JP2975719B2 - 共焦点光学系 - Google Patents
共焦点光学系Info
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Description
結像特性に優れ、最近注目されている走査型レーザー顕
微鏡(SLM)等において利用されている。共焦点光学
系の一例を図4に示す。光源12から射出されたレーザ
ー光はコリメートレンズ14により平行光束となり、偏
光ビームスプリッター16で反射された後、対物レンズ
20により試料面22に集光される。試料面22で反射
された光は対物レンズ20に入射し再び平行光束となり
偏光ビームスプリッター16に入射する。この光は、λ
/4板18を2回通過することにより偏光方向が90°
回転されるため、偏光ビームスプリッター16を通過
し、結像レンズ24に入射する。結像レンズ24により
集光された光は、結像レンズ24の焦点面に配置された
遮光板30のピンホール32を通過し、光電検出素子3
4で受光される。対物レンズ20の合焦位置にある試料
面22からの光は、実線で示した光路に沿って進み、ピ
ンホール32を通過できるが、非合焦位置にある試料面
(例えば23で示される)からの光は、破線で示した光
路に沿って進むため、ピンホール32を通過できない。
従って、検出器34により得られる画像はコントラスト
のある解像度の高いものとなる。また、このように特定
の試料面の像を得られる光学系は、光軸方向に分解能を
有することを意味し、いわゆるオプチカルスライスを行
なうことができる。
系では、一般に結像レンズは1枚の凸レンズで構成され
る。この結像レンズ24に焦点距離の短いものを用いた
場合、図5に示すように、エアリディスクの径W2 は数
十μmと非常に小さくなる。共焦点光学系では、エアリ
ディスクの径に見合った径のピンホール(開口)を使用
する必要があるため、エアリディスクの径が細くなると
ピンホールの光学的な位置調整が困難になるという不都
合がある。また逆に結像レンズ24に焦点距離の長いも
のを用いた場合は、図6に示すように、エアリディスク
の径W3 は大きくなる。従って、ピンホールもその径が
大きいものが使用できるため光学的な調整は容易にな
る。しかしその反面、結像レンズ24の焦点距離が長い
ので、装置が大型になるという不都合がある。
れたもので、ピンホールの位置調整が容易かつ小型な共
焦点光学系を提供することを目的とする。
の共焦点光学系は、光源と、前記光源からの光を試料に
集束させる対物レンズと、前記対物レンズからの光の集
束点を前記試料に対して相対的に移動させる移動手段
と、前記試料からの光を集束させる結像光学素子と、前
記結像光学素子からの集束光を選択的に通過させる開口
と、前記開口を通過した光を受光する光電検出素子とを
備えた共焦点光学系において、前記結像光学素子は、前
記試料側に配置された凸レンズと前記光電検出素子側に
配置された凹レンズとからなることを特徴とする。請求
項2に記載の本発明の共焦点光学系は、光源と、前記光
源からの光を試料に集束させる対物レンズと、前記対物
レンズからの光の集束点を前記試料に対して相対的に移
動させる移動手段と、前記試料からの光を集束させる結
像光学素子と、前記結像光学素子からの集束光を選択的
に通過させる開口と、前記開口を通過した光を受光する
光電検出素子とを備えた共焦点光学系において、前記結
像光学素子は、前記試料側に配置された凸面鏡と前記光
電検出素子側に配置された凹面鏡とからなることを特徴
とする。
結像光学素子が試料側に配置された凸レンズと光電検出
素子側に配置された凹レンズとを有している。従って、
凸レンズから光の集束点までの距離は短いが、結像光学
素子の焦点距離は実効的に長くなる。このため、この結
像素子により集束される光のエアリディスクの径は比較
的大きい。これに対応して光電検出素子の手前に配置さ
れる開口の径の大きなものとなり、その位置調整が容易
となる。また、結像光学素子から集束点までの距離が短
いので、装置が大型になることもない。請求項2に記載
の本発明の共焦点光学系では、結像光学素子が試料側に
配置された凸面鏡と光電検出素子側に配置された凹面鏡
とを有している。従って、凸面鏡から光の集束点までの
距離は短いが、結像光学素子の焦点距離は実効的に長く
なる。このため、この結像素子により集束される光のエ
アリディスクの径は比較的大きい。これに対応して光電
検出素子の手前に配置される開口の径の大きなものとな
り、その位置調整が容易となる。また、結像光学素子か
ら集束点までの距離が短いので、装置が大型になること
もない。
がら説明する。本発明の共焦点光学系の実施例を図1に
示す。光源12から射出されたレーザー光はコリメート
レンズ14で平行光束にされた後、偏光ビームスプリッ
