JPH0627386A - 走査型光学顕微鏡 - Google Patents
走査型光学顕微鏡Info
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- JPH0627386A JPH0627386A JP18407292A JP18407292A JPH0627386A JP H0627386 A JPH0627386 A JP H0627386A JP 18407292 A JP18407292 A JP 18407292A JP 18407292 A JP18407292 A JP 18407292A JP H0627386 A JPH0627386 A JP H0627386A
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Abstract
光特性で肉眼観察を可能にし、しかも装置の小型化を図
ることにある。 【構成】本発明の走査型光学顕微鏡は、光源1からの光
を対物レンズ5を通して標本上にスポット照明する第1
の光路と、光源1からの光を対物レンズ5の瞳面付近に
集光して標本視野を太い光束で照明する第2の光路と、
光源1と対物レンズ5との間の光路上に配置され光た偏
向手段3と、光源1からの光を第1の光路を通して対物
レンズ5へ入射させる第1の状態と光源1からの光を第
2の光路を通して対物レンズ5へ入射させる第2の状態
とに選択的に配置される光路選択手段17,20とを具
備してなる。
Description
査して標本観察像を得る走査型光学顕微鏡に関する。
本をスポット光で走査して、その標本が発する蛍光を検
出することにより蛍光観察像を得る走査型光学顕微鏡が
用いられている。
学顕微鏡の構成例が示されている。この走査型光学顕微
鏡は、レーザ光源1から出たレーザビームが、ビームエ
クスパンダー2で所定径に拡大されて反射鏡からなるス
キャナー3に入射する。スキャナー3は光軸に直交した
回転軸を中心に回転可能になっており、光源側から入射
するレーザビームを偏向させる作用がある。このスキャ
ナー3で偏向されたレーザビームは瞳投影レンズ4によ
って収束され対物レンズ5の像位置にスポットを形成す
る。
対物レンズ5の瞳とを光学的に共役に結合しており、ス
キャナー3の振れ角に応じて、上記スポットが像位置を
走査するものとなる。そして上記走査スポットは対物レ
ンズ5によって標本Oの上面に投影される。蛍光観察の
場合であれば、標本上に投影された走査スポットによっ
て、標本を励起して蛍光放射を起こさせる。
影レンズ4、スキャナー3を逆上り、スキャナー3によ
って偏向が打ち消された後、ダイクロイックミラー6に
よって照明光路(励起光路)から分離される。
た光の進行路には、スポット投影レンズ7及び標本面上
の走査スポットと共役な位置に設定されたコンフォーカ
ルピンホール8が設置されており、このコンフォーカル
ピンホール8を通過した光が光電子増倍管9に入射す
る。
れた電気信号を、スキャナー3の動作に同期して画像メ
モリに蓄積し、ビデオ信号に同期して読み出すことによ
り、映像モニタ上に蛍光観察像を映し出すことができ
る。
ンズ4と対物レンズ5との間の光路上にダイクロイック
ミラー10及び観察光路プリズム11が挿脱可能に配置
されている。光路上に配置されたダイクロイックミラー
10に落射投光管12を介して水銀ランプ13からの照
明光を入射し、水銀ランプ13の光で励起した標本の蛍
光像を観察光路プリズム11で肉眼視できるようにして
いる。これらの光学系は、予め標本の位置を確認した
り、レーザ光による褪色の影響を確認したりするのに用
いられる。
つマルチラインレーザが用いられており、レーザライン
選択フィルター14により励起波長を選択できるように
なっている。また光電子増倍管9の手前には、蛍光の分
光特性に応じて適当な波長域を持つ吸収フィルター15
を挿脱できるようになっている。さらに、ダイクロイッ
クミラー6は、標本Oの持つ蛍光特性に合わせて、適当
なカットオフ波長のものに交換可能になっている。
像のコントラストを最適にするために、レーザライン選
択フィルター、吸収フィルター、ダイクロイックミラー
を、標本に合わせて適当に選択する必要がある。
最適な設定条件を見つける場合、上記各フィルター等の
設定条件を変えながら走査型顕微鏡で画像を確認してコ
ントラストの良くなる設定条件を決めるよりも、肉眼視
によって蛍光の明るさと色を確認して設定を決めるほう
が容易かつ迅速に設定できる。この様なことから従来の
走査型光学顕微鏡は肉眼で蛍光観察を確認できるように
構成されていた。
光学顕微鏡を肉眼で蛍光観察を確認できるように構成す
ると、レーザによる励起光学系とは別に、肉眼観察用の
蛍光照明光学系を備える必要があることから、装置の構
成が複雑化する欠点がある。
光特性は、レーザ光の分光特性とは異なるため、実際に
観察される蛍光の明るさや色の程度を肉眼視で正確に確
認することはできないという欠点がある。
たもので、スポット走査に使用する光源と同一の光源を
用いて、肉眼による蛍光観察を可能にし、蛍光の明るさ
や色の程度を肉眼視で正確に確認でき、しかも装置の小
型化を図ることのできる走査型光学顕微鏡を提供するこ
とを目的とする。
に本発明の走査型光学顕微鏡は、光源からの光を対物レ
