JP2886691B2 - 共焦点型レーザ走査顕微鏡 - Google Patents
共焦点型レーザ走査顕微鏡Info
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- JP2886691B2 JP2886691B2 JP40781090A JP40781090A JP2886691B2 JP 2886691 B2 JP2886691 B2 JP 2886691B2 JP 40781090 A JP40781090 A JP 40781090A JP 40781090 A JP40781090 A JP 40781090A JP 2886691 B2 JP2886691 B2 JP 2886691B2
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- light
- objective lens
- scanning microscope
- laser scanning
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- Mechanical Optical Scanning Systems (AREA)
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は、共焦点型レーザ走査
顕微鏡に関する。
顕微鏡に関する。
【０００２】
【従来の技術】光偏向器により光ビームを偏光して試料
上を走査することにより、高い解像力を有しながら通常
の顕微鏡と同様な使い勝手の良さを確保する走査型光学
顕微鏡が知られている（特開昭６１−２１９９１９）。
上を走査することにより、高い解像力を有しながら通常
の顕微鏡と同様な使い勝手の良さを確保する走査型光学
顕微鏡が知られている（特開昭６１−２１９９１９）。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかし、この走査型光
学顕微鏡によると、レーザ光が多数の光学素子を通過す
る際の反射光や散乱光が測定精度を低下させるという欠
点があった。
学顕微鏡によると、レーザ光が多数の光学素子を通過す
る際の反射光や散乱光が測定精度を低下させるという欠
点があった。
【０００４】そこで、本発明はレーザ光が多数の光学素
子を通過する際の反射・散乱光の大半を除去できる共焦
点型レーザ走査顕微鏡を提供することを目的とする。
子を通過する際の反射・散乱光の大半を除去できる共焦
点型レーザ走査顕微鏡を提供することを目的とする。
【０００５】
【課題を解決するための手段】上記課題を達成するた
め、本発明は光源（例えば、レーザ光源）と、上記光源
から発した光を集光する対物レンズと、上記光源と上記
対物レンズとの間に形成された光路上に配置され上記対
物レンズに入る光の入射角度を変化させることにより物
体（例えば、試料）上を走査する一対の光偏向部材（例
えば、Ｘ方向スキャナ、Ｙ方向スキャナ）と、物体から
の光を検出する検出器と、上記一対の光偏向部材の間に
形成された光路上に配置された一対のリレーレンズと、
上記一対のリレーレンズの間に形成された光路上に配置
されたスリット部材を有することを特徴とする。
め、本発明は光源（例えば、レーザ光源）と、上記光源
から発した光を集光する対物レンズと、上記光源と上記
対物レンズとの間に形成された光路上に配置され上記対
物レンズに入る光の入射角度を変化させることにより物
体（例えば、試料）上を走査する一対の光偏向部材（例
えば、Ｘ方向スキャナ、Ｙ方向スキャナ）と、物体から
の光を検出する検出器と、上記一対の光偏向部材の間に
形成された光路上に配置された一対のリレーレンズと、
上記一対のリレーレンズの間に形成された光路上に配置
されたスリット部材を有することを特徴とする。
【０００６】
【作用】本発明は以上のように構成されているので、レ
ーザ光が多数の光学素子を通過する際に生じた反射光や
散乱光はスリット部材のスリット孔を通過する際に遮断
される。
ーザ光が多数の光学素子を通過する際に生じた反射光や
散乱光はスリット部材のスリット孔を通過する際に遮断
される。
【０００７】
【実施例】以下、この発明の一実施例に係る共焦点型レ
ーザ走査顕微鏡を添付図面に基づき説明する。なお、説
明において同一要素には同一符号を用い、重複する説明
は省略する。
ーザ走査顕微鏡を添付図面に基づき説明する。なお、説
明において同一要素には同一符号を用い、重複する説明
は省略する。
【０００８】第１図は実施例に係る共焦点型レーザ走査
顕微鏡の概略図を示すものである。レーザ光源１の光照
射方向に沿って、集光レンズ２、ピンホール部材３及び
ハーフミラー４が配置されている。ハーフミラー４は、
レーザ光源１のレーザ光を９０度方向へ反射できるよう
