JP2001235684A - 共焦点走査型顕微鏡 - Google Patents
共焦点走査型顕微鏡Info
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Abstract
(57)【要約】
【課題】高い信号出力および高い信号対雑音比が簡素な
手段を用いて実現される冒頭に述べた種類の顕微鏡設計
の特性を備えることにある。 【解決手段】特に、励起光（２）を用いて検査対象であ
る対象物（６）を照射するための光源（１）および形成
される検出光を示す少なくとも２つの検出チャネル
（８，９）を有する共焦点走査型顕微鏡のための顕微鏡
設計は、高い信号出力および高い信号対雑音比に関し
て、少なくとも２つの検出チャネルが重ね合わせ装置
（１１，１２，１３，１５，１７，１８）によって、光
学的に重ね合わされることができるように構成される。
手段を用いて実現される冒頭に述べた種類の顕微鏡設計
の特性を備えることにある。 【解決手段】特に、励起光（２）を用いて検査対象であ
る対象物（６）を照射するための光源（１）および形成
される検出光を示す少なくとも２つの検出チャネル
（８，９）を有する共焦点走査型顕微鏡のための顕微鏡
設計は、高い信号出力および高い信号対雑音比に関し
て、少なくとも２つの検出チャネルが重ね合わせ装置
（１１，１２，１３，１５，１７，１８）によって、光
学的に重ね合わされることができるように構成される。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、励起光を用いて検
査対象である対象物を照射するための光源および形成さ
れた検出光を示している少なくとも２つの検出チャネル
を有する共焦点走査型顕微鏡に関する。
査対象である対象物を照射するための光源および形成さ
れた検出光を示している少なくとも２つの検出チャネル
を有する共焦点走査型顕微鏡に関する。
【０００２】
【従来の技術】共焦点顕微鏡は実際に公知であり、さま
ざまな実施形態が存在する。検査される対象物は、光ビ
ームまたは励起光の助けによって走査される。顕微鏡は
一般に、光源および光源からの光がピンホール絞りの上
に焦点を結ぶようにするための集束光学系を含む。この
場合には、ビームスプリッタ、ビーム制御用の走査装
置、顕微鏡光学系、検出絞り、検出光および／または蛍
光を検出するための検出器が設けられる。
ざまな実施形態が存在する。検査される対象物は、光ビ
ームまたは励起光の助けによって走査される。顕微鏡は
一般に、光源および光源からの光がピンホール絞りの上
に焦点を結ぶようにするための集束光学系を含む。この
場合には、ビームスプリッタ、ビーム制御用の走査装
置、顕微鏡光学系、検出絞り、検出光および／または蛍
光を検出するための検出器が設けられる。
【０００３】照射光は一般に、ビームスプリッタを介し
て結合される。光ビームの焦点は、同一平面にある走査
装置の助けによって移動される。このために、傾斜され
た２枚のミラーを使用することが慣例であり、偏光軸は
一般に、互いに垂直に位置するため、一方のミラーはＸ
軸方向に偏光し、他方のミラーはＹ軸方向に偏光する。
このような一般に従来のデスキャンニング装置におい
て、試料から来る蛍光または反射光は、同一の走査ミラ
ーによってビームスプリッタへ戻され、次に検出器が位
置する下流の検出絞りの上に焦点を結ぶようにするため
に、ビームスプリッタを通過する。焦点領域から直接出
ていない検出光は、異なる光経路をとり、検出絞りを通
過しない。
て結合される。光ビームの焦点は、同一平面にある走査
装置の助けによって移動される。このために、傾斜され
た２枚のミラーを使用することが慣例であり、偏光軸は
一般に、互いに垂直に位置するため、一方のミラーはＸ
軸方向に偏光し、他方のミラーはＹ軸方向に偏光する。
このような一般に従来のデスキャンニング装置におい
て、試料から来る蛍光または反射光は、同一の走査ミラ
ーによってビームスプリッタへ戻され、次に検出器が位
置する下流の検出絞りの上に焦点を結ぶようにするため
に、ビームスプリッタを通過する。焦点領域から直接出
ていない検出光は、異なる光経路をとり、検出絞りを通
過しない。
【０００４】蛍光または透過光用の光透過装置におい