ンズを通して標本上に集光して当該標本をスポット照明
する第1の光路と、前記光源からの光を前記対物レンズ
の瞳面付近に集光して前記標本の視野を前記スポット照
明に比べて太い光束で照明する第2の光路と、前記光源
と前記対物レンズとの間の光路上に配置され光源からの
光を所定方向へ偏向させる偏向手段と、前記光源からの
光を前記第1の光路を通して前記対物レンズへ入射させ
る第1の状態と前記光源からの光を前記第2の光路を通
して前記対物レンズへ入射させる第2の状態とに選択的
に配置される光路選択手段とを具備してなるものとし
た。
によって第1の光路が選択されると、光源からの光が対
物レンズにより標本上に集光してスポットを形成する。
そして偏向手段により標本がスポットで走査され、走査
範囲の標本像が取込まれるものとなる。
択されると、上記スポット照明と同一の光源からの光が
対物レンズの瞳面付近に集光し、標本の視野がスポット
照明に比べて十分に太い光束で照明される。スポット照
明では標本上の一点しか見られないが、第2の光路を使
って太い光束で例えば励起した場合には、光束径に対応
する標本上の広い範囲が励起されるので、肉眼観察に適
した照明となる。
説明する。
型光学顕微鏡の光学系の構成が示されている。なお、図
5に示す走査型光学顕微鏡の構成と同一部分については
同一符号を付している。
源1から出たレーザビームのビーム径を所定径に拡大す
るビームエクスパンダー16を備えており、このビーム
エクスパンダー16は所定径に拡大したレーザビームを
コレクタレンズ18により平行光束に変換している。コ
レクタレンズ18は光路に対して挿脱自在に設けられた
第1のスライダー17に保持されており、さらに第1の
スライダー17にはコレクタレンズ18により平行光束
とされたレーザビームを第1の光路側へ反射させる反射
ミラー19が固定されている。
上には、第2のスライダー20が光路に対して挿脱自在
に設けられている。この第2のスライダー20には反射
ミラー21が固定されている。この反射ミラー21は、
第2のスライダー20が光路に配置された状態のとき
に、第1のスライダー17からのレーザビームをスキャ
ナー側へ反射させると共に、スキャナー3からの光を第
1の光路側へ反射させている。上記第1のスライダー1
7及び第2のスライダー20から光路選択手段を構成し
ている。
ー17と第2のスライダー20とを、第1の光路上に配
置された固定ミラー22,23で光学的に結合してい
る。また固定ミラー22,23間の光路上には、ダイク
ロイックミラー6が配置されており、第2のスライダー
20から入射する蛍光を取出している。
の光路上であって、第1のスライダー挿入位置から所定
距離だけ離れたところに、ビーム径が大きく拡大された
レーザビームを平行光束に変換するコレクターレンズ2
4が配置されている。このコレクターレンズ24は、第
1のスライダー17が光路上に挿入されていないとき
に、上記ビームエクスパンダー16よりも倍率の大きな
ビームエクスパンダー16′の一部を構成している。ま
たコレクターレンズ24と同じ大きさの開口を有するコ
レクターレンズ25が同一光路上のスキャナー側に配置
されており、コレクターレンズ25により大きなビーム
径に拡大されたレーザビームをスキャナー3上に集光さ
せている。
の光路には、観察光路プリズム11が挿脱可能になって
おり、この観察光路プリズム11の反射面はダイクロイ
ック面になっている。この観察光路プリズム11の反射
面は、第1の光路に配置されたダイクロイックミラー6
と同一特性のものにする。
は、吸収フィルター26を介して蛍光観察像として取出
されるようになっている。この吸収フィルター26は、
光電子増倍管9の手前に配置された吸収フィルター15
と同一の特性を有するものを使っている。次に、以上の
ように構成された本実施例の動作について落射蛍光観察
を例にして説明する。
は、第1,第2のスライダー17,20を光路上に挿入
する第1の状態にし、観察光路プリズム11を光路から
脱して図2に示す光学系とする。この様にして、第1の
光路が選択されたときには、前述した図5における光学
系と基本的には同じ動作となる。
らレーザライン選択フィルター14で励起波長が取り出
され、ビームエクスパンダー2によって所定径の平行光
束に変換され、第1のスライダー17で第1の光路側へ
反射される。第1の光路に導かれたレーザビームは固定
ミラー22、ダイクロイックミラー6、固定ミラー23
を介して第2のスライダー21に入射し、そこで反射さ
れたスキャナー3に入射する。そして瞳投影レンズ4に
よって収束されて対物レンズ5の像位置にスポットを形
成する。
形成位置を移動させると、それに対応して対物レンズ5
によって標本上に集光しているスポット光が標本Oを走
査することになる。
蛍光は、対物レンズ5、瞳投影レンズ4、スキャナー3
を逆上り、スキャナー3によって偏向が打ち消された
後、ダイクロイックミラー6によって第1の光路から分
離されて、光電子増倍管9で電気信号に変換される。
れた電気信号を、スキャナー3の動作に同期して画像メ
モリに蓄積し、ビデオ信号に同期して読み出すことによ
り、映像モニタ上に蛍光観察像を映し出すことができ
る。
得るための設定条件を見つけるために肉眼観察する場合