に傾いて配置されている。このハーフミラー４を中心と
して、レーザ光源１および集光レンズ２などの配列方向
と直交するように、コリメータレンズ５およびＸ方向ス
キャナ６が配置されている。Ｘ方向スキャナ６は対物レ
ンズ１２に入射する光の入射角度はＸ方向に偏向され
る。このＸ方向スキャナ６の出射側には、一対のリレー
レンズ７、９とＹ方向スキャナ１０がほぼ一列に配置さ
れており、上記リレーレンズ７、９の間にスリット部材
８が設置されている。スリット部材８はＸ方向スキャナ
６による偏向方向に沿ってスリット孔が形成されてお
り、このスリット孔がピンホール部材３のピンホールと
共役位置になるように配置されている。Ｙ方向スキャナ
１０は対物レンズ１２に入射する光の入射角度をＹ方向
に偏向する。Ｙ方向スキャナ１０の出射側には、結像レ
ンズ１１、対物レンズ１２及び試料１３がほぼ一列に配
置されており、ハーフミラー４を挾みコリメータレンズ
５の反対側にはピンホール部材１４と検出器１５が配列
されている。
顕微鏡の概略図を示すものである。レーザ光源１の光照
射方向に沿って、集光レンズ２、ピンホール部材３及び
ハーフミラー４が配置されている。ハーフミラー４は、
レーザ光源１のレーザ光を９０度方向へ反射できるよう
に傾いて配置されている。このハーフミラー４を中心と
して、レーザ光源１および集光レンズ２などの配列方向
と直交するように、コリメータレンズ５およびＸ方向ス
キャナ６が配置されている。Ｘ方向スキャナ６は対物レ
ンズ１２に入射する光の入射角度はＸ方向に偏向され
る。このＸ方向スキャナ６の出射側には、一対のリレー
レンズ７、９とＹ方向スキャナ１０がほぼ一列に配置さ
れており、上記リレーレンズ７、９の間にスリット部材
８が設置されている。スリット部材８はＸ方向スキャナ
６による偏向方向に沿ってスリット孔が形成されてお
り、このスリット孔がピンホール部材３のピンホールと
共役位置になるように配置されている。Ｙ方向スキャナ
１０は対物レンズ１２に入射する光の入射角度をＹ方向
に偏向する。Ｙ方向スキャナ１０の出射側には、結像レ
ンズ１１、対物レンズ１２及び試料１３がほぼ一列に配
置されており、ハーフミラー４を挾みコリメータレンズ
５の反対側にはピンホール部材１４と検出器１５が配列
されている。
【０００９】以上のように実施例に係る共焦点型レーザ
走査顕微鏡は構成されているので、レーザ光源１から出
射されたレーザ光は集光レンズ２によりピンホール部材
３のピンホールに集光され、その結果、点光源が形成さ
れる。この点光源はハーフミラー４によって反射され、
コリメータレンズ５に入射する。レーザ光はコリメータ
レンズ５により平行光に変わり、この平行光はＸ方向ス
キャナ６に入射する。この入射光はＸ方向スキャナ６に
より対物レンズ１２に対してＸ方向に偏向され、Ｘ方向
スキャナ６の出射光はリレーレンズ７、スリット８、リ
レーレンズ９に送られる。さらに、リレーレンズ９から
の出射光はＹ方向スキャナ１０に入射し、その出射光は
対物レンズ１２に対し入射角度がＹ方向に偏向される。
Ｙ方向スキャナ１０により偏向された出射光は、結像レ
ンズ１１により対物レンズ１２の入射瞳上に結像され、
その後、対物レンズ１２を介して試料１３に照射され
る。この照射光は、Ｘ方向スキャナ６とＹ方向スキャナ
１０によって対物レンズ１２に対しＸ方向とＹ方向に偏
向されているので、試料１３上を２次元的にスキャンす
る。一方、試料１３で反射された反射ビームは試料１３
の光学情報を得て、試料１３に入射した時と全く同じ経
路を逆に辿りスリット部材８を介してハーフミラー４に
到達する。ハーフミラー４に到達したレーザ光は、ハー
フミラー４を通過した後でピンホール部材１４のピンホ
ール上に集められ、点光源が形成された後で検出器１５
に入射する。
走査顕微鏡は構成されているので、レーザ光源１から出
射されたレーザ光は集光レンズ２によりピンホール部材
３のピンホールに集光され、その結果、点光源が形成さ
れる。この点光源はハーフミラー４によって反射され、
コリメータレンズ５に入射する。レーザ光はコリメータ
レンズ５により平行光に変わり、この平行光はＸ方向ス
キャナ６に入射する。この入射光はＸ方向スキャナ６に
より対物レンズ１２に対してＸ方向に偏向され、Ｘ方向
スキャナ６の出射光はリレーレンズ７、スリット８、リ
レーレンズ９に送られる。さらに、リレーレンズ９から
の出射光はＹ方向スキャナ１０に入射し、その出射光は
対物レンズ１２に対し入射角度がＹ方向に偏向される。
Ｙ方向スキャナ１０により偏向された出射光は、結像レ
ンズ１１により対物レンズ１２の入射瞳上に結像され、
その後、対物レンズ１２を介して試料１３に照射され
る。この照射光は、Ｘ方向スキャナ６とＹ方向スキャナ
１０によって対物レンズ１２に対しＸ方向とＹ方向に偏
向されているので、試料１３上を２次元的にスキャンす
