に
小さいリップル項（ｒｉｐｐｌｅ　ｔｅｒｍｓ）で遮る
。典型的には、結果として生ずる走査は、２００ｍｍの
走査長さを通してただ１または２マイクロメータだけ真
っ直ぐな線の経路から外れる。

【００１１】図２を参照すると、この発明の他の実施例
は、レンズ要素３５を光ビーム３７ｃの経路において凹
面の鏡３３からそれが反射された後に置く。図１におけ
る第１の実施例におけるように、図２の実施例は、入射
光３７ａの経路に配置され、かつ反射された光３７ｂが
入射ビーム３７ａから約１５°空間において浅い円錐体
表面を描くようにさせるように軸４３の周囲を移動でき
る平面の走査反射器３１を含む。この実施例は、また、
スキャナ偏向された光ビーム３７ｂを反射するための位
置に固定された球状の反射的表面４１を有する凹面の鏡
３３をも含む。球状の表面４１は、目標物表面３９のテ
レセントリック走査を与えるように、走査鏡１１および
凹面の鏡１３の間の距離のほぼ２倍である湾曲の半径を
有する。光ビーム３７ａないし３７ｃは、最終のスポッ
トが目標物表面３９において平面において合焦するよう
に、予め合焦される。レンズ要素３５は、光経路３７ｃ
において凹面の鏡３３および目標物表面３９の間に配置
されて合焦されたビーム３７ｃの像の任意のフィールド
の湾曲を補正するための正のメニスカスレンズであり、
かつそれによって実質的に一定のスポットの大きさで平
らなフィールドの走査を与えるためのものである。任意
の与えられたレンズの位置に対して走査フィールドを平
らにかつ非点収差のないものにしながら、テレセントリ
シティを保つレンズの形状を選択するためにコンピュー
タソフトウェアを使用することは、知られている。図２
の鏡の後にレンズの実施例は、もしレンズ３５が凹面の
鏡３３および像の平面３９の間のほぼ中間にあるように
位置決めされ、かつレンズの形状が平らなフィールドの
ために選択されれば、コマ収差もまた完全に消されるこ
とができるという注目すべき特性を有することが発見さ
れる。鏡３３から像３９までの距離は、１メーターの半
径の凹面の鏡に対して典型的には約８５ｍｍである。

【００１２】図３を参照すると、構成するのに最も簡単
な実施例は、図１または図２の凹面の鏡１３または３３
をレンズ要素と１個の合成の要素に、すなわちレンズ５
５を反射的被覆５３と１つの表面上で組合わせる。この
形状は、また、整列させるのが最も容易である。平面の
走査鏡５１は、入射光ビーム５７ａを経路５７ｂに沿っ
て反射し、それは、鏡５１が走査軸６０の周囲を回転す
るかまたは振動するにつれて平面または入射光経路５７
ａから約１５°空間において円錐体の浅い表面を掃引す
る。レンズ５５は、球状の表面および走査鏡５１から最
も遠いレンズ５５の表面上の反射的ミラー被覆５３を有
する両凸のレンズである。したがって、ミラー被覆５３
は、機能上図１および図２における鏡１３および３３の
ような凹面の鏡を形成する。レンズとミラー被覆の組合
わせは、光ビーム５７ｃによる像の平面５９における目
標物表面のテレセントリック走査のために走査鏡５１か
ら焦点の長さ離れて間隔をあけられる。レンズ５５は、
非点収差のないシステムにおいてはほぼ対称であるが、
もしレンズ５５がより低い製造費用のために完全に対称
につくられると、残余の非点収差は良好な性能のために
なお十分に低い。この形状においてビームの質は、像の
平面５９が図１および図２の実施例におけるように鏡に
接近している（１００ｍｍより少なく離れている）より
も反射的レンズ表面被覆５３から有効な焦点の長さの約
８０％離されているときに、最も良好である。典型的に
は、鏡から像への距離は、約４００ｍｍである。この大
きな間隔は、この実施例を裸のウェーハの走査システム
において有用にし、そこでは光学装置により散乱させら
れる光の影響は、走査光学要素５３および５５がウェー
ハ表面から遠くなるほどより有害でなくなる。

