JPH0223313A - 光走査装置及び走査レンズ - Google Patents
光走査装置及び走査レンズInfo
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Abstract
め要約のデータは記録されません。
Description
球面を用いたレーザ走査光学系であって、計算機出力装
置やオフィス情報処理装置として用いられるレーザプリ
ンタ装置に好適なレーザ走査装置及びそれに用いる非球
面走査レンズに関する。
多面鏡の組み合せにより、レーザ光を感光ドラム上に偏
向走査することが行なわれている。
の反射面の傾きにより、走査ピッチムラが生じることで
ある。
ックFθレンズの組み合わせ(特開昭48−98844
号)、プリズムとFθレンズの組み合わせ(特公昭59
−9883号)、トーリックレンズとFθレンズの組み
合わせ(特開昭48−49315)等によって、回転多
面体鏡の傾き誤差による影響を低減しようとするものが
知られている。これらには、前述のように、回転非対称
形状の光学素子と球面レンズからなるFθレンズの2種
類の光学部品が使われており、部品点数が多いという難
点があった。
もたせようとする提案もある(特開昭67−14451
5号)、このFθレンズは、普通の球面あるいは平面の
他に、シリンダ面あるいはトーリック面を含んだものと
なっている。トーリック面とは、ある平面とそれに直交
するもう一つの平面を考えた時、各々の平面内における
面の曲率半径が異なる面を意味する。すなわち光軸方向
を2、光軸を含む、互に直交した平面をxz面、yz面
とした2次の層間式で表わすと、z =A x”+B
y” (1)(A、Bは係数で
A≠Bかっ、画角θとは独立)のような面を意味する。
成すると、光を走査する面をxz面に、面倒れに影響あ
る面はyz面とし、主走査方向をX軸方向、副走査方向
をy軸方向、各々の面内焦点距離をfx、fyとすると
、 f8≠fy(且つ、f□:>fy) (2)で
あり、特に面倒れ方向(副走査方向)の結像特性が劣化
する。これはfy<fxのために、fyがカバーできる
走査範囲が小さく、良好な結像特性を満足できない為で
ある。結像特性は面倒れに関係する面で、像面湾曲が発
生するためである。即ち、ある特定の画角Oでの波面収
差が 難かしいという問題もある。
の形状を、 z=Ax”+B’ (θ)・y2 (4)(
B’ ≧B) W=cy2 (c:係数) となる。走査方向の結像特性は、θ〜40°以内で良好
に保つことができる。すなわちWがXの関数でなくなる
ので、面倒れ補正方向のみの収差が発生する。Cはレン
ズ系の曲率半径、レンズ間隔、屈折率、画角等で決定さ
れる係数であって、トーリック面のようなレンズ面形状
が(1)式で書けるような形だと、結像特性が低下をま
ねき、零にはならない。しかも、Fθレンズ中に非球面
を複数用いるため、レンズの回転による軸ずれ調整がと
して、係数B′をθの関数の形にし、Fθレンズの面倒
れ方向の曲率半径を、偏向方向に応じて変化させるもの
を提案した(特開昭62−265615)、すなわち、
この提案では、第2図に破線で示すように、面倒れ方向
(副走査方向)の曲率半径を光軸から離れるにつれて大
きくすることによって、波面収差Wのy2の項の係数を
0に近づけることが可能となる。このことは、fyが画
角の関数になっており、画角θが変化するごとにfyも
変化させることを意味する。なお、この提案では、副走
査方向の曲率半径の変化は、光軸に対して対称である。
である。図中の実線は、従来のトーリック面 z =B y2+M は42から43になり、その反射光も46から47へ移
