SU1312377A1 - Устройство дл измерени перемещений - Google Patents

Устройство дл измерени перемещений Download PDF

Info

Publication number
SU1312377A1
SU1312377A1 SU853972436A SU3972436A SU1312377A1 SU 1312377 A1 SU1312377 A1 SU 1312377A1 SU 853972436 A SU853972436 A SU 853972436A SU 3972436 A SU3972436 A SU 3972436A SU 1312377 A1 SU1312377 A1 SU 1312377A1
Authority
SU
USSR - Soviet Union
Prior art keywords
photodetector
diaphragm
reflector
mirror
slit
Prior art date
Application number
SU853972436A
Other languages
English (en)
Inventor
Валерий Николаевич Шиляев
Владимир Баянович Шрамек
Станислав Александрович Тюрин
Виталий Андреевич Мыльников
Original Assignee
Устиновский механический институт
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Устиновский механический институт filed Critical Устиновский механический институт
Priority to SU853972436A priority Critical patent/SU1312377A1/ru
Application granted granted Critical
Publication of SU1312377A1 publication Critical patent/SU1312377A1/ru

Links

Landscapes

  • Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)

Abstract

Изобретение относитс  к измерительной технике и может быть использовано дл  измерени  скорости, направлени  и амплитуды перемещений. Цель изобретени  - повышение чувствительности устройства и точности измерени  путем уменьшени  погрешности дискретности устройства и обеспечени  возможности непрерьгоного измерени  положени  объекта. Пучок излучени , пройд  диафрагму 7 и отразившись от зеркал 8 и 9, размещенных на противоположных концах отражателей 2 и 3, создает многократное отражение между отражател ми 2 и 3 и, пройд  оптическую систему 10, состо щую из плоского зеркала 11 и параболического зеркала 12, сканирует поверхность координатно-чувствительного фотоприемника 14. Информаци  о перр- мещении объекта в электрическом виде поступает с фотоприемника 14 в вычислительный блок 15, обрабатываетс  и выдаетс  на регистратор 16. 1 ил. S (Л 00 to оо 1

Description

Изобретение относитс  к измерительной технике и может быть использовано дл  измерени  скорости, направлени  и амплитуды перемещений.
Цель изобретени  - повышение чув- ствительности устройства и точности измерени  достигаетс  путем уменьшени  погрешности дискретности устройства и обеспечени  возможности непрерывного измерени  положени  объекта.
На чертеже представлена оптическа  схема устройства.
Устройство содержит источник 1 излучени , оцтически св занные с ним два отражател  2 и 3, расположенные взаимно параллельно и обращенные друг к другу отражающими поверхност ми, отражатель 2 установлен неподвижно и выполнен составным из последовательно скрепленных отражающей части 4, щелевой диафрагмы 5 шириной f и светопоглощающей части 6, в которой выполнена кольцева  диафрагма 7, оптически св занна  с источником 1 и двум  зеркалами 8 и 9. Зеркало 8 рас-
положено под углом 45 к поверхности отражател  2, а зеркало 9 - под острым углом к поверхности отражател  3. Оптическа  система 10 выполнена составной из скрепленных плоского зеркала 11, установленного под острым углом к поверхности отражател  2, и параболического зеркала 12, расположенного так, что его фокус находитс  на внешней отражающей поверхности попадает на фотоприемник 14 и при 13 отражател  2, закреплена на внешней стороне отражател  2 и оптически св зана с фотоприемником 14, а через диафрагму 5 с отражателем 3. Фотоприемник 14 через вычислительньй блок 15 электрически св зан с регистратором 16.
Ширину f щелевой диафрагмы 5 определ ют по формуле
перемещении объекта сканирует по в апертуре координатно-чувствительно элемента фотоприемника 14. Фотопри ник 14 определ ет величину и напра 40 ние перемещени  объекта и выдает э трические сигналы на вычислительны блок 15, где информаци  обрабатыва с  и передаетс  в регистратор 16.
f 2h/tg2 (-|- - 9),
где h - рассто ние между отражател ми 2 и 3;
6 - угол наклона зеркала 9 относительно плоскости отражател  3.
Устройство работает следующим образом .
Пучок излучени  от источника 1, пройд  через кольцевую диафрагму 7, отражаетс  от зеркала 8 и поступает на зеркало 9, установленное под угло 8 к поверхности отражател  3, Отра
зившись от зеркала, пучок попадает на систему параллельных отражателей 2 и Зз гдвэ многократно отразившись, образует на поверхност х отражателей 2 и 3 световую шкалу с шагом 1 2h(tg 2 ), где h - рассто ние между отражател ми 2 и 3. При движении отражател  3, св занного с объектом , светова  шкала перемещаетс  вместе с ним относительно неподвижного отражател  2, в щелевую диафрагму 5 поступают световые пучки, отраженные от отражател  2, и по мере перемещени  объекта перемещаютс  параллельно себе из положени  А в положение А . При переходе положени  А в створ диафрагмы 5 попадает следующий узел отражени , так как ширина диафрагмы 5 , пучок снова занимает положение А и процесс повтор етс . Наличие своггопоглотающей части 6 отражател  2 обусловлено необходимостью устранени  фоновых засветок диафрагмы 5.
Прошедший диафрагму 5 пучок попадает на параболическое зеркало 12 оптической , системы 10 и. отразившись от него, поступает в точку F фокуса параболического зеркала 12,  вл ющуюс 
точкой фокуса дл  всех параллельных ,пучков, претерпевает многократное отражение между плоекliM зеркалом 11 и внешней зеркальной поверхностью 13 отражател  2. После этого пучок
попадает на фотоприемник 14 и при
перемещении объекта сканирует по всей апертуре координатно-чувствительного элемента фотоприемника 14. Фотоприемник 14 определ ет величину и направле- 40 ние перемещени  объекта и выдает электрические сигналы на вычислительный блок 15, где информаци  обрабатываетс  и передаетс  в регистратор 16.

