SU1084597A1 - Интерферометр дл контрол вогнутых эллипсоидов вращени - Google Patents

Abstract

ИНТЕРФЕРОМЕТР ДЛЯ КОНТРОЛЯ ВОГНУТЫХ ЭЛЛИПСОДЦОВ ВРАЩЕНИЯ., содер жащий монохроматический источник , света, оптическую систему, формируютщую точечное изображение источника света, светоделитель, дел щий световой пучок на две ветви, зеркало с эталонной поверхностью, установленное в одной ветви, и наблюдательную систему, отличающийс  тем, что, с целью повышени  точности контрол , он снабжен последовательно расположенными за оптической системой диафрагмой, установленной в плоскости точечного изображени  источника света, и выпуклым сферическим зеркалом с центральным отверстием, сферическое зеркало установлено так, что центр его кривизны и диафрагма наход тс  с одной стороны относительно выпук (О лой поверхности этого зеркала. с

Description

00

ел

со

ч1 Изобретение относитс  к измерительной технике и может быть исполь зовано дл  контрол  качества оптических систем, в частности тэогнутых эллипсоидов вращени . Известен интерферометр дл  контрол  оптических поверхностей, содержащий телескопическую осветитель ную систему, плоскопараллельный све тоделитель, микрообъектив и апланат ческий мениск, одна из поверхностей которого служит дл  образовани  фронта сравнени , и микрообъектив в ветви наблюдени  13Недостатками данного интерферрме ра  вл ютс  высокие требовани  и трудоемкость юстировки, а также бол шое число паразитных бликов, снижаю щих контраст интерференционной картины , а следовательно, и точность измерений. Кроме того, дл  контрол  сферических поверхностей требуетс  дополнительное специальное дорогосто щее оборудование. Наиболее близким к предлагаемому по технической сущности  вл етс  интерферометр дл  контрол  вогнутых эллипсоидов вращени , содержащий мо нохроматический источник света, оптическую систему, формирующую точечное изображение источника света, и светоделитель, дел щий световой пучок на две ветви, зеркало с эталонной поверхностью, установленное в одной ветви, и наблюдательную сиетему 2. Известный интерферометр может примен тьс  дл  контрол  вогнутых эллипсоидов вращени , однако при больших эксцентриситетах эллипсоидов требуетс  образцова  сферическа  поверхность очень большого диаметра Кроме того, контрольна  схема получаетс  больших габаритов. Оба указанных , недостатка и отсутствие диафрагмы в плоскости точечного изображени  источника света значительно понижают точность контрол , так как система получаетс  очень, сложной и крупногабаритной, а точка недостаточно высокого .качества. Цель изобретени  - повышение точности контрол . Поставленна  цель достигаетс  тем, что интерферометр дл  контрол  вогнутых эллипсоидов вращени , содержащий монохроматический источник света, оптическую систему, формирующую точечное изображение источника света, и светоделитель, дел щий световой пучок на две ветви, зеркало с эталонной поверхностью, установленное в одной ветви, и наблюдательную систему, снабжен последовательно расположенньв и за оп ической системой диафрагмой, установленной в плоскости точечного изображени  источника света,и выпуклым сферическим зеркалом с центральным отверстием , сферическое зеркало установлено так, что центр его кривизны и диафрагма наход тс  с одной стороны относительно выпуклой поверхности этого зеркала. На чертеже изображена принципиальна  схема интерферометра дл  контрол  вогнутых эллипсоидов вращени . Интерферометр содержит монохроматический источник 1 света, оптическую систему 2, формирующую точечное изображение источника света, светоделитель 3, дел щий световой пучок на две ветви, зеркало 4 с эталонной поверхностью, установленное в одной ветви, последовательно расположенные за оптической системой диафрагму 5, установленную в плоскости точечного изображени  источника света, выпуклое сферическое зеркало 6 с центральным отверстием и наблюдательную систему 1{. Сферическое зеркало 6 установлено так, что центр его кривизны и диафрагма 5 наход тс  с одной стороны относительно выпуклой поверхности этого зеркалаi Интерферометр работает следующи образом. Пучок света от монохроматического источника 1 света собираетс  в точку оптической системой 2 (предварительно разделенный на две ветви - рабочую и эталонную - светоделителем 3). Пучок света в эталонной ветви отражаетс  от эталонной поверхности зеркала 4 и проходит через светоделитель 3. Пучок света в рабочей ветви собираетс  в точку в плоскости диафрагмы 5. Точечным изображением монохроматического источника 1 света засвечиваетс  контролируемый эллипсоид 8. Фокальна  плоскость более короткого фокуса эллипсоида 8 совмещена с точечным изображением монохроматического источника 1 света, т.е. с

Claims (1)

1. ИНТЕРФЕРОМЕТР ДЛЯ КОНТРОЛЯ ВОГНУТЫХ ЭЛЛИПСОИДОВ ВРАЩЕНИЯ·, содержащий монохроматический источник, света, оптическую систему, формирую^.

   щую точечное изображение источника света, светоделитель, делящий световой пучок на две ветви, зеркало с эталонной поверхностью, установленное в одной ветви, и наблюдательную систему, отличающийся тем, что, с целью повышения точности контроля, он снабжен последовательно расположенными за оптической системой диафрагмой, установленной в плоскости точечного изображения источника света, и выпуклым сферическим зеркалом с центральным отверстием, сферическое зеркало установлено так, что центр его кривизны и диафрагма находятся е с одной стороны относительно выпук- ® лой поверхности этого зеркала.

   3*

   Я