て、集光器側で検出することもできる。この場合には、
検出光ビームは、走査ミラーを介して検出器に伝達され
ない。このような装置は、非デスキャニング（non-desc
annnig）装置として示されている。
て、集光器側で検出することもできる。この場合には、
検出光ビームは、走査ミラーを介して検出器に伝達され
ない。このような装置は、非デスキャニング（non-desc
annnig）装置として示されている。
【０００５】したがって、検出対象の蛍光は、集光領域
から圧倒的な割合の高い確率で生じることから、絞り装
置の助けによって、隣接領域からの蛍光光子および集光
領域からの蛍光光子をさらに微分する必要がない。しか
し、透過光の検出および／または蛍光の集光器側の検出
も、単一光子励起の場合には有用である場合もある。
から圧倒的な割合の高い確率で生じることから、絞り装
置の助けによって、隣接領域からの蛍光光子および集光
領域からの蛍光光子をさらに微分する必要がない。しか
し、透過光の検出および／または蛍光の集光器側の検出
も、単一光子励起の場合には有用である場合もある。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】ところで、欧州特許公
開第０ ６２７ ６４３ Ａ１号から、デスキャニング
検出器および非デスキャニング検出器の信号の電子増加
によって、信号出力を増大することが知られている。し
たがって、この場合には、２つの検出チャネルは、電子
的に重ね合わされる。信号の電子的な重ね合わせは、複
雑であり、遅い。特に、使用される検出器は、複雑な方
法で設定されなければならない。
開第０ ６２７ ６４３ Ａ１号から、デスキャニング
検出器および非デスキャニング検出器の信号の電子増加
によって、信号出力を増大することが知られている。し
たがって、この場合には、２つの検出チャネルは、電子
的に重ね合わされる。信号の電子的な重ね合わせは、複
雑であり、遅い。特に、使用される検出器は、複雑な方
法で設定されなければならない。
【０００７】この発明は、上述した事情に鑑み、高い信
号出力および高い信号対雑音比が簡素な手段を用いて実
現される冒頭に述べた種類の顕微鏡設計の特性を備える
ことにある。
号出力および高い信号対雑音比が簡素な手段を用いて実
現される冒頭に述べた種類の顕微鏡設計の特性を備える
ことにある。
【０００８】
【課題を解決するための手段】上述した課題を解決する
ため、この発明の共焦点走査型顕微鏡では、励起光
（２）を用いて対象物（６）を照射するための光源およ
び少なくとも１つの検出器（１９，２０，２３，２４）
を備えた少なくとも１つの検出器組立品を備え、前記検
出光が前記励起光（２）によって前記対象物（６）で発
生され、前記検出光が少なくとも第１および第２の検出
チャネル（８，９）を規定し、重ね合わせ装置（１１，
１２，１３，１５，１７，１８，２１，２２，２５，２
６，２７）が、前記第１および第２の検出チャネル
（８，９）を光学的に重ね合わせるために設けられてい
る。
ため、この発明の共焦点走査型顕微鏡では、励起光
（２）を用いて対象物（６）を照射するための光源およ
び少なくとも１つの検出器（１９，２０，２３，２４）
を備えた少なくとも１つの検出器組立品を備え、前記検
出光が前記励起光（２）によって前記対象物（６）で発
生され、前記検出光が少なくとも第１および第２の検出
チャネル（８，９）を規定し、重ね合わせ装置（１１，
１２，１３，１５，１７，１８，２１，２２，２５，２
６，２７）が、前記第１および第２の検出チャネル
（８，９）を光学的に重ね合わせるために設けられてい
る。
【０００９】
【発明の実施の形態】図１は、概略図における本発明に
よる共焦点顕微鏡の第１の代表的な実施形態を示してい
る。共焦点顕微鏡は、レーザとして設計される光源１を
有する。光源１は、メインビームスプリッタ３によって
走査装置４へ反射される励起光２を放射する。走査装置
４は、顕微鏡光学系または対物レンズ５によって、対象
物６を通るように励起光ビーム２を誘導する。対象物６
を通過する透過光も対象物６で形成される蛍光も、途中
で集光器側の検出光８を形成する集光器７を通過する。
対象物６によって反射される励起光２および対象物６で
形成される蛍光は、対物レンズ側の検出光９を形成す
る。
