JP4746311B2 - カラーレーザ顕微鏡 - Google Patents
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Description
さらに、音響光学素子は波長依存性を有するため、カラー顕微鏡に適用する場合各カラービーム毎に設定条件の異なる音響光学素子を用意しなければならず、製造コストが一層高価になる欠点もあった。
さらに、音響光学素子を用いてビーム走査する場合、音響光学素子に対するレーザビームに入射角を厳格に規制する必要があり、光学系の調整が煩雑になるだけでなく、顕微鏡全体の光学系の設計も煩雑になる欠点が指摘されていた。
さらに、本発明の別の目的は、光学系の設計及び調整が簡単であり、小型化できるレーザ顕微鏡を実現することにある。
さらに、本発明の別の目的は、音響光学素子を用いることなく、試料のカラー画像を撮像できるカラーレーザ顕微鏡を実現することにある。
レーザ光源から出射したレーザビームを第1の方向に発散性を有するライン状光ビームに変換するライン状光ビーム発生装置と、
前記ライン状光ビームを第1の方向と直交する第2の方向に周期的に偏向するビーム偏向装置と、
ビーム偏向装置から出射したライン状光ビームを集束して試料に投射する対物レンズと、
前記第1の方向と対応する方向に配列された複数の受光素子を有し、前記ビーム偏向装置を介して入射した試料からの反射光を受光するリニアイメージセンサと、
リニアイメージセンサの各受光素子に蓄積された電荷を順次読み出してビデオ信号を出力する信号処理回路とを具え、
前記ライン状光ビーム発生装置を、光入射面を有し、当該光入射面内に2次元マトリックス状に配置した複数のマイクロミラー素子を有するマイクロミラー装置により構成し、各マイクロミラー素子のミラー面の往復回動又は往復傾動により入射したレーザビームを第1の方向に発散性を有するライン状光ビームに変換することを特徴とする。
赤のレーザビームを発生する第1のレーザ光源、緑のレーザビームを発生する第2のレーザ光源、及び青のレーザビームを発生する第3のレーザ光源と、
前記第1〜第3のレーザ光源から出射したレーザビームを合成して合成レーザビームに変換するビーム合成光学系と、
光入射面を有し、当該光入射面内に2次元マトリックス状に配置した複数のマイクロミラー素子を有するマイクロミラー装置により構成され、各マイクロミラー素子のミラー面の往復回動又は往復傾動により前記合成レーザビームを第1の方向に発散性を有するライン状光ビームに変換するライン状光ビーム発生装置と、
前記ライン状光ビームを、第1の方向と直交する第2の方向に周期的に偏向するビーム偏向装置と、
ビーム偏向装置から出射したライン状光ビームを集束して試料に投射する対物レンズと、
前記ビーム偏向装置を介して入射する試料からの反射光を受光し、R,G,Bのビデオ信号を出力する受光装置と、
R,G,Bのビデオ信号を合成してカラービデオ信号を出力する信号処理回路とを具え、
前記受光装置は、前記第1の方向と対応する方向に配列された複数の受光素子をそれぞれ有し、これら受光素子の配列方向と直交する方向に離間して位置する3個の受光素子列を具え、前記試料で反射し、ビーム偏向装置を介して入射した赤、緑及び青のライン状カラービームを前記3つの受光素子列でそれぞれ受光するリニアイメージセンサを有し、
前記第1〜第3のレーザ光源から出射するレーザビームの光軸を前記第2の方向と対応する方向に微小な角度だけ相互にシフトさせ、試料で反射したライン状光ビームをリニアイメージセンサの対応する受光素子列に入射させ、
前記3つの受光素子列の各受光素子に蓄積された電荷を順次読み出してR,G,Bのビデオ信号を発生することを特徴とする。
4,5,6 エキスパンダ光学系
・ ダイクロイックミラー
9,14 シリンドリカルレンズ
10,16 偏光ビームスプリッタ
11,22 λ/4波長板
12 ライン状光ビーム発生装置
13 収束レンズ
15 結像レンズ
17,20,21 リレーレンズ
23 対物レンズ
24 ステージ
25 試料
26 受光装置
27 信号処理回路
Claims (8)
- 赤のレーザビームを発生する第1のレーザ光源、緑のレーザビームを発生する第2のレーザ光源、及び青のレーザビームを発生する第3のレーザ光源と、
前記第1〜第3のレーザ光源から出射したレーザビームを合成して合成レーザビームに変換するビーム合成光学系と、
光入射面を有し、当該光入射面内に2次元マトリックス状に配置した複数のマイクロミラー素子を有するマイクロミラー装置により構成され、各マイクロミラー素子のミラー面の往復回動又は往復傾動により前記合成レーザビームを第1の方向に発散性を有するライン状光ビームに変換するライン状光ビーム発生装置と、
前記ライン状光ビームを、第1の方向と直交する第2の方向に周期的に偏向するビーム偏向装置と、
ビーム偏向装置から出射したライン状光ビームを集束して試料に投射する対物レンズと、
前記ビーム偏向装置を介して入射する試料からの反射光を受光し、R,G,Bのビデオ信号を出力する受光装置と、
