JP5316883B2 - 走査型顕微鏡 - Google Patents
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Claims (4)
- 対物レンズと、
試料に照射する一方向に長い照明光を、前記対物レンズの焦点面において前記照明光の長手方向と垂直な方向にスキャンするポリゴンミラーと、
前記試料から発せられた観察光を、前記対物レンズの焦点面と共役な位置に、一方向に長いライン光として集光させる集光レンズと、
前記対物レンズの焦点面と共役な位置に、長手方向が前記観察光の長手方向と一致するように配置されたスリットと
を少なくとも備え、
前記観察光を、前記ポリゴンミラーの前記照明光のスキャンに用いた面を用いてデスキャンし、前記集光レンズにより集光し、前記スリットを通過させた後、前記ポリゴンミラーの前記照明光のスキャンに用いた面を用いて、2次元の撮像手段の受光面において前記観察光の長手方向と垂直な方向にスキャンするとともに、
前記観察光をデスキャンするときに前記ポリゴンミラーの面により前記観察光が反射される角度のうち前記ポリゴンミラーの回転軸に垂直な面に対する角度と、前記観察光をスキャンするときに前記ポリゴンミラーの面に前記観察光が入射する角度のうち前記ポリゴンミラーの回転軸に垂直な面に対する角度が等しく、
前記観察光をデスキャンするときの前記ポリゴンミラーの面における像と、前記観察光をスキャンするときの前記ポリゴンミラーの面における像の大きさが等しい
走査型顕微鏡。 - 前記対物レンズの焦点面における前記照明光の長手方向が、前記撮像手段により前記試料が撮影される領域の前記観察光の長手方向に対応する方向の長さより長い
請求項1に記載の走査型顕微鏡。 - 前記スリットから前記撮像手段までの光学倍率をβとし、前記撮像手段の前記スリットの長手方向に対応する方向の長さをxとした場合、前記スリットの長手方向の長さ×|β|>xである
請求項1に記載の走査型顕微鏡。 - 前記観察光が前記ポリゴンミラーによりデスキャンされてからスキャンされるまでの間において、前記観察光が前記ポリゴンミラーの回転軸にほぼ平行な面に沿って進む場合、前記対物レンズの焦点面と共役な位置の数が奇数であるとき、前記観察光を奇数回反射し、前記対物レンズの焦点面と共役な位置の数が偶数であるとき、前記観察光を偶数回反射し、前記観察光が前記ポリゴンミラーの回転軸にほぼ垂直な面に沿って進む場合、前記対物レンズの焦点面と共役な位置の数が奇数であるとき、前記観察光を偶数回反射し、前記対物レンズの焦点面と共役な位置の数が偶数であるとき、前記観察光を奇数回反射する
請求項1に記載の走査型顕微鏡。
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