よる共焦点顕微鏡の第１の代表的な実施形態を示してい
る。共焦点顕微鏡は、レーザとして設計される光源１を
有する。光源１は、メインビームスプリッタ３によって
走査装置４へ反射される励起光２を放射する。走査装置
４は、顕微鏡光学系または対物レンズ５によって、対象
物６を通るように励起光ビーム２を誘導する。対象物６
を通過する透過光も対象物６で形成される蛍光も、途中
で集光器側の検出光８を形成する集光器７を通過する。
対象物６によって反射される励起光２および対象物６で
形成される蛍光は、対物レンズ側の検出光９を形成す
る。
【００１０】さらに、集光器側の検出光８は、偏光ミラ
ー１０によって検出光８を光ファイバ１２に放射する放
射光学系１１に達する。光ファイバ１２の先端に、出力
光学系１３が設けられ、ミラー１５によってカラービー
ムスプリッタ１６に反射される出力検出光１４をそこか
ら生じる。また、対物レンズ側の検出光９がカラービー
ムスプリッタ１６へ反射され、走査装置４によって誘導
される。換言すれば、検出光９は、デスキャニング光経
路によって伝達される。
ー１０によって検出光８を光ファイバ１２に放射する放
射光学系１１に達する。光ファイバ１２の先端に、出力
光学系１３が設けられ、ミラー１５によってカラービー
ムスプリッタ１６に反射される出力検出光１４をそこか
ら生じる。また、対物レンズ側の検出光９がカラービー
ムスプリッタ１６へ反射され、走査装置４によって誘導
される。換言すれば、検出光９は、デスキャニング光経
路によって伝達される。
【００１１】カラービームスプリッタ１６は、集束光学
系１７によって検出器１９へ光のスペクトルの低い方の
波長領域を反射する。検出光のスペクトルの高い方の波
長成分は、集束光学系１８によって検出器２０に達す
る。この場合には、２つの検出器１９，２０を備え、冒
頭に述べた種類の従来の顕微鏡設計の場合にはすでに存
在するデスキャニング検出器組立品が、利用される。
系１７によって検出器１９へ光のスペクトルの低い方の
波長領域を反射する。検出光のスペクトルの高い方の波
長成分は、集束光学系１８によって検出器２０に達す
る。この場合には、２つの検出器１９，２０を備え、冒
頭に述べた種類の従来の顕微鏡設計の場合にはすでに存
在するデスキャニング検出器組立品が、利用される。
【００１２】図１に示された代表的な実施形態におい
て、対象物の後部に放射される透過光および蛍光は、光
ファイバ１２の助けによってすでに存在する検出器１
９，２０に誘導され、走査装置４によって移動している
反射光および蛍光と共に、そこで検出される。
て、対象物の後部に放射される透過光および蛍光は、光
ファイバ１２の助けによってすでに存在する検出器１
９，２０に誘導され、走査装置４によって移動している
反射光および蛍光と共に、そこで検出される。
【００１３】このような２つの検出器１９，２０の場合
には、カラービームスプリッタ１６の助けによって検出
器１９，２０に供給される異なる波長の光が利用され
る。この場合には、検出器に誘導される透過光および対
象物の後部で放射される蛍光の波長領域は、この検出器
で検出される反射光または蛍光の波長領域に対応するこ
とが好ましい。
には、カラービームスプリッタ１６の助けによって検出
器１９，２０に供給される異なる波長の光が利用され
る。この場合には、検出器に誘導される透過光および対
象物の後部で放射される蛍光の波長領域は、この検出器
で検出される反射光または蛍光の波長領域に対応するこ
とが好ましい。
【００１４】換言すれば、検査される対象物６を照射す
るために励起光２を使用する光源１および形成される検
出光８，９を表している少なくとも２つの検出チャネル
を有する共焦点顕微鏡が、実現される。この場合には、
一方の検出チャネルは検出光８を表し、他方のチャネル
は検出光９を表す。高い信号出力および高い信号対雑音
比に関して、共焦点顕微鏡は、少なくとも２つの検出チ
ャネルが重ね合わせ装置によって光学的に重ね合わせる
ことができるような方法で構成される。図１によれば、
具体的に言えば、重ね合わせ装置は、放射光学系１１、
光ファイバ１２、出力光学系１３、ミラー１５、集束光
学系１７および集束光学系１８を有する。
るために励起光２を使用する光源１および形成される検