R,G,Bのビデオ信号を合成してカラービデオ信号を出力する信号処理回路とを具え、
前記受光装置は、前記第1の方向と対応する方向に配列された複数の受光素子をそれぞれ有し、これら受光素子の配列方向と直交する方向に離間して位置する3個の受光素子列を具え、前記試料で反射し、ビーム偏向装置を介して入射した赤、緑及び青のライン状カラービームを前記3つの受光素子列でそれぞれ受光するリニアイメージセンサを有し、
前記第1〜第3のレーザ光源から出射するレーザビームの光軸を前記第2の方向と対応する方向に微小な角度だけ相互にシフトさせ、試料で反射したライン状光ビームをリニアイメージセンサの対応する受光素子列に入射させ、
前記3つの受光素子列の各受光素子に蓄積された電荷を順次読み出してR,G,Bのビデオ信号を発生することを特徴とするカラーレーザ顕微鏡。 - 請求項1に記載のカラーレーザ顕微鏡において、前記マイクロミラー装置の各マイクロミラー素子のミラー面は、駆動信号に応じて高速回動又は高速傾動し、各ミラー面の高速回動又は高速傾動により、入射した合成レーザビームを非コヒーレントな光ビームに変換することを特徴とするカラーレーザ顕微鏡。
- 請求項1又は2に記載のカラーレーザ顕微鏡において、前記ビーム合成光学系とライン状光ビーム発生装置との間に第1のビームスプリッタを配置し、前記ビーム合成光学系から出射した合成レーザビームを前記第1のビームスプリッタを介して前記マイクロミラー装置の光入射面に垂直に入射させ、ビーム合成光学系からライン状光ビーム発生装置に向かうレーザビームとライン状光ビーム発生装置から出射した光ビームとを前記ビームスプリッタにより分離することを特徴とするカラーレーザ顕微鏡。
- 請求項3に記載のカラーレーザ顕微鏡において、前記第1のビームスプリッタとビーム偏向装置との間に第2のビームスプリッタを配置し、当該第2のビームスプリッタにより、前記試料に向かう合成レーザビームと試料からリニアイメージセンサに向かう反射ビームとを分離することを特徴とするカラーレーザ顕微鏡。
- 請求項4に記載のカラーレーザ顕微鏡において、前記第1のビームスプリッタと第2のビームスプリッタとの間の光路中に配置され、前記ライン状光ビーム発生装置から出射した発散性光ビームを第1の方向に拡大されたライン状平行ビームに変換する集束性レンズ素子を有することを特徴とするカラーレーザ顕微鏡。
- 請求項3から5までのいずれか1項に記載のカラーレーザ顕微鏡において、前記ビーム合成光学系と第1のビームスプリッタとの間に、前記合成レーザビームを前記第1の方向と直交する第2の方向に集束させるシリンドリカルレンズを配置し、前記マイクロミラー装置の光入射面に前記第2の方向に集束したレーザビームを入射させることを特徴とするカラーレーザ顕微鏡。
- 請求項1から6までのいずれか1項に記載のカラーレーザ顕微鏡において、前記第1〜第3のレーザ光源、マイクロミラー装置、ビーム偏向装置、対物レンズ、及びリニアイメージセンサを同一平面上に配置したことを特徴とするカラーレーザ顕微鏡。
- 請求項1から7までのいずれか1項に記載のカラーレーザ顕微鏡において、前記第1〜第3のレーザ光源を半導体レーザで構成し、これら3個の半導体レーザを同一平面上に配置し、3個の半導体レーザから出射した各カラービームを前記ビーム合成光学系を介して前記ライン状光ビーム発生装置に入射させることを特徴とするカラーレーザ顕微鏡。
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DE102005054184B4 (de) * | 2005-11-14 | 2020-10-29 | Carl Zeiss Microscopy Gmbh | Multispektrale Beleuchtungsvorrichtung und Messverfahren |
JP2008032951A (ja) * | 2006-07-28 | 2008-02-14 | Nikon Corp | 光学装置 |
JP2008040092A (ja) * | 2006-08-04 | 2008-02-21 | Ohkura Industry Co | プロジェクタ |
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JP5316883B2 (ja) * | 2009-11-17 | 2013-10-16 | 株式会社ニコン | 走査型顕微鏡 |
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US20140368904A1 (en) * | 2012-02-29 | 2014-12-18 | Agilent Technologies, Inc. | Software Defined Microscope |
ES2670608T3 (es) | 2013-12-10 | 2018-05-31 | Dolby Laboratories Licensing Corp. | Modulador acusto-óptico de dirección de haces para un sistema de proyección |
