SU1312377A1 - Устройство дл измерени перемещений - Google Patents
Устройство дл измерени перемещений Download PDFInfo
- Publication number
- SU1312377A1 SU1312377A1 SU853972436A SU3972436A SU1312377A1 SU 1312377 A1 SU1312377 A1 SU 1312377A1 SU 853972436 A SU853972436 A SU 853972436A SU 3972436 A SU3972436 A SU 3972436A SU 1312377 A1 SU1312377 A1 SU 1312377A1
- Authority
- SU
- USSR - Soviet Union
- Prior art keywords
- photodetector
- diaphragm
- reflector
- mirror
- slit
- Prior art date
Links
Landscapes
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
Abstract
Изобретение относитс к измерительной технике и может быть использовано дл измерени скорости, направлени и амплитуды перемещений. Цель изобретени - повышение чувствительности устройства и точности измерени путем уменьшени погрешности дискретности устройства и обеспечени возможности непрерьгоного измерени положени объекта. Пучок излучени , пройд диафрагму 7 и отразившись от зеркал 8 и 9, размещенных на противоположных концах отражателей 2 и 3, создает многократное отражение между отражател ми 2 и 3 и, пройд оптическую систему 10, состо щую из плоского зеркала 11 и параболического зеркала 12, сканирует поверхность координатно-чувствительного фотоприемника 14. Информаци о перр- мещении объекта в электрическом виде поступает с фотоприемника 14 в вычислительный блок 15, обрабатываетс и выдаетс на регистратор 16. 1 ил. S (Л 00 to оо 1
Description
Изобретение относитс к измерительной технике и может быть использовано дл измерени скорости, направлени и амплитуды перемещений.
Цель изобретени - повышение чув- ствительности устройства и точности измерени достигаетс путем уменьшени погрешности дискретности устройства и обеспечени возможности непрерывного измерени положени объекта.
На чертеже представлена оптическа схема устройства.
Устройство содержит источник 1 излучени , оцтически св занные с ним два отражател 2 и 3, расположенные взаимно параллельно и обращенные друг к другу отражающими поверхност ми, отражатель 2 установлен неподвижно и выполнен составным из последовательно скрепленных отражающей части 4, щелевой диафрагмы 5 шириной f и светопоглощающей части 6, в которой выполнена кольцева диафрагма 7, оптически св занна с источником 1 и двум зеркалами 8 и 9. Зеркало 8 рас-
положено под углом 45 к поверхности отражател 2, а зеркало 9 - под острым углом к поверхности отражател 3. Оптическа система 10 выполнена составной из скрепленных плоского зеркала 11, установленного под острым углом к поверхности отражател 2, и параболического зеркала 12, расположенного так, что его фокус находитс на внешней отражающей поверхности попадает на фотоприемник 14 и при 13 отражател 2, закреплена на внешней стороне отражател 2 и оптически св зана с фотоприемником 14, а через диафрагму 5 с отражателем 3. Фотоприемник 14 через вычислительньй блок 15 электрически св зан с регистратором 16.
Ширину f щелевой диафрагмы 5 определ ют по формуле
перемещении объекта сканирует по в апертуре координатно-чувствительно элемента фотоприемника 14. Фотопри ник 14 определ ет величину и напра 40 ние перемещени объекта и выдает э трические сигналы на вычислительны блок 15, где информаци обрабатыва с и передаетс в регистратор 16.
f 2h/tg2 (-|- - 9),
где h - рассто ние между отражател ми 2 и 3;
6 - угол наклона зеркала 9 относительно плоскости отражател 3.
Устройство работает следующим образом .
Пучок излучени от источника 1, пройд через кольцевую диафрагму 7, отражаетс от зеркала 8 и поступает на зеркало 9, установленное под угло 8 к поверхности отражател 3, Отра
зившись от зеркала, пучок попадает на систему параллельных отражателей 2 и Зз гдвэ многократно отразившись, образует на поверхност х отражателей 2 и 3 световую шкалу с шагом 1 2h(tg 2 ), где h - рассто ние между отражател ми 2 и 3. При движении отражател 3, св занного с объектом , светова шкала перемещаетс вместе с ним относительно неподвижного отражател 2, в щелевую диафрагму 5 поступают световые пучки, отраженные от отражател 2, и по мере перемещени объекта перемещаютс параллельно себе из положени А в положение А . При переходе положени А в створ диафрагмы 5 попадает следующий узел отражени , так как ширина диафрагмы 5 , пучок снова занимает положение А и процесс повтор етс . Наличие своггопоглотающей части 6 отражател 2 обусловлено необходимостью устранени фоновых засветок диафрагмы 5.
Прошедший диафрагму 5 пучок попадает на параболическое зеркало 12 оптической , системы 10 и. отразившись от него, поступает в точку F фокуса параболического зеркала 12, вл ющуюс
точкой фокуса дл всех параллельных ,пучков, претерпевает многократное отражение между плоекliM зеркалом 11 и внешней зеркальной поверхностью 13 отражател 2. После этого пучок
попадает на фотоприемник 14 и при
перемещении объекта сканирует по всей апертуре координатно-чувствительного элемента фотоприемника 14. Фотоприемник 14 определ ет величину и направле- 40 ние перемещени объекта и выдает электрические сигналы на вычислительный блок 15, где информаци обрабатываетс и передаетс в регистратор 16.