出光８，９を表している少なくとも２つの検出チャネル
を有する共焦点顕微鏡が、実現される。この場合には、
一方の検出チャネルは検出光８を表し、他方のチャネル
は検出光９を表す。高い信号出力および高い信号対雑音
比に関して、共焦点顕微鏡は、少なくとも２つの検出チ
ャネルが重ね合わせ装置によって光学的に重ね合わせる
ことができるような方法で構成される。図１によれば、
具体的に言えば、重ね合わせ装置は、放射光学系１１、
光ファイバ１２、出力光学系１３、ミラー１５、集束光
学系１７および集束光学系１８を有する。
【００１５】検出光８および検出光９の蛍光のスペクト
ルの低い法の波長領域は、検出器組立品において光学的
に重ね合わせられる。さらに、透過光および反射光は、
検出器組立品において光学的に重ね合わせられる。
ルの低い法の波長領域は、検出器組立品において光学的
に重ね合わせられる。さらに、透過光および反射光は、
検出器組立品において光学的に重ね合わせられる。
【００１６】図２は、本発明による共焦点顕微鏡の第２
の代表的な実施形態の概略側面図を示している。基本的
な部品について、共焦点顕微鏡は、図１にすでに示され
た第１の代表的な実施形態に対応する。このため、２つ
の代表的な実施形態の同一の構成要素は、同一の参照符
号を用いて標記される。
の代表的な実施形態の概略側面図を示している。基本的
な部品について、共焦点顕微鏡は、図１にすでに示され
た第１の代表的な実施形態に対応する。このため、２つ
の代表的な実施形態の同一の構成要素は、同一の参照符
号を用いて標記される。
【００１７】図２に示される第２の代表的な実施形態
は、追加の非デスキャニング検出器組立品を備えた共焦
点顕微鏡である。この場合には、走査装置４を通過する
前に、検出光９は、第１の検出チャネルから非デスキャ
ニング検出器組立品へ誘導される。このために、走査装
置４と対物レンズ５との間に、検出光９を本来のビーム
経路から出力するカラービームスプリッタ２１が配置さ
れる。
は、追加の非デスキャニング検出器組立品を備えた共焦
点顕微鏡である。この場合には、走査装置４を通過する
前に、検出光９は、第１の検出チャネルから非デスキャ
ニング検出器組立品へ誘導される。このために、走査装
置４と対物レンズ５との間に、検出光９を本来のビーム
経路から出力するカラービームスプリッタ２１が配置さ
れる。
【００１８】検出光９をさらに誘導するために、対物レ
ンズ側に放射される検出光９を検出器組立品にあるカラ
ービームスプリッタ１６へさらに誘導するミラー２２が
設けられる。集光器側に放射され、対象物６で形成され
る透過光および蛍光を表す検出光８の結合は、図１に示
される第１の代表的な実施形態との類似物によって実現
される。第１の代表的な実施形態で使用される検出器１
９，２０の代わりに、図２に示される代表的な実施形態
では検出器２３，２４が使用される。
ンズ側に放射される検出光９を検出器組立品にあるカラ
ービームスプリッタ１６へさらに誘導するミラー２２が
設けられる。集光器側に放射され、対象物６で形成され
る透過光および蛍光を表す検出光８の結合は、図１に示
される第１の代表的な実施形態との類似物によって実現
される。第１の代表的な実施形態で使用される検出器１
９，２０の代わりに、図２に示される代表的な実施形態
では検出器２３，２４が使用される。
【００１９】検出チャネルの光学的な重ね合わせの場合
には、一方には光ファイバ１２を、他方にはミラー２２
を備えたミラー装置を利用する組合せが実現される。
には、一方には光ファイバ１２を、他方にはミラー２２
を備えたミラー装置を利用する組合せが実現される。
【００２０】図３は、本発明による共焦点顕微鏡の第３
の代表的な実施形態の概略図を示している。図３に示さ
れた第３の代表的な実施形態は、図２に示された第２の
代表的な実施形態の類似品によって設計される。唯一の
違いは、対物レンズ側に放射される検出光９がミラーに
よってではなく、放射光学系２５、光ファイバ２６およ
び出力光学系２７によって非デスキャニング検出器組立
品に誘導されることである。その他の点では、第３の代
表的な実施形態の設計は、第２の代表的な実施形態の設
計に対応する。
の代表的な実施形態の概略図を示している。図３に示さ
れた第３の代表的な実施形態は、図２に示された第２の