Claims (1)

  1. 45 Формула изобретени 
    Устройство дл  измерени  перемещений ., содержащее источник излучени , оптически св занные с ним два отража50 тел , расположенные взаимно параллельно и обращенные друг к другу от- ражаюшдми поверхност ми, первый из которых установлен неподвижно и выполнен составным из последовательно
    5 скрепленных отражающей части, щелевой диафрагмы и светопоглощающей части, а второй предназначен дл  скреплени  с объектом, фотоприемник и регистратор , электрически св занный с фото13123774
    тически св заны между собой, вычи тельным блоком, электрически св з ным с фотоприемником и регистрато в светопоглощающей части первого ражател  выполнена кольцева  диаф ма, оптически св занна  с источни ком излучени , фотоприемник выпол в виде координатно-чувствительног преобразовател  и оптически св за через оптическую систему со щелев диафрагмой, ширина которой опреде етс  по формуле
    3
    приемником, отличающеес  тем, что, с целью повышени  чувствительности устройства и точности измерени , оно снабжено оптической системой , закрепленной на внешней стороне с первого отражател  и выполненной составной из последовательно скреплен- ° ных плоского зеркала, установленного под острым углом к поверхности пер- вог® отражател , и параболического fO зеркала, расположенного так, что его фокус находитс  на внешней поверхности первого отражател , на которую нанесено отражающее покрытие, двум  зеркалами, которые установлены на проf5 где f - ширина щелевой диафрагмы; тивоположном конце каждого из отра- жателей соответственно под пр мым и острым углами к их плоскост м и оп- 0
    f 2h/tg2 ( -0 ),
    -рассто ние между отражате л ми ;
    -угол наклона второго зерк
    123774
    тически св заны между собой, вычислительным блоком, электрически св занным с фотоприемником и регистратором, в светопоглощающей части первого отражател  выполнена кольцева  диафрагма , оптически св занна  с источником излучени , фотоприемник выполнен в виде координатно-чувствительного преобразовател  и оптически св зан через оптическую систему со щелевой диафрагмой, ширина которой определ етс  по формуле
    с ° fO f5 где f - ширина щелевой диафрагмы; 0
    ирина щелевой диафраг
    f 2h/tg2 ( -0 ),
    - ширина щелевой диафрагмы;
    -рассто ние между отражател ми ;
    -угол наклона второго зеркала.
SU853972436A 1985-10-01 1985-10-01 Устройство дл измерени перемещений SU1312377A1 (ru)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SU853972436A SU1312377A1 (ru) 1985-10-01 1985-10-01 Устройство дл измерени перемещений

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SU853972436A SU1312377A1 (ru) 1985-10-01 1985-10-01 Устройство дл измерени перемещений

Publications (1)

Publication Number Publication Date
SU1312377A1 true SU1312377A1 (ru) 1987-05-23

Family

ID=21203743

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
SU853972436A SU1312377A1 (ru) 1985-10-01 1985-10-01 Устройство дл измерени перемещений

Country Status (1)

Country Link
SU (1) SU1312377A1 (ru)

Non-Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
Авторское свидетельство СССР № 1165880, кл. G 01 В 11/06, 1985. *

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US4660980A (en) Apparatus for measuring thickness of object transparent to light utilizing interferometric method
CN1979091A (zh) 光学测量系统
US3658426A (en) Alignment telescope
US20230417532A1 (en) Interferometer displacement measurement system and method
CN108444396B (zh) 光路一致式位移传感器及其测量方法
SU1312377A1 (ru) Устройство дл измерени перемещений
JPH02504553A (ja) 光電スケール読取装置
CN109084691B (zh) 一种折射式位移传感器及其测量方法
JPH01212384A (ja) 光ビーム物体検出装置
CN209027459U (zh) 带有折射镜的可提高放大倍数的位移传感器
CN108917612B (zh) 跟踪式位移传感器及其测量方法
CN108444397B (zh) 位移传感器及其测量方法
US4032236A (en) Optical multiple-reflection arrangement
CN109141257A (zh) 带有折射镜的可提高放大倍数的位移传感器及其测量方法
RU2044264C1 (ru) Оптический датчик перемещений
SU1587327A1 (ru) Интерферометр
SU1165880A1 (ru) Устройство дл измерени перемещений
SU1578456A1 (ru) Устройство дл многократных отражений в двухлучевом интерферометре
SU1411580A1 (ru) Устройство дл контрол пр молинейности перемещений
SU1490463A1 (ru) Устройство дл многократных отражений в двухлучевом интерферометре
SU1416865A1 (ru) Устройство дл контрол малых угловых смещений
RU1816964C (ru) Устройство дл измерени шероховатости поверхности издели
RU1781541C (ru) Автоматический дальномер
RU2164662C2 (ru) Оптический датчик перемещений
SU1703970A1 (ru) Устройство дл определени поперечных смещений