SU1312380A1 - Устройство дл контрол шероховатости поверхности - Google Patents

Abstract

Изобретение относитс  к измерительной технике. Цель изобретени  - повышение точности контрол  за счет уменьшени  вли ни  полупрозрачной пластины (ПП) на величину диффузно отраженного излучени  (ОН). Устройство содержит источник 1 света, колли- , мирующую линзу 2, соосно расположенный с ней первый цилиндрический отражатель (ЦО) 7 с отверсти ми 5 и 6, за которыми расположены соответственно фотоприемник (Ф) 3 сравнени  и Ф 4 дл  регистрации зеркально ОИ, расположенный коаксиально с первым второй ЦО 12, в котором расположен источник 1 света, ПП 9, закрепленную на втором ЦО, Ф 11 дл  регистрации диффузно ОИ, рассеиватель 13. Кроме того, устройство снабжено фокусирующей линзой 14, установленной во втором ЦО 12. Зеркальна  составл кмца  ОИ от контролируемой поверхности 15 поверхностью 10 ПП 9 направл етс  на Ф 4 дл  регистрации зеркально ОИ, диффузна  составл юща  ОИ, многократно отразившись от поверхностей первого 7 и второго 12 ЦО, почти вс  (за исключением части ее, попадающей в отверсти  5 и 6 и на ПП 9, размеры которой соизмеримы с размером источника 1 света ) принимаетс  Ф 11. 1 з.п. ф-лы, 1 ил. Ф (Л со го со оо о

Description

Изобретение относитс  к измерительной технике и может быть использовано , в частности, дл  контрол  шероховатости поверхности.

Цель изобретени  -, повышение точ- .ности контрол  за счет уменьшени  вли ни  полупрозрачной пластины на величину диффузно отраженного излучени .

На чертеже, изображена принципиальна  схема устройства дл  контрол  шероховатости поверхности.

Устройство содержит источник 1 света, коллимирующую линзу 2, фотоприемник 3 сравнени  и фотоприемник регистра1.и1И зеркально отраженного излучени , расположенные соответственн за первым и вторым отверсти ми 5 и 6 в первом цилиндрическом отражателе 7 ось которого совпадает с оптической осью коллимирующей линзы 2, причем центр пергюго отверсти  5 находитс  на оси, пересекающей оптическую ось коллимирующей линзы 2 на поверхности

8полупрозрачной пластины 9 со стороны источника 1 света, центр второго отверсти  6 находитс  на оси, пересекающей оптическую ось коллимирующей линзы 2 на поверхности 10 полупрозрачной пластины 9 со стороны колли- мируюц;ей линзы 2, фотоприемннк 1 1

дл  регистрации диффузно отраженного излучени , расположенный на оптической оси коллимирующей линзы 2 за источником 1 света, установленным во втором Ц1 шиндрическом отражателе 12, на котором под углом (например, 45) закреплена полупрозрачна  пластина

9и который располонсен коаксиально с nepBbL i цилиндрическим отражателем 7, рассеиватель 13 дл  обеспечени  равномерного распределени  пото; . ff.- фотоприемнике 11, блок обработки сиг налор с фотоприемников 3, 4 и 11 (не показан).

Кроме того, устройство снабжено установленной во втором цилиндрическом отражателе 12 фокусирующей линзой 14, оптическа  ось которой совпадает с осью, проход щей через цент первого отверсти  5,

Устройство работает следующим образом.

Излучение, посылаемое источником 1 света, попадает на поверхность 8 полупрозрачной пластины 9 и раздваиваетс  . Отраженный пучок фокусирующей линзой 14 собираетс  на фотопри- .емнике 3, Так как задний фокус фоку23802

сирующей линзы 14 находитс  на образующей первого цилиндрического отражател  7, то размер первого отверсти  5 мал, а величина его определ етс с  диаметром п тна сфокусированного луча источника 1 света.. Прошедший пучок коллимирующей линзой 2 проецируетс  на контролируемую поверхность 15, Источник 1 света расположен в

JO фокальной плоскости колллимирутощей линзы 2, поэтому освещение контролируемой поверхности 15 происходит параллельным пучком по нормали к ней. Отраженное от поверхности 15 излу15 чение делитс  на две составл ющие: зеркальную и диффузную. Зеркальна  составл юща  проходит коллимирующую линзу 2 и после отражени  от поверхности 10 полупрозрачной пластины 9

20 через второе отверстие 6 собираетс  на фотоприемнике 4 дл  регистрации зеркально отраженного излучени . Диффузна  составл юща , многократно отразившись от.поверхности первого и

второго цилиндрических отражателей

. 7 и 12, проходит рассеиватель 13 и попадает на фотоприемник 11 дл  регистрации диффузно отраженного излучени . Блок обработки сигналов с фото30 приемников 3, 4 и 11 обрабатывает полученные сигналы с фотоприемников и выдает результат на отсчетное устройство (не показано),

Claims (2)

1. 35 Формула изобретени 

   1, Устройство дл  контрол  шероховатости поверхности, содержащее по- схседовательно расположенные источник

   40-света и коллимирующую линзу, два цилиндрических отражател , первый из которых установлен так, что его ось совпадает с оптической осью коллимирующей линзы, полупрозрачную пласти45 ну расположенную между источником света и коллимирующей линзой под углом к оси последней, фотоприемник ДЛ.Я регистрации зеркально отраженного излучени , фотоприемник дл  реги50 страции диффузно отраженного излучени , фотоприемник сравнени  и блок обработки сигналов с фотоприемников, отличающеес  тем, что, с целью повышени  точности контрол ,

   55 отражатели расположены коаксиально, в первом из них выполнены два отверсти  так, что центр первого отверсти  находитс  на оси, точка пересечени  которой с оптической осью коллимирую313123804

   щей линзы лежит на поверхности полу-положены за соответствующими отверспрозрачной пластины со стороны источ-ти ми, а фотоприемник дл  регистраника света, а центр второго отверсти ции диффузно отраженного излучени 

   находитс  на оси, точка пересечени расположен на оптической оси колли-

   которой с оптической осью коллимирую- 5мирующей линзы за источником света, щей линзы лежит на поверхности полупрозрачной пластины со стороны колли-
2. 2. Устройство поп.1, отлимирующей линзы, источник света ус-чающеес  тем, что оно снаб-

   тановлен во втором отражателе, полу-жено фокусирующей линзой, установленпрозрачна  пластина закреплена на 10ной во втором отражателе так, что ее

   зтом отражателе, фотоприемник сравне-оптическа  ось совпадает с осью,

   ни  и фотоприемник дл  регистрациипроход щей через центр первого отзеркально отраженного излучени  рас-версти .