JPS617818A - 光走査装置 - Google Patents
光走査装置Info
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- JPS617818A JPS617818A JP59127322A JP12732284A JPS617818A JP S617818 A JPS617818 A JP S617818A JP 59127322 A JP59127322 A JP 59127322A JP 12732284 A JP12732284 A JP 12732284A JP S617818 A JPS617818 A JP S617818A
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- Japan
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- light beam
- plane
- scanning
- deflection
- correction
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- G02—OPTICS
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- G02B27/0031—Optical systems or apparatus not provided for by any of the groups G02B1/00 - G02B26/00, G02B30/00 for optical correction, e.g. distorsion, aberration for scanning purposes
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- G—PHYSICS
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- G02B26/00—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements
- G02B26/08—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements for controlling the direction of light
- G02B26/10—Scanning systems
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- G—PHYSICS
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- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
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- G02B27/28—Optical systems or apparatus not provided for by any of the groups G02B1/00 - G02B26/00, G02B30/00 for polarising
- G02B27/283—Optical systems or apparatus not provided for by any of the groups G02B1/00 - G02B26/00, G02B30/00 for polarising used for beam splitting or combining
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の分野〕
本発明は１回転多面鏡などの機械式光偏向器における偏
向反射面の面倒れなどによる走有線の歪みを、２枚の補
正用平面鏡を用いて光学的に修正する光走査装置に関す
るものである。
向反射面の面倒れなどによる走有線の歪みを、２枚の補
正用平面鏡を用いて光学的に修正する光走査装置に関す
るものである。
回転多面鏡、ガルバノメータ鏡、バイモルフ鏡などの機
械式の光偏向器を用いた光走査装置が従来より広く用い
られている。このような光偏向器では偏向反射面は回転
軸を中心にして回転または揺動するが、偏向反射面の回
転軸−・の固定精度が悪かったり、偏向反射面自身の平
面加工精度が悪く偏向反射面に面だれかあったり、また
回転軸に軸ぶれが発生したりすると、走査線に歪みが発
生する。光走査装置を画像情報の書込みあるいは読出し
に利用する場合、この走査線の歪みは画像情報の書込み
・読出し精度を著しく低下させるという問題があった。
械式の光偏向器を用いた光走査装置が従来より広く用い
