SU1499115A2 - Оптико-электронное устройство дл контрол неплоскостности - Google Patents

Оптико-электронное устройство дл контрол неплоскостности Download PDF

Info

Publication number
SU1499115A2
SU1499115A2 SU884357941A SU4357941A SU1499115A2 SU 1499115 A2 SU1499115 A2 SU 1499115A2 SU 884357941 A SU884357941 A SU 884357941A SU 4357941 A SU4357941 A SU 4357941A SU 1499115 A2 SU1499115 A2 SU 1499115A2
Authority
SU
USSR - Soviet Union
Prior art keywords
mirrors
prism
reflectors
optical
coordinate
Prior art date
Application number
SU884357941A
Other languages
English (en)
Inventor
Валерий Николаевич Шиляев
Сергей Иванович Захаров
Виталий Андреевич Мыльников
Станислав Александрович Тюрин
Original Assignee
Ижевский механический институт
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Ижевский механический институт filed Critical Ижевский механический институт
Priority to SU884357941A priority Critical patent/SU1499115A2/ru
Application granted granted Critical
Publication of SU1499115A2 publication Critical patent/SU1499115A2/ru

Links

Landscapes

  • Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)

Abstract

Изобретение относитс  к измерительной технике ,в частности, к устройствам, используемым дл  контрол  неплоскостности объектов. Цель изобретени  - повышение чувствительности и точности контрол  за счет оптического увеличени  величины смещени  световых индексов относительно площадок координатно-чувствительного фотоприемника. Устройство содержит источник коллимированного излучени , установленный на корпусе через термоизолирующий слой, оптически взаимодействующий с основной системой отражателей, состо щей из двух зеркал и светоделител . Система отражателей формирует два пучка лучей, поступающих в оптический умножитель, размещенный вместе с координатно-чувствительным фотоприемником 6 на платформе, перемещающейс  по поверхности контролируемого объекта. Оптический умножитель состоит из призмы 12 с отражающими параболическими гран ми и двух дополнительных систем отражателей, перва  из которых состоит из трех зеркал 13-15, а втора  - из трех зеркал 16-18. При этом зеркала 13 и 14, 16 и 17 установлены параллельно друг другу и обращены навстречу отражающими поверхност ми, а зеркала 15 и 18 установлены нормально к ним и таким образом, что на их отражающей поверхности находитс  фокус F соответствующей параболической призмы 12. 3 ил.

