JPH05188301A - レーザ顕微鏡 - Google Patents
レーザ顕微鏡Info
- Publication number
- JPH05188301A JPH05188301A JP19379592A JP19379592A JPH05188301A JP H05188301 A JPH05188301 A JP H05188301A JP 19379592 A JP19379592 A JP 19379592A JP 19379592 A JP19379592 A JP 19379592A JP H05188301 A JPH05188301 A JP H05188301A
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- laser
- slit
- laser microscope
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 本発明は、作製費が安価で長期間安定した測
定ができるレーザ顕微鏡を提供する。 【構成】 レーザ光を被測定物に照射してその反射光を
もとに表面形状を観察するレーザ顕微鏡であって、レー
ザ光Ｌを一方向に延びるスリット光ＬS とする円柱レン
ズ３０と、この一方向に延びるスリット光Ｌs の被測定
物Ｒでの反射光ＲＬS を受光する一次元ＣＣＤイメージ
センサ１７とを具備してなり、安定してレーザ光をスリ
ット状に絞り込むことができると共に製作コストも安く
なる。
定ができるレーザ顕微鏡を提供する。 【構成】 レーザ光を被測定物に照射してその反射光を
もとに表面形状を観察するレーザ顕微鏡であって、レー
ザ光Ｌを一方向に延びるスリット光ＬS とする円柱レン
ズ３０と、この一方向に延びるスリット光Ｌs の被測定
物Ｒでの反射光ＲＬS を受光する一次元ＣＣＤイメージ
センサ１７とを具備してなり、安定してレーザ光をスリ
ット状に絞り込むことができると共に製作コストも安く
なる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は共焦点型のレーザ顕微鏡
に関し、特に、作製コストの低減を図り、長期間安定し
て測定でき、かつ測定精度を確保するように工夫したも
のである。
に関し、特に、作製コストの低減を図り、長期間安定し
て測定でき、かつ測定精度を確保するように工夫したも
のである。
【０００２】
【従来の技術】近年、対物レンズと接眼レンズとから構
成される光学顕微鏡の代りに、レーザ光を被測定物に照
射し、その反射光を検出し、画像処理を施して、例えば
生物内部の様子を鮮明に描き出したり、不透明な半導体
の内部状態を画像化するようなレーザ顕微鏡が出現され
ている。このレーザ顕微鏡は焦点のあった面だけの情報
を取り出す「共焦点型」であるため、従来の光学顕微鏡
と比べて、鮮明な像が得られ分解能が優れている。
成される光学顕微鏡の代りに、レーザ光を被測定物に照
射し、その反射光を検出し、画像処理を施して、例えば
生物内部の様子を鮮明に描き出したり、不透明な半導体
の内部状態を画像化するようなレーザ顕微鏡が出現され
ている。このレーザ顕微鏡は焦点のあった面だけの情報
を取り出す「共焦点型」であるため、従来の光学顕微鏡
と比べて、鮮明な像が得られ分解能が優れている。
【０００３】この従来技術に係るレーザ顕微鏡の一例を
図１１に示す。同図に示すように、従来技術に係るレー
ザ顕微鏡１０は、レーザ光（Ｈｅ−Ｎｅレーザ光：波長
０．６３３μｍ）Ｌを出射するレーザ光源部１１と、出
射したレーザ光Ｌを拡大するビームエクスパンダ１２
と、拡大されたレーザ光を一方向に走査したレーザスリ
ット光ＬS とするＡＯ素子１３と、このスリット光ＬS
を被測定物に照射する対物レンズ１４と、被測定物Ｒで
のレーザ走査光ＬS の反射光ＲＬS をビームスプリッタ
１５を介して受光するＨｅ−Ｎｅ用干渉フィルタ１６を
有する一次元受光部としての一次元ＣＣＤイメージセン
サ１７とを具備するものである。ここで上記ＡＯ素子と
は、図１２に示すようにトランスデューサー１８を有す
る光学媒体（二酸化テルル）１９にレーザー光Ｌを入射
させ、光学媒体１９中に発生した超音波２０によってレ