られている。このような光偏向器では偏向反射面は回転
軸を中心にして回転または揺動するが、偏向反射面の回
転軸−・の固定精度が悪かったり、偏向反射面自身の平
面加工精度が悪く偏向反射面に面だれかあったり、また
回転軸に軸ぶれが発生したりすると、走査線に歪みが発
生する。光走査装置を画像情報の書込みあるいは読出し
に利用する場合、この走査線の歪みは画像情報の書込み
・読出し精度を著しく低下させるという問題があった。
そこでこの走査線歪みを除去する方法が種々提案されて
いる。飼えば、走査用光ビームの途中に音響光学的変調
器などの補正用光偏向器を介在させるものがある（特開
昭４７−３３６４２号、特開昭５３−１４６６４３号、
特開昭５３−１１１７４５号）。しかしながら、この場
合には補正用光偏向器の制御系が複雑になるという問題
がある。
いる。飼えば、走査用光ビームの途中に音響光学的変調
器などの補正用光偏向器を介在させるものがある（特開
昭４７−３３６４２号、特開昭５３−１４６６４３号、
特開昭５３−１１１７４５号）。しかしながら、この場
合には補正用光偏向器の制御系が複雑になるという問題
がある。
また、走査用光ビームを偏向反射面の回転方向ポットと
して走査させるよう、一対のアナモルフィックな光学系
を用いるものがある（特公昭５２−’２８６６６号）。
して走査させるよう、一対のアナモルフィックな光学系
を用いるものがある（特公昭５２−’２８６６６号）。
しかしながら、この場合には光学系が複雑でその調整も
離しいという問題がある。
離しいという問題がある。
さらに、互いに交わる２枚の補正用平面鏡をその稜線が
偏向反射面の回転軸に直交するように配置し、偏向反射
面で反射された光ビームをこれら平面鏡で再び偏向反射
面へ戻し、この偏向反射面で２度反射させる方法が提案
されている（米国特許第３８９７１３２号明細誉）。し
かしながら。
偏向反射面の回転軸に直交するように配置し、偏向反射
面で反射された光ビームをこれら平面鏡で再び偏向反射
面へ戻し、この偏向反射面で２度反射させる方法が提案
されている（米国特許第３８９７１３２号明細誉）。し
かしながら。
この方法では、入射光ビームと走査面に導かれる走置光
ビームとが共に偏向反射面の回転軸と直交しない場合に
は、走査光ビームは弓形に歪むという問題があった。す
なわち、まず入射光ビームが偏向反射面の回転軸に直交
しないため偏向反射面での１に目の反射によりその反射
光ビームに弓形の歪みが発生する。また、２枚の補正用
平面鏡により戻された光ビームは２度目の偏向反射面で
の反射により再び弓形の歪みを発生させ、最終的に走査
線の湾曲が大きく残るという問題があった。
ビームとが共に偏向反射面の回転軸と直交しない場合に
は、走査光ビームは弓形に歪むという問題があった。す
なわち、まず入射光ビームが偏向反射面の回転軸に直交
しないため偏向反射面での１に目の反射によりその反射
光ビームに弓形の歪みが発生する。また、２枚の補正用
平面鏡により戻された光ビームは２度目の偏向反射面で
の反射により再び弓形の歪みを発生させ、最終的に走査
線の湾曲が大きく残るという問題があった。
本発明はこのような事情に鑑みなされたものであり、２
枚の補正用平面鏡を用いて面倒れによる走査線の歪みを
修正する一方、走査線の弓形化を実用上問題の無い程度
に少なくすることができる光走査装置を提供することを
目的とする。
枚の補正用平面鏡を用いて面倒れによる走査線の歪みを
修正する一方、走査線の弓形化を実用上問題の無い程度
に少なくすることができる光走査装置を提供することを
目的とする。
本発明の前記目的は２回転軸を中心に回転または揺動す
る偏向反射面を有する機械式の光偏向器と、稜線が前記
回転軸に直交するように前記偏向反射面に対向配置され
た２枚の補正用平面鏡とを偏見、前記偏向反射面への入
射光ビームを補正用平面鏡との間で一度往復させて走査
面へ導くようにした光走査装置において、前記回転軸を
含み前記２枚の補正用平面鏡の稜線に直交する平面への
前記走査光ビームの投影像と、前記回転軸に直交する平
面がなす角贋が５°〜１５°になるように、前記２枚の
補正用平面鏡の配置および入射光ビームの入射角が設定
されていることを特徴とする先走 ”査装置により達成
される。
る偏向反射面を有する機械式の光偏向器と、稜線が前記
回転軸に直交するように前記偏向反射面に対向配置され
た２枚の補正用平面鏡とを偏見、前記偏向反射面への入
射光ビームを補正用平面鏡との間で一度往復させて走査
面へ導くようにした光走査装置において、前記回転軸を
含み前記２枚の補正用平面鏡の稜線に直交する平面への
前記走査光ビームの投影像と、前記回転軸に直交する平
面がなす角贋が５°〜１５°になるように、前記２枚の
補正用平面鏡の配置および入射光ビームの入射角が設定
されていることを特徴とする先走 ”査装置により達成