【００１３】図４を参照すると、第４の実施例は、図１
および図２におけるように２つの別個のかつ間隔をあけ
られたレンズおよび鏡要素７５および７３を使用するが
、光経路７７ａないし７７ｃは、図３におけるようにレ
ンズ７５を二度横切り、凹面の鏡７３へおよび凹面の鏡
７３からの双方に進む。レンズ７５は、球状の表面を有
する両凸のレンズであり、典型的には凹面の鏡７３から
約１００ｍｍの距離間隔をあけられる。凹面の鏡７３は
、典型的には約２メートルである湾曲の半径を有する球
状の反射的表面８１を有する。凹面の鏡７３は、組合わ
せられたレンズ７５およびミラー７３のシステムの有効
な焦点の長さに等しい距離だけ平面の走査鏡７１から間
隔をあけられる。この距離は、凹面の鏡７３の湾曲の半
径の約半分であり、または約１メートルであり、レンズ
の焦点の長さにより補正され、それは約６２５ｍｍの距
離までである。レンズ７５は、先の実施例の平らなフィ
ールドおよび非点収差のない必要条件に加えて、図２の
ようにコマ収差のないシステムのために選択されてもよ
い。コマ収差のない場合においては、システムの焦点の
長さは約６２５ｍｍであり、鏡から像までの平面距離は
約４００ｍｍであり、かつレンズから像までの平面距離
は約３００ｍｍである。図４の実施例の可能性のある不
利益は、光ビーム７７ａないし７７ｃが平面のスキャナ
７１および像の平面７９の間の５つの表面を有効に横切
り、そこでこのシステムはレンズの反射および散乱の傾
向があることである。それにもかかわらず、コマ収差の
ない解決における最終のレンズ表面８３および像の平面
の間の大きい３００ｍｍの距離は、それが裸のウェーハ
のスキャナにおいて何も実質的な問題なしに使用するこ
とができることを意味する。

【００１４】図５を参照すると、この発明に従った走査
システムの第５の実施例は、走査軸９３の周囲を移動す
ることができ、かつ入射光ビーム９５ａの経路に置かれ
た平面の走査反射器９１を含む。走査反射器９１から反
射された走査光ビーム９５ｂの経路における連続した２
つの軸を逸れた鏡９７および９９は、像の平面１０１に
おける目標物表面上に入射する光ビーム９５ｃのテレセ
ントリックな走査を生ずる。テレセントリック走査のた
めに、凹面の鏡９９は、平面の走査鏡９１から２つの鏡
システム９７および９９の有効な焦点の長さにほぼ等し
い量だけ走査光ビーム９５ｂの光経路に沿った距離間隔
をあけられるべきである。鏡９７は弱い凹面の鏡である
ので、この距離は、凹面の鏡９９の球状の表面の湾曲の
半径の約半分であるか、または約５００ｍｍである。入
射光ビーム９５ａは、凹面の鏡９９を越えたスポットに
おいて像を写すように予め合焦される。凹面の鏡９７は
、光経路９５ｂにおける平面の走査鏡９１および凹面の
鏡９９の間の付加的な光学要素であり、像の平面１０１
における焦点の平らなフィールドを与えるように光経路
９５ｂをわずかに補正する。したがって、像の平面１０
１に置かれた目標物表面上の光ビーム９５ｃのスポット
の大きさは、ビームが目標物表面を走査するのにつれて
実質的に大きさを変えない。コマ収差および非点収差の
双方は十分に補正されないが、鏡から鏡への間隔および
凹面の鏡９９および像の平面１０１の間の距離を可能な
限り小さくすることによりかなり低くすることができる
。

【００１５】約５００ｍｍの有効な焦点の長さを有する
システムにおいては、鏡の間隔および像の平面距離は、
好ましくは各々５０ｍｍまたはより少ない。しかしなが
ら、図５における２つの鏡の実施例においては、完全に
非点収差なしでもある平らなフィールドのテレセントリ
ックスキャナを作るのに十分な自由度がない。コマ収差
は、非常に低く、無視してよいようにされる。

【００１６】上述の実施例は、５００ｍｍのシステムの
有効な焦点の距離で、２００ｍｍの目標物表面上の走査
距離にわたって、かつ約２０μｍの実質的に一定の１／
ｅ２　のスポット直径で、テレセントリックの平らなフ
ィールドの走査ができる。他の走査距離をテレセントリ
ックにかつ平らなフィールドにおける他のスポットの大
きさで走査するために、類似した実施例を考案すること
ができる。実施例は、図５において示されるものを除い
て、実質的に非点収差がない。図２および図４の実施例
は、コマ収差なしに作ることができ、かつ図５の実施例
においては、コマ収差は無視してよくされる。すべての
湾曲した光学表面は、製造の容易さおよび低費用のため
に球状にされる。図３および図４の実施例は、それらの
最終の光学要素から像の平面への大きい距離により、裸
のウェーハスキャナにおいて特に適している。示されか
つ説明された実施例のすべては、曖昧にすることの問題
を避けるために、好ましくは軸を逸れた光学要素で作ら
れるが、対称軸から対象物表面上の走査線までのオフセ
ット距離は約１５０ｍｍより大きくないように保たれ、
かつ走査の湾曲は、本質的に無視してもよい真っ直ぐで
なさで、すなわちスポットの大きさの１０％より少ない
線からのピークからピークの走査のずれで、真っ直ぐに
線にされる。