代表的な実施形態の類似品によって設計される。唯一の
違いは、対物レンズ側に放射される検出光９がミラーに
よってではなく、放射光学系２５、光ファイバ２６およ
び出力光学系２７によって非デスキャニング検出器組立
品に誘導されることである。その他の点では、第３の代
表的な実施形態の設計は、第２の代表的な実施形態の設
計に対応する。
【００２１】検出器１９，２０は、第２の代表的な実施
形態および第３の代表的な実施形態のいずれでも使用さ
れない。
形態および第３の代表的な実施形態のいずれでも使用さ
れない。
【００２２】放射光学系および出力光学系１１，１３，
２５，２７は一般に、レンズを有する。
２５，２７は一般に、レンズを有する。
【００２３】図１に示される第１の代表的な実施形態に
おいて、重ね合わせ装置は、放射光学系１１、光ファイ
バ１２、出力光学系１３、ミラー１５、集束光学系１７
および集束光学系１８によって形成される。図２に示さ
れる第２の代表的な実施形態において、これらの構成要
素に、さらにカラービームスプリッタ２１およびミラー
２２が加わる。図３に示される第３の代表的な実施形態
において、重ね合わせ装置の場合の図２に示される第２
の代表的な実施形態と比較した場合、ミラー２２は、放
射光学系２５、光ファイバ２６および出力光学系２７に
よって置換される。
おいて、重ね合わせ装置は、放射光学系１１、光ファイ
バ１２、出力光学系１３、ミラー１５、集束光学系１７
および集束光学系１８によって形成される。図２に示さ
れる第２の代表的な実施形態において、これらの構成要
素に、さらにカラービームスプリッタ２１およびミラー
２２が加わる。図３に示される第３の代表的な実施形態
において、重ね合わせ装置の場合の図２に示される第２
の代表的な実施形態と比較した場合、ミラー２２は、放
射光学系２５、光ファイバ２６および出力光学系２７に
よって置換される。
【００２４】なお、好都合な方法で本発明の教示を構成
および展開するさまざまな可能性がある。このために、
図面を参照されたい。
および展開するさまざまな可能性がある。このために、
図面を参照されたい。
【００２５】本発明の目的は、本願明細書の請求項の特
徴、すなわち、励起光２を用いて対象物６を照射するた
めの光源および少なくとも１つの検出器１９，２０，２
３，２４を備えた少なくとも１つの検出器組立品を備
え、前記検出光が前記励起光２によって前記対象物６で
発生され、前記検出光が少なくとも第１および第２の検
出チャネル８，９を規定し、重ね合わせ装置１１，１
２，１３，１５，１７，１８，２１，２２，２５，２
６，２７が、前記第１および第２の検出チャネル８，９
を光学的に重ね合わせるために設けられるという特徴を
有する顕微鏡設計によって実現される。
徴、すなわち、励起光２を用いて対象物６を照射するた
めの光源および少なくとも１つの検出器１９，２０，２
３，２４を備えた少なくとも１つの検出器組立品を備
え、前記検出光が前記励起光２によって前記対象物６で
発生され、前記検出光が少なくとも第１および第２の検
出チャネル８，９を規定し、重ね合わせ装置１１，１
２，１３，１５，１７，１８，２１，２２，２５，２
６，２７が、前記第１および第２の検出チャネル８，９
を光学的に重ね合わせるために設けられるという特徴を
有する顕微鏡設計によって実現される。
【００２６】本発明の利点は、重ね合わせ装置によっ
て、少なくとも２つの検出チャネルの光学的な重ね合わ
せを実現することである。この場合には、使用される検
出器の複雑な設定は排除される。最後に、光学的な重ね
合わせは、従来の電子追加技術に比べて、迅速な重ね合
わせまたは追加技術を提供する。
て、少なくとも２つの検出チャネルの光学的な重ね合わ
せを実現することである。この場合には、使用される検
出器の複雑な設定は排除される。最後に、光学的な重ね
合わせは、従来の電子追加技術に比べて、迅速な重ね合
わせまたは追加技術を提供する。
【００２７】具体的に言えば、少なくとも２つの検出チ
ャネルの検出光は、少なくとも１つの検出器を有する共
通の検出器組立品で検出されてもよい。しかし、共通の
検出器組立品において３つ以上の検出チャネルを検出す
ることもできると思われる。
ャネルの検出光は、少なくとも１つの検出器を有する共
