SU1008615A1 - Устройство дл измерени перемещений объекта - Google Patents

Устройство дл измерени перемещений объекта Download PDF

Info

Publication number
SU1008615A1
SU1008615A1 SU813280741A SU3280741A SU1008615A1 SU 1008615 A1 SU1008615 A1 SU 1008615A1 SU 813280741 A SU813280741 A SU 813280741A SU 3280741 A SU3280741 A SU 3280741A SU 1008615 A1 SU1008615 A1 SU 1008615A1
Authority
SU
USSR - Soviet Union
Prior art keywords
mirror
beam splitter
mirrors
movable reflector
photodetector
Prior art date
Application number
SU813280741A
Other languages
English (en)
Inventor
Алексей Логинович Старков
Original Assignee
Институт электроники АН БССР
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Институт электроники АН БССР filed Critical Институт электроники АН БССР
Priority to SU813280741A priority Critical patent/SU1008615A1/ru
Application granted granted Critical
Publication of SU1008615A1 publication Critical patent/SU1008615A1/ru

Links

Landscapes

  • Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)

Description

Изобретение относитс  к изМерйтельной технике/ в частности к высокоточным интерферометрическим из мерени м линейных и угловых величин перемещаквдихс  объектов. Известен интерферометр повышенной чувствительности дл  измерени  линейных перемещений объекта, содер жащий монохроматический источник света (Не - Ne лазер,ще ь,разделитель ный блок, относительное зеркало, подвижный блок сферических зеркал, неподвижные уголковое и плоское .зеркала 1. Точность измерени  интерферометром снижаетс  вследствие чувствительности к разъюстировке плоских зеркал и самого блока сферических зеркал при незначительных .вибраци х и атмосферных изменени х, а также из-за возврата пучка света в источник . Недостатком интерферометра  вл етс  также громоздкость конструк .ции и значительные потери света. Наиболее близким к предлагаемому по технической сущности  вл етс  устройство дл  измерени  перемещени объекта, содержащее последовательно I расположенные и оптически взаимосв  занные лазерный источник света, кол лиматор, светоделитель, подвижный о ражатель, св зываемый с объектом, два автоколлимационных зеркала,. диафрагмуи фотоприемник. Светоделитель выполнен в виде склеенного полупрозрачного кубика, автоколлимационныё зеркала - неподвижные ., а подвижныйотражатель выпол нен кубическим С2. I Точность измерени  известным устройством недостаточна, так как стабильность интерференционной карти ны- также -ухудшаетс  вследствие чувст вительности к разъюстировке автоколлимационных зеркал, а также нестабильности работы источника света изза возврата пучка в него; Стабильность интерференционной картины снижаетс  также .вследствие термической неустойчивости устройства, т.е. изза неидентичного прохождени  пучков в стекле в плечах этого устройства, в измерительном - триппель-призма, а эталонном - плоское зеркало. Неидентичность , плеч оказывает разное пол ризук дее действие на пучки, что ухудшает контрастность картины. Потери света составл ют более 50%. Сложность конструкции заключаетс  в том, что необходимо, изготавливать светоделительный кубик и кубический отражатель, т.е. триппель-призму, у которой три пр мых угла при вершине взаимосв заны с высокой точностью , а это технологически трудно выполнить... Цель изобретени  - повышение точ:ности измерени  путем стабилизации интерференционной картины. Поставленна  цель достигаетс  тем, что устройство дл  измерени  перемещений объекта, содержащее последовательно расположенные и оптически взаимосв занные лазерный источник света, коллиматор, светоделитель , подвижный отражатель, св зы-, ваемый с объектом, два автоколлимационных зеркала, диафрагму и фотоприемник , снабжено дополнительными диафрагмой и фотоприемником, светоделитель и автоколлимационные Зеркала выполнены монолитным блоком в форме пр моугольного параллелепипеда с четырьм  оптическими поверхност ми с зеркальным покрытием на 3/4, поверхности входной грани и полупрозрачным покрытием на половине поверхности выходной грани, а .подвижный отражатель выполнен в виде  вухгранного зеркала, устанавливаемого так, что его ребро перпендикул рно к направлению перемещени  (Объекта. I На фиг. 1 изображена принципиальна  схема устройства дл  измерени  .перемещений объекта ; на фиг. 2 ,вид по стрелке А нафиг. 1 ( на фиг.З вид по стрелке Б на фиг. 1. Устройство дл  измерени  перемещений объекта представл ет собой фиг. 1) интерферометр, который содержит лазерный источник 1 света, коллиматор 2, светоделитель .3, подвижный отражатель 4, две диафрагмы 5 и 6 и два фотоприемника 7 и 8. Коллиматор 2 представл ет собой телескоп с увеличением 5 (крат.) . Светоделитель 3 выполнен в форме пр моугольного параллелепипеда с четырьм  гладкими оптическими поверхност ми а, в, с, d, с зеркальным покрытием на 3/4 поверхности входной грани а и полупрозрачным покрытием на половине поверхности выходйой грани с. Причем зеркальное покрытие в месте входа пучка отсутствует (фиг. 3 , а полупрозрачное покрытие в месте выхода пучка отсутствует (фиг.2; незаштрихованна  часть ). Оптические грани параллелепипеда расположены под углом 45 к направлению перемещени  объекта (не показан), стрелка е. В качестве подвижного отражател  4 использ.уетс  двухгранное зеркало с углом 90°, устанавливаемое так, что его ребро перпендикул рно направлению перемещени  объекта, и под углом 45° к выходной грани с параллелепипеда. В устройстве светоделительна  поверхность с, подвижный отражатель 4, грани а и d,- снова подвижный отражатель 4 и поверхность с образуют