【図面の簡単な説明】

【図１】鏡の前にレンズの配置を有するこの発明に従っ
た第１の平らなフィールドのテレセントリックスキャナ
の実施例の側面概略図である。

【図２】鏡の後にレンズの配置を有するこの発明に従っ
た第２の平らなフィールドのテレセントリックスキャナ
の実施例の側面概略図である。

【図３】反射的に被覆されたレンズの配置を有するこの
発明に従った第３の平らなフィールドのテレセントリッ
クスキャナの実施例の側面概略図である。

【図４】２通過のレンズの配置を有するこの発明に従っ
た第４の平らなフィールドのテレセントリックスキャナ
の実施例の側面概略図である。

【図５】２つの鏡レンズの配置を有するこの発明に従っ
た第５の平らなフィールドのテレセントリックスキャナ
の実施例の側面概略図である。

【符号の説明】

１１　　平面の走査反射器 １３　　鏡 １５　　レンズ １７ａないし１７ｃ　　光ビーム １９　　目標物表面 ２３　　スポット ２５　　対称軸

Claims (10)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】　　光ビームを走査するための光学システ
   ムであって、合焦された光ビームの経路に配置されて、
   その上に入射する前記光ビームを偏向させるための平面
   の反射器を含み、前記平面の反射器は走査軸の周囲を移
   動することかでき、さらに前記偏向された光ビームの経
   路における位置に固定された球状の反射的表面を有する
   凹面の鏡を含み、前記球状の反射的表面は、湾曲の半径
   を特徴とし、前記凹面の鏡は、前記凹面の鏡の有効な焦
   点の長さにほぼ等しい距離だけ前記平面の反射器から間
   隔をあけられ、さらに少なくとも１つの球状の光学表面
   を有する光経路における他の光学要素を含み、それによ
   って前記他の光学要素は、前記光ビームが焦点の実質的
   に平らなフィールドで目標物平面を走査するように、前
   記偏向された光ビームの経路を補正する、システム。
2. 【請求項２】　　前記光学要素はレンズである、請求項
   １に記載のシステム。
3. 【請求項３】　　前記レンズは、前記凹面の鏡および前
   記平面の反射器の間の光経路において位置決めされる、
   請求項２に記載のシステム。
4. 【請求項４】　　前記レンズは、前記凹面の鏡を越えて
   光経路において位置決めされる、請求項２に記載のシス
   テム。
5. 【請求項５】　　前記レンズは、前記凹面の鏡の前およ
   び前記凹面の鏡の後の双方の光経路において位置決めさ
   れる、請求項２に記載のシステム。
6. 【請求項６】　　前記レンズは前記凹面の鏡と一体であ
   り、前記レンズは前記凹面の鏡を形成するように後の表
   面上に反射的被覆を有する、請求項５に記載のシステム
   。
7. 【請求項７】　　前記レンズは、前記凹面の鏡から離れ
   て間隔をあけられる、請求項５に記載のシステム。
8. 【請求項８】　　前記光学要素は、前記平面反射器およ
   び前記凹面の鏡の間の前記光経路に置かれた凹面の球状
   の鏡である、請求項１に記載のシステム。
9. 【請求項９】　　前記平面の反射器上の前記光ビームの
   主光線の入射の点を介してかつ前記凹面の鏡の前記球状
   の反射的表面の湾曲の中心を介して対称軸が規定され、
   前記凹面の鏡は前記対称軸から逸れて位置決めされ、前
   記平面の反射器は、前記光ビームを前記軸を逸れた凹面
   の鏡の方へ偏向させるように、前記入射光ビームに関し
   て傾けられ、かつ前記対称軸に垂直から傾けて離される
   、請求項１に記載のシステム。
10. 【請求項１０】　　前記平面の反射器、前記凹面の鏡お
    よび前記他の光学要素のそれぞれの位置および配向は、
    前記光経路における最後の光学要素を去る前記光ビーム
    の実質的に真っ直ぐな線走査を与えるように選択される
    、請求項９に記載のシステム。