される。
以下回向に示す本発明の実施態様に基づいて。
本発明の詳細な説明する。
第１図は本発明の一実施態様を示す斜視図、第２図はそ
の光ビームの光路を示す側面図、第３図はその走査線の
弓形の歪みを示す斜視図である。
の光ビームの光路を示す側面図、第３図はその走査線の
弓形の歪みを示す斜視図である。
第１，２図において符号１ｏは光偏向器としての回転多
面鏡であって、この回転多面鏡１ｏは駆動モータＪ４に
より回転軸１２を中心として回転駆動される。回転多面
鏡１０の周面には複数の平面鏡である偏向反射面１６が
形成されている。
面鏡であって、この回転多面鏡１ｏは駆動モータＪ４に
より回転軸１２を中心として回転駆動される。回転多面
鏡１０の周面には複数の平面鏡である偏向反射面１６が
形成されている。
１８は光源であり、この光源１８がら射出される光ビー
ム２０は、光学系２２によって偏向反射面１６に導かれ
る。
ム２０は、光学系２２によって偏向反射面１６に導かれ
る。
２４．２６は補正用平面鏡であり、これら両平面鏡２４
．２６が変わる稜線２８は回転軸１２に直交している。
．２６が変わる稜線２８は回転軸１２に直交している。
この実施態様においては、これら平面鏡２４．２６は第
２図に示すように回転軸１２に直交しかつ偏向反射面１
６の中央付近を通る平面３０に関して一方の側に偏位し
、入射光ビーム（２００）と走査光ビーム（２１０）と
はこの平面３０に関して平面鏡２４．２６とは反対側に
位置している。なお偏向反射面１６で反射された光ビー
ムは、各平面鏡２４．２６で１度づつ反射されて偏向反
射面１Ｇに戻り、再びこの偏向反射面１６で反射されて
走査光ビーム（２１０）となる。
２図に示すように回転軸１２に直交しかつ偏向反射面１
６の中央付近を通る平面３０に関して一方の側に偏位し
、入射光ビーム（２００）と走査光ビーム（２１０）と
はこの平面３０に関して平面鏡２４．２６とは反対側に
位置している。なお偏向反射面１６で反射された光ビー
ムは、各平面鏡２４．２６で１度づつ反射されて偏向反
射面１Ｇに戻り、再びこの偏向反射面１６で反射されて
走査光ビーム（２１０）となる。
ここに偏向反射面１６における１度目の反射点と２度目
の反射点とは、１つの平面３０とこの偏向反射面１６と
の交線上に位置するように、各平面鏡２４．２６の位置
および挟角βが決められている。このようにすることに
より回転多面鏡１０を薄く作ることができると共に、偏
向反射面１６の面だれによる影響を少くすることができ
る。
の反射点とは、１つの平面３０とこの偏向反射面１６と
の交線上に位置するように、各平面鏡２４．２６の位置
および挟角βが決められている。このようにすることに
より回転多面鏡１０を薄く作ることができると共に、偏
向反射面１６の面だれによる影響を少くすることができ
る。
３２はｆθレンズ、３４は走査面である。
今回転軸１２に直交する平面３０に対し、第２図上で入
射光ビーム（２００）がなす角度をα。
射光ビーム（２００）がなす角度をα。
同じく走査光ビーム（２１０）がなす角度をｒとする。
これらの角度α、γ、は２回転軸１２を含む平面（第２
図の紙面〕への入射光ビーム（２００）および走査光ビ
ーム（２１０）の投影像と平面３０とのなす角でもある
。またｆθレンズの焦点距離をｆ、走査線長さをＸ、走
査線の副走査方向の最大偏位量をΔＹとする（第３図参
照）。
図の紙面〕への入射光ビーム（２００）および走査光ビ
ーム（２１０）の投影像と平面３０とのなす角でもある
。またｆθレンズの焦点距離をｆ、走査線長さをＸ、走
査線の副走査方向の最大偏位量をΔＹとする（第３図参
照）。
通常光走査装置として要求される走査線の弓形の歪みの
許容範囲は ΔＹ １了１りｏ、ｏｏ５ ・・・・・・（１）である。ま
た通常使用される走査線長さＸはＸ ・
・・・・・（２）ｌＴｌ ＜ ｏ、ｓ である。例えばｆ＝６００ｗａのｆθレンズ３２を用い
る時には、Ｘ＝３００ｍｎ、また歪みΔＹ＝３ｗｎとな
る。入射光ビーム（２００）の入射角度αは通常２００
りαり８０° ・・・・・・（３）の範囲にあることを
考慮し１本発明の発明者は前記（２）、 ＣＢ＞の条件
下において、（１）を満足する走査光ビーム（２１０）
の射出角度γを求めた。第４゜５．６．７図はその結果
を示し、入射角度αが２０°、４５°、６０°、８０°
の各場合における走査位置（Ｘ／ｆ）に対する歪み（Δ
Ｙ／ｆ）を示している。
許容範囲は ΔＹ １了１りｏ、ｏｏ５ ・・・・・・（１）である。ま
た通常使用される走査線長さＸはＸ ・
・・・・・（２）ｌＴｌ ＜ ｏ、ｓ である。例えばｆ＝６００ｗａのｆθレンズ３２を用い
る時には、Ｘ＝３００ｍｎ、また歪みΔＹ＝３ｗｎとな
る。入射光ビーム（２００）の入射角度αは通常２００
りαり８０° ・・・・・・（３）の範囲にあることを
考慮し１本発明の発明者は前記（２）、 ＣＢ＞の条件