ーザー光回折し、光を偏向させて一方向に走査した光を
得るもので、音響光学偏向素子と称されている。
図１１に示す。同図に示すように、従来技術に係るレー
ザ顕微鏡１０は、レーザ光（Ｈｅ−Ｎｅレーザ光：波長
０．６３３μｍ）Ｌを出射するレーザ光源部１１と、出
射したレーザ光Ｌを拡大するビームエクスパンダ１２
と、拡大されたレーザ光を一方向に走査したレーザスリ
ット光ＬS とするＡＯ素子１３と、このスリット光ＬS
を被測定物に照射する対物レンズ１４と、被測定物Ｒで
のレーザ走査光ＬS の反射光ＲＬS をビームスプリッタ
１５を介して受光するＨｅ−Ｎｅ用干渉フィルタ１６を
有する一次元受光部としての一次元ＣＣＤイメージセン
サ１７とを具備するものである。ここで上記ＡＯ素子と
は、図１２に示すようにトランスデューサー１８を有す
る光学媒体（二酸化テルル）１９にレーザー光Ｌを入射
させ、光学媒体１９中に発生した超音波２０によってレ
ーザー光回折し、光を偏向させて一方向に走査した光を
得るもので、音響光学偏向素子と称されている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】ところで、前述のＡＯ
素子は超音波を発生させる駆動回路等の付属手段が必要
となり、装置の製作費が嵩むと共に、ＡＯ素子の寿命に
も問題があり、長期間に亘って安定したレーザ光回折を
行うことができないという問題がある。
素子は超音波を発生させる駆動回路等の付属手段が必要
となり、装置の製作費が嵩むと共に、ＡＯ素子の寿命に
も問題があり、長期間に亘って安定したレーザ光回折を
行うことができないという問題がある。
【０００５】本発明は以上述べた事情に鑑み、作製コス
トの低減を図り、長期間安定して測定することができる
レーザ顕微鏡を提供することを目的とする。
トの低減を図り、長期間安定して測定することができる
レーザ顕微鏡を提供することを目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】前記目的を達成する本発
明に係るレーザ顕微鏡の構成は、レーザ光を被測定物に
照射してその反射光をもとに表面形状を観察するレーザ
顕微鏡であって、レーザ光源からのレーザ光を一方向に
延びるスリット光とするレーザ光調光手段と、この一方
向に延びるスリット光の被測定物での反射光を受光する
一次元受光部とを具備することを特徴とする。
明に係るレーザ顕微鏡の構成は、レーザ光を被測定物に
照射してその反射光をもとに表面形状を観察するレーザ
顕微鏡であって、レーザ光源からのレーザ光を一方向に
延びるスリット光とするレーザ光調光手段と、この一方
向に延びるスリット光の被測定物での反射光を受光する
一次元受光部とを具備することを特徴とする。
【０００７】また、レーザ光調光手段によってスリット
光としたスリット光路内に拡散板を設けるようにしても
よい。
光としたスリット光路内に拡散板を設けるようにしても
よい。
【０００８】さらに、レーザ光調光手段として平面光導
波路を用い、その出射側のコアの形状を一次元受光部の
受光面の縦横比と同一又は略同一とするようにしてもよ
い。
波路を用い、その出射側のコアの形状を一次元受光部の
受光面の縦横比と同一又は略同一とするようにしてもよ
い。
【０００９】
【作用】前記構成のレーザ顕微鏡において、レーザ光調
光手段によってレーザ光を一方向に延びる絞り込んだス
リット光とし、この絞り込んだスリット光を被測定物に
照射し、ここでの反射光を照射し、ここでの反射光を一
次元受光部で検出する。
光手段によってレーザ光を一方向に延びる絞り込んだス
リット光とし、この絞り込んだスリット光を被測定物に
照射し、ここでの反射光を照射し、ここでの反射光を一
次元受光部で検出する。
【００１０】また、拡散板を設けた場合には、スリット
光の長手方向の開口数を大きくでき測定分解能が向上す
る。
光の長手方向の開口数を大きくでき測定分解能が向上す
る。
【００１１】さらに、平面光導波路を用いた場合出射端
から光が出る際に、ある程度広がって光が出るので上記
拡散板を入れなくても開口数が確保でき、分解能が良好
でかつ光源からの光を効率よく一次元受光部に投射でき
る。
から光が出る際に、ある程度広がって光が出るので上記