は、第1,第2のスライダー17,20を光路から脱し
て第2の状態にし、観察光路プリズム11を光路内に挿
入して、図3に示す光学系とする。
とにより、ビームエクスパンダー16′が構成される。
このビームエクスパンダー16′は第1の光路を選択し
た場合に比べて拡大率が大きくなっている。従って、レ
ーザ光源1からのレーザビームは太いビーム径に変換さ
れる。このレーザビームはコレクターレンズ25によっ
てスキャナー3の光軸上に集光してスポットを形成す
る。そしてスキャナー3で反射したレーザビームが、瞳
投影レンズ4により、観察光路プリズム11のダイクロ
イック面を通った後、対物レンズ5の瞳面に収束する。
対物レンズ5の瞳面に収束したレーザビームは、対物レ
ンズ5で平行光束にされて標本Oに入射する。その結
果、標本Oは観察視野の光束径に応じた領域が照明され
る。
11のダイクロイックとなっている反射面によって分離
され、吸収フィルター26を透過した蛍光像が肉眼観察
されるものとなる。
からの光を標本上に集光してスポット照明する第1の光
路と、同じレーザ光源1からの光を対物レンズ5の瞳面
付近に集光して標本Oの視野を太い光束で照明する第2
の光路とを、第1,第2のスライダー17,20によっ
て選択可能にしたので、走査型光学顕微鏡と同一の励起
光を用いて肉眼で蛍光観察することができ、蛍光の明る
さや色の程度を肉眼視で正確に確認することができる。
また、肉眼観察のための水銀ランプや、その照明光を光
路内に導くための落射投光管などの部品を削減できるこ
とから、装置の小型化を実現することができる。
ム11のダイクロイック面及び吸収フィルター26を、
スポット走査観察で使用するダイクロイックミラー6及
び吸収フィルター15と同一の光学特性としたので、ス
ポット走査観察と同一の分光特性で肉眼観察が可能にな
る。
平行光束の口径の大きさ、すなわちコレクタレンズ25
の開口の大きさで決まり、コレクタレンズ25の位置に
絞りを配置して視野絞りとしても良い。
ロとなるが、蛍光観察の場合には標本が発光するために
結像系はインコヒーレントとなり、観察像にリンギング
が発生するようにことはない。
その途中の光学系によってスペックル等のノイズを発生
する可能性がある。このノイズ発生に関する対策として
は、コレクタレンズ25の開口付近、あるいはビームエ
クスパンダー16′の光路内に位相拡散板を挿入するこ
とが考えられる。また吸収フィルター26を介して取出
される肉眼観察像をTVカメラで撮像したり、測光装置
に導いて顕微測光を行うことも可能である。
について説明する。なお、本実施例は前記第1実施例と
主要部は同じであるので、ここでは異なる部分について
説明する。
ー3と対物レンズ5との間の光路上に第3のスライダー
30が設けられている。この第3のスライダー30は、
スキャナー3からのレーザビームを対物レンズ側へ反射
させると共に、対物レンズ5から入射する全ての光をス
キャナー側へ反射させる反射ミラー31と、スキャナー
3からのレーザビームを対物レンズ側へ反射させると共
に、対物レンズ5から入射する蛍光のみを透過するダイ
クロイックミラー32とを有する。第3のスライダー3
0は、光軸と直交する方向に移動可能に保持されてお
り、上記反射ミラー31とダイクロイックミラー32と
を選択的に光路上に配置できるようになっている。
配置したときに、対物レンズ5から見て透過側の光路上
には、吸収フィルター33、観察光路プリズム34が配
置されている。なお、ダイクロイックミラー32、吸収
フィルター33は、ダイクロイックミラー6、吸収フィ
ルター15の特性と同じ特性となるように設定してい
る。ダイクロイックミラー32は蛍光が透過するため反
射/透過の分光特性がダイクロイックミラー6(蛍光が
反射)と反転関係をなす。
3のスライダー30をスライドさせて反射ミラー31を
光路上に配置し、第1,第2のスライダー17,20に
よって第1の光路を選択することにより、図2と同様の
光路を構成することになり、スポット走査による走査型
光学顕微鏡としての観察が可能になる。また第3のスラ
イダー30をスライドさせてダイクロイックミラー32
を光路上に配置し、第1,第2のスライダー17,20
によって第2の光路を選択することにより、図3と同様
の光路を構成することになり、肉眼観察が可能になる。
を、対物レンズ5と観察光路プリズム34との中間に挿
入されるユニット内に構成することができるので、装置
をコンパクトにできると共に、中間アダプターとして、
通常の顕微鏡に容易に追加できる。
鏡に適用した場合には、標本よりも低い位置に光学系を
収納することができ、機械的な安定を確保することがで
きる利点がある。
観察像を分光測光したり画像処理したりして蛍光条件を
分析し、その分析結果を、走査型光学顕微鏡の分光特性
を各標本に応じて最適化するためのデータとして用いる
ようにしても良い。
ポット走査観察と同一の分光特性で、肉眼による蛍光観
察を可能にし、蛍光の明るさや色の程度を肉眼視で正確
に確認でき、装置の小型化を図ることのできる走査型光
学顕微鏡を提供できる。
構成図。
路を選択した状態の構成図。
路を選択した状態の構成図。
構成図。
5…対物レンズ、6…ダイクロイックミラー、9…光電
子増倍管、16,16′…ビームエクスパンダー、17