Description

СО
31499115 . 4
зеркала 13 и 14, 16 и 17 установле- нормально к ним и так, что на их от- ны параллельно друг другу и обраще- ражающей поверхности находитс  фоны навстречу отражающими поверхнос- кус F соответствующей параболичест ми , а зеркала 15 и 18 установлены кой призмы 12. 3 ил.
Изобретение относитс  к измерительной технике и  вл етс  усовершенствованием устро11ства по авт. св. № 1283525.
Цель изобретени  - повышение чувствительности и точности контрол  за счет опт {ческого увеличени  величины смещени  световых индексов относительно пло1цадок коордичатно- чувствительного фотоприемника.
На фиг.1 изображена принципиальна  схема устройства дл  контрол  неплоскостности; на фиг.2 - оптическа  схема основной системы отражателей; на фиг. 3 - оптическа  схема оптического умножител .
Устройство содержит источник 1 кбллимированного излучени , корпус 2,основную систему 3 отражателей, расположенную на выходе источника 1 коллимированного излучени , оптически св занный с ной оптический умножитель 4, размещенный на платформе 5, где также размещен координатно-чувст вительный (Ьотоприемник 6, электричес ки св занный с блоком 7 обработки сигнала. Источник 1 коллимированного излучени  соединен с корпусом 2 чере термоизолирующий слой 8, предназначенный дл  - 1еньшени  вли ни  нагре- В.1 источника 1 излучени  на систему 3 отражателей, котора  состоит из двух зеркал 9 и 10, образующих двугранный угол, и светоделител  11, размещенного по отношению к зеркалам 9 и 10 так, что его светоделител на  плоскость совпадает с биссектрисой двугранного угла. Оптический умножитель 4 состоит из призмы 12, боковые грани KoTopofi выполнены отражающими с профилем в сечении в виде параболы, и двух дополнительных систем отражателей, перва  из которы состоит из трех зеркал 13 - 15, а втора  - из трех зеркал 16 - 18. При этом зеркала 13 и 14, 16 и 17 установлены ггараллельно друг другу и обращены навстречу отражающими поверхност ми , а зеркала 15 и 18 установлены ттормальпо к ним и так, что
0
5
0
5
0
5
0
5
0
5
на их отражающей поверхности находитс  фокус F, соответствующей параболи - ческой грани призмы 12. Дополнительные системы отражателей расположены симметрично плоскости симметрии призмы 12 и кажда  из них оптически св зана соответственно с одной из пло- дадок координатно-чувствительного фотоприемника 6, а призма 12 расположена вершиной к основной системе 3 отражателей, причем ее отражающие боковые грани оптически св заны с зеркалами 9 и 10. Платформа 5 устанавливаетс  на контролируемом объекте 19.
Устройство работает следующим образом.
Пучок лучей из источника 1 коллимированного излучени  делитс  на дна пучка лучей в системе 3 отражателей и, отразившись от зеркал 9 и И), попадает в оптический умножитель 4, а затем - на две площадки координатно-чувствительного фотоприемника 6, размещенного вместе с оптическим умножителем. 4 на платформе 5, пере- ме1чаемой по поверхности контролируемого объекта 19.
При отсутствии отклонений поверхности контролируемого объекта 19 от плоскости пучки лучей А и В попадают на боковые грани призмы 12 симметрично и параллельно плоскости, проход щей через верхнее ребро призмы 12 параллельно направлению измерени . Вследствие этого после отражени  от параболических поверхностей призмы 12 лучи А и В падают на зеркала 15 и 18 дополнительных систем отражателей под равными углами о( , что приводит к симметричному их отражению между зеркалами 13 и 14, 16 и 17 в каждой из дополнительных систем отражателей . В результате лучи А и В попадают на соответствующие площадки фотоприемника 6 в точки равного спг нала, т.е. разность фототоков, регистрируема  блоком 7 обработки сигналов , с двух площадок фотоприемника 6 равна 0.
Отклонение поверхности контролируемого объектл 19 от плоскости, например , на величину 4i,приводит к смещению платформы 5, а вместе с ней и оптического умножител  А. При этом нарушаетс  симметри  отражени  лучей А и В от параболической боковых граней призмы 12. Лучи А и В при этом занимают по отношению к призме 12 положение А и В . Вследствие того, что фокусы F параболических граней призмы 12 лежат на отражающей поверхности зеркал 15 и 18, отраженные от призмы 12, лучи А и В попадают на зеркала 15 и 18 в те же точки, что и при отсутствии отклонени  контролируемой поверхности объекта 19, но под разными углами, т .е. с , t с/gi За счет этого нарушаетс  симметри  многократного отражени  лучей А и в между зеркалами 13и1А, 16 и 17, что приводит к нарушению симметрии падени  лучей на площадки фотоприемника 6, т.е. к по влению разности фототоков с двух площадок фотоприемника 6,пропорциональной величине смещени  платформы 5. За счет преобразовани  линейного смещени  h в угловое изменение положени  лучей А и в относительно отражающих поверхностей зеркал 13 и 14, 16 и 17, а также за счет многократного отражени , величина смещени  Н лучей относительно площадок фотоприемника 6, т.е. рассто ние между точками f и
/) в в больше, чем h, т.е. Н K-h. Величина К в основном зависит от рассто ни  S между зеркалами 13и 14, 16и 17 и от количества отражений луча между ними. Мен   эти параметры, можно регулировать чувствительность устройства.
При необходимости контрол  боль (Т)
iDifx величин отклонени  контролируемой поверхности объекта 19 оптический умножитель 4 может быть сн т с платформы 5. При этом лучи А и В
будут непосредственно попадать на площадки фотоприемника 6.
Таким образом, введение в конструкцию оптического умножител  дает возможность значительно повысить чувствительность и точность устройства в области малых значений отклонени  контролируемой поверхности объекта.