拡散板を入れなくても開口数が確保でき、分解能が良好
でかつ光源からの光を効率よく一次元受光部に投射でき
る。
【００１２】
【実施例】以下、本発明の好適な一実施例を図面を参照
して詳細に説明する。
して詳細に説明する。
【００１３】実施例１ 図１は本実施例に係るレーザ顕微鏡の概略図、図２はレ
ーザ顕微鏡のレーザ光絞り込みの概略を示す概説図であ
る。
ーザ顕微鏡のレーザ光絞り込みの概略を示す概説図であ
る。
【００１４】図１に示すように、本実施例に係るレーザ
顕微鏡２０Ａは、レーザ光（Ｈｅ−Ｎｅレーザ光：波長
０．６３３μｍ）Ｌを出射するレーザ光源部１１と、出
射したレーザ光Ｌを拡大するビームエクスパンダ１２
と、拡大されたレーザ光を一方向に延びるスリット光Ｌ
S に絞り込むレーザ光調光手段としての円柱レンズ３０
と、このスリット光ＬS を被測定物Ｒに照射する対物レ
ンズ１４と、被測定物Ｒでのスリット光ＬS の反射光Ｒ
ＬS をビームスプリッタ１５を介して受光するＨｅ−Ｎ
ｅ用干渉フィルタ１６を有する一次元受光部としての一
次元ＣＣＤイメージセンサ１７とを具備するものであ
る。
顕微鏡２０Ａは、レーザ光（Ｈｅ−Ｎｅレーザ光：波長
０．６３３μｍ）Ｌを出射するレーザ光源部１１と、出
射したレーザ光Ｌを拡大するビームエクスパンダ１２
と、拡大されたレーザ光を一方向に延びるスリット光Ｌ
S に絞り込むレーザ光調光手段としての円柱レンズ３０
と、このスリット光ＬS を被測定物Ｒに照射する対物レ
ンズ１４と、被測定物Ｒでのスリット光ＬS の反射光Ｒ
ＬS をビームスプリッタ１５を介して受光するＨｅ−Ｎ
ｅ用干渉フィルタ１６を有する一次元受光部としての一
次元ＣＣＤイメージセンサ１７とを具備するものであ
る。
【００１５】本実施例においてはレーザ光調光手段とし
て円柱レンズ３０を用いて、図２に示すように入射した
レーザ光Ｌの一方向の倍率を変化させ、一方向に延びる
スリット光ＬS を得るようにしている。このように円柱
レンズ３０を用いることにより、常に安定したスリット
光ＬS への絞り込みを行うことができるので、従来用い
られていたＡＯ素子のように超音波を発生させる駆動回
路等の付属手段が不用となり、レーザ顕微鏡の製造コス
トを安価にすることができると共に、光学系だけによる
絞り込みであるため長期間安定した測定を行うことがで
きる。尚、本実施例においては一つの円柱レンズ３０を
用いて一方向に延びるスリット光を得ているが、本発明
はこれに限定されず、複数の円柱レンズの組合せや、複
数の円柱レンズとスリットとの組合せ等、レーザ光を一
方向にスリット光とするものであればいずれを用いても
よい。
て円柱レンズ３０を用いて、図２に示すように入射した
レーザ光Ｌの一方向の倍率を変化させ、一方向に延びる
スリット光ＬS を得るようにしている。このように円柱
レンズ３０を用いることにより、常に安定したスリット
光ＬS への絞り込みを行うことができるので、従来用い
られていたＡＯ素子のように超音波を発生させる駆動回
路等の付属手段が不用となり、レーザ顕微鏡の製造コス
トを安価にすることができると共に、光学系だけによる
絞り込みであるため長期間安定した測定を行うことがで
きる。尚、本実施例においては一つの円柱レンズ３０を
用いて一方向に延びるスリット光を得ているが、本発明
はこれに限定されず、複数の円柱レンズの組合せや、複
数の円柱レンズとスリットとの組合せ等、レーザ光を一
方向にスリット光とするものであればいずれを用いても
よい。
【００１６】一次元受光部で測定するレーザ光としては
上記Ｈｅ−Ｎｅレーザ光（波長０．６３３μｍ）以外に
例えばＡｒレーザ光から特定の波長、例えば０．５１５
μｍ（緑色照明）、０．４８８μｍ（青色照明）の波長
等を必要に応じて用いればよい。
上記Ｈｅ−Ｎｅレーザ光（波長０．６３３μｍ）以外に
例えばＡｒレーザ光から特定の波長、例えば０．５１５
μｍ（緑色照明）、０．４８８μｍ（青色照明）の波長
等を必要に応じて用いればよい。
【００１７】ここで、レーザ顕微鏡においては、図３に
示すように、被測定物Ｒの測定対象表面が集光位置にあ
る場合（図３（Ａ））と、集光位置にない場合（図３
（Ｂ），（Ｃ））とでは、検出器１７が受光する光量の