…第1のスライダー、20…第2のスライダー、30…
第3のスライダー。
Claims (1)
- 【請求項1】 光源からの光を対物レンズを通して標本
上に集光して当該標本をスポット照明する第1の光路
と、前記光源からの光を前記対物レンズの瞳面付近に集
光して前記標本の視野を前記スポット照明に比べて太い
光束で照明する第2の光路と、前記光源と前記対物レン
ズとの間の光路上に配置され光源からの光を所定方向へ
偏向させる偏向手段と、前記光源からの光を前記第1の
光路を通して前記対物レンズへ入射させる第1の状態と
前記光源からの光を前記第2の光路を通して前記対物レ
ンズへ入射させる第2の状態とに選択的に配置される光
路選択手段とを具備したことを特徴とする走査型光学顕
微鏡。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP18407292A JP3486754B2 (ja) | 1992-07-10 | 1992-07-10 | 走査型光学顕微鏡 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP18407292A JP3486754B2 (ja) | 1992-07-10 | 1992-07-10 | 走査型光学顕微鏡 |
Related Child Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2003290085A Division JP2004038191A (ja) | 2003-08-08 | 2003-08-08 | 走査型光学顕微鏡 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH0627386A true JPH0627386A (ja) | 1994-02-04 |
JP3486754B2 JP3486754B2 (ja) | 2004-01-13 |
Family
ID=16146894
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP18407292A Expired - Lifetime JP3486754B2 (ja) | 1992-07-10 | 1992-07-10 | 走査型光学顕微鏡 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP3486754B2 (ja) |
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2002090638A (ja) * | 2000-09-20 | 2002-03-27 | Olympus Optical Co Ltd | レーザ走査型光学顕微鏡 |
JP2006163023A (ja) * | 2004-12-08 | 2006-06-22 | Ohkura Industry Co | レーザ顕微鏡及びカラーレーザ顕微鏡 |
JP2007113941A (ja) * | 2005-10-18 | 2007-05-10 | Ohkura Industry Co | 欠陥検査装置及び欠陥検査方法 |
JP2007334319A (ja) * | 2006-05-16 | 2007-12-27 | Olympus Corp | 照明装置 |
JP2011197578A (ja) * | 2010-03-23 | 2011-10-06 | Olympus Corp | Cars光用ユニットおよび顕微鏡システム |
-
1992
- 1992-07-10 JP JP18407292A patent/JP3486754B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2002090638A (ja) * | 2000-09-20 | 2002-03-27 | Olympus Optical Co Ltd | レーザ走査型光学顕微鏡 |
JP2006163023A (ja) * | 2004-12-08 | 2006-06-22 | Ohkura Industry Co | レーザ顕微鏡及びカラーレーザ顕微鏡 |
JP4746311B2 (ja) * | 2004-12-08 | 2011-08-10 | 大倉インダストリー株式会社 | カラーレーザ顕微鏡 |
JP2007113941A (ja) * | 2005-10-18 | 2007-05-10 | Ohkura Industry Co | 欠陥検査装置及び欠陥検査方法 |
JP2007334319A (ja) * | 2006-05-16 | 2007-12-27 | Olympus Corp | 照明装置 |
JP2011197578A (ja) * | 2010-03-23 | 2011-10-06 | Olympus Corp | Cars光用ユニットおよび顕微鏡システム |
Also Published As
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---|---|
JP3486754B2 (ja) | 2004-01-13 |
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