SU890067A1

SU890067A1 - Интерферометр дл контрол выпуклых поверхностей линз большого диаметра

Info

Publication number: SU890067A1
Application number: SU792789981A
Authority: SU
Inventors: Даниил Трофимович Пуряев; Николай Сергеевич Шандин
Original assignee: Московское Ордена Ленина И Ордена Трудового Красного Знамени Высшее Техническое Училище Им. Н.Э.Баумана
Priority date: 1979-07-04
Filing date: 1979-07-04
Publication date: 1981-12-15

Description

I

Изобретение относитс к оптическому приборостроению и предназначено дл контрол выпуклых сферических и асферических поверхностей.

Известен интерферометр дл контрол формы выпуклых сферических поверхностей , содержащий источник излучени , последовательно установленные телескопическую систему, полупрозрачное зеркало, объектив, компенсатор и сферическое зеркало 1.

Недостатком известного интерферометра вл етс невысока точность контрол , обусловленна высокими требовани ми , предъ вл емыми к компенсатору в части его остаточных аберраций .

Наиболее близким к изобретению по технической сущности вл етс интерферометр дл контрол качества выпуклых поверхностей линз.большого диаметра , содержащий источник излучени

и фокусирующую систему, образующие осве1ительную ветвь, объектив и регистратор интерференционной картины, образующие наблюдательную ветвь, элемент разделени светового noToka на .два, в одном из которых расположено эталонное сферическое зеркало, вл ющеес эталонной ветвью, а в другом компенсатор и жидкостна линза, образующие рабочую ветвь Г2.

Это интерферометру присуща недостаточно высока точность контрол вследствие значительной удаленности эталонной ветви от рабочей, а также. вследствие применени иммерсионной жидкости со строго определенным показателем преломлени .

Цель изобретени - повышение точности и производительности контрол , а также расширение диапазона контролируемых поверхностей.

Указанна цель достигаетс тем, что жидкостна линза выполн етс с показателем преломлени , отличным от .показател преломлени контролируемой линзы, и располагаетс между контролируемой линзой и компенсатором, компенсатор выполнен с вогнутой поверхностью и обращенным вогнутой поверхностью к источнику излучени ,а последовательно расположенные по ходу излучени компенсатор, контролируе-. ма и жидкостна линзы образуют систему с отрицательной оптической силой. Кроме того, интерферометр снабжен линзой, установленной с возможностью перемещени вдоль оптической оси интерферометра между компенсатором и элементом разделени светового потока .на . чертеже представлена оптическа схемй интерферометра. Интерферометр содержит источник 1 излучени и фокусирующую систему 2, образующие осветительную ветвь, объектив 3 и регистратор и интерференци онной картины, образующие наблюдател ную ветвь, элемент 5 разделени светового потока на два, в одном -из которых расположено эталонное сферическое зеркало 6, вл ющеес эталонной ветвью, а в другом компенсатор 7 и жидкостна линза 8, выполненна из иммерсионной жидкости с показателем преломлени , отличным от показател преломлени контролируемой линзы 9. и расположенна между контролируемой линзой 9 и компенсатором 7 выполненным с вогнутой поверхностью 10 и обращенным вогнутой поверхностью к источнику 1 излучени , а последовательно располагаемые по ходу излучени компенсатор 7 контролируема линза 9 и жидкостна линза 8 образуют систему с отрицательной оптическо силой, и линзу 11, установленную с возможностью перемещени вдоль оптической оси интерферометра между компенсатором 7 и элементом 5 разделени светового потока на два. Интерферометр работает следующим образом., Излучение от источника 1 под действием элементов 2,5,7,11 и поверхности контролируемой линзы 9, контак тирук цей с жидкостной линзой 8, пада

нормально на контролируемую поверхность К линзы Э частично отражаетс от нее, а частично проходит к эталонной поверхности Э эталонного сферического зеркала 6;

Волновой фронт, созданный излучением , отраженным от контролируемой поверхности К линзы 9, интерферирует

Claims

стей, жидкостна линза выполн етс с показателем преломлени , отличным от показател преломлени контролируемой линзы, и располагаетс между контролируемой линзой и компенсатором , компенсатор выполнен с вогнутой поверхностью и обращенным вогнутой поверхностью к источнику излучени . 74 с эталонным волновым фронтом. идущим от поверхности Э. По виду интерференционной картины, дл регистрации которой используют объектив 3 и регистратор k интерференционной картины, суд т о форме контролируемой поверхности К.. Перемещением линзы 11 вдоль оптической оси при смене контролируемых линз достигаетс устранение остаточнь1х аберраций, вызванных изменением конструктивных элементов контролируемой линзы, что повышает производительность контрол . Таким образом, повышение точности контрол достигнуто за счет совмещени эталонной и рабочей ветвей интеоферометра , так как эталонное сферическое зеркало расположено непосредственно за контролируемой поверхностью j поэтому остальные элементы интерферометра практически не внос т погрешности в результаты контрол , а также за счет снижени требований к показателю преломлени иммерсионной жидкости. Кроме того, данный интерферометр позвол ет контролировать высокоапертурные сферические поверхности, что расшир ет диапазон его применени . Формула изобретени 1. Интерферометр дл контрол выпуклых поверхностей линз большого диаметра, содержащий источник излучени и фокусирующую систему, образующие осветительную ветвь, объектив и регистратор интерференционной картины , образующие наблюдательную ветвь, элемент разделени светового потока на два, в одном из которых расположено эталонное сферическое зеркало, вл ющеес эталонной ветвью, а в другом - компенсатор и жидкостна линза, образующие рабочую ветвь, отличающийс тем, что, с целью повышени точности и производительности контрол , а также расширени диапазона контролируемых поверхно