変化によってその表面形状を測定している。
示すように、被測定物Ｒの測定対象表面が集光位置にあ
る場合（図３（Ａ））と、集光位置にない場合（図３
（Ｂ），（Ｃ））とでは、検出器１７が受光する光量の
変化によってその表面形状を測定している。
【００１８】よって、図４に示すように、集光位置に測
定対象表面があるとき、光量は最大となる。また、この
変化は、照射される光の開口数（Ｎ．Ａ．）が大きい程
急で鋭くなるので、測定分解能は向上する。
定対象表面があるとき、光量は最大となる。また、この
変化は、照射される光の開口数（Ｎ．Ａ．）が大きい程
急で鋭くなるので、測定分解能は向上する。
【００１９】ところで、前述した実施例１に示すよう
に、レーザ光Ｌをレーザ光調光手段である円柱レンズ３
０によってスリット光ＬS とした場合、対象物のある１
点に照射される光はスリット光ＬS の長手方向に直交す
る方向には開口数（Ｎ．Ａ．）が確保されている（図５
（Ａ））が、スリット光の長手方向については開口数
（Ｎ．Ａ．）が極めて小さい（図５（Ｂ））。すなわ
ち、図５（Ｂ）に示す被測定物Ｒにおいては点Ａの部分
はａ1 で示した光路の光のみしか当たらないこととな
る。
に、レーザ光Ｌをレーザ光調光手段である円柱レンズ３
０によってスリット光ＬS とした場合、対象物のある１
点に照射される光はスリット光ＬS の長手方向に直交す
る方向には開口数（Ｎ．Ａ．）が確保されている（図５
（Ａ））が、スリット光の長手方向については開口数
（Ｎ．Ａ．）が極めて小さい（図５（Ｂ））。すなわ
ち、図５（Ｂ）に示す被測定物Ｒにおいては点Ａの部分
はａ1 で示した光路の光のみしか当たらないこととな
る。
【００２０】このため、図４に示すグラフの挙動が穏や
かで鈍くなるため、測定分解能は低下する。
かで鈍くなるため、測定分解能は低下する。
【００２１】そこで、調光手段でスリット光とした後、
当該スリット光を拡散させる拡散板を設け、当該拡散板
を通すことによりスリット光の長手方向の開口数（Ｎ．
Ａ．）を大きくし、測定分解能の低下を防ぐことができ
る。
当該スリット光を拡散させる拡散板を設け、当該拡散板
を通すことによりスリット光の長手方向の開口数（Ｎ．
Ａ．）を大きくし、測定分解能の低下を防ぐことができ
る。
【００２２】この一例を実施例２として説明する。
【００２３】実施例２ 図６は本実施例に係るレーザ顕微鏡の概略図である。
尚、前述した図１に示す実施例１に係るレーザ顕微鏡の
部材と同一部材については同一符号を付してその説明を
省略する。
尚、前述した図１に示す実施例１に係るレーザ顕微鏡の
部材と同一部材については同一符号を付してその説明を
省略する。
【００２４】図６に示すように、本実施例に係るレーザ
顕微鏡２０Ｂはレーザ光Ｌをスリット光ＬS に絞り込む
円柱レンズ３０と、ビームスプリッタ１５との間のスリ
ット光路内に拡散板（本実施例ではスリガラス）３１を
介装させており、レーザ光Ｌが一方向に延びたスリット
光ＬS となった後に、当該スリット光ＬS を拡散させて
いる。
顕微鏡２０Ｂはレーザ光Ｌをスリット光ＬS に絞り込む
円柱レンズ３０と、ビームスプリッタ１５との間のスリ
ット光路内に拡散板（本実施例ではスリガラス）３１を
介装させており、レーザ光Ｌが一方向に延びたスリット
光ＬS となった後に、当該スリット光ＬS を拡散させて
いる。
【００２５】この結果、拡散板３１を通すことによっ
て、対象物表面の各点に投射されるスリット光ＬS の長
手方向の開口数（Ｎ．Ａ．）を大きくでき、測定分解能
の向上が図れる（図７（Ａ），（Ｂ）参照）。
て、対象物表面の各点に投射されるスリット光ＬS の長
手方向の開口数（Ｎ．Ａ．）を大きくでき、測定分解能
の向上が図れる（図７（Ａ），（Ｂ）参照）。
【００２６】前述した実施例２においては拡散板を用い
て開口数を大きくするようにしていたが、光源からの光
のごく一部しか対象物上に投射されなくなり、効率が悪
くなる。そこで調光手段として平面光導波路を用い、出
射端から光が出る際にある程度光が広がることを利用し
て、拡散板を入れる代わりに開口数を確保し、分解能の
向上及び光源からの光を効率よく対象物表面に投射する
ことができる。