WO2019200116A1 (en) * | 2018-04-12 | 2019-10-17 | Life Technologies Corporation | Apparatuses, systems and methods for generating color video with a monochrome sensor |
CN112114483B (zh) * | 2019-06-20 | 2022-08-30 | 青岛海信激光显示股份有限公司 | 激光投影设备 |
CN111679422B (zh) * | 2020-06-09 | 2023-11-03 | 腾讯科技(深圳)有限公司 | 显微镜、图像处理系统及图像处理方法 |
Citations (17)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS625791A (ja) * | 1985-07-02 | 1987-01-12 | Les-The- Tec Kk | カラ−撮像装置 |
JPH01316715A (ja) * | 1988-06-17 | 1989-12-21 | Tokyo Electron Ltd | ビーム走査型光学顕微鏡 |
JPH0522514A (ja) * | 1991-07-10 | 1993-01-29 | Sony Corp | カラーリニアセンサ |
JPH05188301A (ja) * | 1991-09-09 | 1993-07-30 | Sumitomo Electric Ind Ltd | レーザ顕微鏡 |
JPH0627386A (ja) * | 1992-07-10 | 1994-02-04 | Olympus Optical Co Ltd | 走査型光学顕微鏡 |
JPH06208089A (ja) * | 1992-07-29 | 1994-07-26 | Texas Instr Inc <Ti> | コヒーレント光を用いる無スペックル・ディスプレイ装置 |
JPH10104523A (ja) * | 1996-09-26 | 1998-04-24 | Laser Tec Kk | コンフォーカル顕微鏡 |
JPH1184250A (ja) * | 1997-09-08 | 1999-03-26 | Olympus Optical Co Ltd | 光走査型共焦点顕微鏡 |
JPH1184264A (ja) * | 1997-09-12 | 1999-03-26 | Laser Tec Kk | カラー顕微鏡撮像装置 |
JP2000121961A (ja) * | 1998-10-13 | 2000-04-28 | Olympus Optical Co Ltd | 共焦点光走査プローブシステム |
JP2002039960A (ja) * | 2000-07-27 | 2002-02-06 | Hitachi Ltd | パターン欠陥検査方法及びその装置 |
JP2003262920A (ja) * | 2002-03-07 | 2003-09-19 | Seiko Epson Corp | 背面投写型表示装置 |
JP2004199063A (ja) * | 2002-12-16 | 2004-07-15 | Olympus America Inc | 共焦点顕微鏡 |
JP2004246003A (ja) * | 2003-02-13 | 2004-09-02 | Okura Industry Kk | 走査型顕微鏡 |
JP2004258142A (ja) * | 2003-02-24 | 2004-09-16 | Pentax Corp | 走査型共焦点プローブ |
JP2004258692A (ja) * | 2004-06-15 | 2004-09-16 | Keyence Corp | 走査顕微鏡 |
JP2004266656A (ja) * | 2003-03-03 | 2004-09-24 | Toshiba Tec Corp | 画像読取装置 |
Family Cites Families (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2561160B2 (ja) * | 1989-11-06 | 1996-12-04 | 富士写真フイルム株式会社 | 走査型顕微鏡 |
JP3018687B2 (ja) * | 1991-12-12 | 2000-03-13 | 松下電器産業株式会社 | 走査型レーザー顕微鏡 |
JP3411780B2 (ja) * | 1997-04-07 | 2003-06-03 | レーザーテック株式会社 | レーザ顕微鏡及びこのレーザ顕微鏡を用いたパターン検査装置 |
