SU844995A1 - Интерферометр дл контрол поверхно-СТи дЕТАли - Google Patents
Интерферометр дл контрол поверхно-СТи дЕТАли Download PDFInfo
- Publication number
- SU844995A1 SU844995A1 SU792804226A SU2804226A SU844995A1 SU 844995 A1 SU844995 A1 SU 844995A1 SU 792804226 A SU792804226 A SU 792804226A SU 2804226 A SU2804226 A SU 2804226A SU 844995 A1 SU844995 A1 SU 844995A1
- Authority
- SU
- USSR - Soviet Union
- Prior art keywords
- interferometer
- mirrors
- inspection
- branches
- parallel
- Prior art date
Links
Landscapes
- Instruments For Measurement Of Length By Optical Means (AREA)
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
Description
(54) ИНТЕРФЕРОМЕТР ДЛЯ КОНТРОЛЯ IIOBF.RXHOCTH
ДЕТАЛИ
I
Изобретение относитс к контрольноизмерительной технике, в частности к средствам контрол цилиндрической поверхности детали с интерференционной точностью, например деталей из оптического стекла.
Известен интерферометр дл контрол поверхности детали, содержащий источник .света (лазер), объектив, коническую линзу, голограмму и экран I.
Недостатком этого интерферометра вл етс невозможность комплексного контрол , а также то, что диаметр конической линзы ограничивает наружный диаметр цилиндрической детали, чрезвычайно затруднено измерение дефектов из-за переменной цены интерференционной полосы, котора зависит от угла падени лучей на цилиндрическую поверхность.
Наиболее блТ13ким к изобретению вл етс интерферометр дл контрол поверхности детали, содержащий источник света, светоделитель, дел щий световой поток на две ветви, три зеркала, два из которых параллельны между собой и расположены соответственно в каждой из ветвей, под углом 45° к оптической оси интерферометра,.
зеркал&м, регистрирующее устройство и держатель детали 2.
Недостатками указанного интерферометра вл ютс низкие производительность и точность контрол цилиндрических поверхностей .
Целью изобретени вл етс повышение производительности и точности контрол цилиндрических поверхностей.
Поставленна цель достигаетс тем, что интерферометр снабжен двум цилиндриto ческими линзами, расположенными между одним из двух параллельных зеркал и третьим зеркалом так, что их фокальные плоскости совмещены, а держатель детали размещен между этими линзами так, что его рсь симметрии совмещена с общей фокаль 5 -ной плоскостью.
. На чертеже изображена принципиальна схема интерферометра длгГ контрол поверхности детали.
Интерферометр содержит источник I света, светоделитель 2, зеркала 3 и 4, расположенные паралле;1ьно между собой н Под углом 45° к оптической оси интерферомртп тпртьр .чрпк ло 5. двеиилиндоичес
Claims (1)
- Формула изобретения \ Интерферометр для контроля поверхности детали, содержащий источник света, светоделитель, делящий световой поток на две ветви, три зеркала, два из которых параллельны между собой и расположены соответственно в каждой из ветвей под углом 45°к оптической оси. интерферометра, а третье перпендикулярно этим двум зеркалам, регистрирующее устройство и держатель детали, отличающийся тем, что, с целью повышения производительности и точности контроля цилиндрических поверхностей, он снабжен двумя цилиндрическими линзами расположенными между одним из двух параллельных зеркал й третьим зеркалом так, что их фокальные плоскости совмещены, а держатель детали размещен между этими линзами так, что его ось симметрии совмещена с общей фокальной плоскостью.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
SU792804226A SU844995A1 (ru) | 1979-08-02 | 1979-08-02 | Интерферометр дл контрол поверхно-СТи дЕТАли |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
SU792804226A SU844995A1 (ru) | 1979-08-02 | 1979-08-02 | Интерферометр дл контрол поверхно-СТи дЕТАли |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
SU844995A1 true SU844995A1 (ru) | 1981-07-07 |
Family
ID=20844018
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
SU792804226A SU844995A1 (ru) | 1979-08-02 | 1979-08-02 | Интерферометр дл контрол поверхно-СТи дЕТАли |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
SU (1) | SU844995A1 (ru) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US7362449B2 (en) * | 2003-05-16 | 2008-04-22 | Universite Libre De Bruxelles | Digital holographic microscope for 3D imaging and process using it |
-
1979
- 1979-08-02 SU SU792804226A patent/SU844995A1/ru active
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US7362449B2 (en) * | 2003-05-16 | 2008-04-22 | Universite Libre De Bruxelles | Digital holographic microscope for 3D imaging and process using it |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US3966324A (en) | Laser doppler anemometer | |
US4762417A (en) | Fringe scanning point diffraction interferometer by polarization | |
SU844995A1 (ru) | Интерферометр дл контрол поверхно-СТи дЕТАли | |
US1963252A (en) | Optical torsion balance | |
CN210863100U (zh) | 镜片折射率测量装置 | |
SU523274A1 (ru) | Интерферометр дл контрол качества выпуклых гиперболических зеркал телескопа кассегрена | |
JPS56160631A (en) | Measuring apparatus for thickness and eccentricity of lens or the like | |
SU1627829A1 (ru) | Интерферометр дл контрол асферических поверхностей второго пор дка | |
US3726596A (en) | Optical device for forming measuring and reference beams of light | |
US2347066A (en) | Spectrophotometer accessory | |
SU1026002A1 (ru) | Интерферометр дл контрол формы выпуклых сферических поверхностей | |
SU953451A2 (ru) | Интерферометр дл контрол вогнутых сферических поверхностей | |
SU848996A1 (ru) | Интерферометр дл контрол качествапОВЕРХНОСТЕй,ОпРЕдЕлЕНи АбЕРРАцийКРупНОгАбАРиТНыХ ОпТичЕСКиХ элЕМЕНТОВи иССлЕдОВАНи пРОзРАчНыХ НЕОдНОРОдНОСТЕй | |
SU1295211A1 (ru) | Интерферометр дл контрол формы асферических поверхностей | |
GB1280211A (en) | Device for measuring the diameter of thin fibres | |
SU684296A1 (ru) | Интерферометр дл контрол качества оптических деталей | |
SU911144A1 (ru) | Интерферометр дл контрол формы выпуклых сферических поверхностей | |
SU823845A1 (ru) | Интерферометр дл контрол формыВОгНуТыХ СфЕРичЕСКиХ пОВЕРХНОСТЕй | |
SU143557A1 (ru) | Способ контрол точности обработки несферических поверхностей | |
JPH0244204A (ja) | 光フアイバ式干渉膜厚計 | |
SU1281952A1 (ru) | Устройство дл измерени спектрального коэффициента пропускани объективов | |
US2660915A (en) | Interference-schlieren apparatus | |
SU362217A1 (ru) | Оптическое контрольное устройство | |
SU1142732A1 (ru) | Устройство дл контрол линейных размеров | |
SU1104362A1 (ru) | Интерферометр дл контрол качества оптических поверхностей |