下において、（１）を満足する走査光ビーム（２１０）
の射出角度γを求めた。第４゜５．６．７図はその結果
を示し、入射角度αが２０°、４５°、６０°、８０°
の各場合における走査位置（Ｘ／ｆ）に対する歪み（Δ
Ｙ／ｆ）を示している。
この結果をまとめると次の表のようになる。
以上の結果から、走査光ビーム（２１０）の射出角度ｒ
は。
は。
５くγり１５゜
にすれば通常の使用条件の下で走査線の歪みを許容範囲
内に収めることができることが明らかになった。
内に収めることができることが明らかになった。
第８図は本発明の別の実施態様を示す側面図であり、こ
の実施態様では補正用平面鏡２４．２６を、平面３０を
挾むように配置し１両平面鏡２４゜２６の間から走査光
ビーム（２１０）を走査面へ導くようにしたものである
。
の実施態様では補正用平面鏡２４．２６を、平面３０を
挾むように配置し１両平面鏡２４゜２６の間から走査光
ビーム（２１０）を走査面へ導くようにしたものである
。
第９図は本発明のさらに別の実施態様を示す側面図であ
り、この実施態様では一方の補正用平面鏡２６Ａを半透
鏡により構成した。ここに走査光ビーム（２１０）の一
部はこの平面鏡２６Ａを通って走査面に導かれる。従っ
て走査光ビーム（２１０）の射出角度γを前記の各実施
態様（第１．２，８［１参照）に比べて小さくすること
ができる。
り、この実施態様では一方の補正用平面鏡２６Ａを半透
鏡により構成した。ここに走査光ビーム（２１０）の一
部はこの平面鏡２６Ａを通って走査面に導かれる。従っ
て走査光ビーム（２１０）の射出角度γを前記の各実施
態様（第１．２，８［１参照）に比べて小さくすること
ができる。
第１０図は本発明のさら日ＩＪの実施態様の側面図であ
る。この実施態様では直線偏光を射出するし射する。ま
た一方の補正用平面鏡２６Ｂは、偏光ビームスプリッタ
２６ａと、この偏光ビームスプリッタ２６ａと偏藉１６
との間に介在するλ／４に偏光ビームスプリッタ２６ａ
でそれぞれ反射さって入射光ビーム（２００）と９０°
偏光方向が変化したＰ偏光となり、今度は偏光ビームス
プリッタ２６ａを通過してＰ偏光の走査光ビーム（２１
０）となって射出される。この実施態様によれば、前記
第９図の実施態様に比べ、入射光ビーム（２００）の光
量を全て走査光ビーム（２１，０）として利用できるの
で光ビームの使用効率が良い。
る。この実施態様では直線偏光を射出するし射する。ま
た一方の補正用平面鏡２６Ｂは、偏光ビームスプリッタ
２６ａと、この偏光ビームスプリッタ２６ａと偏藉１６
との間に介在するλ／４に偏光ビームスプリッタ２６ａ
でそれぞれ反射さって入射光ビーム（２００）と９０°
偏光方向が変化したＰ偏光となり、今度は偏光ビームス
プリッタ２６ａを通過してＰ偏光の走査光ビーム（２１
０）となって射出される。この実施態様によれば、前記
第９図の実施態様に比べ、入射光ビーム（２００）の光
量を全て走査光ビーム（２１，０）として利用できるの
で光ビームの使用効率が良い。
以上の各実施態様では光偏向器として回転多面鏡１０を
用いているが２本発明においてはガルバノメータ鏡やバ
イモルフ鏡なども使用可能である。
用いているが２本発明においてはガルバノメータ鏡やバ
イモルフ鏡なども使用可能である。
また偏向反射面１６におけるＩＫ目と２度目の反射点を
、平面３０と偏向反射面１６との交線上に位置させれば
、光偏向器が小型になり偏向反射面１６の面だれの影響
を受けにくくなることは前記したとおりであるが１本発
明は両反射点が偏向反射面１６上で回転軸１２方向に離
れるように各補正用平面鏡を配置しても所期の目的は達
成できる。
、平面３０と偏向反射面１６との交線上に位置させれば
、光偏向器が小型になり偏向反射面１６の面だれの影響
を受けにくくなることは前記したとおりであるが１本発
明は両反射点が偏向反射面１６上で回転軸１２方向に離
れるように各補正用平面鏡を配置しても所期の目的は達
成できる。
本発明は以りのように、短資光ビームの回転軸を含み２
枚の補正用平面鏡の稜線に直焚する平面に対してなす角
度γを、５°〜１５°の範囲に入るように２枚の補正用
平面鏡を配置したから、走査線の弓形の歪みを実用上全
く問題の無い範囲に収めることができる。また２枚の補
正用平面鏡を用いて光ビームを偏向面との間で一度往復
させているので、偏向反射面の面倒れや回転軸の軸ぶれ
による走査線の歪みも補正することができる。
枚の補正用平面鏡の稜線に直焚する平面に対してなす角
度γを、５°〜１５°の範囲に入るように２枚の補正用
平面鏡を配置したから、走査線の弓形の歪みを実用上全
く問題の無い範囲に収めることができる。また２枚の補
正用平面鏡を用いて光ビームを偏向面との間で一度往復
させているので、偏向反射面の面倒れや回転軸の軸ぶれ
による走査線の歪みも補正することができる。