Claims (1)

  1. Формула изобретени 
    Оптико-электронное устройство дл  контрол  неплоскостности по авт.св. № 1283525, отличаю- щ е е с   тем, что, с целью повышени  чувствительности и точности КОНТ
    рол , оно снабжено оптическим умно. жителем, установленным на платформе перед координатно-чувствительным фотоприемником . и выполненным в виде призмы и двух дополнительных систем отражателей, кажда  из которых содержит три зеркала, два из которых параллельны и обращены друг к другу отражательными поверхност ми, а третье установлено перпендикул рно к ним и оптически св зано с соответствующей боковой гранью призмы, боковые грани призмы выполнены отражающими,
    образуют в сечении профиль в виде
    параболы, фокус которой расположен на отражающей поверхности третьего зеркала, и оптически св заны с основной системой отражателей, а дополни- тельные системы отражателей установлены симметрично относительно призмы и оптически св заны с соответствующими пло1чадками координатНо-чувстви- тельного фотоприемника.
    Г
    Л
    ГС
    //// //Х/Х/
    :
    фиг.1
    19
    А
    Ho/7paS e f/e
    i/jffe/yefft/л
    в
    фиг. г
SU884357941A 1988-01-01 1988-01-01 Оптико-электронное устройство дл контрол неплоскостности SU1499115A2 (ru)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SU884357941A SU1499115A2 (ru) 1988-01-01 1988-01-01 Оптико-электронное устройство дл контрол неплоскостности

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SU884357941A SU1499115A2 (ru) 1988-01-01 1988-01-01 Оптико-электронное устройство дл контрол неплоскостности

Related Parent Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
SU1282525 Addition

Publications (1)

Publication Number Publication Date
SU1499115A2 true SU1499115A2 (ru) 1989-08-07

Family

ID=21347394

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
SU884357941A SU1499115A2 (ru) 1988-01-01 1988-01-01 Оптико-электронное устройство дл контрол неплоскостности

Country Status (1)

Country Link
SU (1) SU1499115A2 (ru)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN114509026A (zh) * 2022-04-19 2022-05-17 中国科学院西安光学精密机械研究所 亚角秒级角度测量系统、方法及相对变形角度测量方法

Non-Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
Авторское свидетельство СССР № 1283525, кл. G 01 В 11/30, 12.12.84. *

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN114509026A (zh) * 2022-04-19 2022-05-17 中国科学院西安光学精密机械研究所 亚角秒级角度测量系统、方法及相对变形角度测量方法
CN114509026B (zh) * 2022-04-19 2022-08-19 中国科学院西安光学精密机械研究所 亚角秒级角度测量系统、方法及相对变形角度测量方法

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US20230417532A1 (en) Interferometer displacement measurement system and method
JPH0363001B2 (ru)
WO1992004619A1 (en) Reflective optical instrument
SU1499115A2 (ru) Оптико-электронное устройство дл контрол неплоскостности
EP0333783B1 (en) Straightness interferometer system
US4281896A (en) Shared aperture separator for reciprocal path optical beams
EP0132370B1 (en) Apparatus for measuring optical transmission factor
US5049757A (en) Method for scanning a plurality of optical measuring reflectors and an apparatus for performing the method
SU1585670A1 (ru) Способ измерени толщины стенки прозрачных труб и устройство дл его осуществлени
GB1367886A (en) Measuring apparatus
JP3502475B2 (ja) 真直度測定装置
SU1132147A1 (ru) Лазерный интерферометр перемещений
SU1538039A1 (ru) Устройство дл измерени линейных размеров изделий
SU1587327A1 (ru) Интерферометр
JPH10132507A (ja) 干渉計
SU1283525A1 (ru) Оптико-электронное устройство дл контрол неплоскостности
SU1479825A1 (ru) Лазерный измеритель углового положени объекта
SU1165880A1 (ru) Устройство дл измерени перемещений
SU1416865A1 (ru) Устройство дл контрол малых угловых смещений
SU539288A1 (ru) Оптико-электронное измерительное устройство
JPS63145910A (ja) 2つの物体の間の距離を決定するための装置
SU1647241A1 (ru) Лазерный интерференционный прибор
RU2018112C1 (ru) Устройство для измерения коэффициентов отражения и пропускания
CN110749380A (zh) 一种利用干涉原理完成激光波长测量的装置与方法
SU777410A1 (ru) Устройство дл контрол дефектов полированных поверхностей оптических деталей с углом полного внутреннего отражени