て開口数を大きくするようにしていたが、光源からの光
のごく一部しか対象物上に投射されなくなり、効率が悪
くなる。そこで調光手段として平面光導波路を用い、出
射端から光が出る際にある程度光が広がることを利用し
て、拡散板を入れる代わりに開口数を確保し、分解能の
向上及び光源からの光を効率よく対象物表面に投射する
ことができる。
【００２７】この一例を実施例３として説明する。
【００２８】実施例３ 図８は本実施例に係るレーザ顕微鏡の概略図である。
尚、前述した図１に示す実施例１に係るレーザ顕微鏡の
部材と同一部材については同一符号を付してその説明を
省略する。
尚、前述した図１に示す実施例１に係るレーザ顕微鏡の
部材と同一部材については同一符号を付してその説明を
省略する。
【００２９】図８に示すように、本実施例に係るレーザ
顕微鏡２０Ｃはレーザ光Ｌをスリット光ＬS に絞り込む
調光手段として平面光導波路３２を用いており、レーザ
光Ｌを一方向に延びたスリット光ＬS としている。尚、
平面光導波路３２へレーザ光Ｌを導くためビームエクス
パンダ１２の構成を円柱凹レンズ１２ａと凸レンズ１２
ｂとからなるようにしている。また、図９に示すよう
に、この平面光導波路３２の出射側のコア３３の形状の
縦横比（ａ／ｂ）を一次元受光部としてのＣＣＤイメー
ジセンサ１７の受光面１７ａの縦横比（ａ′／ｂ′）と
同一又は略同一としている。
顕微鏡２０Ｃはレーザ光Ｌをスリット光ＬS に絞り込む
調光手段として平面光導波路３２を用いており、レーザ
光Ｌを一方向に延びたスリット光ＬS としている。尚、
平面光導波路３２へレーザ光Ｌを導くためビームエクス
パンダ１２の構成を円柱凹レンズ１２ａと凸レンズ１２
ｂとからなるようにしている。また、図９に示すよう
に、この平面光導波路３２の出射側のコア３３の形状の
縦横比（ａ／ｂ）を一次元受光部としてのＣＣＤイメー
ジセンサ１７の受光面１７ａの縦横比（ａ′／ｂ′）と
同一又は略同一としている。
【００３０】この結果、平面光導波路３２を通すことに
よって、対象物表面の各点に投射されるスリット光ＬS
の長手方向の開口数（Ｎ．Ａ．）を大きくでき、測定分
解能の向上が図れる（図１０（Ａ），（Ｂ）参照）。
よって、対象物表面の各点に投射されるスリット光ＬS
の長手方向の開口数（Ｎ．Ａ．）を大きくでき、測定分
解能の向上が図れる（図１０（Ａ），（Ｂ）参照）。
【００３１】尚、実施例１の構成のレーザ顕微鏡２０Ａ
の円柱レンズ３０とビームスプリッタ１５との間に平面
光導波路３２を設けて、開口数を確保するようにしても
よい。
の円柱レンズ３０とビームスプリッタ１５との間に平面
光導波路３２を設けて、開口数を確保するようにしても
よい。
【００３２】
【発明の効果】以上実施例と共に述べたように本発明に
係るレーザ顕微鏡は、レーザ光を一方向に延びるスリッ
ト光に絞り込む例えば円柱レンズに代表されるレーザ光
調光手段を用いているので、常に安定してレーザ光を絞
り込むことができると共に、レーザ顕微鏡の製造コスト
を安価にすることができる。
係るレーザ顕微鏡は、レーザ光を一方向に延びるスリッ
ト光に絞り込む例えば円柱レンズに代表されるレーザ光
調光手段を用いているので、常に安定してレーザ光を絞
り込むことができると共に、レーザ顕微鏡の製造コスト
を安価にすることができる。
【００３３】また、対象物表面に照射するスリット光の
開口数（Ｎ．Ａ．）を拡散板を通すことによって大きく
することで、表面形状測定の分解能の向上を図ることが
できる。
開口数（Ｎ．Ａ．）を拡散板を通すことによって大きく
することで、表面形状測定の分解能の向上を図ることが
できる。
【００３４】さらに、拡散板を設ける代わりに、平面光
導波路を用いた場合には、出射端から光が出る際にある
程度広がって光が出るので、上記拡散板を入れなくても
開口数が確保でき、分解能が良好でかつ光源からの光を
効率よく一次元受光部に投射できる。
導波路を用いた場合には、出射端から光が出る際にある
程度広がって光が出るので、上記拡散板を入れなくても
開口数が確保でき、分解能が良好でかつ光源からの光を
効率よく一次元受光部に投射できる。
【図１】レーザ顕微鏡の概略図である。
【図２】レーザ顕微鏡のレーザ光絞り込みの概略図であ