通の検出器組立品で検出されてもよい。しかし、共通の
検出器組立品において３つ以上の検出チャネルを検出す
ることもできると思われる。
【００２８】しかし、構造的に特に簡素な設計におい
て、検出チャネルの検出光の場合には検出器組立品で光
学的に重ね合わせられることができると思われる。この
場合には、個別の検出チャネルの検出光は、適切な方法
で検出器組立品に供給される。
て、検出チャネルの検出光の場合には検出器組立品で光
学的に重ね合わせられることができると思われる。この
場合には、個別の検出チャネルの検出光は、適切な方法
で検出器組立品に供給される。
【００２９】検出器組立品は、デスキャニング検出器組
立品であってもよく、顕微鏡設計においてすでに存在す
ることが多いデスキャニング検出器組立品の光学的な重
ね合わせを利用するために、実際的な方法で実現される
ことができる。したがって、追加的な検出器組立品は必
要とされない。
立品であってもよく、顕微鏡設計においてすでに存在す
ることが多いデスキャニング検出器組立品の光学的な重
ね合わせを利用するために、実際的な方法で実現される
ことができる。したがって、追加的な検出器組立品は必
要とされない。
【００３０】検出器組立品はまた、非デスキャニング検
出器組立品として使用されてもよい。この場合には、す
べての検出チャネルの検出光を検出することができるよ
うな別の組立品を設けるために、本来、デスキャニング
検出器組立品を備えている従来の顕微鏡設計を拡大する
場合に、検出器組立品が必要とされると思われる。
出器組立品として使用されてもよい。この場合には、す
べての検出チャネルの検出光を検出することができるよ
うな別の組立品を設けるために、本来、デスキャニング
検出器組立品を備えている従来の顕微鏡設計を拡大する
場合に、検出器組立品が必要とされると思われる。
【００３１】本発明の一実施形態において、第１の検出
チャネルは、光源に面している対象物の側に放射される
検出光を表してもよく、第２のチャネルは、光源とは反
対方向の対象物の側に放射される検出光を表してもよ
い。第１および第２の検出チャネルは、重ね合わせ装置
によってデスキャニング装置に誘導される。
チャネルは、光源に面している対象物の側に放射される
検出光を表してもよく、第２のチャネルは、光源とは反
対方向の対象物の側に放射される検出光を表してもよ
い。第１および第２の検出チャネルは、重ね合わせ装置
によってデスキャニング装置に誘導される。
【００３２】別の実施形態において、第１の検出チャネ
ルの検出光および第２の検出チャネルの検出光の両方
が、重ね合わせ装置によって検出器組立品に誘導され
る。この場合には、検出器組立品が、デスキャニング検
出器組立品のほかに設けられる。
ルの検出光および第２の検出チャネルの検出光の両方
が、重ね合わせ装置によって検出器組立品に誘導され
る。この場合には、検出器組立品が、デスキャニング検
出器組立品のほかに設けられる。
【００３３】検出対象の波長領域の数に応じて、異なる
波長領域を検出することができる複数の検出器を設ける
ことが可能であると思われる。
波長領域を検出することができる複数の検出器を設ける
ことが可能であると思われる。
【００３４】重ね合わせ装置は、検出チャネルの信頼性
の高い重ね合わせを確実に行うために、光誘導装置を備
えていてもよい。光誘導装置は、光ファイバであっても
よい。この場合には、特に、ガラスファイバを使用する
ことができる。特に、光誘導装置は、開口数が大きいこ
とが好ましい液体光導体を備えていてもよい。このよう
な光誘導装置は、柔軟性に富み、扱いやすい。
の高い重ね合わせを確実に行うために、光誘導装置を備
えていてもよい。光誘導装置は、光ファイバであっても
よい。この場合には、特に、ガラスファイバを使用する
ことができる。特に、光誘導装置は、開口数が大きいこ
とが好ましい液体光導体を備えていてもよい。このよう
な光誘導装置は、柔軟性に富み、扱いやすい。
【００３５】別の実施形態において、光誘導装置は、少
なくとも１つのミラーを備えていてもよい。１つ以上の
レンズが、ミラーまたは複数のミラーに割当てられても
よい。
なくとも１つのミラーを備えていてもよい。１つ以上の
レンズが、ミラーまたは複数のミラーに割当てられても
よい。
【００３６】検出光の特に選択的な検出に関して、検出
