SU1490463A1 - Устройство дл многократных отражений в двухлучевом интерферометре - Google Patents

Abstract

Изобретение относитс  к измерительной технике и может быть использовано в двухлучевых интерферометрах дл  регистрации механических быстропротекающих процессов. Целью изобретени   вл етс  повышение точности интерферометра за счет повышени  числа отражений и уменьшени  габаритных размеров. Уголковый отражатель 4 направл ет входной луч J₀ на поверхность фокусирующего элемента, выполненного в виде вогнутого зеркала 3, параллельно его оптической оси. Луч фокусируетс  на поверхность плоского зеркала 1, установленного на контролируемом объекте 2. Отража сь последовательно от зеркал 1, 3, уголкового отражател  5, зеркал 3, 1, 3 и уголкового отражател  4, двухкратно отраженный от контролируемого объекта луч J₂ выводитс  в схему интерферометра. Дл  увеличени  кратности отражений достаточно увеличить количество уголковых отражателей 4, 5, расположив их по периферии апертуры вогнутого зеркала 3. Между плоским и вогнутым зеркалами кратность отражений возможно регулировать перемещением одного из уголковых отражателей. 1 з.п. ф-лы, 2 ил.

Description

Фив.

Изобретение относитс  к измерительной технике и может быть использвано в интерференционных устройствах дл  измерени  малых перемещений.

Целью изобретени   вл етс  повышение точности интерферометра за счет сокращени  потерь света, увеличение кратности отражений и оптимизации компоновки элементов.

На фиг.1 приведено устройство многократных отражений, вид сбоку; на фиг.2 - то же, вид со стороны вогнутого зеркала.

Устройство содержит плоское зеркало 1, установленное на noBepxHoctH контролируемого объекта 2 в сЬокусе сферического вогнутого зеркала 3. Между контролируемым объектом 2 и зеркалом 3 на периферии световой апертуры вогнутого зеркала 3 расположены уголковые отражатели 4 и 5.

Перифери  световой апертуры вогнутого зеркала 3 одредел етс  с учетом того, что установленные уголковые отражатели 4, 5, возвращающие лучи, идущее параллельно оптической оси, не должны перекрывать лучи, сход щиес  в фокусе, т.е. уголковые отражатели 4,5 должны быть установлены на рассто нии L от оптической оси вогнутого зеркала 3 больше, чем величина (l-b)/2F, где F - фокусное рассто ние вогнутого зеркала 3; b - его диаметрj 1 - рассто ние между уголковым отражателем 4,5 и фокусом вогнутого зеркала, С помощью уголкового отражател  4, установленного с частичным перекрытием световой апертуры вогнутого зеркала 3, осуществл етс  ввод оптического луча из интерферометра в устройство дл  многократных отражений и вьгоод его обратно в интерферометр. Лл  изменени  числа кратности отражений в устройстве и получени  необходимой чувствительности интерферометра достаточно увеличить количество уголковых отражателей , расположив их по окружности аналогично расположению уголкового отражател  5 так, чтобы они не перекрывали сход щиес  в. фокусе лучи и обеспечивали последовательное прохождение оптического луча (каждый раз после отражени  от контролируемого объекта ) дополнительно устанавливаемых уголковых отражателей.

Увеличение чувствительности воз- и заменой последнего по ходу

луча уголкового отражател  плоским зеркалом. В этом случае луч проходит обратный путь и дополнительно испытывает такое же количе«.тво отражений , как при первоначальнвм проходе. Ввод и вывод оптического луча из устройства может производитьс  двум  различными уголковыми отражател ми. Вместо уголковьгх отражателей дл  ввода и вывода из устройства оптических лучей могут быть использованы и другие оптические элементы - плоские зеркала, различные призмы. Дл  упро- щени  конструкции устройства и его использовани  в интерферометре оптические лучи могут вводитьс  и выводитьс  из устройства через отверсти  или пропилы в вогнутом зеркале, спе- циально изготовленные в месте прохода входного и выходного лучей.

Устройство работает следующим образом .

Уголковый отражатель 3 направл ет падающий на него из интерферометра входной луч IQ на поверхность вогнутого зеркала 3, отражаетс  от нее и, так как уголковый отражатель 4 направл ет луч света на вогнутое зерка- ло 3 параллельно ее оптический оси О, попадает на поверхность контролируемого объекта 2 - зеркало 1, отраженный от контролируемого объекта 2 луч света (луч I) последовательно отра- жаетс  от вогнутого зеркала 3, уголкового отражател  5, оп ть от вогнутого зеркала 3 и второй раз от зеркала 1, соединенного с контролируемым объектом 2. Теперь двукратно от- раженный от контролируемого объекта луч I1 с помощью уголкового преобразовател  4 выводитс  в схему интерферометра , в котором использовано устройство. Если в качестве элемен- тов, соедин ющих оптические схемы устройства и интерферометра, использованы , например, плоские зеркала, они должны быть установлены так, чтобы луч света между ними и вогнутым зеркалом 3 щел по пути, параллельному оптической оси этого зеркала. За счет расположени  уголковых отражателей или использовани  вместо последнего уголкового отражател  плоского зер- кала входной и выходной лучи из блока многократных отражений могут совпадать , как и информативные лучи в известных схемах интерферометров. Перемещение одного из уголковых отра

жателей позвол ет регулировать кратность отражений.

Claims (2)

1. Устройство дл  многократных отражений в двухпучевом интерферометре , содержащее плоское зеркало, предназначенное дл  установки на контролируемом объекте, фиксирующий элемент , расположенный перед плоским зеркалом, что оно лежит в Локальной плоскости фокусирующего элемента, и систему уголковых отражателей, отличающеес  тем, что, с целью увеличени  точности интерферо

метра, фокусирующий элемент выполнен в виде вогнутого зеркала, а система уголковых отражателей установлена между плоским и вогнутым зеркалами по периферии световой апертуры вогнутого зеркала так,что отражающие поверхности уголковых отражателей обращены к вогнутому зеркалу.

2. Устройство по п.1, о т л и ч а- ю щ е е с   тем, что по крайней мере один из уголковых отражателей системы установлен с возможностью перемещени  в направлении, перпендикул рном оптической оси вогнутого (зеркала.

/

Фиг. г