US6819490B2 (en) * | 2001-09-10 | 2004-11-16 | Micronic Laser Systems Ab | Homogenization of a spatially coherent radiation beam and printing and inspection, respectively, of a pattern on a workpiece |
JP2004309702A (ja) * | 2003-04-04 | 2004-11-04 | Olympus Corp | 顕微鏡 |
JP4125648B2 (ja) * | 2003-08-11 | 2008-07-30 | 大倉インダストリー株式会社 | ライン状光ビーム発生装置及びレーザ顕微鏡 |
JP4884764B2 (ja) * | 2005-12-26 | 2012-02-29 | 大倉インダストリー株式会社 | レーザ顕微鏡 |
JP2008040092A (ja) * | 2006-08-04 | 2008-02-21 | Ohkura Industry Co | プロジェクタ |
US7782521B2 (en) * | 2007-05-31 | 2010-08-24 | Texas Instruments Incorporated | System and method for displaying images |
-
2004
- 2004-12-08 JP JP2004355098A patent/JP4746311B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
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Patent Citations (17)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS625791A (ja) * | 1985-07-02 | 1987-01-12 | Les-The- Tec Kk | カラ−撮像装置 |
JPH01316715A (ja) * | 1988-06-17 | 1989-12-21 | Tokyo Electron Ltd | ビーム走査型光学顕微鏡 |
JPH0522514A (ja) * | 1991-07-10 | 1993-01-29 | Sony Corp | カラーリニアセンサ |
JPH05188301A (ja) * | 1991-09-09 | 1993-07-30 | Sumitomo Electric Ind Ltd | レーザ顕微鏡 |
JPH0627386A (ja) * | 1992-07-10 | 1994-02-04 | Olympus Optical Co Ltd | 走査型光学顕微鏡 |
JPH06208089A (ja) * | 1992-07-29 | 1994-07-26 | Texas Instr Inc <Ti> | コヒーレント光を用いる無スペックル・ディスプレイ装置 |
JPH10104523A (ja) * | 1996-09-26 | 1998-04-24 | Laser Tec Kk | コンフォーカル顕微鏡 |
JPH1184250A (ja) * | 1997-09-08 | 1999-03-26 | Olympus Optical Co Ltd | 光走査型共焦点顕微鏡 |
JPH1184264A (ja) * | 1997-09-12 | 1999-03-26 | Laser Tec Kk | カラー顕微鏡撮像装置 |
JP2000121961A (ja) * | 1998-10-13 | 2000-04-28 | Olympus Optical Co Ltd | 共焦点光走査プローブシステム |
JP2002039960A (ja) * | 2000-07-27 | 2002-02-06 | Hitachi Ltd | パターン欠陥検査方法及びその装置 |
JP2003262920A (ja) * | 2002-03-07 | 2003-09-19 | Seiko Epson Corp | 背面投写型表示装置 |
JP2004199063A (ja) * | 2002-12-16 | 2004-07-15 | Olympus America Inc | 共焦点顕微鏡 |
JP2004246003A (ja) * | 2003-02-13 | 2004-09-02 | Okura Industry Kk | 走査型顕微鏡 |
JP2004258142A (ja) * | 2003-02-24 | 2004-09-16 | Pentax Corp | 走査型共焦点プローブ |
JP2004266656A (ja) * | 2003-03-03 | 2004-09-24 | Toshiba Tec Corp | 画像読取装置 |
JP2004258692A (ja) * | 2004-06-15 | 2004-09-16 | Keyence Corp | 走査顕微鏡 |
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