る。この反射面の動きは、上記の特開昭を示す。点線の
ように光軸から離れるにつれて副走査方向の曲率半径を
大きくし、光軸上(θ=0)における面倒れ方向の曲率
半径よりも、軸外(0≠O)における曲率半径を大きく
して非球面Bへ移行することで結像位置をドラム面上に
もっていくことができる。しかも、この曲率半径は画角
と共に単調に増加させる。
面鏡が用いられており、光源からのレーザ光を回転多面
鏡に斜めの方向から入射させる。
査平面(xz面)内で光軸(2軸)に対し斜め方向から
入射する。しかし、回転多面鏡の反射面40は、第3図
に示すように回転につれて前後に動く。このため、入射
レーザ光41の入射点回転多面鏡の面倒れ補正のために
、副走査方向に関して回転多面鏡の反射面と感光ドラム
面を共役な結像関係に配置し、回読多面鏡の反射面に入
射させるレーザ光41を副走査方向に関して一点に集光
させると、反射面40の移動にともなって、感光ドラム
上でのスポットは光軸方向に動くことになる。この動き
は、画角θのとき、 となり、画角θに関して奇関数項が入ってくる。
能を持ちながら高分解能でかつ広画角の走査を行うこと
ができるレーザ走査装置及びそれに用いる非球面走査レ
ンズを提供するのが本発明の目的である。
感光ドラム面とを副走査方向に関して共倒 役な結像関係に配置して、回転多面鏡の面ダれによる走
査ピッチむらを補正するとともに、上記走査レンズに、
主走査方向と副走査方向の曲率半径が異なり、かつ副走
査方向の曲率半径が光軸から遠ざかるにつれて非対称に
単調増加する非球面を有するFθレンズを用いて、感光
ドラム上で副走査方向に発生する像面わく曲(レーザ光
の回転多面鏡への斜め入射や、回転多面鏡の反射面の移
動によって生じる収差を含む)を補正することを特徴と
する。なおFOレンズとは、回転多面鏡によって偏向さ
れた光の偏向光θに比例した走査面上の位置に光束を結
像させるレンズである。
ると同時に副軸の曲率半径が軸外になるにつれて増加し
、かつ走査中心に対して左右非対称の形状を有する。こ
の非球面は、Fθレンズのどの面に用いてもよいが、走
査面(感光ドラム面)に最も近い面に設けるのが好まし
い。すなわち、本発明の非球面走査レンズを2枚レンズ
で構成し、レーザの入射側(回転多面鏡側)から第1面
〜第4面とすると、第1面から第3面は平面又は球面か
らなる回転軸対称な面とし、第4面を上記の回転軸非対
称な非球面とする。
とを副走査方向に関して共役な結像関係に配置し、この
反射面に斜め方向から入射させて走査されるレーザ光を
、上記の特開昭62−265615号で提案したような
、副走査方向の曲率半径が光軸に対し対称な非球面を用
いた走査レンズで結像すると、第4図に点線で示すよう
に副走査方向の結像位置が光軸から離れるにつれて走査
面上(感光ドラム面上)からずれてしまう。すなわち、
ガルバノミラ−のように回転軸と反射面とが一致する走
査手段を用いたレーザ走査系では、反射面に斜め方向か
らレーザ光を入射させ、左右対称な走査レンズを用いて
結像しても、画像が傾くことはないが、回転中心が反射
面上にない回転多面鏡を用いると、上述したように反射
面の移動tつ に応じて、走査面上Mスポットが光軸方向に動いてしま
い、第4図に点線で示したように副走査方向の結像位置
が走査面上から大きくずれてしまう。第4図において、
一方向に結像位置がずれていることは、副走査方向の曲
率半径を光軸から離れるにつれて更に大きくし、結像点
を走査面である感光ドラム面上(z’ =Oの位置)に
移動させる必要があるということであり、子方向に結像
位置がずれていることは、副走査方向の曲率半径を逆に
小さくする必要があることを示す。そこで、本発明では