Claims (1)
- 45 Формула изобретениУстройство дл измерени перемещений ., содержащее источник излучени , оптически св занные с ним два отража50 тел , расположенные взаимно параллельно и обращенные друг к другу от- ражаюшдми поверхност ми, первый из которых установлен неподвижно и выполнен составным из последовательно5 скрепленных отражающей части, щелевой диафрагмы и светопоглощающей части, а второй предназначен дл скреплени с объектом, фотоприемник и регистратор , электрически св занный с фото13123774тически св заны между собой, вычи тельным блоком, электрически св з ным с фотоприемником и регистрато в светопоглощающей части первого ражател выполнена кольцева диаф ма, оптически св занна с источни ком излучени , фотоприемник выпол в виде координатно-чувствительног преобразовател и оптически св за через оптическую систему со щелев диафрагмой, ширина которой опреде етс по формуле3приемником, отличающеес тем, что, с целью повышени чувствительности устройства и точности измерени , оно снабжено оптической системой , закрепленной на внешней стороне с первого отражател и выполненной составной из последовательно скреплен- ° ных плоского зеркала, установленного под острым углом к поверхности пер- вог® отражател , и параболического fO зеркала, расположенного так, что его фокус находитс на внешней поверхности первого отражател , на которую нанесено отражающее покрытие, двум зеркалами, которые установлены на проf5 где f - ширина щелевой диафрагмы; тивоположном конце каждого из отра- жателей соответственно под пр мым и острым углами к их плоскост м и оп- 0f 2h/tg2 ( -0 ),-рассто ние между отражате л ми ;-угол наклона второго зерк123774тически св заны между собой, вычислительным блоком, электрически св занным с фотоприемником и регистратором, в светопоглощающей части первого отражател выполнена кольцева диафрагма , оптически св занна с источником излучени , фотоприемник выполнен в виде координатно-чувствительного преобразовател и оптически св зан через оптическую систему со щелевой диафрагмой, ширина которой определ етс по формулес ° fO f5 где f - ширина щелевой диафрагмы; 0ирина щелевой диафрагf 2h/tg2 ( -0 ),- ширина щелевой диафрагмы;-рассто ние между отражател ми ;-угол наклона второго зеркала.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
SU853972436A SU1312377A1 (ru) | 1985-10-01 | 1985-10-01 | Устройство дл измерени перемещений |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
SU853972436A SU1312377A1 (ru) | 1985-10-01 | 1985-10-01 | Устройство дл измерени перемещений |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
SU1312377A1 true SU1312377A1 (ru) | 1987-05-23 |
Family
ID=21203743
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
SU853972436A SU1312377A1 (ru) | 1985-10-01 | 1985-10-01 | Устройство дл измерени перемещений |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
SU (1) | SU1312377A1 (ru) |
-
1985
- 1985-10-01 SU SU853972436A patent/SU1312377A1/ru active
Non-Patent Citations (1)
Title |
---|
Авторское свидетельство СССР № 1165880, кл. G 01 В 11/06, 1985. * |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US4660980A (en) | Apparatus for measuring thickness of object transparent to light utilizing interferometric method | |
CN1979091A (zh) | 光学测量系统 | |
US3658426A (en) | Alignment telescope | |
US20230417532A1 (en) | Interferometer displacement measurement system and method | |
CN108444396B (zh) | 光路一致式位移传感器及其测量方法 | |
SU1312377A1 (ru) | Устройство дл измерени перемещений | |
JPH02504553A (ja) | 光電スケール読取装置 | |
CN109084691B (zh) | 一种折射式位移传感器及其测量方法 | |
JPH01212384A (ja) | 光ビーム物体検出装置 | |
CN209027459U (zh) | 带有折射镜的可提高放大倍数的位移传感器 | |
CN108917612B (zh) | 跟踪式位移传感器及其测量方法 | |
CN108444397B (zh) | 位移传感器及其测量方法 | |
US4032236A (en) | Optical multiple-reflection arrangement | |
CN109141257A (zh) | 带有折射镜的可提高放大倍数的位移传感器及其测量方法 | |
RU2044264C1 (ru) | Оптический датчик перемещений | |
SU1587327A1 (ru) | Интерферометр | |
SU1165880A1 (ru) | Устройство дл измерени перемещений | |
SU1578456A1 (ru) | Устройство дл многократных отражений в двухлучевом интерферометре | |
SU1411580A1 (ru) | Устройство дл контрол пр молинейности перемещений | |
SU1490463A1 (ru) | Устройство дл многократных отражений в двухлучевом интерферометре | |
SU1416865A1 (ru) | Устройство дл контрол малых угловых смещений | |
RU1816964C (ru) | Устройство дл измерени шероховатости поверхности издели | |
RU1781541C (ru) | Автоматический дальномер | |
RU2164662C2 (ru) | Оптический датчик перемещений | |
SU1703970A1 (ru) | Устройство дл определени поперечных смещений |