ター16で反射され、対物レンズ20により試料面22
に集光される。試料面22で反射された光は対物レンズ
20に入射し再び平行光束となり偏光ビームスプリッタ
ー16に入射する。この光は、λ/4板18を2回通過
することにより偏光方向が90°回転されるため、偏光
ビームスプリッター16を通過する。偏光ビームスプリ
ッター16を通過した光は結像レンズ24に入射して集
束される。この集束光は遮光板30に設けてあるピンホ
ール(開口)32を通って光電検出素子34に入射す
る。この光学系において、結像レンズ24は、光の入射
側に配置された凸レンズ26とその後方に配置された凹
レンズ28とで構成されている。このように構成された
結像レンズ24は、いわゆるテレフォトタイプと呼ば
れ、入射光はまず凸レンズ26により急激に集束され、
光束径が細くなったところで凹レンズ28に入射し、集
束の度合が弱められる。この結果、結像レンズ24の実
効的な集束距離は長くなるが、集束点が遠のくことはな
い。従って、集束光のエアリディスクの径は、1枚の結
像レンズを用いて同じ位置に集束させた場合に比べて太
くなる。これに応じて、遮光板30に設けられているピ
ンホール32も、その径が大きいものが使用される。こ
れにより、ピンホール32の位置調整も容易に行なうこ
とができる。また、結像レンズ24からの集束点までの
距離は、1枚の結像レンズを用いた場合と同じであるか
ら、光学系が大型になることもない。
施例の要部、すなわち、図1の結像レンズの代わりに2
枚の反射鏡を用いたもので、中央部に開口を有する凹面
鏡42とこれに対向して配置された小径の凸面鏡44と
を備えている。2枚の反射鏡に入射した光は、凸面鏡4
4で遮られる一部を除いて凹面鏡42に入射する。凹面
鏡42に入射した光はその鏡面で反射されて収束性光束
となり凸面鏡44に入射する。凸面鏡44に入射した光
はその鏡面で反射されると共に集束の度合が弱められ、
凹面鏡42の開口部を通過し、その後方に集束される。
この構成の2枚の反射鏡でも、図1を用いて説明した結
像レンズと同様、集束点までの距離を長くすることな
く、実効的な焦点距離を長くすることができる。従って
同様の効果が得られる。
構成を示したものである。図3に示す第3の実施例もま
た図2と同様に凹面鏡46と凸面鏡48とで構成され、
図2の実施例と同様、集束点までの距離を長くすること
なく、実効的な焦点距離を長くすることができる。
のではなく、発明の主旨を逸脱しない範囲で種々多くの
変形が可能である。例えば実施例では反射型の光学系を
あげて説明したが、本発明が透過型の光学系にも適用で
きることはいうまでもない。
は、結像光学素子が凸レンズと凹レンズとで構成される
ため、集束点までの距離を変えることなく焦点距離を実
効的に長くする。また、請求項2記載の本発明の共焦点
光学系では、結像光学素子が凸面鏡と凹面鏡とで構成さ
れるため、集束点までの距離を変えることなく焦点距離
を実効的に長くする。
成を示す。
別の構成を示す。
ンズを用いた場合の集束の様子を示す。
ンズを用いた場合の集束の様子を示す。
結像レンズ、26…凸レンズ、28…凹レンズ、32…
ピンホール、34…光電検出素子。
Claims (2)
- 【請求項1】光源と、 前記光源からの光を試料に集束させる対物レンズと、 前記対物レンズからの光の集束点を前記試料に対して相
対的に移動させる移動手段と、 前記試料からの光を集束させる結像光学素子と、 前記結像光学素子からの集束光を選択的に通過させる開
口と、 前記開口を通過した光を受光する光電検出素子とを備え
た共焦点光学系において、 前記結像光学素子は、前記試料側に配置された凸レンズ
と前記光電検出素子側に配置された凹レンズとからなる
ことを特徴とする共焦点光学系。 - 【請求項2】光源と、 前記光源からの光を試料に集束させる対物レンズと、 前記対物レンズからの光の集束点を前記試料に対して相
対的に移動させる移動手段と、 前記試料からの光を集束させる結像光学素子と、 前記結像光学素子からの集束光を選択的に通過させる開
口と、 前記開口を通過した光を受光する光電検出素子とを備え
た共焦点光学系において、 前記結像光学素子は、前記試料側に配置された凸面鏡と
前記光電検出素子側に配置された凹面鏡とからなること
を特徴とする共焦点光学系。
Priority Applications (3)
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JP3126054A JP2975719B2 (ja) | 1991-05-29 | 1991-05-29 | 共焦点光学系 |
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