Claims (1)

  1. !· УСТРОЙСТВО ДЛЯ ИЗМЕРЕНИЯ ’ ПЕРЕМЕЩЕНИЙ ОБЪЕКТА, содержащее последовательно расположенные и оптичес ки взаимосвязанные лазерный источник света, коллиматор, светоделитель, подвижный отражатель, связываемый с объектом, два автоколлимационных зеркала, диафрагму и фотоприемник, отличающееся тем, что, с целью повышения точности измерения, оно снабжено дополнительными диафрагмой и фотоприемником, светоделитель и автоколлимационные зеркала выполнены монолитным блоком в форме прямоугольного параллелепипеда с четырьмя оптическими поверхностями с зеркальным покрытием на 3/4 поверхности входной грани и полупрозрачным покрытием на половине поверхности β < выходной грани, а подвижный отража- S2 тель'выполнен в виде двухгранного зеркала, устанавливаемого так, что его ребро перпундикулярно к направлению перемещения объекта.
SU813280741A 1981-04-30 1981-04-30 Устройство дл измерени перемещений объекта SU1008615A1 (ru)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SU813280741A SU1008615A1 (ru) 1981-04-30 1981-04-30 Устройство дл измерени перемещений объекта

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SU813280741A SU1008615A1 (ru) 1981-04-30 1981-04-30 Устройство дл измерени перемещений объекта

Publications (1)

Publication Number Publication Date
SU1008615A1 true SU1008615A1 (ru) 1983-03-30

Family

ID=20955217

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
SU813280741A SU1008615A1 (ru) 1981-04-30 1981-04-30 Устройство дл измерени перемещений объекта

Country Status (1)

Country Link
SU (1) SU1008615A1 (ru)

Non-Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
1.Трофимова Н.В. Интерферометру повышенной чувствительности . Труды метрологических институтов СССР. Вып. 01 *

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US5064289A (en) Linear-and-angular measuring plane mirror interferometer
US4746216A (en) Angle measuring interferometer
JP2755757B2 (ja) 変位及び角度の測定方法
US4436424A (en) Interferometer using transverse deviation of test beam
US3090279A (en) Interferometer using a diffraction grating
US5585922A (en) Dual interferometer apparatus compensating for environmental turbulence or fluctuation and for quantization error
US4334778A (en) Dual surface interferometer
SU1008615A1 (ru) Устройство дл измерени перемещений объекта
US4061425A (en) High resolution alignment interferometer
JPH058769B2 (ru)
SU1168800A1 (ru) ДВУХСТУПЕНЧАТЫЙ ИНТЕРФЕРОМЕТР, предназначенный, в частности
US3724950A (en) Optical instrument for determining the distance between two measuring points
US5270793A (en) Symmetrical carrier frequency interferometer
US5463652A (en) Combining optics for ring laser gyro
US4023906A (en) Compact three-beam interferometer
GB991710A (en) Improvements in or relating to devices for measuring displacements
US4516854A (en) Interferometric angular measurement system
GB1373645A (en) Interferometers
SU468208A1 (ru) Двухкоординатный автоколлиматор
SU934212A1 (ru) Интерферометр дл измерени перемещений
SU1730531A1 (ru) Двухкоординатный измеритель перемещений
SU1673925A1 (ru) Рефрактометр
SU696283A1 (ru) Способ измерени угла поворота издели
SU1132147A1 (ru) Лазерный интерферометр перемещений
SU1776989A1 (ru) Датчик угла скручивания