第１図は本発明の一実施態様の斜視図、第２図はその光
ビームの光路を示す側面図、第３図はその走査線の弓形
の歪みを示す斜視図、 第４．Ｓ。 ６．７図は走査位置と歪みとの関係をそれぞれ異なる入
射角αに対して示す図、第８図は本発明の別の実施態様
を示す側面図、第９図は本発明のさらに別の実施態様を
示す側面図、第１０図は本発明のさらに別の実施態様を
示す側面図である。 １０・・・光偏向器としての回転多面鏡。 １２・・・回転軸、 １６・・・偏向反射面。 （２００）・・・入射光ビーム、 （２１０）・・・
走査光ビーム。 ２４、２６・・・補正用平面鏡、２６Ａ・・・半透鏡。 ２６ａ・・・偏光ビームスプリッタ。 ２６ｂ・・・λ／４板、 ２８・・・稜線。 特許出願人 富士写真フィルム株式会社代理人 弁理
士 山 １） 文 雄第１図 と４ どσ 第４図 第５図 第６図 第７図 第６図 第９図 第１０図 手続補正書印発） 昭和５９年７月２５ＦＩ
ビームの光路を示す側面図、第３図はその走査線の弓形
の歪みを示す斜視図、 第４．Ｓ。 ６．７図は走査位置と歪みとの関係をそれぞれ異なる入
射角αに対して示す図、第８図は本発明の別の実施態様
を示す側面図、第９図は本発明のさらに別の実施態様を
示す側面図、第１０図は本発明のさらに別の実施態様を
示す側面図である。 １０・・・光偏向器としての回転多面鏡。 １２・・・回転軸、 １６・・・偏向反射面。 （２００）・・・入射光ビーム、 （２１０）・・・
走査光ビーム。 ２４、２６・・・補正用平面鏡、２６Ａ・・・半透鏡。 ２６ａ・・・偏光ビームスプリッタ。 ２６ｂ・・・λ／４板、 ２８・・・稜線。 特許出願人 富士写真フィルム株式会社代理人 弁理
士 山 １） 文 雄第１図 と４ どσ 第４図 第５図 第６図 第７図 第６図 第９図 第１０図 手続補正書印発） 昭和５９年７月２５ＦＩ
Claims (4)
- （１）回転軸を中心に回転または揺動する偏向反射面を
有する機械式の光偏向器と、稜線が前記回転軸に直交す
るように前記偏向反射面に対向配置された２枚の補正用
平面鏡とを備え、前記偏向反射面への入射光ビームを補
正用平面鏡との間で一度往復させて走査面へ走査光ビー
ムとして導くようにした光走査装置において、 前記回転軸を含み前記２枚の補正用平面鏡の稜線に直交
する平面への前記走査光ビームの投影像と、前記回転軸
に直交する平面とがなす角度が５°〜１５°になるよう
に、前記２枚の補正用平面鏡の配置および入射光ビーム
の入射角が設定されていることを特徴とする光走査装置
。 - （２）偏向反射面における１度目の反射位置と２度目の
反射位置とが、前記回転軸に直交する平面と前記偏向反
射面との１本の交線上に位置することを特徴とする特許
請求の範囲第１項記載の光走査装置。 - （３）２枚の補正用平面鏡の一方は走査光ビームを透過
する半透鏡で形成されていることを特徴とする特許請求
の範囲第１項もしくは第２項記載の光走査装置。 - （４）２枚の補正用平面鏡の一方は、偏光ビームスプリ
ッタと、この偏光ビームスプリッタと偏向反射面との間
に介在せしめられたλ／４板とで形成され、入射光ビー
ムは直線偏光とされ、走査光ビームは前記偏光ビームス
プリッタを通過して走査面へ導かれることを特徴とする
特許請求の範囲第１項または第２項記載の光走査装置。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59127322A JPS617818A (ja) | 1984-06-22 | 1984-06-22 | 光走査装置 |
| US06/747,185 US4796965A (en) | 1984-06-22 | 1985-06-21 | Optical scanning device |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59127322A JPS617818A (ja) | 1984-06-22 | 1984-06-22 | 光走査装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS617818A true JPS617818A (ja) | 1986-01-14 |
Family
ID=14957060
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP59127322A Pending JPS617818A (ja) | 1984-06-22 | 1984-06-22 | 光走査装置 |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US4796965A (ja) |