、主軸と副軸の曲率半径が異なると同時に、副軸の曲率
半径が軸外になるにつれて増加し、かつ走査中心に対し
て左右非対称な形状を有する非球面を用いることにより
、レーザ光の回転多面鏡への斜め入射及び回転多面鏡の
反射面の移動によって感光ドラム上で副走査方向に生じ
る像面わん曲を補正して、結像位置を感光ドラム上に一
致させる。
である。すなわち、回転多面鏡の反射面の動きは回転多
面鏡の半径を30〜501φとすると、約1mrQとな
る。この動きによる像面わく曲は、上述したように左右
非対称な曲率半径をもつ非球面を用いることにより除去
できる。しかし、回転多面鏡と走査レンズの配置精度を
考えると、反射面が設計位置401から例えば0 、3
n++aずれた40、の位置にあるとすると、第6図
に点線で示すように、反射像の位置P。はその2倍の約
0.6111動いた位置P。′になる。感光ドラム面上
での結像位置Pの移動は、走査レンズ1の横倍率の自乗
で生じ、P′の位置になる。横倍率を3〜5とすると、
感光ドラム上での像の移動PP′は5.4〜15mm生
じることになる。レーザ走査装置における走査レンズの
F数は約100前後である。焦点深度はpp値 4F2・ λ で与えられる。これを土に振りわけると2F2λとなり
、λ=0.78μmとすると、焦点深度は約15111
111となる。従って走査レンズの横倍率を3〜Sとす
ることにより、回転多面鏡と走査レンズの配置精度が0
、3 in以内で焦点深度内に入れることができ、量
産上好ましい。横倍率を5より大きくすると、回転多面
鏡と走査レンズ配置精度が厳しくなり、組立てが困難と
なる。一方、3より小さいと、走査レンズを感光ドラム
倒に近づける必要があり、このため、レンズ径が大きく
なってしまい好ましくない。
ある。図において、1は本発明による走査レンズである
Fθレンズ、2はレーザ光源、20はコリメータレンズ
、3はシリンダレンズ、10は回転多面鏡、15は感光
ドラム面である。
ズ20を通り平行光束になる。シリンダレンズ3は副走
査方向(X方向)にのみ作用するように配置され、回転
多面鏡の反射面4o上でX方向にレーザ光が集光される
ようになっている。
ムが配置される面15は幾何光学的な兵役関係にある。
、あるいは球面からなるし舶・ ンズ面13と回転軸郭対りなレンズ面14を両面にもつ
、第2のレンズによって構成されている。
しては平行光束を、感光ドラム面15上に絞り込む機能
をもっている。
回転多面鏡10の反射面、■〜■は走査レンズ1の各レ
ンズ面で、■は回転対称軸を有する球面からなるレンズ
面11、■、■は平面からなるレンズ面12,13.■
は回転軸非対称な非球面からなるレンズ面14である。
隔、nは屈折率である。
る。第5図に本発明で用いる非球面14の一形状を示す
。第5図において、Roは走査中心の副走査曲率半径、
Rx、 RxはX及び−X座標での副走査曲率半径であ
り1 、Rx≠ R−xとなっている。より具体的に示すと、非球面14
は、主走査曲率半径Ryが155.7ffln、副走査
曲率半径R8が49.22mmであるトーリック面f
(x+ y)(■で示す)に、3X10−7(xy)′
の値を各(x、y)座標で加え(■で示す)、更にΔな
る量を各(x、y)座標で加えたもので、■で示される
非球面である。ここで、Δは、例えば、表2に示すよう
な値であり、各(x、y)座標で各Δを付加するもので
あり、各(x、y)位置で、各Δで与えられる距離だけ
、レンズ面が2方向(光軸方向)に移動することを示す
。なお、表2に示されていない(x、y)座標での値は
、表2のサンプル点を用いた多項式近似でもって与えら
れる。この走査レンズ1の副走査方向の横倍率は約4.
