SU1587327A1 - Интерферометр - Google Patents

Abstract

Изобретение относитс  к измерительной технике и может быть использовано дл  измерени  линейных перемещений, в частности в гравиметрии или в измерительных системах станков с ЧПУ. Цель изобретени  - повышение точности за счет введени  оптической разв зки между входом и выходом интерферометра. Пучок света лазера 1 делитс  на два на грани 4 со светоделительным покрытием. Отраженный пучок от грани 4 падает на световозвращатель 6, проходит компенсатор 8 и через световозвращатель 6 возвращаетс  на грань 4 с поперечным смещением. Прошедший через грань 4 световой пучок падает на грань 5 призмы 2, отражаетс  от нее и попадает на световозвращатель 7. После световозвращател  7 пучок проходит компенсатор 8 и через световозвращатель 7, призму 2 БС-О возвращаетс  на грань 4 с поперечным смещением, равным смещению пучка, отраженного гранью 4. Благодар  поперечному смещению выходного пучка устран етс  оптическа  обратна  св зь. 3 ил.

Description

чЛ

ел

00 XJ СО

ю

V4

Изобретение относитс  к измерительной технике и может быть использовано дл  измерени  линейных перемещений, в частности в гравиметрии или в измерительных система) станков с ЧПУ.

Цель изобретени  - повышение точности за счет введени  оптической разв зки между входом и выходом интерферометра.

На фиг.1 представлена схема интерферометра вид спереди; на фиг.2 - то же, вид слева; на фиг.З - то же, вид сверху.

Интерферометр содержит лазер 1, све- тоделительный блок, выполненный в виде призмы 2 БС-0 и жестко св занной с ней пр моугольной призмы 3 БР-180, на малые грани 4 и 5 призмы 2 нанесены, соответственно , светоделительное и зеркальное покрыти , светоделители 6 и 7, оптически св занные с компенсатором 8 и, соответственно , с гран ми 4 и 5 призмы 2, компенсатор выполнен в виде призмы и жестко св зан с большой пр моугольной гранью призмы 2, и фотоприемник, установленный , по ходу совмещенных пучков (не показан).

Интерферометр работает следующим образом.

С лазера 1 когерентное излучение поступает на границу раздела воздух-стекло под углом, близким к нормальному падению , н равнобедренную призму 3 с углом при вершине 90°. При этом траектори  прохождени  излучени  не мен етс . На малой грани 4 призмы 2 происходит деление потока излучени  на два. Один поток, отразившись от светоделительного покрыти  через уголковый отражатель 6, попадает на компенсирующую призму В и после отражени  проходит все указанные элементы 4 и 3 в обратном направлении. Прошедший же через светоделительное покрытие поток проходит последовательно элементы 2, 7 и 8 в пр мом направлении. После отражени  в компенсирующей призме 8 лазерный луч проходит элементы 7 и 2. Можно подобрать такое положение лазера 1, моноблока, состо щего из элементов 2,3 и 8, при котором лучи, пришедшие от двух отражателей 6 и 7, совмещаютс  в точке на светоделительном покрытии грани 4, в которой происходит

интерференци  лучей, прошедших по периметрам измерительного и референтного плеч.

Смещение уголковых отражателей в горизонтальной плоск ости не вызывает смещени  интерферирующих лучей и не приводит к потере информации о перемещении уголковых отражателей 4 и 7 в вертикальной плоскости. Наклоны уголковых

отражателей, вызванные вибрацией, то же не вли ют на качество сигнала интерференции . Наклоны моноблока интерферометра, состо щего из элементов 2, 3 и 8, не привод т к потере качества интерференционной

картины.

Благодар  поперечному смещению выходного пучка устран етс  оптическа  обратна  св зь, из-за которой часть энергии попадала в капилл р лазера и по вл лась

неопределенность значени  длины волны светового пучка лазера.

Claims (1)

1. Формула изобретени  Интерферометр, содержащий лазер, оптически св занный с ним светоделительный блок, выполненный в виде призмы БС-0, на одну малую грань которой нанесено светоделительное . а на другую - зеркальное  о- крытие, и установленный так, что Световой

   пучок от лазера проходит через грань со светоделительным покрытием, два световозвращател , выполненные в виде уголковых отражателей и установленные соответственно по одному в пучке, отраженном от грани со светоделительным покрытием , и в пучке, отраженном от грани с зеркальным покрытием, и фотоприемник, установленный после световозвращателей по ходу совмещенных пучков, отличающ и и с   тем. что, с целью повышени  точности измерений, он снабжен пр моугольной призмой БР-180, установленной между лазером и светоделительным блоком так, что гипотенузна  грань пр моугольной

   призмы расположена на грани призмы БС- 0, и компенсатором, оптически св занным с обоими световозвращател ми, выполненным в виде призмы ВР-180 и установленным на большой пр моугольной грани

   призмы БС-0.

   Вых

   о

   ф ф

   Фие.2