| JP (1) | JPS617818A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS636515A (ja) * | 1986-06-27 | 1988-01-12 | Hitachi Ltd | 走査光学系 |
| JPH0647116A (ja) * | 1992-07-16 | 1994-02-22 | Hideaki Serizawa | グリップ材 |
| US6621610B2 (en) | 2001-04-03 | 2003-09-16 | Seiko Epson Corporation | Light deflective optical system |
| WO2003096101A1 (fr) * | 2002-05-09 | 2003-11-20 | Seiko Epson Corporation | Scanner optique et mecanisme pour nettoyer le verre de protection du scanner optique |
| CN108885337A (zh) * | 2016-03-30 | 2018-11-23 | 株式会社尼康 | 光束扫描装置及图案描绘装置 |
Families Citing this family (10)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5009472A (en) * | 1987-01-08 | 1991-04-23 | Asahi Kogaku Kogyo Kabushiki Kaisha | Light scanning device with polarizing device to make light transmission more uniform |
| US4936643A (en) * | 1989-06-09 | 1990-06-26 | Leo Beiser Inc. | Light scanner |
| US5114217A (en) * | 1990-06-08 | 1992-05-19 | Leo Beiser Inc. | Double-reflection light scanner |
| US5136415A (en) * | 1990-07-31 | 1992-08-04 | Xerox Corporation | Multi-reflection scanner |
| JP2004029197A (ja) * | 2002-06-24 | 2004-01-29 | Pentax Corp | 走査光学系 |
| US7142340B2 (en) * | 2003-10-31 | 2006-11-28 | Hewlett-Packard Development Company, L.P. | Optical scanner apparatuses and optical scanning methods |
| JP2007531909A (ja) * | 2004-03-31 | 2007-11-08 | コーニンクレッカ フィリップス エレクトロニクス エヌ ヴィ | 走査装置を用いた投影システム |
| JP4819354B2 (ja) * | 2004-12-21 | 2011-11-24 | キヤノン株式会社 | 画像表示装置 |
| US8057463B2 (en) * | 2006-04-07 | 2011-11-15 | Amo Development, Llc. | Adaptive pattern correction for laser scanners |
| WO2016144290A1 (en) * | 2015-03-06 | 2016-09-15 | Intel Corporation | Acousto-optics deflector and mirror for laser beam steering |
Family Cites Families (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE2306185A1 (de) * | 1973-02-08 | 1974-08-15 | Agfa Gevaert Ag | Verfahren und vorrichtung zur kompensation des pyramidenfehlers eines spiegelrades |
| US4312590A (en) * | 1977-06-10 | 1982-01-26 | Eocom Corporation | Optical scanner and system for laser beam exposure of photo surfaces |
| GB2053505A (en) * | 1979-07-10 | 1981-02-04 | Plessey Co Ltd | Scanning Beam Deflection Amplifier |
