SU759845A1

SU759845A1 - ИНТЕРФЕРОМЕТР ДЛЯ ИЗМЕРЕНИЯ НАРУЖНЫХ РАЗМЕРОВ ДЕТАЛЕЙ 1 "" ' /

Info

Publication number: SU759845A1
Application number: SU772482276A
Authority: SU
Inventors: Aleksandr G Flejsher; Valentina A Vesnina
Original assignee: Aleksandr G Flejsher; Valentina A Vesnina
Priority date: 1977-05-03
Filing date: 1977-05-03
Publication date: 1980-08-30

Description

Изобретение относится к области измерительной техники и может быть применено для измерения диаметров цилиндров и наружных размеров дета- . лей, ограниченных плоскими поверх- $ ностями.

Известен интерферометр' /для измерения наружных размеров деталей, содержащий основание, з акрепленные на . нем коллиматор, светоделительный узел^тии зрительную трубу, установленную под углом 90° к оси коллиматора ££} .

Недостатком устройства является его высокая точность измерений, 15

Наиболее близким по технической сущности к изобретению является интерферометр для измерения наружных размеров деталей, содержащий основание, закрепленные на нем коллиматор, 20 светоделительный узел и зрительную трубу, установленную под углом 90® к оси коллиматора и плоскости основания , размещенные на .основании измерительную позицию, подвижные карет- 25 ки, установленные с противоположных сторон измерительной позиции, два рабочих и два опорных канала, включающие каждый микрообъектив и два плоских* зеркала, установленные под углом 30

2

90° друг к другу и под углом 45° к оси микрообъектива, микрообъективы рабочих каналов' соосны друг другу и установлены на п'одвижных каретках, а опорные каналы включают отражательные элементы £2] .

Этот интерферометр обладает невысокой точностью и производительностью.

Целью Изобретения 'является повышение точности и производительности измерений. ,

Поставленная цель достигается тем, что в данном ^ус^ойстве подвижные каретки кинематически связаны между ,собой, микрообъективы опорных кана/лов установлены на подвижных каретках соосно между собой, их оптическая ось параллельна оптической оси микрообъективов рабочих каналов, а отражательные элементы выполнены в виде плоских зеркал, установленных в фокальных плоскостях микрообъективОв опорных каналов.

На чертеже приведена схема интерферометра.

Устройство содержит основание (не показано), закрепленные на нем коллиматор» 1, светоделительный узел 2 и зрительную трубу 3, установлен3

759845

ную под углом 90® к оси коллиматора 1 и плоскости основания, размещённые на основании измерительную позицию 4, подвижные каретки 5, установленные с противоположных сторон измерительной позиции 4 и кинема- г тически связанные между собой, ме- ³ханизм 6 перемещения каретки 5 и два рабочих и два опорных канала.

Каждый рабочий канал включает микрообъектив 7(8) и два плоских зеркала 9, 10 (11, 12). Микрообъективы 7 и 8 соосны друг другу и расположены на каретках 5.

Зеркала 9, 10 (11, 12) установлены под углом 90° друг к другу и под углом 45° к оси микрообъектива 7(8).

Каждый опорный канал включает микрообъектив 13(14) и плоские зеркала 15, 16, 17 (18, 19, 20).

Микрообъективы 13 и 14 соосны друг другу и расположены на каретках 5. ' 20

При этом их оптическая ось Параллельна оптической оси микрообъективов 7 И 8. ,

Зёркала 15, 16(18,19) установлены под углом 90° друг к другу и под 25

углом 4 ЕР к оси микрообъектива 13(14).

Зеркало 17(20) установлено в фокальной плоскости микрсгобъектива 13(14) .

Кроме того, интерферометр вклю- зд чает ахроматический клиновой компенсатор 21.

Интерферометр работает по методу сравнения измеряемой детали е образцовой или с‘блоком концевых мер. ·.

Выходящий из коллиматора пучок ³

параллельных лучей разделяется светоделительным узлом 2 на два рабочих и два опорных канала, причём каналы, образующие пару (один рабочий и один опорный), направлены в противо- 40 положныё,стороны, спомощью системы зеркал 9, 10(11, 12) и микрообъектива 7 (8) рабочего каната изображения щелевой диафрагмы коллиматора 1 проецируется соответственно на 45

диаметрально противоположные поверхности контролируемой детали 22.

С помощью зеркал ,15, 16(18, 19) и микрообъектива .3.3(11) опорного канала изображения щелевой диафрагмы ; коллиматора 1 проецируются соответственно на поверхности зеркала 17’(20). Пучки лучей, отраженные от поверхностей детали 22 и зеркал 17 и 20, идут обратно по тем же направ- ₅_ лениям, и после соединения их На раз- ³³делительной грани призмы-куб светоделительного узла 2 попадают в объектив зрительной трубы 3. При этом в поле зрения окуляра зрительной трубы 3 наблюдаются два касающиеся друг дру- 60 га изображения светящейсящели.

В процессе измерения с помощью'механизма 6 перемещения кареток 5 устанавливают объективы 7, 13(8, 14) на номинальный размер измеряемой дета- ¢5

ли 22. Затем между ними устанавливают блок концевых мер (образцовую деталь) и измеряемую деталь, например, цилиндрическую. Наблюдая в окуляр, перемещают деталь (концевую меру или цилиндр) вдоль линии измерения, добиваяОь правильности положения детали относительно интерферометра. При правильно установленном положении деталей в поле зрения На изображениях щелей видны две системы интерференционных полос в белом свете, нулевые полосы которых совмещены с нитью окуляра. При установке концевой меры полосы имеют форму прямых полос, а при установке цилиндрической детали - форму дуг. При введении на позицию контроля измеряемой детали, размер которой не равен размеру образцовой, две системы полос на изображениях щелей расходятся. Величину расхождения измеряют с помощью ахроматического клинового компенсатора 21. . _·

Так как каждая каретка 5 несет на себе микрообъектив 7(8) рабочего канала и микрообъектив 13(14) опорного канала, оптические оси которых параллельны и расположены на близком расстоянии друг от друга, то при перемещении кареток 5 длина хода лучей в каждом канале изменяется на одну и ту же величину. При этом одновременно с фокусировкой микрообъективов 7, 8 на поверхности детали происходит компенсация воздушной разности хода, что значительно сокращает время настройки интерферометра, а близость расположения к рабочим каналам опорных каналов позволяет избежать нестабильности измерения от воздействия температуры внешней среды 'и вибраций.

Изобретение позволяет значительно повысить точность и производительность измерений.

ι

Claims

Формула изобретения

Интерферометр для измерения наруж-. ных размеров деталей,содержащий основание, закрепленные на нем коллиматор, светоделительный узел и зрительную трубу, установленную под углом 90° к оси коллиматора и плоскости основания, размещенные на основании измерительную позицию', подвижные каретки, установленные с противоположных сторон измерительной позиции, два рабочих и два опорных канала, включающие каждый микрообъектив и два плоских зеркала, установленные под углом 90° друг к другу и под углом 45° к оси микрообъектива, микрообъективы рабочих каналов соосны друг другу и установлены на подвижных каретках, а опорные каналы включают отражательные

5 ' 759845 6

элементы, отличающийся тем, что, с целью повьвпения точности и производительности измерений, подвижные каретки кинематически связаны между собой, микрообъективы /опорных каналов установлены на подвижных каретках соосно между /собой, их оптическая ось ..параллельна оптической оси микродбъёктивов рабочих каналов, а отражательные элементы выполнены в виде плоских зеркал, установленных в фокальных плоскостях микрообъективов опорных каналов.