器組立品には、検出光を異なる波長領域に分割するため
の光分割装置を割当ててもよい。
器組立品には、検出光を異なる波長領域に分割するため
の光分割装置を割当ててもよい。
【００３７】光分割装置において、カラービームスプリ
ッタまたはミラーの利用の別法として、たとえば、ドイ
ツ特許公開第１９９ ０２ ６２５ Ａ１号に記載され
るマルチバンド検出器を分割のために使用することも可
能であると思われる。蛍光を複数のスペクトル領域に分
割することはまた、このようなマルチバンド検出器の助
けによって行うこともできる。
ッタまたはミラーの利用の別法として、たとえば、ドイ
ツ特許公開第１９９ ０２ ６２５ Ａ１号に記載され
るマルチバンド検出器を分割のために使用することも可
能であると思われる。蛍光を複数のスペクトル領域に分
割することはまた、このようなマルチバンド検出器の助
けによって行うこともできる。
【００３８】
【発明の効果】以上で説明したように、この発明の共焦
点走査型顕微鏡では、励起光を用いて対象物を照射する
ための光源および少なくとも１つの検出器を備えた少な
くとも１つの検出器組立品を備え、前記検出光が前記励
起光によって前記対象物で発生され、前記検出光が少な
くとも第１および第２の検出チャネルを規定し、重ね合
わせ装置が、前記第１および第２の検出チャネルを光学
的に重ね合わせるために設けられるようにしたから、本
発明の目的、すなわち、高い信号出力および高い信号対
雑音比が簡素な手段を用いて実現される冒頭に述べた種
類の顕微鏡設計の特性を備えることができる。
点走査型顕微鏡では、励起光を用いて対象物を照射する
ための光源および少なくとも１つの検出器を備えた少な
くとも１つの検出器組立品を備え、前記検出光が前記励
起光によって前記対象物で発生され、前記検出光が少な
くとも第１および第２の検出チャネルを規定し、重ね合
わせ装置が、前記第１および第２の検出チャネルを光学
的に重ね合わせるために設けられるようにしたから、本
発明の目的、すなわち、高い信号出力および高い信号対
雑音比が簡素な手段を用いて実現される冒頭に述べた種
類の顕微鏡設計の特性を備えることができる。
【図１】 本発明による共焦点顕微鏡の第１の代表的な
実施形態の概略図を示している。
実施形態の概略図を示している。
【図２】 分離型非デスキャニング検出器組立品を備え
た本発明による共焦点顕微鏡の第２の代表的な実施形態
の概略図を示している。
た本発明による共焦点顕微鏡の第２の代表的な実施形態
の概略図を示している。
【図３】 分離型非デスキャニング検出器組立品を備え
た本発明による共焦点顕微鏡の第３の代表的な実施形態
の概略図を示している。
た本発明による共焦点顕微鏡の第３の代表的な実施形態
の概略図を示している。
１ 光源 ２ 励起光 ３ メインビームスプリッタ ４ 走査装置 ５ 対物レンズ ６ 対象物 ７ 集光器 ８ 集光器側の検出光 ９ 対物レンズ側の検出光 １０ ミラー １１ 放射光学系 １２ 光ファイバ １３ 出力光学系 １４ 出力検出光 １５ ミラー １６ カラービームスプリッタ １７ 集束光学系 １８ 集束光学系 １９ 検出器 ２０ 検出器 ２１ カラービームスプリッタ ２２ ミラー ２３ 検出器 ２４ 検出器 ２５ 放射光学系 ２６ 光ファイバ ２７ 出力光学系
Claims (5)
- 【請求項１】 励起光（２）を用いて対象物（６）を照
射するための光源および少なくとも１つの検出器（１
９，２０，２３，２４）を備えた少なくとも１つの検出
器組立品を備え、前記検出光が前記励起光（２）によっ
て前記対象物（６）で発生され、前記検出光が少なくと
も第１および第２の検出チャネル（８，９）を規定し、
重ね合わせ装置（１１，１２，１３，１５，１７，１
８，２１，２２，２５，２６，２７）が、前記第１およ
び第２の検出チャネル（８，９）を光学的に重ね合わせ
るために設けられることを特徴とする共焦点走査型顕微
鏡。 - 【請求項２】 前記検出器組立品が、デスキャニング検
出器組立品であることを特徴とする請求項１に記載の共
焦点走査型顕微鏡。 - 【請求項３】 前記検出器組立品が、非デスキャニング
検出器組立品であることを特徴とする請求項１に記載の
共焦点走査型顕微鏡。 - 【請求項４】 前記第２の検出チャネル（９）の前記検