る。一方、試料１３で反射された反射ビームは試料１３
の光学情報を得て、試料１３に入射した時と全く同じ経
路を逆に辿りスリット部材８を介してハーフミラー４に
到達する。ハーフミラー４に到達したレーザ光は、ハー
フミラー４を通過した後でピンホール部材１４のピンホ
ール上に集められ、点光源が形成された後で検出器１５
に入射する。
【００１０】この実施例では、リレーレンズ７、９の間
にスリット部材８を設置することにより、スリット部材
８から対物レンズ１２に至るまでの光学系で発生した反
射・散乱光を効率良くカットすることができる。
にスリット部材８を設置することにより、スリット部材
８から対物レンズ１２に至るまでの光学系で発生した反
射・散乱光を効率良くカットすることができる。
【００１１】また、不要な光をカットする働きを持つ共
焦点ピンホール１４の効果が一段と効果的になり、良好
なコントラストの画像を得ることができる。
焦点ピンホール１４の効果が一段と効果的になり、良好
なコントラストの画像を得ることができる。
【００１２】なお、本発明は上記実施例に限定されるも
のではなく、種々の変更が可能である。
のではなく、種々の変更が可能である。
【００１３】
【発明の効果】本発明は、以上説明したように構成され
ているので、レーザ光が多数の光学素子を通過する際の
反射光や散乱光の大半を除去することができる。
ているので、レーザ光が多数の光学素子を通過する際の
反射光や散乱光の大半を除去することができる。
【図１】本発明の一実施例に係る共焦点型レーザ走査顕
微鏡を示す概略図である。
微鏡を示す概略図である。
１…レーザ光源 ２…集光レンズ ３、１４…ピンホール部材 ４…ハーフミラー ５…コリメータレンズ ６…Ｘ方向スキャナ ７、９…リレーレンズ ８…スリット部材 １０…Ｙ方向スキャナ １１…結像レンズ １２…対物レンズ １３…試料 １５…検出器
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.6，ＤＢ名) G02B 21/00 - 21/36
Claims (1)
- 【請求項１】 共焦点型レーザ走査顕微鏡において、光
源と、前記光源から発した光を集光する対物レンズと、
前記光源と前記対物レンズとの間に形成された光路上に
配置され前記対物レンズに入る光の入射角度を変化させ
ることにより物体を走査する一対の光偏向部材と、前記
物体からの光を検出する検出器と、前記一対の光偏向部
材の間に形成された光路上に配置された一対のリレーレ
ンズと、前記一対のリレーレンズの間に形成された光路
上に配置されたスリット部材を有する共焦点型レーザ走
査顕微鏡。
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| US53840590A | 1990-06-15 | 1990-06-15 | |
| US538405 | 1990-06-15 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0618786A JPH0618786A (ja) | 1994-01-28 |
| JP2886691B2 true JP2886691B2 (ja) | 1999-04-26 |
Family
ID=24146807
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP40781090A Expired - Fee Related JP2886691B2 (ja) | 1990-06-15 | 1990-12-27 | 共焦点型レーザ走査顕微鏡 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2886691B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6251101B1 (en) | 1998-06-26 | 2001-06-26 | Visx, Incorporated | Surgical laser system microscope with separated ocular and objective lenses |
| KR20020084786A (ko) * | 2001-05-04 | 2002-11-11 | 이재웅 | 선형 선 스캐닝을 이용하는 공초점 영상 형성 장치 및 방법 |
-
1990
- 1990-12-27 JP JP40781090A patent/JP2886691B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0618786A (ja) | 1994-01-28 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |