SU844995A1 - Интерферометр дл контрол поверхно-СТи дЕТАли - Google Patents

Интерферометр дл контрол поверхно-СТи дЕТАли Download PDF

Info

Publication number
SU844995A1
SU844995A1 SU792804226A SU2804226A SU844995A1 SU 844995 A1 SU844995 A1 SU 844995A1 SU 792804226 A SU792804226 A SU 792804226A SU 2804226 A SU2804226 A SU 2804226A SU 844995 A1 SU844995 A1 SU 844995A1
Authority
SU
USSR - Soviet Union
Prior art keywords
interferometer
mirrors
inspection
branches
parallel
Prior art date
Application number
SU792804226A
Other languages
English (en)
Inventor
Владислав Владимирович Ключников
Вадим Гаврилович Зубаков
Original Assignee
Предприятие П/Я Р-6681
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Предприятие П/Я Р-6681 filed Critical Предприятие П/Я Р-6681
Priority to SU792804226A priority Critical patent/SU844995A1/ru
Application granted granted Critical
Publication of SU844995A1 publication Critical patent/SU844995A1/ru

Links

Landscapes

  • Instruments For Measurement Of Length By Optical Means (AREA)
  • Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)

Description

(54) ИНТЕРФЕРОМЕТР ДЛЯ КОНТРОЛЯ IIOBF.RXHOCTH
ДЕТАЛИ
I
Изобретение относитс  к контрольноизмерительной технике, в частности к средствам контрол  цилиндрической поверхности детали с интерференционной точностью, например деталей из оптического стекла.
Известен интерферометр дл  контрол  поверхности детали, содержащий источник .света (лазер), объектив, коническую линзу, голограмму и экран I.
Недостатком этого интерферометра  вл етс  невозможность комплексного контрол , а также то, что диаметр конической линзы ограничивает наружный диаметр цилиндрической детали, чрезвычайно затруднено измерение дефектов из-за переменной цены интерференционной полосы, котора  зависит от угла падени  лучей на цилиндрическую поверхность.
Наиболее блТ13ким к изобретению  вл етс  интерферометр дл  контрол  поверхности детали, содержащий источник света, светоделитель, дел щий световой поток на две ветви, три зеркала, два из которых параллельны между собой и расположены соответственно в каждой из ветвей, под углом 45° к оптической оси интерферометра,.
зеркал&м, регистрирующее устройство и держатель детали 2.
Недостатками указанного интерферометра  вл ютс  низкие производительность и точность контрол  цилиндрических поверхностей .
Целью изобретени   вл етс  повышение производительности и точности контрол  цилиндрических поверхностей.
Поставленна  цель достигаетс  тем, что интерферометр снабжен двум  цилиндриto ческими линзами, расположенными между одним из двух параллельных зеркал и третьим зеркалом так, что их фокальные плоскости совмещены, а держатель детали размещен между этими линзами так, что его рсь симметрии совмещена с общей фокаль 5 -ной плоскостью.
. На чертеже изображена принципиальна  схема интерферометра длгГ контрол  поверхности детали.
Интерферометр содержит источник I света, светоделитель 2, зеркала 3 и 4, расположенные паралле;1ьно между собой н Под углом 45° к оптической оси интерферомртп  тпртьр .чрпк ло 5. двеиилиндоичес

Claims (1)

  1. Формула изобретения \ Интерферометр для контроля поверхности детали, содержащий источник света, светоделитель, делящий световой поток на две ветви, три зеркала, два из которых параллельны между собой и расположены соответственно в каждой из ветвей под углом 45°к оптической оси. интерферометра, а третье перпендикулярно этим двум зеркалам, регистрирующее устройство и держатель детали, отличающийся тем, что, с целью повышения производительности и точности контроля цилиндрических поверхностей, он снабжен двумя цилиндрическими линзами расположенными между одним из двух параллельных зеркал й третьим зеркалом так, что их фокальные плоскости совмещены, а держатель детали размещен между этими линзами так, что его ось симметрии совмещена с общей фокальной плоскостью.
SU792804226A 1979-08-02 1979-08-02 Интерферометр дл контрол поверхно-СТи дЕТАли SU844995A1 (ru)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SU792804226A SU844995A1 (ru) 1979-08-02 1979-08-02 Интерферометр дл контрол поверхно-СТи дЕТАли

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SU792804226A SU844995A1 (ru) 1979-08-02 1979-08-02 Интерферометр дл контрол поверхно-СТи дЕТАли

Publications (1)

Publication Number Publication Date
SU844995A1 true SU844995A1 (ru) 1981-07-07

Family

ID=20844018

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
SU792804226A SU844995A1 (ru) 1979-08-02 1979-08-02 Интерферометр дл контрол поверхно-СТи дЕТАли

Country Status (1)

Country Link
SU (1) SU844995A1 (ru)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US7362449B2 (en) * 2003-05-16 2008-04-22 Universite Libre De Bruxelles Digital holographic microscope for 3D imaging and process using it

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US7362449B2 (en) * 2003-05-16 2008-04-22 Universite Libre De Bruxelles Digital holographic microscope for 3D imaging and process using it

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US3966324A (en) Laser doppler anemometer
US4762417A (en) Fringe scanning point diffraction interferometer by polarization
SU844995A1 (ru) Интерферометр дл контрол поверхно-СТи дЕТАли
US1963252A (en) Optical torsion balance
CN210863100U (zh) 镜片折射率测量装置
SU523274A1 (ru) Интерферометр дл контрол качества выпуклых гиперболических зеркал телескопа кассегрена
JPS56160631A (en) Measuring apparatus for thickness and eccentricity of lens or the like
SU1627829A1 (ru) Интерферометр дл контрол асферических поверхностей второго пор дка
US3726596A (en) Optical device for forming measuring and reference beams of light
SU1026002A1 (ru) Интерферометр дл контрол формы выпуклых сферических поверхностей
SU953451A2 (ru) Интерферометр дл контрол вогнутых сферических поверхностей
SU848996A1 (ru) Интерферометр дл контрол качествапОВЕРХНОСТЕй,ОпРЕдЕлЕНи АбЕРРАцийКРупНОгАбАРиТНыХ ОпТичЕСКиХ элЕМЕНТОВи иССлЕдОВАНи пРОзРАчНыХ НЕОдНОРОдНОСТЕй
SU1295211A1 (ru) Интерферометр дл контрол формы асферических поверхностей
GB1280211A (en) Device for measuring the diameter of thin fibres
SU684296A1 (ru) Интерферометр дл контрол качества оптических деталей
SU911144A1 (ru) Интерферометр дл контрол формы выпуклых сферических поверхностей
US2878722A (en) Apparatus and methods for testing optical systems, lenses and the like
SU823845A1 (ru) Интерферометр дл контрол формыВОгНуТыХ СфЕРичЕСКиХ пОВЕРХНОСТЕй
SU143557A1 (ru) Способ контрол точности обработки несферических поверхностей
JPH0244204A (ja) 光フアイバ式干渉膜厚計
SU1281952A1 (ru) Устройство дл измерени спектрального коэффициента пропускани объективов
US2660915A (en) Interference-schlieren apparatus
SU362217A1 (ru) Оптическое контрольное устройство
SU1142732A1 (ru) Устройство дл контрол линейных размеров
SU1104362A1 (ru) Интерферометр дл контрол качества оптических поверхностей