る。
る。
【図３】レーザ顕微鏡の表面形状の測定原理を示す概略
図である。
図である。
【図４】焦点位置前後での光量変化を示すグラフであ
る。
る。
【図５】レーザ顕微鏡光学系において拡散板を入れない
場合の概略図である。
場合の概略図である。
【図６】実施例２に係るレーザ顕微鏡の概略図である。
【図７】レーザ顕微鏡光学系において拡散板を入れた場
合の概略図である。
合の概略図である。
【図８】実施例３に係るレーザ顕微鏡の概略図である。
【図９】平面光導波及びＣＣＤ受光部の概略図である。
【図１０】レーザ顕微鏡光学系において拡散板を入れた
場合の概略図である。
場合の概略図である。
【図１１】従来のレーザ顕微鏡の概略図である。
【図１２】ＡＯ素子の概略図である。
１０，２０Ａ，２０Ｂ レーザ顕微鏡 １１ レーザ光（Ｈｅ−Ｎｅレーザ光） １２ ビームエクスパンダ １３ ＡＯ素子 １４ 対物レンズ １５ ビームスプリッタ １６ Ｈｅ−Ｎｅ用干渉フィルタ １７ 一次元ＣＣＤイメージセンサ １８ トランスデューサ １９ 光源媒体 ２０ 超音波 ３０ 円柱レンズ ３１ 拡散板 ３２ 平面光導波路 Ｌ レーザ光 Ｒ 被測定物 ＬS スリット光 ＲＬS 反射光
Claims (3)
- 【請求項１】 レーザ光を被測定物に照射してその反射
光をもとに表面形状を観察するレーザ顕微鏡であって、
レーザ光源からのレーザ光を一方向に延びるスリット光
とするレーザ光調光手段と、この一方向に延びるスリッ
ト光の被測定物での反射光を受光する一次元受光部とを
具備することを特徴とするレーザ顕微鏡。 - 【請求項２】 請求項１のレーザ顕微鏡において、レー
ザ光調光手段によってスリット光としたスリット光路内
に拡散板を設けたことを特徴とするレーザ顕微鏡。 - 【請求項３】 請求項１のレーザ顕微鏡において、レー
ザ光調光手段として平面光導波路を用い、その出射側の
コアの形状を一次元受光部の受光面の縦横比と同一又は
略同一とすることを特徴とするレーザ顕微鏡。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19379592A JPH05188301A (ja) | 1991-09-09 | 1992-07-21 | レーザ顕微鏡 |
Applications Claiming Priority (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP22918991 | 1991-09-09 | ||
| JP3-229189 | 1991-09-09 | ||
| JP19379592A JPH05188301A (ja) | 1991-09-09 | 1992-07-21 | レーザ顕微鏡 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05188301A true JPH05188301A (ja) | 1993-07-30 |
Family
ID=26508105
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP19379592A Withdrawn JPH05188301A (ja) | 1991-09-09 | 1992-07-21 | レーザ顕微鏡 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH05188301A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2001027728A (ja) * | 1999-07-15 | 2001-01-30 | Yokogawa Electric Corp | 共焦点光スキャナ |
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1992
- 1992-07-21 JP JP19379592A patent/JPH05188301A/ja not_active Withdrawn
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