| US4429948A (en) * | 1981-05-14 | 1984-02-07 | International Business Machines Corporation | Optical alignment compensation |
| US4433894A (en) * | 1981-11-12 | 1984-02-28 | Lincoln Laser Company | Method and apparatus for generating optical scans |
| US4564931A (en) * | 1982-07-15 | 1986-01-14 | Matsushita Electric Industrial Co. Ltd. | Optical recording and reproducing head |
| US4682842A (en) * | 1984-08-31 | 1987-07-28 | Xerox Corporation | Scanning system with two reflections from scanning surface by mirrors with optical power |
| US4624528A (en) * | 1985-02-21 | 1986-11-25 | Xerox Corporation | Scanning systems with polygon scanner having curved facets |
-
1984
- 1984-06-22 JP JP59127322A patent/JPS617818A/ja active Pending
-
1985
- 1985-06-21 US US06/747,185 patent/US4796965A/en not_active Expired - Lifetime
Cited By (10)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS636515A (ja) * | 1986-06-27 | 1988-01-12 | Hitachi Ltd | 走査光学系 |
| JPH0695176B2 (ja) * | 1986-06-27 | 1994-11-24 | 株式会社日立製作所 | 走査光学系 |
| JPH0647116A (ja) * | 1992-07-16 | 1994-02-22 | Hideaki Serizawa | グリップ材 |
| US6621610B2 (en) | 2001-04-03 | 2003-09-16 | Seiko Epson Corporation | Light deflective optical system |
| WO2003096101A1 (fr) * | 2002-05-09 | 2003-11-20 | Seiko Epson Corporation | Scanner optique et mecanisme pour nettoyer le verre de protection du scanner optique |
| JPWO2003096101A1 (ja) * | 2002-05-09 | 2005-09-15 | セイコーエプソン株式会社 | 光走査装置及び光走査装置のカバーガラス清掃機構 |
| US7330295B2 (en) | 2002-05-09 | 2008-02-12 | Seiko Epson Corporation | Optical scanning device and cover glass cleaning mechanism for optical scanning device |
| US7679798B2 (en) | 2002-05-09 | 2010-03-16 | Seiko Epson Corporation | Optical scanning device and cover glass cleaning mechanism for optical scanning device |
| CN108885337A (zh) * | 2016-03-30 | 2018-11-23 | 株式会社尼康 | 光束扫描装置及图案描绘装置 |
| CN108885337B (zh) * | 2016-03-30 | 2021-06-04 | 株式会社尼康 | 光束扫描装置及图案描绘装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| US4796965A (en) | 1989-01-10 |
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