5である。
−70,0000000a、ooooooo
o、oioooo。
A Y Δ−8,000
00000,0050000o、o o
、。
−31,0200000 Y Δ −8,00000000,0028000o、o
o、。
O,O Y Δ −7,50000000,0 o、o o、。
o o、。
49.7100000Y
Δ −8,0000000−0,0052000o、o
o、。
70.0000000 y Δ −8,0000000−0,0100000o、o
o、。
0000000 4.0000000 ■ −4,0000000 4,0000000 ■ −3,7500000 3,7500000 ■ −4,0000000 4,0000000 −4,0000000 4,0000000 ■ −4,0000000 4,0000000 0,0012500 0,0012500 八 〇、0007000 0.0007000 Δ −o、oooaoo。
す非球面がX座標に対して非対称な形状を有することは
明らかであり、副走査方向の曲率半径Rxは第7図のよ
うに走査中心に対し左右非対称となる。第7図の例では
、副走査方向の曲率半径は中心で49.22mm、各々
の端では53.7zm、54.7mmと非対称に大きく
なっている。なお、このような非球面は、数値制御(N
C)による研削機械で直接加工することにより得られる
。
、面数は8であり、入射レーザ光の入射角度βは66°
で光軸に対する配置は第8図に示すようになっている。
ンズ1で結像したときの結像特性は、第9図に実線で示
したように、走査画角±29°の範囲で像面わん曲を2
mm以内におさえることができ、60X100μmの均
一な絞り込みスポットが得られた。第9図の破線は、非
対称の面形状を加えない時(Δ分がない時)の副走査方
向の像面位置を示す。この破線と実線との差が、Δによ
って補正されたことになる。
非対称化することで、回転多面体に斜め方向からレーザ
光を入射した時の副走査方向で生じる像面湾曲を除去す
ることができ、面だおれ補正機能を持ちながら高分解で
かつ広画角の走査を行なうことができた。
図、第2図は従来の非球面の一例を示す図、第3図は回
転多面鏡の反射面の移動を示す図、第4図は像面湾曲の
説明図、第5図は本発明による走査レンズの非球面の一
例を示す図、第6図は、回転多面鏡と走査レンズの配置
精度による像の移動を示す図、第7図は本発明で用いる
非球面の副走査方向の曲率半径の変化を示す図、第8図
は回転多面鏡を入射光の配置関係を示す図、第9図は本
発明と従来例の結像特性を示す図である。 $2面 ズ’zJ史光計゛ラム臼3 〜 層レー太°光の2細ハゲ、)、侶A度 琴 メ ロ 第2図 喪+1〜 爾 回 X浅禮
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 1、レーザ光源からの光を回転多面鏡により走査させ、
走査レンズで感光ドラム面に絞り込むレーザプリンタ装
置において、上記回転多面鏡と上記感光ドラム面を上記
走査レンズを介して共役な結像関係に配置し、上記走査
レンズに、主走査方向と副走査方向の曲率半径が異なり
、副走査方向の曲率半径が光軸から遠ざかるにつれて単
調増加する非球面を用いるとともに、単調増加をさせる
副走査方向の曲率半径を光軸に対して非対称な形にした
ことを特徴とするレーザ走査装置。 2、上記走査レンズの横倍率を3以上5以下としたこと
を特徴とする請求項1記載のレーザ走査装置。 3、上記走査レンズが、回転軸対称な面を両面にもつ第
1のレンズと、回転軸対称な面と上記非球面とをもつ第
2のレンズから構成されてることを特徴とする請求項1
又は2記載のレーザ走査装置。 4、回転多面鏡により走査されたレーザ光を走査面上に
絞り込む走査レンズであって、主軸と副軸の曲率半径が
異なると共に、上記副軸の曲率半径が軸外になるにつれ
て非対称に増加する非球面を有することを特徴とする走
査レンズ。 5、回転軸対称な第1及び第2のレンズ面をもつ第1の
レンズと、回転軸対称な第3のレンズ面と上記非球面か
らなる第4のレンズ面とをもつ第2のレンズからなるこ
とを特徴とする請求項4記載の走査レンズ。
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Family Applications (1)
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