出光が、対物レンズ（５）と走査装置（４）との間に分
割手段を設けることによって、前記検出器組立品に誘導
されることを特徴とする請求項１に記載の共焦点走査型
顕微鏡。 - 【請求項５】 前記分割手段が、カラービームスプリッ
タ（２１）として構成されることを特徴とする請求項４
に記載の共焦点走査型顕微鏡。
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| DE10004233.3-42 | 2000-02-01 | ||
| DE10004233A DE10004233B4 (de) | 2000-02-01 | 2000-02-01 | Mikroskop-Aufbau |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2001235684A true JP2001235684A (ja) | 2001-08-31 |
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ID=7629378
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2001020141A Pending JP2001235684A (ja) | 2000-02-01 | 2001-01-29 | 共焦点走査型顕微鏡 |
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| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US6496307B2 (ja) |
| EP (1) | EP1122574B1 (ja) |
| JP (1) | JP2001235684A (ja) |
| DE (1) | DE10004233B4 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2005055895A (ja) * | 2003-08-02 | 2005-03-03 | Leica Microsystems Heidelberg Gmbh | ラスタ顕微鏡 |
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| DE10151216A1 (de) * | 2001-10-16 | 2003-04-24 | Zeiss Carl Jena Gmbh | Verfahren zur optischen Erfassung von charakteristischen Größen einer beleuchteten Probe |
| JP2004029205A (ja) * | 2002-06-24 | 2004-01-29 | Olympus Corp | レーザ走査型顕微鏡 |
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-
2000
- 2000-02-01 DE DE10004233A patent/DE10004233B4/de not_active Expired - Fee Related
-
2001
- 2001-01-26 US US09/770,802 patent/US6496307B2/en not_active Expired - Lifetime
- 2001-01-27 EP EP01101919A patent/EP1122574B1/de not_active Expired - Lifetime
- 2001-01-29 JP JP2001020141A patent/JP2001235684A/ja active Pending
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| DE10004233B4 (de) | 2005-02-17 |
| EP1122574A3 (de) | 2003-11-19 |
| EP1122574B1 (de) | 2011-11-23 |
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